CN109564244B - 检查辅助具、基板检查装置及检查辅助具的制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明的检查辅助具、基板检查装置及检查辅助具的制造方法可通过简单的构成使探针(Pr)的支撑状态稳定。检查辅助具包括：检查侧支撑体，是具有相对向板(51)，所述相对向板(51)是设有与所述基板相对向而配置的相对向面(F)；以及电极侧支撑体(6)，是具有支撑板(61)至支撑板(63)，所述支撑板(61)至支撑板(63)是与位于所述相对向板(51)的与所述相对向面(F)为相反侧处的电极板(9)相对向而配置；支撑板(61)至支撑板(63)是设有插通并支撑探针(Pr)的后端部的探针支撑孔(23)，所述探针支撑孔(23)是相对于与相对向板(51)的相对向面(F)正交的方向的基准线(Z)，沿着以一定角度(θ)倾斜的支撑线(V)而形成，并且具备限制所述探针(Pr)的后端部往与所述支撑线(V)的倾斜方向正交的方向移动的限制面。

Description

检查辅助具、基板检查装置及检查辅助具的制造方法
技术领域
本发明涉及一种检查辅助具、具备所述辅助具的基板检查装置及检查辅助具的制造方法，所述检查辅助具是用以使探针与设于作为检查对象的基板的检查点接触。
背景技术
检查辅助具是用于从检查装置经由探针(检查销)对由基板构成的检查对象所具有的检查对象部(***)供应电力(电信号等)，并且通过检测来自检查对象的电输出信号，检测检查对象的电特性或实施动作试验等。
就作为检查对象的基板而言，例如有印刷配线基板、可挠性基板、陶瓷多层配线基板、液晶显示器或等离子体显示器等用的电极板、半导体封装用的封装基板或薄膜载体等各种基板、半导体晶片、半导体芯片或芯片尺寸封装(Chip size package，CSP)等的半导体基板。本说明中，将设定于所述基板的检查对象部统称为“检查点”。
例如，将集成电路(Integrated Circuit，IC)等半导体电路或电阻器等电气、电子零件搭载于作为检查对象的基板时，配线、焊料凸块等电极是成为检查点。此时，为了保障检查点能够将电信号正确地传达至所述搭载零件，是对在安装电气、电子零件前的印刷配线基板、液晶面板、等离子体显示面板等形成的配线上的规定的检查点间的电阻值等的电特性进行测量，从而判断配线的良莠。
具体而言，通过使电流供应用的探针及电压测量用的探针与检查对象的各检查点抵接，从所述电流供应用的探针对检查点供应测量用电流，并且测量抵接于检查点的电压测量用的探针的前端间的配线所产生的电压，依据所述供应电流及所测量的电压来算出规定的检查点间的配线的电阻值，从而进行所述配线的良莠的判断。
再者，在使用基板检查装置进行检查对象的检查时，所进行的控制是使辅助具移动手段动作，而在使检查辅助具的检查用探针与成为检查对象的基板的检查点抵接的状态下进行规定的检查。并且，在检查结束时，通过辅助具移动手段使检查辅助具移动而离开检查用基板。
于此，如专利文献1所公开，已知一种点测器(prober)(基板检查装置)，是具有探针与导引板，所述探针是一端部连接于对检查对象的电特性进行检查的检查装置侧，另一端部是连接于所述检查对象，并在规定位置形成有弯曲部，所述导引部是形成有供所述探针的端部插通并予以支撑的插通孔，所述点测器中，通过以朝向检查对象侧成为前端狭窄的方式倾斜的锥面，将所述插通孔形成圆锥状。
并且，将直线状延伸的探针***隔着规定间隔平行配置的二张导引板的贯穿孔后，将探针固定于二张导引板的贯穿孔的内壁，接着使导引板相对移动而在探针形成弯曲部，接着解除至少一张导引板的贯穿孔的固定，然后在二张导引板间嵌入框架体并予以平行地支撑，由此将全部的探针总括地折弯，在相同形状的探针的规定位置形成弯曲部，并使探针的挫曲方向固定，而可防止相邻的探针彼此接触，并且使探针的前端部的倾斜变小。
再者，如专利文献2所公开，已知有一种检查辅助具，所述检查辅助具是具备：前端侧支撑体，是具备前端侧插通孔，所述前端侧插通孔具有朝向检查对象(被检查物)的探针导引方向；后端侧支撑体，是隔着间隔而配置于前端侧支撑体的后方，并具备后端侧插通孔，所述后端侧插通孔是具有相对于前端侧插通孔的探针导引方向而倾斜的探针导引方向；探针是具备弹性且可弯曲，并具有插通前端侧插通孔的前端侧部分及插通后端侧插通孔的后端侧部分，所述前端侧部分的前端可在检查对象侧出没；以及电极，是配置于后端侧支撑体的后方并抵接后端侧部分；探针的前端侧部分是构成为配置于相对于后端侧部分往后端侧插通孔的探针导引方向的倾斜侧偏移的位置，由此在探针的前端抵接于检查对象时平顺地使探针挠曲，而可使探针的中间部分在前端侧支撑体与后端侧支撑体之间倾斜。
