JPH0326383A

JPH0326383A - 有機溶剤を使用する洗浄装置

Info

Publication number: JPH0326383A
Application number: JP16062889A
Authority: JP
Inventors: Masato Tanaka; 正人田中; Tadayoshi Ichikawa; 忠義市川
Original assignee: Chiyoda Manufacturing Corp
Current assignee: Chiyoda Manufacturing Corp
Priority date: 1989-06-26
Filing date: 1989-06-26
Publication date: 1991-02-04
Anticipated expiration: 2013-03-04
Also published as: JP2721704B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）この発明に係る有機溶剤を使用する洗浄装置は、フロン
等の有機溶剤を用いて各種物品の表面に付着した油等の
汚れを落とす為に利用するものである。

（従来の技術）金型、空気軸受用の多孔質焼結金属、或はＩＣ基板等、
各種物品の表面に付着した油等の汚れを、フロン、トリ
クロルエチレン等の有機溶剤を洗浄液として使用する事
で洗浄する事が、一般的に行なわれている。

この様な有機溶剤を洗浄液として使用する事により、洗
浄作業を行なう洗浄装置の１例に就いて、実願昭６３−
５４５９５号に示された装置を例にして説明する。

この洗浄装置は、第３図に示す様に、上方が開口した有
底円筒状で、上端開口を気密に塞ぐ事の出来るＭ１を有
する洗浄槽２と、有機溶剤を加熱蒸発させる為のヒータ
３を内蔵し、管５を通じて洗浄ｍ２の内部に比較的温度
の高い有機溶剤の蒸気を送り込む蒸気供給手段４と、洗
浄ａ２の内部に送り込む為の洗浄用有機溶剤を貯溜した
貯溜槽６と、この貯溜槽６と洗浄槽２とを結ぶ管７と、
液状の有機溶剤を加熱蒸発させる為のヒータ１０と有機
溶剤の蒸気を凝縮させる為の冷却器１１とを組み合わせ
る事で構成され、凝縮した有機溶剤を上記貯溜槽６に送
る蒸留器１２と、この蒸留器１２と上記貯溜４１６とを
結ぶ管８と、この管８の途中に設けた送液ポンプ９を上
記両管７、８に組み合わせ、洗浄槽２と貯溜槽６或は蒸
留器１２との間で液状の有機溶剤の給排を行なう給排手
段２０と、洗浄槽２内に空気を送り込む吸気管１６と、
途中に真空ポンプｌ３を設けた排出管１９の端部にそれ
ぞれ接続され、洗浄槽２から排出した有機溶剤蒸気を、
上記蒸留器１２に送り込む排蒸管１４及び洗浄槽２から
空気を排出する排気管１５とから構成されている。

上述の様に構成される先発明の洗浄装置により、被洗浄
物１７の洗浄を行なう場合、蓋１を開いてこの被洗浄物
１７を洗浄槽２の内部に収納した後、上記蓋１を閉じて
から真空ポンプ１３を運転し、排気管１５を通じて、こ
の洗浄槽２内の空気を排出する。

洗浄槽２内の空気を排出した後、給排手段２ｏを構威す
る管７を通じて、貯溜槽６内の有機溶剤を洗浄槽２内に
送り込み、被洗浄物１７の洗浄を行なう。この際、洗浄
槽２の底面に固定した超音波振動子１８、１８に通電す
る事により、洗浄槽２内の有機溶剤に超音波振動を加え
、被洗浄物１７の洗浄が効率良く行なわれる様にする。

液状の有機溶剤による洗浄作業が完了したならば、給排
手段２０を構成する送液ポンプ９を運転する事により、
管８を通じて洗浄４ｆｆｚ中の液状有機溶剤を、徐々に
蒸留器１２に送り込みつつ、蒸気供給手段４から洗浄槽
２中に有機溶剤の蒸気を供給する。

この結果、洗浄槽２中の被洗浄物１７は、その一部が液
状有機溶剤の液面上に露出し、この露出部分で有機溶剤
の蒸気が凝縮し、この凝縮分で被洗浄物１７の表面が洗
浄される、所謂蒸気洗浄が行なわれる。又、蒸留器１２
内に送り込まれた使用済みの汚れた有機溶剤は、この蒸
留器１２に設けたヒータ１０により加熱され、蒸発して
から、再び冷却器１１により凝縮液化される事によって
再生され、前記貯溜槽６に戻される。

