CN110716072A - 探针、检查工具及检查装置 - Google Patents

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林明生
长沼正树
谢晋杰
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Abstract

本发明提供一种容易使两个探针与微细的检查点接触的探针及使用所述探针的检查工具、检查装置。探针(Pr)具有大致棒状的形状，所述探针(Pr)包括用于与设于检查对象物(100)的检查点(101)接触的大致圆柱状的前端部(Pa)、与前端部相反的一侧的大致圆柱状的基端部(Pb)、及具有扁平的带状形状且以将前端部(Pa)与基端部(Pb)相连的方式延伸设置的本体部(Pc)，在前端部(Pa)形成有与探针(Pr)的轴心倾斜地交叉的前端面(Pf)。

Description

探针、检查工具及检查装置
技术领域
本发明涉及一种用于检查的探针(probe)、检查工具及检查装置。
背景技术
以前，对于电路基板上的布线图案而言，为了向载置于所述电路基板的集成电路(Integrated Circuit，IC)及其他半导体或电气零件传递电信号，或者向液晶或等离子屏(plasma panel)提供电信号，需要为低电阻，从而测定形成于基板的布线图案的电阻值来检查其是否良好。布线图案的电阻值是通过以下方式使用欧姆定律来测定，即，使探针分别与设于成为检查对象的布线图案的两处的检查点一一接触，并对通过在所述探针间流动规定电平(level)的测定用电流而在所述探针间产生的电压进行测定。
但是，如上文所述，当将与布线图案的两个检查点分别一一接触的探针共用于测定用电流的提供与电压的测定时，存在探针与检查点之间的接触电阻影响测定电压，导致电阻值的测定精度降低等不良状况。因此，分别使电流提供用探针和电压测定用探针与各检查点接触。接着，在与各检查点接触的一对电流提供用探针间提供测定用电流，并对在与各检查点分别接触的一对电压测定用探针间所产生的电压进行测定。通过这种测定方法抑制探针与检查点之间的接触电阻的影响而高精度地测定电阻值的方法已作为四端子测定法而为人所知(例如参照专利文献1)。
[现有技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]日本专利特开2004-184374号公报
发明内容
[发明所要解决的问题]
如上文所述，当使用四端子测定法来进行布线图案的检查时，需要使电流提供用探针及电压测定用探针此两个探针与每个检查点接触。另一方面，近年来电路基板的微细化进步，成为检查点的垫(pad)或电极等变小，结果难以使两个探针与一个检查点接触。
本发明的目的在于提供一种容易使两个探针与微细的检查点接触的探针及使用所述探针的检查工具、检查装置。
[解决问题的技术手段]
本发明的探针具有大致棒状的形状，所述探针包括：大致圆柱状的前端部，用于与设于检查对象物的检查点接触；与所述前端部相反的一侧的基端部；及本体部，具有扁平的带状(ribbon)形状，以将所述前端部与所述基端部相连的方式延伸设置，且在所述前端部形成有与所述探针的轴心倾斜地交叉的前端面。
根据所述结构，在探针的前端部形成有与探针的轴心倾斜地交叉的前端面，因而前端面的顶部、也就是探针的顶部位于偏离轴心的位置。因此，若将两根所述探针排列成以顶部彼此最接近的方式相邻接的朝向并与检查点接触，则能够使顶部彼此的距离短于两探针的轴心间的距离。其结果为，容易使两个探针与微细的检查点接触。进而，前端部与基端部通过具有扁平的带状形状的本体部而连结，因而若使所述探针挠曲，则会在带状形状的厚度方向挠曲。于是，通过探针的挠曲方向来规定探针的旋转角度。其结果，容易使一对探针位于以顶部彼此最接近的方式相邻接的朝向。
而且，优选在所述前端面的侧方的两边缘部，形成有与所述前端部的周面相连的前端变窄的倒角面。
当与探针的轴心倾斜地交叉的前端面为将大致圆柱状的前端部平坦地切断的形状时，前端面的相对于轴心而左右的前端侧的两边缘部与前端部的周面所成的角度成为锐角。因此，前端面的侧方前端侧的两边缘部的厚度变薄，结果可能强度降低而被削去，或所述被削去的部分成为颗粒而污损检查对象物。因此，根据所述结构，对前端面的侧方的两边缘部进行所谓倒角加工，形成有与前端部的周面相连的前端变窄的倒角面，因而降低前端面的边缘部被削去，或所述被削去的部分成为颗粒而污损检查对象物的可能性。
而且，优选所述前端面的宽度方向、与所述本体部的所述带状形状的宽度方向为大致相同方向。
根据所述结构，当将探针挠曲而保持时，在带状形状的厚度方向产生挠曲，因而能够规定探针的朝向(旋转角)。另外，前端面的宽度方向、与带状形状的宽度方向为大致相同方向，因而前端面朝向挠曲方向。其结果为，容易将两根探针排列成以顶部彼此最接近的方式相邻接的朝向。
而且，优选所述前端面的宽度方向、与所述本体部的所述带状形状的宽度方向大致正交。