并且，通过将探针的前端侧部分配置于相对于后端侧部分往后端侧插通孔的探针导引方向的倾斜侧偏移的位置，使后端侧插通孔的探针导引方向的倾斜的方向与已装设的探针或应装设的探针的倾斜姿势的方向一致，由此使探针可容易地从后端侧支撑体的后方拔出及***，即便未如已知技术那样设置用以使前端侧支撑体与后端侧支撑体沿平面方向位移的机构等复杂的构造，也可容易地进行探针的交换，并且当探针的前端抵接于检查对象时，也可平顺地使探针挠曲。
再者，专利文献2公开有以下构成：在前端侧插通孔及后端侧插通孔的至少一方，设置其探针导引方向与相对向面的正交方向相对地倾斜的倾斜部，并将探针的前端侧部分及后端侧部分的任一方，相对于前端侧部分及后端侧部分的另一方，配置于偏移至倾斜部的倾斜侧的位置，并使探针的中间部分在前端侧支撑体与后端侧支撑体之间倾斜，由此，当探针的前端抵接于检查对象时，可使探针平顺地挠曲(参照图15)。再者，通过使倾斜部的倾斜方向与已被装设的探针的倾斜姿势的方向一致，而使探针可容易地从前端侧支撑体的前方或后端侧支撑体的后方拔出及***，即便未设置如专利文献1所公开的用以使前端侧支撑体与后端侧支撑体沿平面方向位移的机构等复杂的构造，也可容易地进行探针的交换。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利特开平9-274054号公报
专利文献2：日本专利特开2005-338065号公报
发明内容
然而，专利文献1所公开的基板检查装置中，在制造其所搭载的检查辅助具时，将设置成直线状延伸的探针的两端部***二张导引板的贯穿孔后，需进行：将探针固定于二张导引板的贯穿孔内的作业；使导引板相对移动而在所述探针形成规定的弯曲部的作业；将至少一张导引板的贯穿孔的固定解除的作业；以及在二张导引板间嵌入框架体并平行地支撑等繁杂的作业，而无法避免制造成本提高。
另一方面，如专利文献2公开，使后端侧支撑孔的探针导引方向相对于前端侧插通孔的探针导引方向倾斜时，具体而言，如图15所示，从前端侧开始依序层叠多数个支撑板102至支撑板104而构成后端侧支撑体101，并且，在各支撑板102至支撑板104分别形成贯穿孔105至贯穿孔107，并做成使所述贯穿孔105至贯穿孔107的中心往一定方向逐一稍微偏移的状态，由此构成供探针Pr的后端侧部分插通的一个后端侧插通孔。通过此构成，在与检查对象相对向设置的前端侧支撑体201与后端侧支撑体101之间，沿着与前端侧支撑体201的设置方向正交的方向的基准线Z相对地倾斜规定角度的支撑线V来支撑探针Pr的中间部分，而在探针Pr的前端抵接于检查对象时可使探针Pr平顺地挠曲。
并且，通过将探针的前端侧部分配置于相对于后端侧部分沿着后端侧插通孔的探针导引方向的位置，而可使后端侧插通孔的探针导引方向的倾斜方向与被装设的探针或应装设的探针的倾斜姿势的方向一致，因而可使探针容易地从后端侧支撑体的后方拔出及***。因此，即便未如专利文献1的检查辅助具设置用以使前端侧支撑体与后端侧支撑体沿平面方向位移的机构等复杂的构造，也可容易地进行探针的交换。
然而，如所述构成为使设于后端侧支撑体的后端侧支撑孔以使探针的后端侧部分倾斜的状态支撑探针的后端侧部分，且使探针的前端抵接于检查对象之际使探针挠曲时，须使后端侧支撑孔的内径设定为比探针的外径大更多，在探针的后端部容易产生晃动，而有无法稳定且支撑探针的问题。
本发明的目的在于提供一种检查辅助具及基板检查装置，可通过简单的构成使探针的支撑状态稳定。
本发明的一实施方式的检查辅助具是用以使探针接触设于作为检查对象的基板的检查点者，所述检查辅助具包括：检查侧支撑体，是具有相对向板，所述相对向板是设有与所述基板相对向而配置的相对向面；以及电极侧支撑体，是具有支撑板，所述支撑板是与位于所述相对向板的与所述相对向面为相反侧处的电极板相对向而配置；所述相对向板是形成有用以插通所述探针的前端部的探针插通孔，所述电极侧支撑体是对应于所述相对向板的探针插通孔而设有插通并支撑所述探针的后端部的探针支撑孔，所述探针支撑孔是相对于与所述相对向板的相对向面正交的方向的基准线，沿着以一定角度倾斜的支撑线而形成，并且具备限制所述探针的后端部往与所述支撑线的倾斜方向正交的方向移动的限制面。
附图说明
图1是概略表示具备本发明的一实施方式的检查辅助具的基板检查装置的构成的正面图。
图2是表示图1所示的检查辅助具的一例的立体图。
图3是图2所示的检查辅助具的侧面图。
图4是从相对向面侧观看图1、图2所示的检查辅助具的平面图。
图5是图4所示的检查侧支撑体及探针的VI-VI线剖面图。
图6是图4所示的电极侧支撑体、电极板及探针的VI-VI线剖面图。
图7是表示探针支撑孔的详细的剖面立体图。
图8是表示探针的支撑孔的形成方法的说明图。
图9是图6所示的探针及支撑板的IX-IX线剖面图。
图10是表示探针插通孔的变形例的说明图。
图11是从图6的箭头XI-XI方向观看的探针支撑孔的说明图。
图12是表示本发明的第2实施方式的与图7对照的图。