蒸気洗浄を行ないつつ、洗浄Ｐａｚ中の液状有機溶剤を
総て蒸留器１２に送り込んだならば、排出管１９の途中
に設けた真空ポンプ１３を運転し、洗浄槽２内に残留し
ている有機溶剤蒸気を、排蒸管１４を通じて、蒸留器１
２内に排出する。この様に、排出管１９と排蒸管１４と
を通じて蒸留器１２内に排出された有機溶剤の蒸気は、
この蒸留器１２に設けた冷却器１１により凝縮液化され
て回収される。冷却器１１により回収し切れなかった有
機溶剤の蒸気は、二次冷却器２１により回収され、更に
この二次冷却器２１によっても回収出来なかった、微量
の有機溶剤蒸気は、活性炭フィルタ２２により捕集され
る。

真空ポンブ１３の運転に伴なって、洗浄槽２内が所定の
真空度に達したならば、上記真空ポンプ１３を停止し、
吸気管１６を通じて洗浄槽２内に空気を送り込む。

この結果、洗浄槽２内の圧力が大気圧程度に迄上昇した
ならば、この洗浄槽２の蓋１を開き、洗浄作業が完了し
た被洗浄物１７の取り出しを行なう。

（発明が解決しようとする課題）ところが、上述の様に構成され作用する、先発明に係る
洗浄装置に於いては、次に述べる様な不都合を生じる。

即ち、洗浄作業を開始する際、更には洗浄４ｔ１２内に
有機溶剤を送り込む事で、被洗浄物１７の洗浄作業を行
ない、洗浄槽２から液状の有機溶剤を排出した後には、
洗浄槽２内に存在する空気、或は有機溶剤蒸気を、真空
ボンプ１３により排出するが、この真空ポンプ１３によ
る空気、或は有機溶剤蒸気の排出速度と到達可能な真空
度とは、真空ポンプ１３の能力により決定される。

洗浄効果を上げる為には、被洗浄物１７に付着した液滴
を突沸させる事で、被洗浄物１７の表面に付着した汚れ
を吹き飛ばす事が効果があるが、この様に液滴を突沸さ
せる為には、洗浄槽２からの気体の排出速度を速くする
必要がある。

又、洗浄作業終了後、Ｍ１を開いた場合に、周囲に拡散
する有機溶剤蒸気の量を少なくする為には、到達可能な
真空度を高める必要がある。

上述の様な問題に対処する為には、真空ポンプ１３とし
て、大型のもの、或は高性能のものを使用する必要があ
るが、真空ポンプ１３を大型化したり、高性能化したり
する場合、設置スペースが嵩むだけでなく、真空ポンプ
のコストが極端に高くなる（特に真空度を高める場合）
為、好ましくない。

本発明の有機溶剤を使用する洗浄装置は、上述の様な不
都合を解消するものである。

（課題を解決する為の手段）本発明の有機溶剤を使用する洗浄装置は、前述した従来
の洗浄装置と同様に、被洗浄物を収納した状態で密閉自
在な洗浄槽と、この洗浄槽内に洗浄用の有機溶剤を送り
込み自在な供給手段と、上記洗浄槽から排出された使用
済みの有機溶剤を送り込み再生すると共に、上記真空ポ
ンプから吐出される気体を送り込む事により、この気体
中に存在する有機溶剤の蒸気を回収する溶剤の再生回収
手段とから構成されている。

更に、゛木発明の有機溶剤を使用する洗浄装置に於いて
は、上記洗浄槽と上記再生回収手段との間に、内部に冷
却手段を有する密閉容器を設けると共に、この密閉容器
と上記洗浄槽とを、途中に第一の開閉弁を有する第一の
接続管により、密閉容器と上記再生回収手段の内部とを
、途中に第二の開閉弁を有する第二の接続管により、そ
れぞれ接続している。

