JP6740965B2 - 振動型角速度センサ - Google Patents
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Description
第1実施形態の振動型角速度センサ、いわゆるジャイロセンサについて説明する。
第2実施形態の振動型角速度センサについて、図5を参照して説明する。
なお、上記した各実施形態に示した振動型角速度センサは、本発明の振動型角速度センサの一例を示したものであり、上記の各実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
20 固定部
30 可動部
31、32 外側駆動錘
33、34 内側駆動錘
35、36 検出錘
40 梁部
41 検出梁
42 駆動梁
43 支持部材
Claims (4)
- 角速度を検出する振動型角速度センサであって、
一面を有する基板(10)と、
前記一面上に形成された固定部(20)と、
前記一面上に前記基板から離れて設けられ、互いに離れて配置された複数の錘(31〜36)と、
前記一面上に前記基板から離れて設けられ、前記複数の錘の一方向の一端側および前記一方向における他端側において前記複数の錘を挟むように配置されると共に、前記複数の錘を介して連結された2つの直線状の駆動梁(42)と、
前記固定部と前記駆動梁とを連結する支持部材(43)と、
前記駆動梁を駆動振動させる駆動部(50)と、
前記駆動梁を駆動振動させているときに、前記角速度が印加されると、該角速度の印加に伴う変位に応じた電気出力を発生させる検出部(60)と、を備え、
前記複数の錘は、一対の検出錘(35、36)と、前記検出錘のうちの1つの周囲を囲むと共に前記検出錘に連結された一対の内側駆動錘(33、34)と、前記一対の内側駆動錘を挟んだ両側それぞれに配置された一対の外側駆動錘(31、32)と、により構成されており、
前記固定部は、前記一面に対する法線方向から見て、前記2つの駆動梁の間に設けられると共に、前記内側駆動錘同士の間および前記内側駆動錘と前記外側駆動錘との間に配置されている振動型角速度センサ。 - 前記固定部は、前記一方向に対して交差する方向に沿って直線上に配置されている請求項1に記載の振動型角速度センサ。
- 前記固定部は、前記2つの駆動梁の間の前記一方向における中心位置に配置されると共に、前記2つの駆動梁のそれぞれに前記支持部材を介して連結されている請求項1または2に記載の振動型角速度センサ。
- 前記固定部は、前記一方向において前記2つの駆動梁のうちの一方との距離が、前記2つの駆動梁のうちの他方との距離と同じになる配置とされている請求項1ないし3のいずれか1つに記載の振動型角速度センサ。
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