根据所述结构，当将探针挠曲而保持时，在带状形状的厚度方向产生挠曲，因而能够规定探针的朝向(旋转角)。另外，前端面的宽度方向、与带状形状的宽度方向大致正交，因而前端面朝向相对于挠曲方向而正交的方向。其结果为，容易将两根探针排列成以顶部彼此最接近的方式相邻接的朝向。
而且，优选所述本体部以向相对于所述带状形状的宽幅面而大致正交的方向突出的方式弯曲。
根据所述结构，探针预先具有经弯曲的形状，因而在将探针组装至支撑构件的组装作业时，容易将探针的前端面组装成顶部彼此最接近地相邻接的正确朝向。
而且，本发明的检查工具包括：多根所述探针；及保持构件，将所述多个探针中彼此邻接的每两根所述探针设为一对，在使所述一对探针向相对于所述带状形状的宽幅面而大致正交且相同的方向挠曲的状态下，将所述多个探针保持为所述一对探针彼此以所述前端面的顶部彼此最接近的方式相邻接的朝向。
根据所述结构，利用保持构件将一对探针排列成以顶部彼此最接近的方式相邻接的朝向并保持，因而顶部彼此的距离短于两探针的轴心间的距离。其结果为，容易使两个探针与微细的检查点接触。
而且，优选所述基端部的与所述轴心正交的宽度方向的尺寸大于与所述宽度方向正交的厚度方向，所述保持构件具备限制板，所述限制板形成有供所述多个探针的所述基端部分别***的限制孔，所述各限制孔的与深度方向正交的第一方向的长度大于所述基端部的所述宽度方向的尺寸，且与所述第一方向正交的第二方向的长度小于所述基端部的所述宽度方向的尺寸。
根据所述结构，通过在限制孔内嵌入基端部，而阻止探针的旋转，因而容易将一对探针排列成以顶部彼此最接近的方式相邻接的朝向并保持。
而且，本发明的检查工具包括：多个探针，具有大致棒状的形状，所述探针具备用于与设于检查对象物的检查点接触的大致圆柱状的前端部、与所述前端部相反的一侧的基端部、及以将所述前端部与所述基端部相连的方式延伸设置的本体部，在所述前端部形成有与所述棒状的轴心倾斜地交叉的前端面，所述基端部的与所述轴心正交的宽度方向的尺寸大于与所述宽度方向正交的厚度方向；及保持构件，将所述多个探针中彼此邻接的每两根所述探针设为一对，将所述多个探针保持为所述一对探针彼此以所述前端面的顶部彼此最接近的方式相邻接的朝向，所述保持构件具备限制板，所述限制板形成有供所述多个探针的所述基端部分别***的限制孔，所述各限制孔的与深度方向正交的第一方向的长度大于所述基端部的所述宽度方向的尺寸，且与所述第一方向正交的第二方向的长度小于所述基端部的所述宽度方向的尺寸。
根据所述结构，利用保持构件将一对探针排列成以顶部彼此最接近的方式相邻接的朝向并保持，因而顶部彼此的距离短于两探针的轴心间的距离。其结果为，容易使两个探针与微细的检查点接触。进而，通过在限制孔内嵌入基端部，而阻止探针的旋转，因而容易将一对探针维持于以顶部彼此最接近的方式相邻接的朝向。
而且，优选所述前端面的宽度方向、与所述基端部的宽度方向为大致相同方向。
根据所述结构，当将一对探针排列成以顶部彼此最接近的方式相邻接的朝向时，所述一对探针的基端部的宽度方向彼此成为平行。其结果为，所述一对探针的基端部彼此的间隔扩大，因而容易使所述一对探针的间隔变窄。
而且，优选所述各限制孔的所述第二方向的长度大于所述本体部的最大宽度。
根据所述结构，能够将探针的前端部侧***限制孔并使本体部穿插，进一步***探针而使基端部位于限制孔内，因而检查工具的组装容易。
而且，优选所述限制板具有所述基端部的前端突出的背面，所述各限制孔配置于距所述背面离开规定距离的位置。
根据所述结构，位于距限制板的背面离开规定距离的位置、也就是距离基端部的前端更远的基端部的位置。其结果为，与在基端部的前端附近的位置限制探针的旋转的情况相比，减少基端部从限制孔脱离而探针旋转的可能性。
而且，本发明的检查装置包括：所述检查工具；及检查处理部，基于通过使所述探针与所述检查点接触而得的电信号，来进行所述检查对象物的检查。
根据所述结构，容易使两个探针与微细的检查点接触，因而容易进行利用四端子测定法的检查。
[发明的效果]
这种结构的探针、检查工具及检查装置容易使两个探针与微细的检查点接触。
附图说明
图1是概略性地表示具备本发明的一实施方式的检查工具的检查装置的结构的概念图。
图2是概略性地表示具备本发明的一实施方式的检查工具的检查装置的另一例的概念图。
图3是图1、图2所示的探针的一例的正面图及侧面图。
图4是图1、图2所示的探针的一例的正面图及侧面图。
图5是图3、图4所示的探针的前端部分的放大图。
图6是图1所示的检查工具、第一间距转换块及第二间距转换块的截面图。
图7是表示图1、图2所示的检查工具的支撑构件及探针的结构的一例的截面图。
图8是表示预先经弯曲加工的探针的一例的正面图及侧面图。
图9是表示预先经弯曲加工的探针的一例的正面图及侧面图。
图10是表示图7所示的支撑构件及探针的另一例的截面图。
图11是图1、图2所示的探针的另一例的侧面图及正面图。
图12是表示图7所示的支撑构件及探针的结构的另一例的截面图。
图13是图12的XIII-XIII线截面图。
[符号的说明]
1、1a、1b：检查装置
3、3D、3U：检查工具
4、4D、4U：***
6：试样台
6a：载置部
