JP2020186469A5 - 真空蒸着装置 - Google Patents

Description

本発明は、蒸着物質が収納される収容箱と収容箱内の蒸着物質を加熱する加熱手段とを備え、収容箱の一面に、加熱により昇華または気化した蒸着物質を放出する放出開口が形成される蒸着ユニットを備えて、特に、キャンローラに巻き掛けられたシート状の基材に対して成膜するのに適した真空蒸着装置に関する。

本発明は、以上の点に鑑み、汎用性が高く、メンテナンス性に優れた、キャンローラに巻き掛けられたシート状の基材の部分に連続的且つ良好に蒸着するための真空蒸着装置を提供することをその目的とするものである。

上記課題を解決するために、本発明の真空蒸着装置は、キャンローラを有する真空チャンバと、キャンローラに巻き掛けられるシート状の基材を走行させる基材走行手段と、一面が開口されてその開口側から真空チャンバに開設した取付開口に装着される格納チャンバと、格納チャンバ内に設けられる蒸着ユニットと、格納チャンバの開口を向く方向を上として、格納チャンバ内で蒸着ユニットを上下方向に進退する移動手段とを備える真空蒸着装置において、蒸着ユニットが、蒸着物質が収納される収容箱と、収容箱内の蒸着物質を加熱する加熱手段と、収容箱上面の開口を覆う、放出開口が形成される蓋体とを有し、蓋体の放出開口がキャンローラの軸線に対して直交する姿勢で蒸着ユニットがセットされて当該放出開口から加熱により昇華または気化した蒸着物質が放出され、前記キャンローラの軸線方向をＸ軸方向、Ｘ軸に直交する方向をＹ軸方向として、前記蓋体がＸ軸方向に長手で且つ板状であり、前記蓋体のＸ軸方向中央領域でＹ軸方向に対峙させて前記放出開口の外縁部に、突片と当該突片を受け入れる受入孔を有する受入部材とのいずれか一方を夫々設けると共に、蒸着ユニットを蒸着位置に移動させると、突片が受入孔に嵌着するように当該放出開口の外縁部の上方に突片と受入部材とのいずれか他方を夫々設け、蒸着ユニットを蒸着位置に移動させると、蓋体のＸ軸方向両端部に当接する押圧片を更に設けたことを特徴とする。前記第１及び第２の各突片が柱状に形成される場合、前記受入孔のうち一方がＹ軸方向に長手の長円状の輪郭を有し、その他方が円形の輪郭を有する構成を採用してもよい。

また、上記課題を解決するために、本発明の真空蒸着装置は、キャンローラを有する真空チャンバと、キャンローラに巻き掛けられるシート状の基材を走行させる基材走行手段と、一面が開口されてその開口側から真空チャンバに開設した取付開口に装着される格納チャンバと、格納チャンバ内に設けられる蒸着ユニットと、格納チャンバの開口を向く方向を上として、格納チャンバ内で蒸着ユニットを上下方向に進退する移動手段とを備える真空蒸着装置において、蒸着ユニットが、蒸着物質が収納される収容箱と、収容箱内の蒸着物質を加熱する加熱手段と、収容箱上面の開口を覆う、放出開口が形成される蓋体とを有し、蓋体の放出開口がキャンローラの軸線に対して直交する姿勢で蒸着ユニットがセットされて当該放出開口から加熱により昇華または気化した蒸着物質が放出され、真空チャンバ内に、蒸着ユニットの部分が格納される蒸着室を区画する第１隔壁と、第１隔壁に連設されて蒸着ユニットの周方向両側に位置するキャンローラの外筒部分をキャンローラの外周面に一致する曲率で湾曲する第１間隙を介して覆う第２隔壁とを更に備え、第１間隙を境界として蒸着室とこの蒸着室に隣接する真空チャンバ内の隣接室とが互いに連通し、第２隔壁で蒸着室と隣接室との間のコンダクタンスが確定されるように構成し、第２隔壁が、キャンローラの回転軸を回転中心として回動自在な一対の回動アームの先端間に夫々架設されて、蒸着ユニットに対向するキャンローラの部分を遮蔽する遮蔽位置と蒸着ユニットから周方向に離間した退避位置との間でキャンローラの回転軸を回転中心として回動自在に構成され、各回動アームの互いに向かい合う面が第１間隙部を存して重ねられ、第２隔壁がキャンローラの周囲で第１間隙を保持したまま移動自在であることを特徴とする。この場合、前記第２隔壁の遮蔽位置と退避位置との間の第２隔壁の回動経路にて、第２隔壁の前記キャンローラの軸線方向の端面とこれに対峙する真空チャンバの内壁面との間に第２間隙部が形成されると共に、第２隔壁の外周面と真空チャンバの内壁面との間に第３間隙部が形成され、前記蒸着室と隣接室とが、第１間隙部、第２間隙部及び第３間隙部のみを通じて連通する構成を採用してもよい。

なお、前記収容箱は、上面を開口した外容器と、外容器の内壁面に固定の支持枠と、支持枠の内側に配置されて蒸着物質が収納される内容器と、外容器と内容器との上面の開口を覆う、放出開口が形成される蓋体とを備え、支持枠の所定位置にその内方に向けて突出する複数本の支持ピンが配置され、外容器内に内容器を格納したとき各支持ピンで内容器が支持されるように構成することが好ましい。これによれば、支持ピンで内容器を支持するため、伝熱による熱損失が小さくなって効率よく内容器を加熱することができる。この場合、外容器の内面を例えば電解研磨により鏡面仕上げしておけば、加熱手段で内容器を加熱するときに、外容器の内面が熱を反射するリフレクターとしての役割を果たし、輻射熱が加わってより一層効率よく内容器を加熱することができ、有利である。

