JP2020109214A - 蒸着マスク - Google Patents
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Abstract
Description
図1および図2を参照して、マスク装置の構成を説明する。
図1が示すように、マスク装置10は、メインフレーム20と、複数の蒸着マスク30とを備えている。メインフレーム20は、複数の蒸着マスク30を支持するための矩形枠状を有する。メインフレーム20は、蒸着を行うための蒸着装置に取り付けられる。メインフレーム20は、蒸着マスク30の数と同数のメインフレーム孔21を有している。1つのメインフレーム孔21は、メインフレーム20のなかで1つの蒸着マスク30が位置する範囲のほぼ全体を貫通する孔である。
図3を参照して、マスク部32とマスクフレーム31との接合構造が有する断面構造を説明する。
図3が示すように、マスクシート32Sにおいて、マスクシート32Sにおける縁を含む部分が、外周縁部32Eである。マスクシート32Sの外周縁部32Eには、マスク孔32Hが形成されていない領域が、マスクシート32Sの縁に沿って連続している。マスク表面32Fのなかで外周縁部32Eに含まれる部分が、マスクフレーム31に接合される。
図4を参照して、蒸着マスク30が備えるマスク孔32Hの数と、マスク部32が備えるマスク孔32Hの数との関係を説明する。
図4(a)が示すように、マスクフレーム31は、複数のマスクフレーム孔33として例えば3つのマスクフレーム孔33を有している。図4(b)が示すように、蒸着マスク30は、各マスクフレーム孔33に対応するマスク部32を1つずつ備えている。より詳しくは、第1マスクフレーム孔33Aを区画する内側縁部31Eは、第1マスク部32Aと接合している。第2マスクフレーム孔33Bを区画する内側縁部31Eは、第2マスク部32Bと接合している。第3マスクフレーム孔33Cを区画する内側縁部31Eは、第3マスク部32Cと接合している。
図5および図6を参照して、蒸着マスク30の製造方法を説明する。なお、図5は、マスク部32を製造するための基材を準備する工程からマスク部32を製造するまでの工程を示している。これに対して、図6は、マスク部32をマスクフレーム31に接合する工程から、マスク部32から樹脂層を除去する工程までを示している。
図7から図9を参照して、試験例を説明する。なお、図8および図9において二点鎖線で囲まれる領域は、308nm以上355nm以下の波長帯である。
[レーザー光線の波長とパターンの位置との関係]
まず、金属の薄板である試験板を準備した。試験板は、中央部と、中央部を取り囲む外周部とを有していた。試験板には、位置の精度を測定するための複数のパターンが中央部に形成され、かつ、外周部にはパターンが形成されていなかった。また、試験板にレーザー光線を照射するレーザーとして、1064nmの波長を有したレーザー光線を照射するレーザーと、355nmの波長を有したレーザー光線を照射するレーザーとを準備した。
ガラス基板A、ガラス基板B、および、ガラス基板Cを準備し、各ガラス基板において、波長ごとの透過率を測定した。ガラス基板Aとして、2.3mmの厚さを有する石英ガラス製の基板(SMS6009E5、信越化学工業(株)製)を準備した。ガラス基板Bとして、0.7mmの厚さを有する無アルカリガラス製の基板(OA−10G,日本電気硝子(株)製)を準備した。ガラス基板Cとして、2.3mmの厚さを有するソーダライムガラス製の基板(ソーダライムガラス、セントラル硝子(株)製)を準備した。
(1)蒸着マスク30において、複数のマスク孔32Hを含むマスク部32が、蒸着マスク30を製造する過程では樹脂層41とガラス基板42とに支持され、かつ、蒸着マスク30においてはマスクフレーム31によって支持されている。そのため、マスク部32のみによって蒸着マスク30が構成される場合と比べて、マスク部32の厚さを薄くすることができる。それゆえに、マスク孔32Hにおける一方の開口と他方の開口との距離を短くすることで、蒸着マスク30を用いて形成されたパターンにおける構造上の精度を向上し、かつ、マスクフレーム31が有する剛性によって蒸着マスク30の取扱性を向上することができる。
・樹脂層41の形成材料は、マスク部32からの除去が可能であれば、ポリイミド以外の合成樹脂であってもよい。なお、マスク部32、樹脂層41、および、ガラス基板42の積層体において熱による反りが生じることを抑える上では、上述した理由から樹脂層41がポリイミド製であることが好ましい。
Claims (3)
- 鉄‐ニッケル系合金から形成され、蒸着対象と接触するための接触面と前記接触面とは反対側の非接触面とを備えたシート状を有するマスク部であって、前記非接触面に位置する第1開口から前記接触面に位置する第2開口までを貫通する複数のマスク孔を有し、前記第2開口の大きさが前記第1開口の大きさよりも小さい前記マスク部と、
前記非接触面と溶着した溶着痕を備えるマスクフレームであって、前記マスク部よりも高い剛性を有し、かつ、前記複数のマスク孔を囲む枠状を有した前記マスクフレームと、を備え、
前記溶着痕は、
前記マスク部の前記接触面に接合された樹脂層と、前記樹脂層を介して前記マスク部に接合されたガラス基板とを通じて、前記マスク部のうち、前記マスクフレームに接する部分に対して照射されたレーザー光線による前記マスクフレームと前記マスク部との溶着によって形成され、
前記ガラス基板および前記樹脂層は、前記マスクフレームに溶着された前記マスク部から剥離される
蒸着マスク。 - 前記マスク部の厚さは、1μm以上15μm以下である
請求項1に記載の蒸着マスク。 - 前記蒸着マスクは、前記マスク部を複数備え、各マスク部は、前記マスクフレームに溶着されている
請求項1または2に記載の蒸着マスク。
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