6b：基板固定装置
8：检查处理部
31、31a：支撑构件
32：检查侧支撑体
33、33a：电极侧支撑体
34：连结构件
35：限制孔
36：间隔孔
37：大径孔
38、41：小径部
39、40：大径部
51：第一间距转换块
52：第二间距转换块
53：连接板
100：检查对象物
101：检查点
321：底板
322：相向板
323：导引板
324：探针穿插孔
331：支撑板
332：间隔板
333、333a、333b：探针支撑孔
335：限制板
336：贯通孔
337：连通孔
351：孔本体部
352、353：扩张孔部
361、512：布线
362、511：电极
A：侧面图
B：正面图
C：轴心
D：直径
F1：相向面
F2：背面
Fa：倒角面
Fc：倾斜面
Fw：宽幅面
K：宽度方向
L1、L2：长度
L3、W、Wd：宽度
Pa：前端部
Pb、Pd：基端部
Pc、Pe：本体部
Pf：前端面
Pp、Pdp：顶部
Pr、Pr1、Pr2、Pr1a、Pr1b、Pr2a、Pr2b、Pr3：探针
Ps：周面
T、Td：厚度
X、Y、Z：方向
具体实施方式
以下，基于附图对本发明的实施方式进行说明。此外，各附图中标注相同符号的结构表示为相同结构，将其说明省略。
(第一实施方式)
图1是概略性地表示具备本发明的一实施方式的检查工具的检查装置1的结构的概念图。检查装置1相当于检查装置的一例。图1所示的检查装置1是用于对形成于检查对象物100的电路进行检查的检查装置。
检查对象物100例如为半导体晶片。检查对象物100例如在硅等的半导体基板形成有多个与半导体芯片对应的电路。此外，检查对象物也可为半导体芯片、芯片尺寸封装(Chip size package，CSP)、半导体元件(IC：Integrated Circuit)等电子零件，除此以外，只要成为进行电检查的对象即可。
图1所示的检查装置1具备***4、试样台6及检查处理部8。在试样台6的上表面，设有载置检查对象物100的载置部6a，试样台6是以将检查对象的检查对象物100固定于规定位置的方式构成。
载置部6a例如可升降，可使试样台6内收容的检查对象物100上升至检查位置，或将经检查的检查对象物100储存在试样台6内。而且，载置部6a例如可使检查对象物100旋转而使定向平面(orientation flat)朝向规定方向。而且，检查装置1具备省略附图的机械臂(robot arm)等搬送机构，通过此搬送机构将检查对象物100载置于载置部6a，或将经检查的检查对象物100从载置部6a搬出。
***4具备检查工具3、第一间距转换块51、第二间距转换块52及连接板53。检查工具3是用于使多个探针Pr与检查对象物100接触而进行检查的工具，例如构成为所谓的探针卡(probe card)。
在检查对象物100形成有多个芯片。在各芯片形成有多个垫或凸块(bump)等检查点。检查工具3与形成于检查对象物100的多个芯片中的一部分区域(例如图1中以阴影线表示的区域，以下称为检查区域)对应，并以与检查区域内的各检查点对应的方式保持多个探针Pr。
当使探针Pr与检查区域内的各检查点接触而所述检查区域内的检查结束时，载置部6a使检查对象物100下降，试样台6平行移动而使检查区域移动，载置部6a使检查对象物100上升，使探针Pr与新的检查区域接触而进行检查。这样，通过一边使检查区域依次移动一边进行检查，而执行整个检查对象物100的检查。
此外，图1是从容易理解发明的观点而简略及概念性地表示检查装置1的结构的一例的说明图，关于探针Pr的根数、密度、配置或***4及试样台6的各部的形状、大小的比率等，也简略化、概念化而记载。例如，从容易理解探针Pr的配置的观点来看，相较于一般的半导体检查装置而将检查区域强调得更大来进行记载，检查区域也可更小或也可更大。
连接板53构成为可装卸第二间距转换块52。在连接板53，形成有与第二间距转换块52连接的省略附图的多个电极。连接板53的各电极例如通过省略附图的电缆或连接端子等而与检查处理部8电连接。第一间距转换块51及第二间距转换块52是用于将探针Pr相互间的间隔转换为连接板53的电极间距的间距转换构件。
检查工具3具备后述的具有前端部Pa及基端部Pb的多个探针Pr、以及使前端部Pa或基端部Pb朝向检查对象物100而保持多个探针Pr的支撑构件31。
在第一间距转换块51，设有与各探针Pr的基端部Pb或前端部Pa接触而导通的后述的电极511。***4具备省略附图的连接电路，此连接电路经由连接板53、第二间距转换块52及第一间距转换块51，将检查工具3的各探针Pr与检查处理部8电连接，或切换其连接。
由此，检查处理部8可经由连接板53、第二间距转换块52及第一间距转换块51对任意的探针Pr提供检查用信号，或从任意的探针Pr检测信号。关于第一间距转换块51及第二间距转换块52的详情，将于后述。
而且，检查装置不限于半导体检查装置，例如也可为检查基板的基板检查装置。
图2是概略性地表示具备本发明的一实施方式的检查工具的检查装置1a的结构的概念图。图2所示的检查装置1a为对形成于作为检查对象物100的一例的基板的电路图案进行检查的基板检查装置。