（作　用）上述の様に構威される、本発明の有機溶剤を使用する洗
浄装置により、被洗浄物を洗浄する場合の作用自体は、
前述した先発明の洗浄装置と同様である。

但し、本発明の有機溶剤を使用する洗浄装置の場合、洗
浄槽内からの気体の排出を迅速に行ない、しかも必要と
すれば、洗浄槽内の真空度を高める事が出来る。

即ち、本発明の洗浄装置に於いて、洗浄槽内の気体を排
出する場合には、先ず、第一の開閉弁を閉じ、洗浄槽と
密閉容器との連通を断った状態のまま、第二の開閉弁を
開き、再生回収手段の内部に存在する有機溶剤蒸気を、
上記密閉容器内に導入する。

密閉容器内に有機溶剤蒸気を導入したならば、第一、第
二の開閉弁を何れも閉じ、上記密閉容器内に設けた冷却
手段を運転する事により、密閉容器内の有機溶剤蒸気を
凝縮液化する。

この結果、密閉容器内の圧力が低下する為、第二の開閉
弁を閉じたまま、それ迄閉じ゜Ｃいた第一の開閉弁を開
けば、洗浄槽内に存在する気体が密閉容器内に吸引され
、洗浄槽内の圧力が急激に低下する。

密閉容器内に吸引されｋ気体の内に有機溶剤蒸気が含ま
れる場合、この有機溶剤蒸気は、この密閉容器内の冷却
手段により次々に凝縮液化され、密閉容器内の圧力が低
下する為、洗浄槽から密閉容器への有機溶剤蒸気を含む
気体の吸引は、その後も継続して行なわれる。

（実施例）次に、図示の実施例を説明しつつ、本発明を更に詳しく
説明する。

第１図は本発明の有機溶剤を使用する洗浄装置の第一実
施例の要部を示す略縦断面図である。

上端開口部に蓋１を設け、内部に被洗浄物を収納した状
態で密閉自在な洗浄槽２と、再生回収手段である蒸留器
１２との間には、密閉容器２６を設けている。

この密閉容器２６の内部には、冷却手段である冷却バイ
ブ２７を配設して、密閉容器２６内に送り込まれた気体
を冷却自在としている。

この様な密閉容器２６と上記洗浄槽２とは、途中に第一
の開閉弁２８を有する第一の接続管２９により接続する
事で、洗浄槽２内に存在する気体を、第一の接続管２９
を通じて、密閉容器２６内に吸引自在としている。

又、密閉容器２６の側面を貫通して設け、途中に第二の
開閉弁３０を設けた第二の接続管３１の他端を、上記蒸
留器１２の中間部側面を貫通させ、この蒸留器１２内に
開口させて、蒸留器１２内に存在する有機溶剤蒸気を、
密閉容器２６内に導入自在としている。

又、密閉容器２６の底部に一端を接続し、途中に第三の
開閉弁３２を設けた第三の接続管３３の他端は、上記蒸
留器１２の下部側面を貫通して、この蒸留器１２内に開
口させ、密閉容器２６内で有機溶剤蒸気が凝縮する事で
生じた液状の有ｍ溶剤を、蒸留器１２内に送り込み自在
としている。

更に、前記第一の接続管２９の途中で、第一の開閉弁２
８と密閉容器２６との間部分には、三方弁３４を設けて
いる。三つのボートの内の二つのボートを、上記第一の
接続管２９に接続した三方弁３４の、残り一つのボート
には、吸入管３５の一端を接続しており、この吸入管３
５の他端を、真空ボンプ１３の吸入口に接続している。

そして、この真空ポンプ１３の吐出口に一端を接続した
吐出管３６の他端は、上記密閉容器２６を気密に貫通さ
せ、この密閉容器２６内に開口させている。

上述の様に構成される、本発明の有機溶剤を使用する洗
浄装置の他の構成部分、及び洗浄槽２内に収納した被洗
浄物を洗浄する際の作用自体は、前述した先発明の洗浄
装置と同様である。

但し、本発明の有機溶剤を使用する洗浄装置の１１１２場合、洗浄糟２内の気体を排出する為の真空ポンプ１３
の性能を特に向上させなくても、液状の有機溶剤を使用
して被洗浄物を洗浄した後、この液状の有機溶剤を洗浄
槽２から排出する作業を迅速に行ない、しかも洗浄ａ！
２内の真空度を高める事が出来る。