图13是表示探针的支撑状态的与图9对照的图。
图14是表示探针的支撑状态的与图11对照的图。
图15是表示已知例的与图6对照的图。
图16是表示用以说明本发明的效果的比较例的说明图。
图17是表示用以说明本发明的效果的比较例的说明图。
[符号的说明]
1：基板检查装置
4、4U、4L：检查辅助具
5、5’：检查侧支撑体
6：电极侧支撑体
7：连结构件
9：电极板
11：机壳
12：基板固定装置
13：第一***(***)
14：第二***(***)
15：***移动机构
16、16’：探针插通孔
16a、16b、16c、16a’、16b’、16c’：贯穿孔
20：控制部
23、23’：探针支撑孔
23a、23A：第一支撑孔
23b、23B：第二支撑孔
23c、23C：第三支撑孔
51、51’：相对向板
52、53、52’、53’：导引板
61：第一支撑板
62：第二支撑板
63：第三支撑板
81：导体部
82：绝缘部
91：电极
92：缆线
100：基板
101：后端侧支撑体
102至104、102a至104a：支撑板
105至107、105a至107a：贯穿孔
201：前端侧支撑体
F：相对向面
La：激光
LPM：激光加工机
MA、MB、MC：限制面
N：内周面(限制面)
Pr：探针
R：背面
V：支撑线
Z：基准线
θ：角度
S、S’、S1、S2：间隔
T：箭头
具体实施方式
以下，依据附图，说明本发明的实施方式。另外，各图中附加了相同符号的构成是代表相同的构成，并省略其说明。
(第一实施方式)
图1是概略表示具备本发明的一实施方式的检查辅助具的基板检查装置1的构成的正面图。图1所示的基板检查装置1是用以检查形成于检查对象的基板100的电路图案的装置。
图1所示的基板检查装置1是具有机壳11。机壳11的内部空间主要设有基板固定装置12、第一***13、以及第二***14。基板固定装置12是构成为将作为检查对象的基板100固定于规定的位置。
基板100可例如为环氧玻璃基板、可挠性基板、陶瓷多层配线基板、液晶显示器用或等离子体显示器用的电极板、触摸屏用等的透明导电板及半导体封装用的封装基板或薄膜载体等各种基板。基板100是形成有配线图案或焊料凸块等的检查点。
第一***13是位于固定在基板固定装置12的基板100的上方。第二***14是位于固定在基板固定装置12的基板100的下方。第一***13及第二***14是具备后述的电极板9。电极板9是形成有与后述的扫描器电路连接的电极91。第一***13及第二***14的各电极板9是装设有具备多个探针Pr的检查辅助具4U、检查辅助具4L。通过将检查辅助具4U、检查辅助具4L装设于电极板9，各探针Pr是与各电极91接触。结果，使得探针Pr与扫描器电路电性连接。由此，能够检查形成于基板100的电路图案。再者，第一***13及第二***14是具备后述的扫描器电路及用以在机壳11内适当地移动的***移动机构15。
基板检查装置1是具备控制基板固定装置12、第一***13及第二***14等的动作的控制部20。控制部20是使用例如微计算机而构成。控制部20是构成为使第一***13及第二***14适当地移动而使检查辅助具4U、检查辅助具4L的探针Pr接触固定在基板固定装置12的基板100，由此使用检查辅助具4U、检查辅助具4L检查形成于基板100的电路图案。检查辅助具4U、检查辅助具4L由于为相同的构成，故以下将检查辅助具4U、检查辅助具4L总称为检查辅助具4。
图2是图1所示的检查辅助具4的一例的立体图。图3是图2所示的检查辅助具4的侧面图。检查辅助具4是具备：检查侧支撑体5，是与基板100相对向配置；电极侧支撑体6，是在所述检查侧支撑体5的与基板100相反的一侧相对向配置；以及连结构件7，是将所述检查侧支撑体5及电极侧支撑体6隔开规定距离并互相平行地予以保持。
检查侧支撑体5是通过从配置基板100的侧(位于图3的上方侧的前端部侧)起依序层叠相对向板51、及导引板52、导引板53而构成。相对向板51是具有与基板100相对向配置的相对向面F。相对向板51是通过螺栓等可拆装的固定手段而相对于导引板52、导引板53固定成一体。由此，相对向板51是对于导引板52、导引板53以可拆装的方式装设。
电极侧支撑体6是通过从相对向面F的相反侧起依序层叠第一支撑板61、第二支撑板62及第三支撑板63而构成。第一支撑板61的表面亦即后述的图6的位于下方侧的面，设为与后述的形成有电极91的电极板9抵接的背面R。电极91是与包含例如电流计、电压计、电流源、复用器及各种切换电路等未图示的扫描器电路连接。因此，通过将电极板9装设至电极侧支撑体6，探针Pr的后端部是经由电极91而与扫描器电路连接。
从相对向板51的相对向面F至电极侧支撑体6的第一支撑板61的背面R的距离是设定成比探针Pr的长度稍短。由此，如后述的图6所示，将电极板9装设于电极侧支撑体6时，探针Pr的后端部是抵接于电极91且被卡住，并且探针Pr的前端部成为从相对向面F稍微突出的状态。
