JP2019053057A - 欠陥検査装置、欠陥検査方法、円偏光板又は楕円偏光板の製造方法及び位相差板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、一実施形態に係る欠陥検査装置の構成を示す模式図である。欠陥検査装置10は、円偏光板12の欠陥を検査する装置であり、光照射部14と、反射部材16と、撮像部18とを備える。
図5は、第1実施形態の変形例1に係る欠陥検査装置10Aの模式図である。欠陥検査装置10Aは、光照射部14が、撮像部18の光軸34に対して交差する光軸(光照射部の光軸)42で検査光28を撮像領域Aに照射するように配置されている点で、欠陥検査装置10と主に相違する。変形例1の光照射部14は、光源30自体であり得る。欠陥検査装置10Aでは、反射部材16は、図5に示したように、円偏光板12の位相差板22に反射部材16の反射面が接するように配置されていることが好ましい。これにより、光照射部14から円偏光板12に照射された検査光28と、反射部材16で反射された光とが、円偏光板12においてほぼ同じ領域を通過できるからである。光照射部14から円偏光板12に照射された検査光28と、反射部材16で反射された光とが、円偏光板12においてほぼ同じ領域を通過可能であれば、反射部材16は、円偏光板12の位相差板22から離れていてもよい。反射部材16は、反射板(ミラー)でもよいし、ロール表面が鏡面加工されたロールでもよい。このロールは、例えば、円偏光板12の搬送に使用され得る。欠陥検査装置10Aは、光照射部14と撮像部18の配置関係以外は、欠陥検査装置10の構成と同じである。よって、欠陥検査装置10A及び欠陥検査装置10Aを用いた欠陥検査方法は、欠陥検査装置10及び欠陥検査装置10を用いた欠陥検査方法と少なくとも同じ作用効果を有する。
図6は、第1実施形態の変形例2に係る欠陥検査装置10Bの模式図である。欠陥検査装置10Bは、光照射部14が、撮像部18の周囲を取り囲む複数の光源30を有する点で、欠陥検査装置10と主に相違する。図6では、図示の都合上、2つの光源30を示しているが、複数の光源30は、撮像部18の光軸34周りに撮像部18を環状に取り囲むように配置されている。これにより、撮像領域Aを均一に照射し易い。光源30の数は、撮像領域Aを均一に照射可能な数であればよい。
第2実施形態として、第1実施形態の検査対象である円偏光板12の製造方法を説明する。図7は、第1実施形態の検査対象である円偏光板の製造方法のフローチャートである。円偏光板12を製造する場合、直線偏光板20と位相差板22とを貼合する貼合工程S01と、円偏光板12の欠陥を検査する欠陥検査工程S02と、を備える。以下、断らない限り、長尺の直線偏光板20と、長尺の位相差板22とを用いて円偏光板12を製造する方法を説明する。
貼合工程S01では、長尺の直線偏光板20と、長尺の位相差板22とをそれぞれ長手方向に搬送しながら、直線偏光板20と位相差板22とを対向させて例えば接着剤層を介してそれらを貼合する。接着剤層は、直線偏光板20と位相差板22とを貼合する際にそれらの間に接着剤を塗布することで形成してもよいし、例えば、直線偏光板20と位相差板22の少なくとも一方に予め接着剤層を形成しておいてもよい。
欠陥検査工程S02では、貼合工程S01で得られた直線偏光板20と位相差板22との積層体である円偏光板12を、長手方向に搬送しながら、搬送経路上に配置された欠陥検査装置10で円偏光板12の欠陥検査を実施する。欠陥検査装置10を利用した欠陥検査方法は、第1実施形態で説明したとおりである。円偏光板12を搬送しながら欠陥検査装置10で、円偏光板12を検査する形態では、円偏光板12の搬送機構の一つを構成する複数のロールの一つを、欠陥検査装置10が有する反射部材16として使用できる。この際、反射部材16としてのロールは、ロール表面が鏡面加工されたロールであることが好ましい。
第3実施形態として、検査対象が、円偏光を生成する位相差板である形態を説明する。図8は、第3実施形態に係る欠陥検査装置10Cの模式図である。欠陥検査装置10Cは、直線偏光が入射されることによって、円偏光を生成する位相差板44の欠陥を検査する装置である。欠陥検査装置10Cの検査対象としての位相差板44は、第1実施形態の検査対象である円偏光板12に用いられる位相差板22であり得る。