変形例に係るものでは、図８に示すように、蓋体３４のＹ軸方向への変位（熱変形）及びＺ軸回りの回転は許容するが、Ｘ軸方向及びＺ軸方向への変形は許容しないように規制手段が設けられている。規制手段は、例えば、Ｘ軸方向中央領域で放出開口３４ｃの外縁部に対峙させて設けた第１及び第２の両規制部８ａ，８ｂと、Ｘ軸方向両端部で放出開口３４ｃの外縁部に設けた一対の第３の規制部８ｃと、を備える。第１及び第２の各規制部８ａ，８ｂは、蓋体３４上面の所定位置に設けた柱状の突片８１ａ，８１ｂと、各突片８１ａ，８１ｂに対応させてメインチャンバ（図示せず）に固定配置された、各突片８１ａ，８１ｂを夫々受け入れる受入孔８２１，８２２を有する受入部材８２ａ，８２ｂと、を備える。

Claims (4)

1. キャンローラを有する真空チャンバと、キャンローラに巻き掛けられるシート状の基材を走行させる基材走行手段と、一面が開口されてその開口側から真空チャンバに開設した取付開口に装着される格納チャンバと、格納チャンバ内に設けられる蒸着ユニットと、格納チャンバの開口を向く方向を上として、格納チャンバ内で蒸着ユニットを上下方向に進退する移動手段とを備える真空蒸着装置において、
   蒸着ユニットが、蒸着物質が収納される収容箱と、収容箱内の蒸着物質を加熱する加熱手段と、収容箱上面の開口を覆う、放出開口が形成される蓋体とを有し、蓋体の放出開口がキャンローラの軸線に対して直交する姿勢で蒸着ユニットがセットされて当該放出開口から加熱により昇華または気化した蒸着物質が放出され、
   前記キャンローラの軸線方向をＸ軸方向、Ｘ軸に直交する方向をＹ軸方向として、前記蓋体がＸ軸方向に長手で且つ板状であり、
   前記蓋体のＸ軸方向中央領域でＹ軸方向に対峙させて前記放出開口の外縁部に、突片と当該突片を受け入れる受入孔を有する受入部材とのいずれか一方を夫々設けると共に、蒸着ユニットを蒸着位置に移動させると、突片が受入孔に嵌着するように当該放出開口の外縁部の上方に突片と受入部材とのいずれか他方を夫々設け、
   蒸着ユニットを蒸着位置に移動させると、蓋体のＸ軸方向両端部に当接する押圧片を更に設けたことを特徴とする真空蒸着装置。
2. 請求項１記載の真空蒸着装置であって、前記第１及び第２の各突片が柱状に形成されているものにおいて、前記受入孔のうち一方がＹ軸方向に長手の長円状の輪郭を有し、その他方が円形の輪郭を有することを特徴とする真空蒸着装置。
3. キャンローラを有する真空チャンバと、キャンローラに巻き掛けられるシート状の基材を走行させる基材走行手段と、一面が開口されてその開口側から真空チャンバに開設した取付開口に装着される格納チャンバと、格納チャンバ内に設けられる蒸着ユニットと、格納チャンバの開口を向く方向を上として、格納チャンバ内で蒸着ユニットを上下方向に進退する移動手段とを備える真空蒸着装置において、
   蒸着ユニットが、蒸着物質が収納される収容箱と、収容箱内の蒸着物質を加熱する加熱手段と、収容箱上面の開口を覆う、放出開口が形成される蓋体とを有し、蓋体の放出開口がキャンローラの軸線に対して直交する姿勢で蒸着ユニットがセットされて当該放出開口から加熱により昇華または気化した蒸着物質が放出され、
   真空チャンバ内に、蒸着ユニットの部分が格納される蒸着室を区画する第１隔壁と、第１隔壁に連設されて蒸着ユニットの周方向両側に位置するキャンローラの外筒部分をキャンローラの外周面に一致する曲率で湾曲する第１間隙を介して覆う第２隔壁とを更に備え、第１間隙を境界として蒸着室とこの蒸着室に隣接する真空チャンバ内の隣接室とが互いに連通し、第２隔壁で蒸着室と隣接室との間のコンダクタンスが確定されるように構成し、
   第２隔壁が、キャンローラの回転軸を回転中心として回動自在な一対の回動アームの先端間に夫々架設されて、蒸着ユニットに対向するキャンローラの部分を遮蔽する遮蔽位置と蒸着ユニットから周方向に離間した退避位置との間でキャンローラの回転軸を回転中心として回動自在に構成され、各回動アームの互いに向かい合う面が第１間隙部を存して重ねられ、第２隔壁がキャンローラの周囲で第１間隙を保持したまま移動自在であることを特徴とする真空蒸着装置。
4. 前記第２隔壁の遮蔽位置と退避位置との間の第２隔壁の回動経路にて、第２隔壁の前記キャンローラの軸線方向の端面とこれに対峙する真空チャンバの内壁面との間に第２間隙部が形成されると共に、第２隔壁の外周面と真空チャンバの内壁面との間に第３間隙部が形成され、前記蒸着室と隣接室とが、第１間隙部、第２間隙部及び第３間隙部のみを通じて連通するように構成したことを特徴とする請求項３記載の真空処理装置。