在此状态下，将基板压接于相对向板51时，探针Pr的前端部被基板100推压，通过与探针Pr的弹性力相应的弹推力，将探针Pr的前端部压接于基板100的检查点。
扫描器电路是因应于例如来自控制部20的控制信号，对与***位对应的一对探针Pr间供应规定的电流，测量与其***位对应的一对探针Pr间的电压，并将其测量结果传送至控制部20。
控制部20依据从扫描器电路取得的测量结果来执行基板检查。具体而言，例如控制部20是使检查辅助具4的检查侧支撑体5压接于基板100，使探针Pr接触于各检查点。然后，控制部20是在检查对象的二个检查点间，通过扫描器电路使预先设定的检查用电流流经接触于一检查点的探针Pr与接触于另一检查点的探针Pr之间，并通过扫描器电路测量接触于所述检查点的探针Pr与接触于所述另一检查点的探针Pr之间的电压的检测电压。控制部20是例如将所述检测电压及从所述检测电压求出的检查点间的电阻值等与预先设定的基准值比较，由此执行基板100的良莠判定。
图4是从相对向面F侧观看图1、图2所示的检查辅助具4的平面图。再者，图5及图6是表示检查支撑体5、电极侧支撑体6及探针Pr的构成的图4的VI-VI线剖面图。如图4所示，检查侧支撑体5是与探针Pr对应而形成有多组用以插通探针Pr的探针插通孔16。
探针Pr是具备例如直径100μm左右的棒状的导体部81，以及覆盖所述导体部81的外周面的绝缘部82。绝缘部82是由合成树脂等绝缘体所形成。绝缘部82可使用通过对导体部81的表面施以绝缘涂覆而形成的绝缘被膜。探针Pr的前端部设有未形成绝缘部82而露出导体部81的露出部，且其前端是形成为半球状。
参照图5，探针Pr的前端部，亦即位于作为检查对象的基板100侧的导体部81的露出部分，是在检查时，插通检查侧支撑体5的探针插通孔16并被支撑，成为探针Pr的前端与形成于基板100的检查点接触并导通的状态。另外，基板100是通过未图示的定位机构定位在相对于检查辅助具4呈水平方向的相对位置的状态下，配置成与相对向面F相对向。
再者，如图5所示，检查侧支撑体5的相对向板51、导引板52、导引板53是分别形成有构成探针插通孔16的贯穿孔16c、贯穿孔16b、贯穿孔16a。通过将所述贯穿孔16c、贯穿孔16b、贯穿孔16a配置成互相连结，形成供探针Pr的前端部插通的一个探针插通孔16。贯穿相对向板51的贯穿孔16c是相当于探针插通孔的一例。
形成于相对向板51、导引板52、导引板53的各贯穿孔16c、贯穿孔16b、贯穿孔16a是分别配设成同心状。图5所示的实施方式中，贯穿孔16a、贯穿孔16c是分别由上方侧的小径部及形成为比所述小径部更大径的下方侧的大径部所构成。贯穿孔16a、贯穿孔16c的小径部是分别由内径比探针Pr的导体部81的外径略大，且比绝缘部82的外径略小的内径形成。再者，贯穿孔16b的内径是比贯穿孔16a、贯穿孔16c的小径部略大。
参照图6，电极板9是从与电极侧支撑体6的装设面为相反侧的背面，以贯穿电极板9的厚度方向的方式，贯入缆线92的一端。电极板9的电极侧支撑体6的装设面是被研磨成平坦，使多条缆线92的端面露出。所述缆线92的端面是设为电极91。各缆线92是连接于扫描器电路。
电极侧支撑体6是形成有将探针Pr的后端部导引至电极91的探针支撑孔23。探针支撑孔23是使探针Pr的前端侧朝向沿着后述的支撑线V的延长线的方向，并支撑探针Pr的后端部。另外，探针Pr的后端部亦即位于电极板9侧的电极侧端部是形成为半球状，并且通过探针支撑孔23导引至电极91的接触面(参照图6)，使探针Pr的后端与电极91导通接触。
图7是表示探针支撑孔23的详细的剖面立体图。如图6及图7所示，构成电极侧支撑体6的第一支撑板61、第二支撑板62及第三支撑板63是对应于检查侧支撑体5的探针插通孔16而设有探针支撑孔23。探针支撑孔23是通过供探针Pr插通而将其后端部导引至电极91侧并予以支撑。具体而言，电极侧支撑体6的第一支撑板61、第二支撑板62及第三支撑板63是分别形成有供探针Pr的后端部插通的第一支撑孔23a、第二支撑孔23b及第三支撑孔23c。通过连通所述第一支撑孔23a、第二支撑孔23b及第三支撑孔23c而构成一个探针支撑孔23。
图8是表示探针支撑孔23的形成方法的说明图，图9是图6所示的探针Pr及电极侧支撑体6的IX-IX线剖面图，图10是表示探针插通孔的变形例的剖面图，图11是从图6的箭头XI-XI方向(基准线Z方向)观看的探针支撑孔的说明图。另外，图11中，为了易于了解探针Pr的支撑状态而图示将各探针支撑孔23c、探针支撑孔23b、探针支撑孔23a的位置往图的左右方向偏移。