检查对象物100例如可为印刷布线基板、玻璃环氧基板、柔性基板、陶瓷多层布线基板、半导体封装用的封装基板、***式基板(interposer substrate)、膜载体(filmcarrier)等基板，也可为液晶显示器、电致发光(EIectro-Luminescence，EL)显示器、触摸屏显示器等显示器用的电极板或触摸屏用等的电极板，也可为半导体晶片、半导体芯片、CSP(Chip size package)等半导体基板，可为各种基板。此外，检查对象物不限于基板，例如也可为半导体元件(IC：Integrated Circuit)等电子零件，除此以外，只要成为进行电检查的对象即可。
图2所示的检查装置1a具备***4U、***4D、基板固定装置6b及检查处理部8。基板固定装置6b是以将检查对象的检查对象物100固定于规定位置的方式构成。***4U、***4D具备检查工具3U、检查工具3D。***4U、***4D通过省略附图的驱动机构，可使检查工具3U、检查工具3D在彼此正交的X、Y、Z的三轴方向移动，进而可使检查工具3U、检查工具3D以Z轴为中心转动。
***4U位于固定于基板固定装置6b的检查对象物100的上方。***4D位于固定于基板固定装置6b的检查对象物100的下方。***4U、***4D构成为可装卸用于对形成于检查对象物100的电路图案进行检查的检查工具3U、检查工具3D。检查工具3U、检查工具3D可为用于检查半导体晶片等的所谓探针卡。以下，将***4U、***4D统称为***4。
检查工具3U、检查工具3D分别具备后述的具有前端部Pa及基端部Pb的多个探针Pr、使前端部Pa朝向检查对象物100而保持多个探针Pr的支撑构件31、以及底板(baseplate)321。在底板321，设有与各探针Pr的基端部Pb接触而导通的省略附图的电极。***4U、***4D具备省略附图的连接电路，此连接电路经由底板321的各电极将各探针Pr的基端部Pb与检查处理部8电连接，或切换其连接。
探针Pr整体具有大致棒状的形状。在支撑构件31，形成有支撑探针Pr的多个贯穿孔。各贯穿孔是以与设定于成为检查对象的检查对象物100的布线图案上的检查点的位置对应的方式配置。由此，使探针Pr的前端部Pa与检查对象物100的检查点接触。例如，多个探针Pr是以与格子的交点位置对应的方式配设。使相当于所述格子的框架的方向与彼此正交的X轴方向及Y轴方向一致。关于检查点，例如设为布线图案、焊料凸块、连接端子等。
检查工具3U、检查工具3D除了探针Pr的配置不同的方面及向***4U、***4D的安装方向上下相反的方面以外，彼此同样地构成。以下，将检查工具3U、检查工具3D统称为检查工具3。检查工具3可根据检查对象的检查对象物100而更换。
图3、图4表示作为图1、图2所示的探针Pr的一例的探针Pr1、探针Pr2的侧面图A及正面图B。以下，将探针Pr1、探针Pr2统称为探针Pr。图3、图4所示的探针Pr整体具有大致棒状的形状。探针Pr具有大致圆柱状的前端部Pa、与前端部Pa相反的一侧的大致圆柱状的基端部Pb、及具有扁平的带状(ribbon)形状且以将前端部Pa与基端部Pb相连的方式延伸设置的本体部Pc。
关于探针Pr，能够将具有导电性的金属材料等例如大致圆柱形状的线材(导线)，通过压制加工等加工成扁平的带状形状而得的部分用作本体部Pc，将其两侧的未经压制的部分用作前端部Pa及基端部Pb。在前端部Pa，形成有与探针Pr的轴心C(长度方向)倾斜地交叉的前端面Pf。
通过将本体部Pc设为扁平的带状形状，本体部Pc在与宽幅面Fw正交的方向(厚度T方向)容易挠曲，且在宽度W方向不易挠曲。
前端部Pa及基端部Pb的直径D例如为20μm～100μm，例如为大致50μm。本体部Pc的宽度W例如为50μm～110μm，例如为大致70μm。本体部Pc的厚度T例如为10μm～90μm，例如为大致30μm。
关于图3所示的探针Pr1，前端面Pf的宽度方向K与本体部Pc的带状形状的宽度W方向大致相同(平行)。关于图4所示的探针Pr2，前端面Pf的宽度方向K与本体部Pc的带状形状的宽度W方向大致正交。
图5是图3、图4所示的探针Pr的前端部Pa的前端部分的放大图。在前端部Pa的前端面Pf的侧方的两边缘部，形成有与前端部Pa的周面Ps相连的前端变窄的倒角面Fa。
例如，通过将大致圆柱状的前端部Pa的前端倾斜地切断或切削而形成倾斜面Fc，并对所述倾斜面Fc的角进行倒角加工形成倒角面Fa，而能够形成前端面Pf。
此外，在前端面Pf也可未必形成有倒角面Fa。但是，例如在将倾斜面Fc直接设为前端面Pf时，在倾斜面Fc的角部出现薄且刚性低的部分。因此，当将探针Pr用于基板检查时，可能刚性低的部分被削去而抵接于检查点的前端部Pa的顶部Pp的形状变形，或被削去的部分成为颗粒而污损检查对象物100。因此，更优选在前端面Pf形成有倒角面Fa。
前端面Pf两侧的倒角面Fa彼此在顶部Pp所成的角度为50度～70度左右，例如为大致60度。
