JP2019211228A - 物理量センサ - Google Patents
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 171
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 70
- 239000010408 film Substances 0.000 description 68
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 14
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 230000008859 change Effects 0.000 description 7
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 2
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
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- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
- G01C19/5733—Structural details or topology
- G01C19/574—Structural details or topology the devices having two sensing masses in anti-phase motion
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/84—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by variation of applied mechanical force, e.g. of pressure
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
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Abstract
Description
第1実施形態の物理量センサとして、振動型角速度センサ、すなわちジャイロセンサに適用された例について、図1を参照して述べる。図1では、構成を分かり易くするため、後述する固定部材20を構成する固定部21と浮遊部22との境界部分を便宜的に破線で示している。
第2実施形態の物理量センサについて、振動型角速度センサとして適用された例について、図6〜図9を参照して述べる。
第3実施形態の物理量センサについて、振動型角速度センサとして適用された例について、図10を参照して述べる。図10では、構成を分かり易くするため、固定部材20のうち固定部21と浮遊部22との境界を破線で示している。
なお、上記した各実施形態に示した振動型角速度センサは、本発明の物理量センサの一例を示したものであり、上記の各実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
20 固定部材
21 固定部
22 浮遊部
31、32 外側駆動錘
33、34 内側駆動錘
35、36 検出錘
43 支持部材
50 駆動部
60 検出部
Claims (3)
- 物理量が印加されると、該物理量に応じた信号を出力する物理量センサであって、
一面(11a)を有する支持基板(11)と、
前記一面側で前記支持基板に部分的に固定されている固定部材(20)と、
駆動錘(33 、34)と、検出錘(35、36)と、検出部(60)と、を有してなる可動部(30)と、
前記駆動錘を振動させる駆動部(50)と、を備え、
前記検出部は、前記駆動錘を駆動振動させているときに前記物理量が印加されると、該物理量の印加に伴う前記検出錘の移動に基づいて電気出力を発生させ、
前記固定部材は、前記支持基板に接続された固定部(21)、および前記固定部を挟んだ両側に前記固定部から延設された浮遊部(22)により構成され、
前記浮遊部は、前記一面に対する法線方向において、前記支持基板と隙間を隔てて配置され、浮遊した状態とされており、
前記可動部は、少なくとも前記浮遊部のうち前記固定部を挟んだ両端側の部分を介して支持されている物理量センサ。 - 前記浮遊部が前記固定部から延設された方向を延設方向として、
前記浮遊部は、前記法線方向から見て、前記可動部側の部分の前記延設方向における幅が、前記可動部と反対側の部分の前記延設方向における幅よりも大きい請求項1に記載の物理量センサ。 - 前記浮遊部に支持部材(43)を介して支持されると共に、前記駆動錘を連結する駆動梁(42)をさらに有し、
前記固定部材は、2つ備えられることで一対とされると共に、前記法線方向から見て、前記可動部を挟んだ両側それぞれに配置され、
前記検出錘は、2つ備えられることで一対とされ、
前記駆動錘は、前記検出錘のうちの1つの周囲を囲み、かつ、検出梁(41)を介して前記検出錘と連結される一対の内側駆動錘(33、34)と、一対の前記内側駆動錘を挟んだ両側それぞれに配置される外側駆動錘(31、32)と、を備える構成とされており、
前記駆動梁は、前記内側駆動錘と前記外側駆動錘とを連結しており、
前記駆動部は、前記内側駆動錘と前記外側駆動錘とを互いに逆方向に振動させる請求項1に記載の物理量センサ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018104714A JP6922850B2 (ja) | 2018-05-31 | 2018-05-31 | 物理量センサ |
PCT/JP2019/020442 WO2019230552A1 (ja) | 2018-05-31 | 2019-05-23 | 物理量センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018104714A JP6922850B2 (ja) | 2018-05-31 | 2018-05-31 | 物理量センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019211228A true JP2019211228A (ja) | 2019-12-12 |
JP6922850B2 JP6922850B2 (ja) | 2021-08-18 |
Family
ID=68698780
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018104714A Active JP6922850B2 (ja) | 2018-05-31 | 2018-05-31 | 物理量センサ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6922850B2 (ja) |
WO (1) | WO2019230552A1 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11325915A (ja) * | 1998-05-18 | 1999-11-26 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度センサ |
JP2010096538A (ja) * | 2008-10-14 | 2010-04-30 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度センサ |
JP2014006238A (ja) * | 2012-05-29 | 2014-01-16 | Denso Corp | 物理量センサ |
JP2017026636A (ja) * | 2016-10-12 | 2017-02-02 | セイコーエプソン株式会社 | ジャイロセンサーおよび電子機器 |
-
2018
- 2018-05-31 JP JP2018104714A patent/JP6922850B2/ja active Active
-
2019
- 2019-05-23 WO PCT/JP2019/020442 patent/WO2019230552A1/ja active Application Filing
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11325915A (ja) * | 1998-05-18 | 1999-11-26 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度センサ |
JP2010096538A (ja) * | 2008-10-14 | 2010-04-30 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度センサ |
JP2014006238A (ja) * | 2012-05-29 | 2014-01-16 | Denso Corp | 物理量センサ |
JP2017026636A (ja) * | 2016-10-12 | 2017-02-02 | セイコーエプソン株式会社 | ジャイロセンサーおよび電子機器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6922850B2 (ja) | 2021-08-18 |
WO2019230552A1 (ja) | 2019-12-05 |
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