探针支撑孔23是沿着支撑线V而形成，所述支撑线V是相对于与相对向板51的相对向面F正交的方向亦即沿图6的上下方向(垂直方向)延伸的基准线Z，以一定角度θ倾斜者。具体而言，如图8所示，在构成电极侧支撑体6的第一支撑板61、第二支撑板62及第三支撑板63叠合并定位的状态下，通过使用激光加工机LPM从第一支撑板61的背面R侧沿着支撑线V照射剖面大致呈真圆形的激光La，对支撑板61至支撑板63进行激光加工。由此，如图6的IX-IX线剖面图的第9图所示，在第一支撑板61、第二支撑板62及第三支撑板63连续形成第一支撑孔23a、第二支撑孔23b及第三支撑孔23c，所述第一支撑孔23a、第二支撑孔23b及第三支撑孔23c是具有比探针Pr的外径略大的内径，并且与支撑线V正交的方向的剖面形状形成为大致真圆形。
另外，也可将激光加工机LPM配置于第三支撑板63侧，从第一支撑板61的背面R的相反侧(图8的上方侧)沿着支撑线V照射激光La，而在第一支撑板61、第二支撑板62及第三支撑板63形成探针支撑孔23。
如此，在第一支撑板61、第二支撑板62及第三支撑板63构成的电极侧支撑体6形成由第一支撑孔23a、第二支撑孔23b及第三支撑孔23c构成的探针支撑孔23，所述第一支撑孔23a、第二支撑孔23b及第三支撑孔23c是沿着相对于与相对向板51的相对向面F正交的方向的基准线Z，以一定角度θ倾斜的支撑线V而连续者。结果，无需如专利文献1的检查辅助具设置用以使前端侧支撑体与后端侧支撑体沿平面方向位移的机构等复杂的构造，通过使探针Pr的后端部插通探针支撑孔23，即可在沿着支撑线V倾斜的状态下支撑探针Pr。
因此，检查基板100时探针Pr的前端抵接于基板100而被推压往电极板9侧，即可容易地使处于倾斜状态的探针Pr的中间部分挠曲。再者，通过将其探针Pr的挠曲方向(弯曲方向)限制于其倾斜方向，可有效防止因检查辅助具4所支撑的多个探针Pr朝任意方向挠曲而导致的各种问题，例如相邻的探针Pr彼此接触而损伤、各探针Pr的倾斜产生偏差而导致接触压不均等的问题。
再者，本实施方式中，如图9所示，由于通过与支撑线V正交的方向的剖面形状形成为大致真圆形的插通孔(第一支撑孔23a、第二支撑孔23b及第三支撑孔23c)来构成探针支撑孔23，故有可经由探针支撑孔23而容易地进行探针Pr的设置作业及交换作业的优点。并且，有能够使电极侧支撑体6稳定地支撑探针Pr的后端部的优点。
例如专利文献2所公开的已知例(参照图15)，亦即在构成检查侧支撑体(后端侧支撑体)的多个支撑板分别形成贯穿孔，并将所述贯穿孔的中心沿一定方向稍微偏移而设置，以由此构成供探针的后端部分***的一个探针支撑孔(后端侧插通孔)的情形时，需要将探针支撑孔的内径设定成比探针的外径大更多，本发明的检查辅助具4则无此需求，故可使探针Pr不产生晃动而稳定地支撑其基端部。
图16、图17是表示用以说明本发明的效果的比较例的说明图。图16是示意表示将形成有垂直方向的圆形的贯穿孔105a至贯穿孔107a的支撑板102a至支撑板104a层叠而成的探针支撑构造的示意图。图17是图16的XVII-XVII线剖面图，亦即从基准线Z的轴方向观看的剖面图。
亦即，图16、图17所示的例中，构成后端侧支撑体的三张支撑板102a至支撑板104a是沿着往与前端侧支撑体的设置方向正交的方向(图16的上下方向)延伸的基准线Z，分别形成有贯穿孔105a至贯穿孔107a。并且，通过使各贯穿孔105a至贯穿孔107a的中心相对于基准线Z往一定方向逐一稍微偏移设置，而构成供探针Pr的后端侧部分插通的一个后端侧插通孔101a。以此方式构成时，沿着基准线Z的贯穿孔105a至贯穿孔107a的形成方向，是与沿着相对于此基准线Z以规定角度倾斜的探针的支撑线V的探针Pr的设置方向不同。结果，为使探针Pr插通贯穿孔105a至贯穿孔107a，需使各贯穿孔105a至贯穿孔107a的内径比探针Pr的外径更加大。
例如，即便为防止探针Pr在探针Pr的倾斜方向亦即图16的左右方向摇晃而将贯穿孔105a至贯穿孔107a的左侧上部及右侧下部与探针Pr的周面的间隔S1设成充分地小，与支撑线V延伸的图16的左右方向正交的方向亦即图17的箭头T所示的上下方向的贯穿孔105a至贯穿孔107a的周面与探针Pr的周面的间隔S2，会变大某种程度的情形仍无法避免，而无法防止探针Pr在此方向摇晃。
相对于此，如本实施方式，通过与支撑线V正交的方向的剖面形状为大致真圆形的插通孔亦即第一支撑孔23a、第二支撑孔23b及第三支撑孔23c来形成探针支撑孔23时，可使探针支撑孔23的内周面与探针Pr的外周面的间隔S在第一支撑板61、第二支撑板62及第三支撑板63的板厚方向全长，且在探针Pr的圆周方向整体上成为大致固定。因此，通过尽可能将间隔S设定成较小的值，除了可有效抑制在与支撑线V延伸的方向对应的左右方向亦即相当于图6所示的第一支撑孔23a、第二支撑孔23b、第三支撑孔23c的平面图的图11的左右方向的晃动，也当然可有效抑制以箭头T所示的图9的上下方向的晃动。
