JP2019189901A - 真空蒸着装置 - Google Patents
真空蒸着装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019189901A JP2019189901A JP2018082553A JP2018082553A JP2019189901A JP 2019189901 A JP2019189901 A JP 2019189901A JP 2018082553 A JP2018082553 A JP 2018082553A JP 2018082553 A JP2018082553 A JP 2018082553A JP 2019189901 A JP2019189901 A JP 2019189901A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vapor deposition
- vacuum
- evaporation
- plate
- vacuum chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Description
Claims (4)
- 真空チャンバ内に蒸着源を備え、真空雰囲気中にてこの蒸着源で蒸着物質を昇華または気化させ、この昇華または気化した蒸着物質を被蒸着物に蒸着する真空蒸着装置であって、
真空チャンバ内に設けた支持体で片持ち支持されて、蒸着源から被蒸着物に向けて飛散する蒸着物質の飛散範囲を規制する規制板を更に備えるものにおいて、
規制板のうち蒸着源側を向く一方の面を下面、その他方を上面として、規制板の自由端に、下面と鈍角で且つ上面端部と鋭角で交差する傾斜面が形成されていることを特徴とする真空蒸着装置。 - 請求項1記載の真空蒸着装置であって、前記支持体が、前記蒸着源が設置される真空チャンバの壁面に立設された支柱で構成されるものにおいて、
前記支柱に規制板の複数枚が取り付けられ、各規制板を蒸着物質の飛散範囲を制限しない退避位置に夫々移動させる移動手段を更に設けたことを特徴とする真空蒸着装置。 - 請求項1記載の真空蒸着装置であって、前記支持体が回転軸を有し、この回転軸を回転駆動する駆動モータを設けたものにおいて、
前記規制板の複数枚が回転軸回りに間隔を存して取り付けられていることを特徴とする真空蒸着装置。 - 請求項1記載の真空蒸着装置であって、前記支持体が複数本のローラとローラの周囲に無端状に巻き掛けられた搬送ベルトとを有するものにおいて、
前記規制板の複数枚が搬送ベルトに間隔を存して取り付けられていることを特徴とする真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018082553A JP7092543B2 (ja) | 2018-04-23 | 2018-04-23 | 真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018082553A JP7092543B2 (ja) | 2018-04-23 | 2018-04-23 | 真空蒸着装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019189901A true JP2019189901A (ja) | 2019-10-31 |
JP7092543B2 JP7092543B2 (ja) | 2022-06-28 |
Family
ID=68391545
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018082553A Active JP7092543B2 (ja) | 2018-04-23 | 2018-04-23 | 真空蒸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7092543B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2023091409A (ja) * | 2021-12-20 | 2023-06-30 | キヤノントッキ株式会社 | スパッタ装置 |
WO2024070473A1 (ja) * | 2022-09-26 | 2024-04-04 | キヤノントッキ株式会社 | 成膜装置および成膜方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0793752A (ja) * | 1993-09-24 | 1995-04-07 | Kao Corp | 磁気記録媒体の製造装置 |
JPH0798863A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-04-11 | Kao Corp | 磁気記録媒体の製造装置 |
JP2012140695A (ja) * | 2011-01-06 | 2012-07-26 | Nitto Denko Corp | 蒸着装置 |
-
2018
- 2018-04-23 JP JP2018082553A patent/JP7092543B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0793752A (ja) * | 1993-09-24 | 1995-04-07 | Kao Corp | 磁気記録媒体の製造装置 |
JPH0798863A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-04-11 | Kao Corp | 磁気記録媒体の製造装置 |
JP2012140695A (ja) * | 2011-01-06 | 2012-07-26 | Nitto Denko Corp | 蒸着装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2023091409A (ja) * | 2021-12-20 | 2023-06-30 | キヤノントッキ株式会社 | スパッタ装置 |
JP7473520B2 (ja) | 2021-12-20 | 2024-04-23 | キヤノントッキ株式会社 | スパッタ装置 |
WO2024070473A1 (ja) * | 2022-09-26 | 2024-04-04 | キヤノントッキ株式会社 | 成膜装置および成膜方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7092543B2 (ja) | 2022-06-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1803836B1 (en) | Evaporation source and method of depositing thin film using the same | |
JP5551336B2 (ja) | Oledの製造における有機材料の制御可能な供給 | |
KR101450339B1 (ko) | 증발원 및 이것을 이용한 진공 증착 장치 | |
JP6538172B2 (ja) | 蒸着源および蒸着装置並びに蒸着膜製造方法 | |
JP2019189901A (ja) | 真空蒸着装置 | |
WO2018025637A1 (ja) | 真空蒸着装置 | |
KR20180067463A (ko) | 증착 레이트를 측정하기 위한 측정 조립체, 증발 소스, 증착 장치, 및 이를 위한 방법 | |
JP2006225759A (ja) | 真空蒸着装置 | |
JP7078462B2 (ja) | 真空蒸着装置用の蒸着源 | |
JP2023075126A (ja) | 真空チャンバ内で基板をコーティングするための気相堆積装置及び方法 | |
JP2020002388A (ja) | 真空蒸着装置用の蒸着源 | |
KR20210074343A (ko) | 재료를 증발시키기 위한 증발 장치 및 증발 장치를 이용하여 재료를 증발시키기 위한 방법 | |
KR20150139222A (ko) | Oled 증착기 | |
JP2019534938A (ja) | 材料堆積装置、真空堆積システム、及び真空堆積を行う方法 | |
JP6983096B2 (ja) | 真空蒸着装置用の蒸着源 | |
KR102170484B1 (ko) | 진공 증착 장치 | |
JP7141793B2 (ja) | 真空蒸着装置用の蒸着源及び真空蒸着方法 | |
JP7303031B2 (ja) | 真空蒸着装置用の蒸着源 | |
KR20180066740A (ko) | 분사가이더가 마련된 증착챔버 | |
CN111684100B (zh) | 蒸镀装置 | |
KR20210002607A (ko) | 진공 증착 장치용 증착원 | |
TW202323555A (zh) | 蒸鍍裝置和蒸鍍方法 | |
JP2019183248A (ja) | 真空蒸着装置用の蒸着源 | |
JP2021134404A (ja) | 真空蒸着装置用の蒸着源 | |
JP2019214767A (ja) | 真空蒸着装置用の蒸着源 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210310 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211130 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211130 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220105 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220510 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220516 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220607 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220616 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7092543 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |