JP6604170B2 - 振動型角速度センサ - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態について説明する。本実施形態で説明する振動型角速度センサは、センサ部を構成する基板の表面側および裏面側をそれぞれ支持基板とキャップ層にて覆ってウェハレベルパッケージ(以下、WLP(Wafer Level Package)という)構造としたものである。振動型角速度センサは、例えば、車両の上下方向に平行な中心線周りの回転角速度の検出を行うために用いられるが、勿論、カメラなど車両用以外にも適用できる。
第1実施形態では、溝部11aの深さを一定としたが、多段階の段付溝とすることもできる。例えば、図8に示すように、溝部11aを多段階に深くされた段付溝とし、支持基板11の中央部から外縁部に向けてより深さを深くした構造にできる。そして、溝部11aのうち最も深くされた位置において、支持基板11の厚みが部分的に薄くなったバネ部11bが構成されるようにできる。このような構造としても、第1実施形態と同様の効果を得ることができる。
本発明の第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対して溝部10aおよびバネ部11bの構成を変更したものであり、その他については第1実施形態と同様であるため、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
第2実施形態では、溝部11aによって支持基板11に渦巻形状部11cを構成する場合について説明したが、渦巻形状部11cを支持するバネ部11bは1箇所のみでなく、渦巻形状部11cの周囲において複数箇所に備えるようにしても良い。
本発明の第3実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態に対してキャップ層13などの構成を変更したものであり、その他については第1実施形態と同様であるため、第1実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
第3実施形態のようにキャップ層13も固定部20に接合されるようにする場合、キャップ層13側に外部との接続用の配線構造を構成することもできる。具体的には、図14に示すように、キャップ層13に貫通孔304を形成すると共に、貫通孔304内にTSV305を備える。そして、キャップ層13と固定部20との間にパッド接続部306を備え、TSV305と接続する。更に、キャップ層13の表面側にパッド部307を備え、TSV305と接続する。
本発明は上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した範囲内において適宜変更が可能である。
11 支持基板
11a 溝部
11b バネ部
20 固定部
30 可動部
31、32 駆動兼検出用錘
40 梁部
41 検出梁
42 駆動梁
Claims (6)
- 支持基板(11)と、
前記支持基板に対して固定された固定部(20)と、駆動錘(31、32)および検出錘(31、32)とを有する可動部(30)と、前記駆動錘を前記基板の平面と平行な平面上において移動可能としつつ前記固定部に対して支持する駆動梁(42)、および、前記検出錘を前記基板の平面と平行な平面上において移動可能としつつ前記固定部に対して支持する検出梁(41)を有する梁部(40)と、を有するセンサ部(100)を含み、前記固定部と前記可動部および前記梁部とが前記支持基板に接合される周辺部(10c)によって囲まれたセンサ基板(10)と、
前記周辺部において前記センサ基板に接合されることで、該センサ基板を覆うキャップ層(13)と、を備え、
前記支持基板には、該支持基板のうち前記固定部が接合される部分を囲む溝部(11a)が形成され、該溝部の部分において部分的に薄くなっていることでバネ部(11b)が構成されている振動型角速度センサ。 - 前記溝部は多段階の段付溝とされており、該溝部のうち最も深い位置において前記バネ部が構成されている請求項1に記載の振動型角速度センサ。
- 前記溝部には前記支持基板を貫通する貫通孔が含まれており、前記支持基板のうち前記溝部とされた部分における前記貫通孔ではない部分によって前記バネ部が構成され、該バネ部によって前記支持基板のうち前記固定部に接合される部分および前記センサ部が支持されている請求項1または2に記載の振動型角速度センサ。
- 前記支持基板のうち前記溝部とされた部分における前記貫通孔ではない部分が複数備えられることで前記バネ部が複数箇所に構成され、複数箇所の前記バネ部によって前記支持基板のうち前記固定部に接合される部分および前記センサ部が支持されている請求項3に記載の振動型角速度センサ。
- 前記支持基板には、前記貫通孔が渦巻状とされることで構成された渦巻形状部(11c)が備えられ、該渦巻形状部の一端が前記バネ部によって支持され、該渦巻形状部の他端に前記固定部が接続される部分とされている請求項3に記載の振動型角速度センサ。
- 前記支持基板には、前記貫通孔が渦巻状とされることで構成された渦巻形状部(11c)が備えられ、該渦巻形状部が該渦巻形状部の周囲において複数の前記バネ部によって支持されている請求項3に記載の振動型角速度センサ。
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