换言之，如图9所示，通过与支撑线V正交的方向的剖面形状为大致真圆形的插通孔(第一支撑孔23a、第二支撑孔23b、第三支撑孔23c)来形成探针支撑孔23，从而通过在图9的上下方向相对向的第一支撑孔23a、第二支撑孔23b及第三支撑孔23c的内周面N、N，来形成有效限制探针Pr的后端部往图11所示的平面图中与支撑线V延伸的左右方向正交的方向亦即图11的上下方向及图9的箭头T所示的方向移动的限制面。
例如，探针Pr具有70μm的外径时，以间隔S成为7.0μm至8.0μm例如成为大致7.5μm的方式，将第一支撑孔23a、第二支撑孔23b及第三支撑孔23c的内径设为84μm至86μm，例如85μm，由此可形成能够使探针Pr的后端部容易插通，并且可有效的防止探针Pr的后端部沿着支撑线V晃动而稳定地支撑探针Pr的后端部的探针支撑孔23。
再者，本实施方式中，由于通过对第一支撑板61、第二支撑板62及第三支撑板63照射激光进行激光加工来形成探针支撑孔23，因此能够容易且适当地形成由与支撑线V正交的方向的剖面形状为大致真圆形的插通孔(第一支撑孔23a、第二支撑孔23b及第三支撑孔23c)所构成的探针支撑孔23。
即，虽然，通过将钻孔加工机的钻针设置为沿着支撑线V的方向而对第一支撑板61、第二支撑板62及第三支撑板63倾斜地抵接，也可形成由与支撑线V正交的方向的剖面形状为大致真圆形的插通孔所构成的第一支撑孔23a、第二支撑孔23b及第三支撑孔23c。然而，由于在此种形况下须将钻针对于第一支撑板61、第二支撑板62及第三支撑板63倾斜地抵接来进行开孔加工，因此钻针容易滑开，而难以进行正确的开孔加工，并且有细径的钻针容易折断的问题。相对于此，如所述使用激光加工机LPM来形成探针支撑孔23时，不会产生所述的问题，而能够容易且适当地形成探针支撑孔23。
尤其如图8所示，具备电极支撑体6的检查辅助具中，在层叠第一支撑板61、第二支撑板62及第三支撑板63并予以定位的状态下，通过沿着支撑线V照射激光而形成探针支撑孔23时，有能够更容易且适当地形成由第一支撑孔23a、第二支撑孔23b及第三支撑孔23c所构成的探针支撑孔23的优点。
另外，本实施方式中，如图5所示，将分别形成于相对向板51、导引板52、导引板53且配设成同心状的贯穿孔16c、贯穿孔16b、贯穿孔16a配置成互相连通，而由此形成供探针Pr的前端部插通的一个探针插通孔16，并不限于此，也能够以与探针支撑孔23相同地构成探针插通孔。
例如图10所示，在将构成检查侧支撑体5’的复数片板的相对向板51’、导引板52’、导引板53’叠合并以定位的状态下，使用激光加工机LPM沿着支撑线V照射剖面大致为真圆形的激光La而进行激光加工，由此在对向板51’、导引板52’、导引板53’形成由与支撑线V正交的方向的剖面形状形成为大致真圆形的贯穿孔16c’、16b’、16a’构成的探针插通孔16’。
以此方式构成时，如所述，具有可使用激光加工机LPM而简单形成探针插通孔16’，并且能够沿着所述支撑线V适当地支撑探针Pr的前端部的优点。
另外，探针支撑孔23、探针插通孔16’不限于通过激光加工而形成的例，也可通过钻孔加工等其他加工手段来加工。
(第二实施方式)
接着，针对本发明的第二实施方式的检查辅助具进行说明。图12是与第一实施方式的图7对照的探针支撑孔的剖面立体图，图13是与图9对照的探针及支撑板的剖面图，图14是与图11对照的探针支撑孔的说明图。另外，图14中，为了易于理解探针Pr的支撑状态而图示将各探针支撑孔23C、探针支撑孔23B、探针支撑孔23A的位置往图的左右方向偏移。
如图14所示，此第二实施方式的检查辅助具中，构成电极侧支撑体6的第一支撑板61、第二支撑板62及第三支撑板63分别形成有第一支撑孔23A、第二支撑孔23B及第三支撑孔23C，所述第一支撑孔23A、第二支撑孔23B及第三支撑孔23C是具有由往支撑线V的倾斜方向(图13与图14的左右方向)延伸的长度相等的一对平行线及一对半圆所构成的长圆形的剖面形状。并且，通过第一支撑孔23A、第二支撑孔23B及第三支撑孔23C构成供探针Pr的后端部插通且予以支撑的探针支撑孔23’。
形成探针支撑孔23’时，例如使用激光加工机LPM从第一支撑板61的背面侧或其相反侧沿着基准线Z照射激光，并往与基准线Z正交的方向(图13的左右方向)使其照射位置仅移动一定距离。由此，形成探针支撑孔23’。具体而言，如图12所示，在第一支撑板61、第二支撑板62及第三支撑板63依序形成第一支撑孔23A、第二支撑孔23B及第三支撑孔23C，并使第一支撑孔23A、第二支撑孔23B及第三支撑孔23C的中心往与基准线Z正交的方向逐一稍微偏移而配设，由此形成沿着相对于基准线Z以规定角度倾斜的支撑线V来支撑探针Pr的后端侧部分的探针支撑孔23’。
