JP2020186469A - 蒸着ユニット及びこの蒸着ユニットを備える真空蒸着装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (5)
- 蒸着物質が収納される収容箱と収容箱内の蒸着物質を加熱する加熱手段とを備え、収容箱の一面に、加熱により昇華または気化した蒸着物質を放出する放出開口が形成される蒸着ユニットにおいて、
蒸着ユニットが、一面を開口した格納チャンバ内に設けられ、格納チャンバの開口を向く方向を上として、格納チャンバ内で蒸着ユニットを上下方向に進退する移動手段を更に備えることを特徴とする蒸着ユニット。 - 前記収容箱は、上面を開口した外容器と、外容器の内壁面に固定の支持枠と、支持枠の内側に配置されて蒸着物質が収納される内容器と、外容器と内容器との上面の開口を覆う、放出開口が形成される蓋体とを備え、支持枠の所定位置にその内方に向けて突出する複数本の支持ピンが配置され、外容器内に内容器を格納したとき各支持ピンで内容器が支持されるように構成したことを特徴とする請求項1記載の蒸着ユニット。
- 前記加熱手段は、前記支持枠で保持されて前記内容器の外壁面に対向配置される複数本のシースヒータで構成され、前記内容器の外壁を複数の領域に分け、各領域に夫々対向配置されるシースヒータ毎に、所定電流値で通電可能としたことを特徴とする請求項1及び請求項2記載の蒸着ユニット。
- 請求項1〜請求項3記載の蒸着ユニットを備える真空蒸着装置において、
キャンローラを有する真空チャンバを備え、真空チャンバに開設された取付開口に前記格納チャンバがその開口側から装着され、前記収容箱の前記放出開口がキャンローラの軸線に対して直交する姿勢で前記蒸着ユニットがセットされるように構成したことを特徴とする真空蒸着装置。 - 前記放出開口と、前記キャンローラに巻き掛けられるシート状の基材との距離を前記移動手段により蒸着ユニットの上下動のストロークの範囲内で変化させて前記収容箱内で昇華または気化した蒸着物質の飛散分布を調整自在としたことを特徴とする請求項4記載の真空蒸着装置。
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