即ち、本発明の洗浄装置に於いて、洗浄後に洗浄４ｉｙ
２内に残留する有機溶剤蒸気を排出する場合には、先ず
、第一の接続管２９の途中に設けた第の開閉弁２８を閉
じ、洗浄槽２と密閉容器２６との連通を断った状態のま
ま、第二の開閉弁３ｏを開き、再生回収手段である蒸留
器１２内に存在する有機溶剤蒸気を、第二の接続管３１
を通じて、上記密閉容器２６内に導入する。この際、第
の接続管２９の途中の三方弁３４は、第一の接続管２９
をそのまま連通する状態に（第一の接続管２９と吸入管
３５とは連通させない状態に）、切り換えておく。

この様にして、密閉容器２６内に有機溶剤蒸気を導入し
たならば、第一、第二、第三の開閉弁２８、３０、３２
を何れも閉じ、上記密閉容器２６内に設けた、冷却手段
である冷却バイブ２７内に冷媒を流通させる事により、
密閉容器２６内の有機溶剤蒸気を凝縮液化する。

密閉容器２６内で有機溶剤蒸気が凝縮液化する結果、密
閉容器２６内の圧力が低下する。

そこで、第二、第三の、開閉弁３０、３２を閉じたまま
、それ迄閉じていた第一の開閉弁２８を開き、前記洗浄
槽２内に残留していた有機溶剤蒸気を上記密閉容器２６
内に吸引する。

第一の接続管２９を通じ、洗浄槽２内の有機溶剤蒸気が
密閉容器２６内に吸引されるのは、拓く短時間の間に行
なわれる為、洗浄槽２′内の圧力が急激に低下し、この
洗浄槽２内に収納された被洗浄物に付着した有機溶剤の
液滴が突沸し、この被洗浄物の表面に付着した汚れを吹
き飛ばして、続いて行なわれる洗浄作業による洗浄効果
を向上させる。

第一の接続管２９を通じて密閉容器２６内に吸引された
有機溶剤蒸気は、この密閉容器２６内に設けられた冷却
バイブ２７により冷却されて、次々に凝縮液化される為
、洗浄槽２から密閉容器２６に有機溶剤蒸気が吸引され
ても、密閉容器２６内の圧力は殆ど上昇せず、洗浄槽２
から密閉容器２６への有機溶剤の吸引は、その後も継続
して行なわれ、洗浄Ｐａｚ内の圧力が低下する。

上述の様に、密閉容器２６内で有機溶剤蒸気を凝縮液化
する事で、洗浄槽２内の圧力を相当に低下させる事が出
来るが、この凝縮液化による圧力低下のみでは、洗浄ａ
！セ内の真空度が不十分である場合は、第一の棲続管２
９の途中の三方弁３４を、第一の接続管２９と真空ポン
プ１３の吸入管３５とを通じさせる状態に切り換え、こ
の真空ポンプ１３を運転する。

この様にして真空ポンプ１３を運転した場合、洗浄槽２
内の有機溶剤蒸気が、第一の接続管２９、吸入管３５、
真空ポンプ１３、吐出管３６を通じて、密閉容器２６内
に送り込まれ、この密閉容器２６内で凝縮液化する。

この様にして真空ポンプ２６による蒸気排出を行なう際
、真空ボンプ１３の吐出口は密閉容器２６内に、吸入口
は洗浄槽２内に、それぞれ連通するが、この際には密閉
容器２６内の圧力も相当に低くなっている為、真空ポン
プの吸入側と吐出側との圧力差を小さくする事が出来、
真空ポンプ１３として格別高性能のもの（高真空型のも
の）を使用しなくても、洗浄Ｎ２内の真空度を十分に高
める事が出来る。

次に、第２図に示した本発明の第二実施例に就いて説明
する。

本実施例は、密閉容器２６の底部に溜った液状の有機溶
剤を蒸留器１２内に排出する際に、この蒸留器１２内に
存在する有機溶剤蒸気が一度に消費されない様にして、
この蒸留器１２から渭れ出す有機溶剤の量を、より少な
く抑える様にしたものである。

即ち、上記第一実施例の場合、洗浄ａ１２から排出され
た有機溶剤蒸気を密閉容器２６内で凝縮させる事で生じ
た液状の有機溶剤は、第三の接続管３３を通じて、蒸留
器１２内に送り込むが、この１５１　６際、蒸留器１２内に存在する有機溶剤蒸気が、真空に近
い低圧となった密閉容器２６内に吸引される。