图6是图1所示的检查工具3、第一间距转换块51及第二间距转换块52的截面图。此外，图2所示的检查装置1a的情况下，代替图6所示的第一间距转换块51及第二间距转换块52而安装有底板321。
图6中，以将检查工具3与第一间距转换块51分离的状态来表示。检查侧支撑体32具有与检查对象物100相向地配置的相向面F1。电极侧支撑体33具有与第一间距转换块51的下表面密接的背面F2。探针Pr的基端部Pb的顶部Pdp从背面F2略微突出。
第一间距转换块51及第二间距转换块52分别例如具有在轴向扁平的大致圆筒形状。在与背面F2密接的第一间距转换块51的下表面，与各探针Pr的顶部Pdp的配置对应地形成有多个电极511。在第一间距转换块51的上表面，形成有相较于多个电极511扩宽间隔而配置的多个电极。第一间距转换块51的下表面的电极511与上表面的电极经布线512连接。
在第二间距转换块52的下表面，与第一间距转换块51上表面的电极配置对应地形成有多个电极。在第二间距转换块52的上表面，形成有与所述的连接板53的电极配置对应地形成的多个电极362。第二间距转换块52的下表面的电极与上表面的电极362经布线361连接。
由此，通过组装检查工具3、第一间距转换块51及第二间距转换块52并将第二间距转换块52安装于连接板53，而检查处理部8可对各探针Pr输入输出信号。
第一间距转换块51及第二间距转换块52例如能够使用多层有机(Multi-LayerOrganic，MLO)或多层陶瓷(Multi-Layer Ceramic，MLC)等的多层布线基板而构成。
图7是表示图1、图2所示的检查工具3(3U)的支撑构件31的结构的一例的截面图。图7表示将图1、图2所示的支撑构件31以X-Z平面切断的截面。图7中，表示使探针Pr的顶部Pp与检查对象物100的检查点101接触的状态。关于检查工具3U的支撑构件31，省略图示。图7所示的探针Pr1a、探针Pr1b为所述的探针Pr1，探针Pr2a、探针Pr2b为所述的探针Pr2。
支撑构件31具备与检查对象物100相向地配置的检查侧支撑体32、相向配置于所述检查侧支撑体32的与检查对象物100侧相反的一侧的电极侧支撑体33、及将这些检查侧支撑体32及电极侧支撑体33空开规定距离而彼此平行地保持的连结构件34。
检查侧支撑体32是通过将相向板322与导引板323层叠而构成。相向板322具有与检查对象物100相向地配置的相向面F1。相向板322通过螺栓等可拆装的固定部件而一体地固定于导引板323。
在检查侧支撑体32，形成有供探针Pr的前端部Pa穿插的多个探针穿插孔324。各探针穿插孔324相对于设于检查对象物100的多个检查点101分别导引探针Pr的顶部Pp。
电极侧支撑体33是将支撑板331与间隔板332依次从与相向面F1相反的一侧层叠而构成。支撑板331的与相向面F1相反的一侧的面设为背面F2。在电极侧支撑体33，形成有与多个探针穿插孔324对应的多个探针支撑孔333。将探针Pr的基端部Pb***探针支撑孔333。使基端部Pb的前端从背面F2略微突出。由此，使各探针Pr的基端部Pb抵接于所述电极，而可与检查处理部8导通连接。
关于多个探针Pr，将每两根设为一对。一对探针Pr中，其中一个用作四端子测定法的电流提供用探针，另一个用作电压测定用探针。图7中，将由虚线包围的两根探针Pr1a、探针Pr1b设为一对，将两根探针Pr2a、探针Pr2b设为一对。
一对探针Pr1a、探针Pr1b在X轴方向邻接。一对探针Pr2a、探针Pr2b在图7中在纸面纵深方向(Y轴方向)邻接，探针Pr2b隐藏在探针Pr2a后。
一对探针Pr1a、探针Pr1b通过支撑构件31而彼此空开微小间隔，且保持为以前端面Pf的顶部Pp彼此最接近的方式相邻接的朝向。一对探针Pr2a、探针Pr2b通过支撑构件31而彼此空开微小间隔，且保持为以前端面Pf的顶部Pp彼此最接近的方式相邻接的朝向。
彼此对应的探针穿插孔324与探针支撑孔333配置于在与相向面F1平行的方向(与Z轴正交的方向)偏离规定距离的位置。由此，彼此对应地在探针穿插孔324***基端部Pb且在探针支撑孔333***前端部Pa的探针Pr因所述偏离而弯曲。
探针Pr通过弯曲而产生弹性。其结果为，能够使探针Pr的顶部Pp相对于检查点101而弹性接触，从而能够提高接触稳定性。
探针Pr的本体部Pc经设为扁平的带状形状，因而如上文所述，在与宽幅面Fw正交的方向(厚度T方向)容易挠曲，且在宽度W方向不易挠曲。因此，当通过探针穿插孔324与探针支撑孔333的偏离使探针Pr弯曲时，各探针Pr以宽幅面Fw相对于探针穿插孔324与探针支撑孔333的偏离方向而垂直的方式，大致自动地使朝向对齐。
因此，如图7所示，当使一对探针Pr1a、探针Pr1b在偏离方向(X轴方向)邻接，并使朝向与以前端面Pf的顶部Pp彼此最接近的方式相邻接的朝向对齐，穿插至支撑构件31而挠曲时，探针Pr1a、探针Pr1b此后保持所述朝向而不旋转，因而能够以容易保持的状态维持于以前端面Pf的顶部Pp彼此最接近的方式相邻接的朝向。