Claims (16)
- 直線偏光板と前記直線偏光板に積層された位相差板とを有する円偏光板又は楕円偏光板の欠陥を検査する欠陥検査装置であって、
前記円偏光板又は楕円偏光板が有する前記直線偏光板側に配置されており、前記円偏光板又は楕円偏光板の撮像領域に検査光を照射する光照射部と、
前記円偏光板又は楕円偏光板からみて前記光照射部と反対側に配置されており、前記検査光が照射された前記円偏光板又は楕円偏光板から出力される光を前記円偏光板又は楕円偏光板側に反射する反射部材と、
前記円偏光板又は楕円偏光板からみて前記光照射部と同じ側に配置されており前記撮像領域を撮像する撮像部と、
を備える、欠陥検査装置。 - 直線偏光を円偏光又は楕円偏光に変換して出力する位相差板の欠陥を検査する欠陥検査装置であって、
直線偏光板と、
前記直線偏光板を通して前記位相差板の撮像領域に検査光を照射する光照射部と、
前記位相差板からみて前記光照射部と反対側に配置されており、前記検査光が照射された前記位相差板から出力される光を前記位相差板側に反射する反射部材と、
前記位相差板からみて前記光照射部と同じ側に配置されており前記直線偏光板を通して前記撮像領域を撮像する撮像部と、
を備える、欠陥検査装置。 - 前記光照射部は、前記撮像部の光軸と同軸で前記検査光を前記撮像領域に照射する、
請求項1又は2に記載の欠陥検査装置。 - 前記光照射部は、前記撮像部の光軸に対して交差する光軸で前記検査光を前記撮像領域に照射する、
請求項1又は2に記載の欠陥検査装置。 - 前記光照射部は、前記撮像部の周囲を囲むように配置された複数の光源を有する、
請求項1,2,4の何れか一項に記載の欠陥検査装置。 - 前記反射部材は、表面が鏡面加工されたロールである、
請求項1〜5の何れか一項に記載の欠陥検査装置。 - 直線偏光板と直線偏光板に積層された位相差板とを有する円偏光板又は楕円偏光板の欠陥を検査する欠陥検査方法であって、
光照射部からの検査光を、前記直線偏光板側から、前記円偏光板又は楕円偏光板の撮像領域に照射する光照射工程と、
前記検査光が照射された前記円偏光板又は楕円偏光板から出力される光を前記円偏光板又は楕円偏光板側に反射部材で反射する反射工程と、
前記円偏光板又は楕円偏光板からみて前記光照射部と同じ側に配置されている撮像部で、前記撮像領域を撮像する撮像工程と、
を備える、欠陥検査方法。 - 前記反射部材は、表面が鏡面加工されたロールであり、
長尺の前記円偏光板又は楕円偏光板を前記ロールで搬送しながら、前記光照射工程、前記反射工程及び前記撮像工程を実施する、
請求項7に記載の欠陥検査方法。 - 直線偏光を円偏光又は楕円偏光に変換して出力する位相差板の欠陥を検査する欠陥検査方法であって、
光照射部からの検査光を、直線偏光板を通して前記位相差板の撮像領域に照射する光照射工程と、
前記検査光が照射された前記位相差板から出力される光を前記位相差板側に反射部材で反射する反射工程と、
前記位相差板からみて前記光照射部と同じ側に配置されている撮像部で、前記直線偏光板を通して前記撮像領域を撮像する撮像工程と、
を備える、欠陥検査方法。 - 前記反射部材は、表面が鏡面加工されたロールであり、
長尺の前記位相差板を前記ロールで搬送しながら、前記光照射工程、前記反射工程及び前記撮像工程を実施する、
請求項9に記載の欠陥検査方法。 - 前記光照射工程では、前記撮像部の光軸と同軸で前記検査光を前記撮像領域に照射する、
請求項7〜10の何れか一項に記載の欠陥検査方法。 - 前記光照射工程では、前記撮像部の光軸に対して交差する光軸で前記検査光を前記撮像領域に照射する、
請求項7〜10の何れか一項に記載の欠陥検査方法。 - 前記光照射工程では、前記撮像部の周囲を囲むように配置された複数の光源からの前記検査光を前記撮像領域に照射する、
請求項7〜10,12の何れか一項に記載の欠陥検査方法。 - 請求項7又は8に記載の欠陥検査方法を含み、前記欠陥検査方法で前記円偏光板を検査する、円偏光板の製造方法。
- 請求項7又は8に記載の欠陥検査方法を含み、前記欠陥検査方法で前記楕円偏光板を検査する、楕円偏光板の製造方法。
- 請求項9又は10に記載の欠陥検査方法を含む、位相差板の製造方法。
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