密閉容器２６の容積は、洗浄槽２内の圧力を急激に低下
させられる様な程度に、十分に大きな容積を有する為、
上述の様に、密閉容器２６の底部に溜った液状の有機溶
剤を蒸留器１２に送り込む際に、蒸留器１２から密閉容
器２６に吸引される有機溶剤蒸気の量も多くなってしま
う。

この結果、蒸留器１２内に存在する有機溶剤蒸気が、短
時間の間に多量に消費され、蒸留器１２内の圧力が低下
し、この低下分を補う為、管２５（第３図参照）を通し
て比較的多量の外気が、蒸留器１２内に吸引されてしま
う。

この様にして蒸留器１２内に吸引された外気は、ヒータ
１０の加熱に伴なって発生ずる有機溶剤蒸気に押される
様にして、上記管２５を通じ外部に押し出されるが、こ
の際、空気と共に少量の有機溶剤蒸気が、管２５を通じ
て排出される事が避けられない。この様に、空気と共に
排出される有機溶剤は、管２５の端部に設けた活性炭フ
ィルタ２２により捕集されるが、空気に混入した有機溶
剤蒸気の量が多い場合、活性炭フィルタ２２により捕集
し切れない有機溶剤蒸気が生じたり、或は活性炭フィル
タ２２が早期に劣化したりする原因となる。

そこで、本実施例の場合、密閉容器２６の底部に溜った
液状有機溶剤の排出を、小容量の補助密閉容器３７を通
じて行なう様に構成する事で、上述の様な問題に対処す
る様に構成している。

即ち、本実施例の場合、第２図に示す様に、第の接続管
２９を通じて洗浄槽２（第１図）に、第二の接続管３１
を通じて蒸留器１２に、それぞれ通じる密閉容器２６の
底部と、この密閉容器２６よりも十分に小容量で、上記
密閉容器２６の下方に設けた、補助密閉容器３７の上部
とを、途中に第一の補助開閉弁３８を設けた第一の補助
接続管３９により、接続している。

又、上記補助密閉容器３７の底部と、再生回収手段であ
る蒸留器１２の一部で、有機溶剤蒸気が存在する部分と
を、途中に第二の補助開閉弁４０を有する第二の補助接
続管４１により接続し、上記補助密閉容器３７の上部と
上記蒸留器１２とを、途中に第三の補助開閉弁４２を有
する第三の補助接続管４３により接続している。

この様に構成される本実施例の場合、密閉容器２６内に
溜った液状の有機溶剤を、蒸留器１２に送り込む場合、
補助密閉客器３７を通じて行なう。

即ち、密閉容器密閉容器２６内に液状の有機溶剤が溜っ
たならば、第一、第二の開閉弁２８、３０と、第二、第
三の補助開閉弁４０、４２とを閉じた状態で、第一の補
助開閉弁３８を開き、密閉容器２６の底部に溜った液状
の有機溶剤を、第一の補助接続管３９を通じて、重力に
より、補助密閉容器３７に流下させる。これと同時に、
補助密閉容器３７内に存在していた有機溶剤蒸気が、密
閉容器２６内に吸引される。

この結果、密閉容器２６から補助密閉客器３７に液状の
有機溶剤を移したならば、第一の補助開閉弁３８を閉じ
、代りに第二の補助開閉弁４０を開いて、補助密閉容器
３７から蒸留器１２に液状の有機溶剤を移す。この際、
蒸留器１２内に存在する有１Ｍ溶剤蒸気が、補助密閉容
器３７に吸引されるが　この補助密閉容器３７の容積は
小さい為、蒸留器１２内に存在する有機溶剤蒸気が一度
に多量に消費される事はなく、蒸留器１２内に多量の空
気が吸引される事もない為、有機溶剤蒸気が蒸留器１２
外に漏れ出す事も、少なく抑える事が出来る。

尚、有機溶剤を使用する洗浄装置の運転を開始する際に
は、第一の開閉弁２８と第三の補助開閉弁４２とを閉じ
、第二の開閉弁３０と第一、第二の補助開閉弁３８、４
０とを開いた状態で、密閉容器２６と補助密閉客器３７
とに有機溶剤蒸気を充満させる。