同样地，当使一对探针Pr2a、探针Pr2b在与偏离方向正交的方向(Y轴方向)邻接，并使朝向与以前端面Pf的顶部Pp彼此最接近的方式相邻接的朝向对齐，穿插至支撑构件31而挠曲时，此后探针Pr2a、探针Pr2b保持所述朝向而不旋转，因而能够以容易保持的状态维持于以前端面Pf的顶部Pp彼此最接近的方式相邻接的朝向。
当将一对探针Pr1a、探针Pr1b及一对探针Pr2a、探针Pr2b保持为以前端面Pf的顶部Pp彼此最接近的方式相邻接的朝向时，如图7所示，一对探针Pr1a、探针Pr1b的顶部Pp彼此的间隔短于探针Pr1a、探针Pr1b的轴心间的距离。同样地，一对探针Pr2a、探针Pr2b的顶部Pp彼此的间隔短于探针Pr2a、探针Pr2b的轴心间的距离。其结果为，容易使两个探针Pr与微细的检查点101接触。
此外，支撑构件31只要将一对探针Pr保持为以前端面Pf的顶部Pp彼此最接近的方式相邻接的朝向即可，探针Pr也可未必像探针Pr1那样前端面Pf的宽度方向K与本体部Pc的带状形状的宽度W方向大致相同(平行)，也可不像探针Pr2那样前端面Pf的宽度方向K与本体部Pc的带状形状的宽度W方向大致正交。
但是，通过将探针Pr设为探针Pr1、探针Pr2，支撑构件31只要将一对探针Pr配置成与偏离方向(挠曲方向)平行(X轴方向)或垂直(Y轴方向)即可，因而容易利用支撑构件31保持为以前端面Pf的顶部Pp彼此最接近的方式相邻接的朝向。
而且，未必限于利用探针穿插孔324与探针支撑孔333的位置偏离使图3、图4所示的探针Pr1、探针Pr2弯曲的示例。探针Pr1、探针Pr2也可预先经弯曲加工后，如图7所示的探针Pr1a、探针Pr1b、探针Pr2a、探针Pr2b那样安装于支撑构件31。
图8、图9是表示预先经弯曲加工的探针Pr1a、探针Pr1b、探针Pr2a、探针Pr2b的侧面图A及正面图B。如图7所示，一对探针Pr1a、探针Pr1b在向相同方向弯曲的状态下，前端面Pf所朝向的方向彼此成为相反方向。同样地，一对探针Pr2a、探针Pr2b也在向相同方向弯曲的状态下，前端面Pf所朝向的方向成为相反方向。
因此，对于探针Pr1a、探针Pr1b，如图8所示，以前端面Pf所朝向的方向彼此成为相反方向的方式对本体部Pc进行弯曲加工。同样地，对于探针Pr2a、探针Pr2b，如图9所示，以前端面Pf所朝向的方向彼此成为相反方向的方式对本体部Pc进行弯曲加工。
关于本体部Pc的弯曲加工，例如通过在将本体部Pc压制加工成扁平的带状形状时使用本体部Pc弯曲的模具，而能够同时弯曲。
通过将探针Pr1a、探针Pr1b、探针Pr2a、探针Pr2b预先加工成本体部Pc弯曲的形状，而在支撑构件31的组装作业时，容易将探针Pr1a、探针Pr1b、探针Pr2a、探针Pr2b的前端面Pf组装成顶部Pp彼此最接近地相邻接的正确朝向。
而且，在为了对检查对象物100进行检查而将探针Pr1a、探针Pr1b、探针Pr2a、探针Pr2b的顶部Pp压接于检查点101时，当对顶部Pp施加压力时，有时使探针Pr1a、探针Pr1b、探针Pr2a、探针Pr2b旋转的力发挥作用。即便是此种情况，也通过预先将本体部Pc设为经弯曲的形状，而使探针Pr1a、探针Pr1b、探针Pr2a、探针Pr2b难以旋转。
其结果为，防止在顶部Pp与检查点101接触时顶部Pp移动而接触变得不稳定，或前端面Pf的朝向改变的情况，将前端面Pf保持为正确朝向，并且使顶部Pp与检查点101接触的稳定性提高。
检查处理部8例如具备电源电路、电压计、电流计及微计算机(microcomputer)等。检查处理部8控制省略附图的驱动机构而使***4U、***4D移动、定位，使一对探针Pr1a、探针Pr1b或一对探针Pr2a、探针Pr2b与检查对象物100的各检查点101接触。由此，使四端子测定法所用的电流提供用探针和电压测定用探针与各检查点101接触，经由各探针Pr而将各检查点101与检查处理部8电连接。
所述状态下，检查处理部8经由电流提供用探针在测定对象的两个检查点101间提供电流，经由电压测定用探针来测定所述两个检查点101间的电压。基于所述提供电流及测定电压，利用欧姆定律来算出所述两个检查点101间的电阻值。检查处理部8通过这样检测各检查点101间的电阻值，而执行检查对象物100的检查。
图10是表示图7所示的支撑构件31及探针Pr1a、探针Pr1b的另一例的截面图，表示图8所示的探针Pr1a、探针Pr1b的另一例。如图10所示，探针Pr1a、探针Pr1b也可向越接近基端部Pb则彼此的距离越增大的方向弯曲。即便将探针Pr1a、探针Pr1b设为图10所示那样的形状，也能够获得与图7、图8所示的探针Pr1a、探针Pr1b同样的效果。
(第二实施方式)
接着，对本发明的第二实施方式的检查装置1b进行说明。检查装置1b例如为半导体检查装置或基板检查装置，与检查装置1、检查装置1a同样地以图1、图2表示。检查装置1b与检查装置1a相比，支撑构件31a的结构及探针Pr的形状不同。检查装置1b在其他方面与检查装置1、检查装置1a同样地构成，因而将其说明省略，以下，对本实施方式的特征点进行说明。