另外，第一支撑孔23A、第二支撑孔23B及第三支撑孔23C不限定于通过激光加工而形成的例子。由于第一支撑孔23A、第二支撑孔23B及第三支撑孔23C是相对于第一支撑板61、第二支撑板62及第三支撑板63的基板面沿着垂直的基准线Z而形成，故也可通过钻针对第一支撑板61、第二支撑板62及第三支撑板63垂直地开孔，而可通过钻孔加工容易地以良好精确度形成第一支撑孔23A、第二支撑孔23B及第三支撑孔23C。
第一支撑孔23A、第二支撑孔23B及第三支撑孔23C是具有隔着往图14的左右方向倾斜延伸的支撑线V而相对向的一对平行线，并通过以两平行线所形成的一对平行面来构成限制面MA、限制面MB、限制面MC，所述限制面MA、限制面MB、限制面MC是限制探针Pr的后端部往与支撑线V的倾斜方向正交的方向(图14的上下方向)移动。
具体而言，第一支撑孔23A、第二支撑孔23B及第三支撑孔23C与基准线Z垂直的剖面形状是形成为以半圆分别连结一对平行线的两端的圆角长方形状的长圆形。长圆形的长边方向是沿着支撑线V的倾斜方向。剖面长圆形的长孔的包含一对平行线的一对平行面是成为限制面MA、限制面MB、限制面MC。第一支撑孔23A、第二支撑孔23B及第三支撑孔23C的中心是位于沿着支撑线V的倾斜方向亦即长孔的长边方向，以预先设定的偏移量逐一偏移的位置。以支撑线V通过第一支撑孔23A、第二支撑孔23B及第三支撑孔23C的中心的方式，配置第一支撑孔23A、第二支撑孔23B及第三支撑孔23C。
以所述方式，通过具有沿着支撑线V的倾斜方向延伸的一对平行线的剖面形状为长圆形的第一支撑孔23A、第二支撑孔23B及第三支撑孔23C来形成电极侧支撑体6的探针支撑孔23’，而通过形成第一支撑孔23A、第二支撑孔23B及第三支撑孔23C的一对平行线来构成限制探针的后端部往与支撑线V的倾斜方向正交的方向移动的一对限制面MA、限制面MB、限制面MC时，例如探针Pr的外径为110μm时，将第一支撑孔23A、第二支撑孔23B及第三支撑孔23C形成为所述限制面MA、限制面MB、限制面MC与探针Pr间形成的间隔S’成为7.0μm至40μm，例如35μm，优选为7.5μm，由此可使处于倾斜状态的探针Pr的中间部分容易挠曲。例如探针Pr的外径为110μm时，可将第一支撑孔23A、第二支撑孔23B及第三支撑孔23C的短径设为约125μm，并将第一支撑孔23A、第二支撑孔23B及第三支撑孔23C的长径设为例如200μm左右。
并且，通过将探针Pr本身的挠曲方向(弯曲方向)限制于其倾斜方向，可有效防止因检查辅助具4所支撑的多个探针Pr朝任意方向挠曲而导致的各种问题，例如相邻的探针Pr彼此接触而损伤、各探针Pr的倾斜产生偏差而导致接触压不均等的问题。
另外，可使用钻孔加工机形成第一支撑孔23A、第二支撑孔23B及第三支撑孔23C，来取代使用激光加工机LPM在第一支撑板61、第二支撑板62及第三支撑板63形成长圆形的第一支撑孔23A、第二支撑孔23B及第三支撑孔23C的所述实施方式。不过，使用激光加工机LPM是有能够容易且适当地形成长圆形地第一支撑孔23A、第二支撑孔23B及第三支撑孔23C的优点。
亦即，本发明的一实施方式的检查辅助具是用以使探针接触设于作为检查对象的基板的检查点的检查辅助具，所述检查辅助具包括：检查侧支撑体，是具有相对向板，所述相对向板是设有与所述基板相对向而配置的相对向面；以及电极侧支撑体，是具有支撑板，所述支撑板是与位于所述相对向板的所述相对向面的相反侧的电极板相对向而配置；所述相对向板是形成有用以插通所述探针的前端部的探针插通孔，所述电极侧支撑体是对应于所述相对向板的探针插通孔而设有插通并支撑所述探针的后端部的探针支撑孔，所述探针支撑孔是相对于与所述相对向板的相对向面正交的方向的基准线，沿着以一定角度倾斜的支撑线而形成，并且具备限制所述探针的后端部往与所述支撑线的倾斜方向正交的方向移动的限制面。
再者，本发明的一实施方式的基板检查装置是包括：具有所述构成的检查辅助具；以及***，是对于探针的后端部电性连接，并且对于所述探针的后端部赋予电信号而进行基板检查。
依据所述构成，由于可通过将探针的后端部插通所述探针支撑孔而在探针沿着所述支撑线倾斜的状态支撑探针，故可在所述基板的检查时使探针的中间部分容易挠曲，并且通过将探针的挠曲方向(弯曲方向)限制于其所述倾斜方向，可有效防止因检查辅助具所支撑的多个探针朝任意方向挠曲而导致的各种问题，例如相邻的探针彼此接触而损伤、各探针的倾斜产生偏差而导致接触压不均等的问题。
再者，所述电极侧支撑体优选是通过层叠多片所述支撑板而构成。
依据此构成，具有可通过在层叠所述各支撑板并予以定位的状态下沿着所述支撑线照射所述激光，或通过将形成于各支撑板的探针支撑孔重叠等，而适当形成所述探针支撑孔的优点。
再者，所述电极侧支撑体的探针支撑孔优选为与所述支撑线正交的方向的剖面形状形成为大致真圆形，并通过形成所述大致真圆形的探针支撑孔的圆周面构成所述限制面。