有機溶剤蒸気は空気よりも重い為、第二の開閉弁３０と
第一、第二の補助開閉弁３８、４０とを開くと、蒸留器
１２内に存在する有機溶剤蒸気が下から補助密閉容器３
７と密閉容器２６とに進入１　９２　０し、それ迄補助密閉容器３７と密閉容器２６との内部に
存在していた空気が、第二の接続管３１を通じて、蒸留
器１２の上部空間に排出される。

但し、この際に於ける有機格剤蒸気と空気との置換は、
両気体の比重差に基づいて、緩徐に行なわれ、消費され
る有機溶剤蒸気の量が、ヒータ１０の加熱により発生す
る有機溶剤蒸気の量を大きく上回る事がない為、蒸留器
１２内で、有機溶剤蒸気と空気との境界層位置が大きく
変動する事はなく、蒸留器１２から外に漏れ出す有機溶
剤の量を掻く少なく抑える事が出来る。

（発明の効果）本発明の有機溶剤を使用する洗浄装置は、以上に述べた
通り構成され作用するが、真空ポンプを大型化したり、
高性能化したりする事なく、洗浄槽の圧力を低下させる
速度を速くしたり、更には洗浄槽内の真空度を高める事
が可能となり、高性能の洗浄装置を構威する場合にも、
真空ポンプの設置スペースが嵩んだり、或は真空ポンプ
のコストが極端に高くなる事がなくなる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の有機溶剤を使用する洗浄装置の第一実
施例の要部を示す略縦断面図、第２図は同第二実施例を
示す、要部略縦断面図、第３図は洗浄装置の１例を示す
略縦断面図である。１；蓋、２；洗浄槽、３：ヒータ、４：蒸気供給手段、
５：管、６：貯溜槽、７、８：管、９：送液ポンプ、１
０：ヒータ、１１：冷却器、１２：蒸留器、１３，真空
ポンプ、１４：排蒸管、１５：排気管、１６：吸ケ管、
１７：被洗浄物、１８：超音波振動子、１９：排出管、
２０：給排手段、２１：二次冷却器、２２；活性炭フィ
ルタ、２３、２４：弁、２５：管、２６：密閉容器、２
７：冷却パイプ、２８：第一の開閉弁、２９：ｐｆＪの
接続管、３０：第二の開閉弁、３１：第二の接続管、３
２：第三の開閉弁、３３：第三の接続管、３４：三方弁
、３５：吸入管、３６：吐出管、３７：補助密閉容器、
３８：第一の補助開閉弁、３９；第一の補助接続管、４
０：第二の補助開閉弁、４１：第二の補助接続管、４２
：第三の補助開閉弁、４３：第三の補助接続管。特許出願人株式会社千代田製作所代理人小山欽造（ばか１名）２３手続補正書（方式）平成１年１０月　２

Claims

【特許請求の範囲】

（１）被洗浄物を収納した状態で密閉自在な洗浄槽と、
この洗浄槽内に洗浄用の有機溶剤を送り込み自在な供給
手段と、洗浄槽から排出された使用済みの有機溶剤を送
り込み再生すると共に、上記洗浄槽から排出される気体
を送り込む事により、この気体中に存在する有機溶剤の
蒸気を回収する溶剤の再生回収手段とから成る有機溶剤
を使用する洗浄装置に於いて、上記洗浄槽と上記再生回
収手段との間に、内部に冷却手段を有する密閉容器を設
けると共に、この密閉容器と上記洗浄槽とを、途中に第
一の開閉弁を有する第一の接続管により、密閉容器と上
記再生回収手段の内部とを、途中に第二の開閉弁を有す
る第二の接続管により、それぞれ接続した事を特徴とす
る、有機溶剤を使用する洗浄装置。
（２）吸入口を上記洗浄槽内に連通自在とした真空ポン
プの吐出口を、密閉容器内に通じさせた、請求項１に記
載の有機溶剤を使用する洗浄装置。
（３）密閉容器の底部と、この密閉容器よりも小容量で
、上記密閉容器の下方に設けた、補助密閉容器の上部と
を、途中に第一の補助開閉弁を設けた、第一の補助接続
管により接続し、上記補助密閉容器の底部と、再生回収
手段の一部で、有機溶剤蒸気が存在する部分とを、途中
に第二の補助開閉弁を有する第二の補助接続管により接
続した、請求項１又は請求項２に記載の有機溶剤を使用
する洗浄装置。