图11表示作为图1、图2所示的探针Pr的一例的探针Pr3的侧面图A及正面图B。图11所示的探针Pr3整体具有大致棒状的形状。探针Pr具备大致圆柱状的前端部Pa、与前端部Pa相反的一侧的基端部Pd、及以将前端部Pa与基端部Pd相连的方式延伸设置的本体部Pe。本体部Pe例如具有大致圆柱状的棒状形状。
基端部Pd具有与轴心正交的宽度方向的尺寸(宽度Wd)大于与宽度方向及轴心正交的厚度方向的厚度Td的扁平形状。宽度Wd例如可设为110μm左右，厚度Td例如可设为35μm左右。前端面Pf的宽度方向K、与基端部Pd的宽度Wd的方向设为大致相同方向。基端部Pd的顶部Pdp例如设为曲面形状。此外，顶部Pdp可采用各种形状，此形状不限定于特定形状。
图12是表示图7所示的支撑构件及探针的结构的另一例的截面图。图12表示将图1、图2所示的支撑构件31a以X-Z平面切断的截面的一部分。
关于图12所示的支撑构件31a，电极侧支撑体33a的结构与支撑构件31的电极侧支撑体33不同。支撑构件31a在其他方面与支撑构件31同样地构成，因而将其说明省略，以下，对电极侧支撑体33a的特征点进行说明。
电极侧支撑体33a是将限制板335、支撑板331及间隔板332依次从与相向面F1相反的一侧层叠而构成。限制板335的与相向面F1相反的一侧的面设为背面F2。
在限制板335，形成有与多个探针穿插孔324对应的多个贯穿孔336。在支撑板331，形成有与多个探针穿插孔324对应的多个探针支撑孔333a。在间隔板332，形成有与多个探针穿插孔324对应的多个探针支撑孔333b。将探针支撑孔333a与探针支撑孔333b连通而成为探针支撑孔333。
通过将贯穿孔336、探针支撑孔333a及探针支撑孔333b以相互连通的方式配置，可在将这些孔连通而成的连通孔337***探针Pr3。贯穿孔336、探针支撑孔333a及探针支撑孔333b的中心是以各自稍许偏离的状态配置。由此，整个连通孔337以相对于相向面F1的正交方向而倾斜的方式形成。其结果为，在连通孔337穿插的探针Pr3的基端部Pd附近相对于相向面F1的正交方向而倾斜。
探针Pr3穿插至连通孔337及探针穿插孔324，由支撑构件31a以容易挠曲的方式以倾斜状态支撑。另外，彼此邻接的一对探针Pr3通过支撑构件31a而彼此空开微小间隔，且保持为以前端面Pf的顶部Pp彼此最接近的方式相邻接的朝向。
此外，未必需要使探针Pr3倾斜，贯穿孔336、探针支撑孔333a及探针支撑孔333b的中心位置可一致。而且，连通孔337与探针穿插孔324的中心位置也可一致。
贯穿孔336是从背面F2侧依次将间隔孔36、限制孔35及大径孔37同心地连通而构成。
图13是图12的XIII-XIII线截面图。图13所示的限制孔35包含孔本体部351、孔本体部351的内壁面凹陷成较孔本体部351更为小径的半圆筒状而成的扩张孔部352、及在孔本体部351的内壁面的与扩张孔部352相反的一侧凹陷成较孔本体部351更为小径的半圆筒状而成的扩张孔部353。
图13中表示基端部Pd进入限制孔35的扩张孔部352的状态的截面。
扩张孔部352与扩张孔部353相向的相向方向相当于第一方向的一例，与所述相向方向及限制孔35的深度方向正交的方向相当于第二方向的一例。限制孔35的第一方向的长度L1大于基端部Pd的宽度Wd。限制孔35的第二方向的长度L2小于宽度Wd，且大于本体部Pe的直径D也就是最大宽度。扩张孔部352、扩张孔部353的宽度L3大于基端部Pd的厚度Td。
长度L1大于宽度Wd，且宽度L3大于厚度Td，因而可利用扩张孔部352、扩张孔部353来收容基端部Pd的宽度方向两端部。而且，限制孔35的长度L2小于宽度Wd，因而当在将基端部Pd的宽度方向两端部收容到扩张孔部352、扩张孔部353内的状态下，探针Pr3欲旋转时，基端部Pd与扩张孔部352、扩张孔部353的内壁发生干扰。
其结果为，由连通孔337及探针穿插孔324支撑的探针Pr3的旋转受到阻止，因而支撑构件31a容易将一对探针Pr3配置成以前端面Pf的顶部Pp彼此最接近的方式相邻接的朝向。若能以顶部Pp彼此最接近的方式配置一对探针Pr3，则容易使两个探针与微细的检查点接触。
而且，若长度L2大于直径D，则能够将探针Pr3的前端部Pa从背面F2侧***限制孔35而使本体部Pe穿插，进一步***探针Pr3而使基端部Pd位于限制孔35内，因而检查工具的组装容易。
此外，长度L2也可小于本体部Pe的直径D。此时，只要将探针Pr3的基端部Pd从与背面F2相反的一侧***限制孔35即可。
此外，前端面Pf的宽度方向K、与基端部Pd的宽度Wd的方向未必需要大致相同。但是，假设前端面Pf的宽度方向K、与基端部Pd的宽度Wd的方向并非大致相同方向时，较本体部Pe的直径D更大的宽度Wd朝向一对探针Pr3的邻接方向，因而为了避免基端部Pd彼此的干扰而需要增大邻接间隔。因此，难以使一对探针Pr3对邻接间隔小的一对检查点进行接触。
