JP2007224394A - 蒸着材料の蒸発方法および蒸発装置ならびに真空蒸着装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】蒸発容器21内で材料収納部20Aに収容された材料を加熱溶融する第1加熱装置22と、下部を溶融材料Aに浸漬させて外周部材23aに同伴させ上方に搬送する円筒状の搬送ドラム23と、搬送ドラム23に同伴させて蒸発部20Bに搬送された溶融材料Aを加熱して蒸発させる第2加熱装置24と、第2加熱装置24の加熱温度を制御する蒸発制御装置とを具備した。
【選択図】図2
Description
本発明は上記問題点を解決して、材料の蒸発の起動や停止を迅速に行うことにより無駄な材料の蒸発を抑制できるとともに、材料の劣化を未然に防止でき、さらに蒸発量を容易かつ精度良く制御可能な蒸着材料の蒸発方法および蒸発装置ならびに真空蒸着装置を提供することを目的とする。
請求項4記載の蒸発装置によれば、材料収容部で蒸発温度の近くまで加熱する第1加熱装置と、蒸発部で蒸発温度以上に加熱する第2加熱装置とを設けて、材料を2段階に加熱し蒸発させ、材料収容部の材料は、第1加熱装置により蒸発に達するような熱量を与えず蒸発温度以上に加熱されることがないので、従来のように不要な熱が与え続けられることがなく、材料が劣化されることがない。また、前述の2段階に加熱し蒸発させることと、材料移送装置により予熱済みの材料を少量ずつ蒸発部に搬送することにより、第2加熱装置により搬送量に応じた少ない供給熱量で材料を蒸発させることができて、材料の蒸発量の制御を容易かつ精度よく行うことができる。さらに第2加熱装置の加熱・停止の切替により蒸発の起動・停止を迅速に行うことができ、無駄な材料の発生を未然に防止することができる。
請求項5記載の蒸発装置によれば、制御装置により、材料の搬送量を増減すると同時に、その搬送された材料のたとえば全量を蒸発できるように第2加熱装置の供給熱量を制御することで、移動体に同伴されて蒸発部から材料収納部に戻る未蒸発の材料を無くすることができて材料の劣化を防止することができ、材料の蒸発量を精度よく制御することができる。
[実施の形態1]
本発明に係る蒸着材料の蒸発方法および蒸発装置ならびに真空蒸着装置の実施の形態1を図1〜図3を参照して説明する。
第1蒸発装置11Aは、図2,図3に示すように、真空構造の蒸発容器21の下部に材料Aを収容する材料収容部20Aが設けられるとともに、蒸発容器21の上部に第1誘導管12Aが接続された蒸発部20Bが設けられている。この蒸発容器21内には、水平方向の回転軸(軸)23bを介して円筒形の搬送ドラム23が回転自在に支持された材料移送装置20Cが設けられている。
[実施の形態2]
次に、上記真空蒸着装置に用いられる蒸発装置の実施の形態2を図8,図9を参照して説明する。実施の形態1では搬送ドラム23の外周部材23aを移動体として使用したが、実施の形態2では、溶融材料A,B(C)を保持可能な可撓性材質で、無端状ベルト部材を移動体として使用したものである。なお、実施の形態1と同一部材には同一符号を付して説明を省略する。
また、実施の形態1,2では、第2加熱部材24が、メッシュまたは凹凸に形成された搬送ドラム23の外周部材23a、ベルト部材51の表面に直接摺接するように図示しているが、たとえば平坦面や微細な凹凸でその表面に所定の厚みで付着させ同伴させるような場合には、第2加熱部材24は外周部材23a、ベルト部材51の表面から材料の厚み分だけ離れて配置されることになる。さらに第2加熱部材24を板状に形成したが、多数の穴を形成することで、蒸発材料の通過を許すようにしてもよい。
さらに各実施の形態では、蒸発装置11A,11Bにより蒸発の起動・停止が可能であるが、誘導管12A,12Bや放出部13A,13Bに残留する蒸発材料の蒸着を防止して精度よく膜厚を制御するために、シャッター装置34を使用することもできる。この場合、シャッター装置34への蒸発材料の付着量を大幅に減少させることができる。
1a 真空蒸着室
3 基板
4 基板回転保持装置
5 蒸発量制御装置
11A 第1蒸発装置
11B 第2蒸発装置
12A 第1誘導管
12B 第2誘導管
13A 第1放出部
13B 第2放出部
20A 材料収容部
20B 蒸発部
20C 材料移送装置
21 蒸発容器
22 第1加熱装置
23 搬送ドラム
23a 外周部材
23b 回転軸
24 第2加熱装置
24a 第1加熱板
24b 第2加熱板
26 加熱調整部
31A 第1拡散容器
31B 第2拡散容器
32A 第1放出ノズル
32B 第2放出ノズル
35 蒸発レート検出器
41 変速装置
42 回転駆動装置
43 速度調整部
50 蒸発容器
50A 材料収容部
50B 蒸発部
50C 材料移送装置
51 メッシュベルト
52 下回転体
53 上回転体
54 回転駆動装置
56A 温度調整装置
56B 温度調整装置
57 過熱防止装置
Claims (10)
- 真空蒸着室内で被蒸着材に蒸着させるための材料を蒸発させるに際して、
材料を材料収容部から前記蒸発部に少量ずつ連続搬送するとともに、前記材料収容部と前記蒸発部とでそれぞれ加熱する2段階加熱とし、
前記材料収容部で材料を蒸発温度未満で蒸発温度近傍に加熱し、
前記蒸発部で材料を蒸発温度以上で分解温度未満の所定範囲に加熱して蒸発量を制御する
蒸着材料の蒸発方法。 - 蒸発部で、材料に供給する供給熱量を、材料収容部から前記蒸発部に搬送された材料の全量を蒸発させるように制御するとともに、
搬送される材料の搬送量を増減させることにより、蒸発量を制御する
請求項1記載の蒸着材料の蒸発方法。 - 蒸発部で、材料に供給する供給熱量を、搬送された材料の全量を蒸発させる熱量より少ない範囲で増減させることにより、蒸発量を制御する