依据此构成，具有经由所述剖面形状形成为大致真圆形的探针支撑孔，可容易地进行探针设置作业及交换作业等，并且可使电极侧支撑体更加稳定地支撑探针的后端部的优点。
再者，所述电极侧支撑体的探针支撑孔也可通过具有往所述支撑线的倾斜方向延伸的一对平行线的剖面形状为长圆形的支撑孔所构成，所述支撑孔是分别形成于所述多片支撑板，且通过形成所述长圆形的支撑孔的一对平行线构成所述限制面，并且，通过将形成于所述多片支撑板的各支撑孔的中心相对于所述基准线往一定方向逐一稍微偏移而配设，从而构成所述探针支撑孔。
据此构成，通过将以所述一对平行线所构成的限制面与所述探针之间形成的间隔形成为适当值，将处于所述倾斜状态的探针的挠曲方向限制于其所述倾斜方向，由此可有效防止因所述检查辅助具所支撑的多个探针朝任意方向挠曲而导致的各种问题。
再者，本发明的一实施方式的检查辅助具的制造方法是在具备所述支撑板的检查辅助具中，通过沿着所述支撑线将所述激光照射于支撑板而形成所述探针支撑孔。
依据此构成，不会产生如使用钻孔加工机而形成所述探针支撑孔时的细径的钻针折断等的问题，而可更容易且适当地形成所述探针支撑孔。
尤其，优选为在具备层叠所述多片支撑板而成的所述支撑板的检查辅助具中，在层叠各支撑板并予以定位的状态下，通过沿着所述支撑线照射所述激光来形成所述探针支撑孔。
依据此构成，不会产生如使用钻孔加工机而形成所述探针支撑孔时的细径的钻针折断等的问题，而可更容易且适当地形成所述剖面形状为大致真圆形的所述探针支撑孔。
如所述构成的检查辅助具及基板检查装置，是以简单的构成而可有效地提升对于检查点的探针的接触稳定性。
本发明是以2016年7月28日提出申请的日本国专利申请案特愿2016-148742为基础，其内容包含于本发明。另外，在实施方式中说明的具体实施方案或实施例仅为用以明确理解本发明技术内容者，本发明不被狭义解释成仅限定于所述具体例。

Claims (5)

1.一种检查辅助具，是用以使探针接触设于作为检查对象的基板的检查点的检查辅助具，所述检查辅助具包括：
检查侧支撑体，是具有相对向板，所述相对向板是设有与所述基板相对向而配置的相对向面；以及
电极侧支撑体，是通过层叠多片支撑板而构成，所述多片支撑板的其中之一是与位于所述相对向板的与所述相对向面为相反侧处的电极板相对向而配置；
所述相对向板是形成有用以插通所述探针的前端部的探针插通孔，
所述电极侧支撑体是对应于所述相对向板的探针插通孔而设有插通并支撑所述探针的后端部的探针支撑孔，
所述探针支撑孔包括相对于与所述相对向板的相对向面正交的方向的基准线而沿着以一定角度倾斜的支撑线分别形成在所述多片支撑板上且为连续的多个支撑孔，并且具备使用连续的所述多个支撑孔的内周面所形成且限制所述探针的后端部往与所述支撑线的倾斜方向正交的方向移动的限制面，其中，
所述支撑板的探针支撑孔的与所述支撑线正交的方向的剖面形状是形成为真圆形，并通过形成所述真圆形的探针支撑孔的圆周面构成所述限制面。
2.一种检查辅助具，是用以使探针接触设于作为检查对象的基板的检查点的检查辅助具，所述检查辅助具包括：
检查侧支撑体，是具有相对向板，所述相对向板是设有与所述基板相对向而配置的相对向面；以及
电极侧支撑体，是通过层叠多片支撑板而构成，所述多片支撑板的其中之一是与位于所述相对向板的与所述相对向面为相反侧处的电极板相对向而配置；
所述相对向板是形成有用以插通所述探针的前端部的探针插通孔，
所述电极侧支撑体是对应于所述相对向板的探针插通孔而设有插通并支撑所述探针的后端部的探针支撑孔，
所述探针支撑孔包括相对于与所述相对向板的相对向面正交的方向的基准线而沿着以一定角度倾斜的支撑线所形成且限制所述探针的后端部往与所述支撑线的倾斜方向正交的方向移动的限制面，
所述电极侧支撑体的探针支撑孔是通过各自具有往所述支撑线的倾斜方向延伸的一对平行线的剖面形状为长圆形的多个支撑孔所构成，所述多个支撑孔是分别形成于多片所述支撑板，且通过形成为长圆形的所述多个支撑孔的多对平行线构成所述限制面，并且，通过将形成于多片所述支撑板的各支撑孔的中心相对于所述基准线往一定方向逐一稍微偏移而配设，从而构成所述探针支撑孔。
3.一种基板检查装置，是包括：权利要求1或2所述的检查辅助具；以及***，是电性连接于探针的后端部，并且对于所述探针的后端部赋予电信号而进行基板检查。
4.一种检查辅助具的制造方法，是制造权利要求1或2所述的检查辅助具，所述制造方法是通过对所述支撑板照射激光进行激光加工而形成所述探针支撑孔。
5.一种检查辅助具的制造方法，是制造权利要求1所述的检查辅助具，所述制造方法是在层叠多片所述支撑板并予以定位的状态下，沿着所述支撑线照射激光，由此形成所述探针支撑孔。
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