因此，从容易使一对探针Pr3的邻接间隔(图13的左右方向的邻接间隔)变短的方面来看，更优选将前端面Pf的宽度方向K、与基端部Pd的宽度Wd的方向设为大致相同方向。
而且，通过具备间隔孔36，限制孔35的位置位于以间隔孔36的深度程度而距背面F2离开规定距离的位置、也就是距离顶部Pdp更远的基端部Pd的位置。其结果为，与在顶部Pdp附近的位置限制探针Pr3的旋转的情况相比，基端部Pd从限制孔35脱离而探针Pr3旋转的可能性减小。间隔孔36的深度、即规定距离例如能设为0.2mm左右。
此外，限制板335也可不具备间隔孔36，限制孔35也可贯穿限制板335。而且，探针支撑孔333a、探针支撑孔333b也可为孔径一定且贯穿各板的孔。而且，电极侧支撑体33a也可不具备支撑板331、间隔板332，而仅由限制板335构成电极侧支撑体33a。
探针支撑孔333a是从限制板335侧依次将小径部38、及较小径部38更为大径的大径部39同心地连通而构成。探针支撑孔333b是从支撑板331侧依次将大径部40、及较大径部40更为小径的小径部41同心地连通而构成。
此外，也可设为将探针Pr3的本体部Pe更换为具有扁平的带状形状的本体部Pc的结构。将本体部Pe更换为本体部Pc的探针Pr3双重地获得与所述的探针Pr2、探针Pr3的情况同样的效果。
图13所示的限制孔35例如能够通过对包含树脂材料等的限制板335钻孔加工而形成。具体而言，能够在限制板335通过钻孔加工而形成与扩张孔部352、扩张孔部353对应的两个贯穿孔，并以与所述两个贯穿孔重叠的方式形成较所述两个贯穿孔更为大径的孔本体部351，由此形成限制孔35。而且，加工方式不限于机械钻孔，例如也可为激光加工。而且，限制板335例如也可包含膜构件，例如也可通过激光加工在膜构件形成限制孔35。

Claims (12)

1.一种探针，具有棒状的形状，所述探针包括：
圆柱状的前端部，用于与设于检查对象物的检查点接触；
与所述前端部相反的一侧的基端部；及
本体部，具有扁平的带状形状，以将所述前端部与所述基端部相连的方式延伸设置，
在所述前端部形成有与所述探针的轴心倾斜地交叉的前端面。
2.根据权利要求1所述的探针，其中，在所述前端面的侧方的两边缘部，形成有与所述前端部的周面相连的前端变窄的倒角面。
3.根据权利要求1或2所述的探针，其中，所述前端面的宽度方向、与所述本体部的所述带状形状的宽度方向为相同方向。
4.根据权利要求1或2所述的探针，其中，所述前端面的宽度方向、与所述本体部的所述带状形状的宽度方向正交。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的探针，其中所述本体部以向相对于所述带状形状的宽幅面而正交的方向突出的方式弯曲。
6.一种检查工具，包括：
多个根据权利要求1至5中任一项所述的探针；及
保持构件，将所述多个探针中彼此邻接的每两根所述探针设为一对，在使所述一对探针向相对于所述带状形状的宽幅面而正交且相同的方向挠曲的状态下，将所述多个探针保持为所述一对探针彼此以所述前端面的顶部彼此最接近的方式相邻接的朝向。
7.根据权利要求6所述的检查工具，其中所述基端部的与所述轴心正交的宽度方向的尺寸大于与所述宽度方向正交的厚度方向，
所述保持构件包括限制板，所述限制板形成有供所述多个探针的所述基端部分别***的限制孔，
所述各限制孔的与深度方向正交的第一方向的长度大于所述基端部的所述宽度方向的尺寸，且与所述第一方向正交的第二方向的长度小于所述基端部的所述宽度方向的尺寸。
8.一种检查工具，包括：
多个探针，具有棒状的形状，所述探针包括用于与设于检查对象物的检查点接触的圆柱状的前端部、与所述前端部相反的一侧的基端部、及以将所述前端部与所述基端部相连的方式延伸设置的本体部，在所述前端部形成有与所述棒状的轴心倾斜地交叉的前端面，所述基端部的与所述轴心正交的宽度方向的尺寸大于与所述宽度方向正交的厚度方向；及
保持构件，将所述多个探针中彼此邻接的每两根所述探针设为一对，将所述多个探针保持为所述一对探针彼此以所述前端面的顶部彼此最接近的方式相邻接的朝向，
所述保持构件包括限制板，所述限制板形成有供所述多个探针的所述基端部分别***的限制孔，
所述各限制孔的与深度方向正交的第一方向的长度大于所述基端部的所述宽度方向的尺寸，且与所述第一方向正交的第二方向的长度小于所述基端部的所述宽度方向的尺寸。
9.根据权利要求7或8所述的检查工具，其中，所述前端面的宽度方向、与所述基端部的宽度方向为相同方向。
10.根据权利要求7至9中任一项所述的检查工具，其中，所述各限制孔的所述第二方向的长度大于所述本体部的最大宽度。
11.根据权利要求7至10中任一项所述的检查工具，其中，所述限制板具有所述基端部的前端突出的背面，
所述各限制孔配置于距所述背面离开规定距离的位置。
12.一种检查装置，包括：
根据权利要求6至11中任一项所述的检查工具；及
检查处理部，基于通过使所述探针与所述检查点接触而得的电信号，来进行所述检查对象物的检查。
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