請求項1記載の蒸着材料の蒸発方法。 - 材料収容部に収容された材料を蒸発温度より低い所定範囲の温度に加熱する第1加熱装置を設け、
材料を無端状の移動体に同伴させて前記材料収容部から蒸発部に少量ずつ連続して搬送する材料移送装置を設け、
前記蒸発部に、前記移動体により搬送された前記材料を加熱して蒸発させる第2加熱装置を設け、
前記第2加熱装置の加熱温度を材料の蒸発温度以上で分解温度未満の所定範囲に制御して、材料の蒸発量を制御する制御装置を設けた
蒸発装置。 - 制御装置は、材料移送装置の無端状の移動体の移動速度を制御して、材料収容部から蒸発部に搬送する材料の搬送量を制御可能に構成された
請求項4記載の蒸発装置。 - 材料移送装置は、回転駆動装置により水平軸心周りに回転される回転体の外周部材を無端状の移動体とし、
前記外周部材の表面に材料を保持可能な凹凸面が形成された
請求項4または5記載の蒸発装置。 - 材料移送装置は、材料収容部に水平軸心周りに回転自在に支持された回転体と、蒸発部に水平軸心周りに回転自在に支持された回転体と、前記両回転体の間に巻張されて無端状の移動体を構成する無端状のベルト部材とを具備した
請求項4または5記載の蒸発装置。 - 材料移送装置に、ベルト部材の温度を制御可能な温度調整装置と、前記ベルト部材の蓄熱を防止する過熱防止装置を設けた
請求項7記載の蒸発装置。 - 請求項4乃至8のいずれかに記載の蒸発装置と、
前記蒸発装置から誘導部を介して導入された蒸発材料を、拡散容器で均一拡散して複数の放出ノズルから被蒸着部材に向かって放出する放出部を具備した
真空蒸着装置。 - 請求項4乃至8のいずれかに記載の蒸発装置を複数具備し、
前記各蒸発装置により、それぞれ異なる材料を加熱して気化させ、
前記各蒸発装置の材料移送装置は、移動体を移動させる駆動用の軸が互いに連結されるとともに、蒸発装置間の前記軸に回転速度を調整可能な変速装置が介在され、前記軸が1つの回転駆動装置により回転駆動される
真空蒸着装置。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009084679A (ja) * | 2007-09-10 | 2009-04-23 | Ulvac Japan Ltd | 蒸気発生装置、蒸着装置 |
JP2011122187A (ja) * | 2009-12-08 | 2011-06-23 | Ulvac Japan Ltd | 材料蒸発システム及びその成膜装置 |
WO2012046672A1 (ja) * | 2010-10-04 | 2012-04-12 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置及び成膜材料供給方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59177365A (ja) * | 1983-03-24 | 1984-10-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 蒸発方法とその装置 |
JPS62290862A (ja) * | 1986-06-09 | 1987-12-17 | Fuji Xerox Co Ltd | 真空蒸着法 |
JP2005336527A (ja) * | 2004-05-26 | 2005-12-08 | Hitachi Zosen Corp | 蒸着装置 |
-
2006
- 2006-02-27 JP JP2006049442A patent/JP2007224394A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59177365A (ja) * | 1983-03-24 | 1984-10-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 蒸発方法とその装置 |
JPS62290862A (ja) * | 1986-06-09 | 1987-12-17 | Fuji Xerox Co Ltd | 真空蒸着法 |
JP2005336527A (ja) * | 2004-05-26 | 2005-12-08 | Hitachi Zosen Corp | 蒸着装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009084679A (ja) * | 2007-09-10 | 2009-04-23 | Ulvac Japan Ltd | 蒸気発生装置、蒸着装置 |
JP2011122187A (ja) * | 2009-12-08 | 2011-06-23 | Ulvac Japan Ltd | 材料蒸発システム及びその成膜装置 |
WO2012046672A1 (ja) * | 2010-10-04 | 2012-04-12 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置及び成膜材料供給方法 |
CN103154305A (zh) * | 2010-10-04 | 2013-06-12 | 东京毅力科创株式会社 | 成膜装置和成膜材料供给方法 |
JP5301736B2 (ja) * | 2010-10-04 | 2013-09-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 成膜装置及び成膜材料供給方法 |
KR101321808B1 (ko) | 2010-10-04 | 2013-10-28 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 성막 장치 및 성막 재료 공급 방법 |
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