JP2002250695A - 多層フィルム欠陥検出装置 - Google Patents

多層フィルム欠陥検出装置

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JP2002250695A
JP2002250695A JP2001050496A JP2001050496A JP2002250695A JP 2002250695 A JP2002250695 A JP 2002250695A JP 2001050496 A JP2001050496 A JP 2001050496A JP 2001050496 A JP2001050496 A JP 2001050496A JP 2002250695 A JP2002250695 A JP 2002250695A
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JP
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roll
multilayer film
sensor
defect
inspection
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JP2001050496A
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English (en)
Inventor
Yasushi Shigenobu
安志 重信
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Sekisui Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sekisui Chemical Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 検査箇所において多層フィルムを保持するこ
とができるようにする。 【解決手段】 多層フィルム12の搬送ライン11の途
中に設けられ表面に鏡面加工を施されたロール15と、
ロール15へ向けて検査光を照射する照明装置18と、
ロール15および多層フィルム12からの反射光を検出
するセンサ19と、センサ19からの信号に基づき欠陥
を判定する検査装置20とを備えるようにしている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、多層フィルム欠
陥検出装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】透明シートを多数層貼合わせてなる多層
フィルムは、産業の各分野で広く使用されている。この
ような多層フィルムは、図8に示すように、層間に異物
1を混入した場合に、気泡2などの欠陥3を生じること
となる。そこで、このような多層フィルムの欠陥3を検
出する必要が生じるが、従来、この種の欠陥検出装置と
して、特開平8−338242号公報に記載されている
ようなものがある。
【0003】上記公報によれば、被検査体の下面側に照
明装置を配設すると共に被検査体の上面側に検査カメラ
を配設して、照明装置で検査カメラの視野を照明すると
共に、検査カメラで撮影した画像を処理して欠陥3の有
無を判定するようにしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記公
報の欠陥検出装置では、検査箇所において多層フィルム
を保持することができないので、多層フィルムに上下の
バタツキが生じ、その結果、ピントのずれや多層フィル
ムの微小な位置変化などの影響で欠陥3を見落したりす
る可能性があった。
【0005】そこで、本発明の目的は、上記の問題点を
解消し、検査箇所において多層フィルムを保持すること
のできる多層フィルム欠陥検出装置を提供することにあ
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項1に記載された発明では、多層フィルムの搬
送ラインの途中に設けられ表面に鏡面加工を施されたロ
ールと、該ロールへ向けて検査光を照射する照明装置
と、前記ロールおよび多層フィルムからの反射光を検出
するセンサと、該センサからの信号に基づき欠陥を判定
する検査装置とを備えたことを特徴としている。
【0007】このように構成された請求項1にかかる発
明によれば、前記ロールに多層フィルムを保持させた状
態で検査を行うことができるので、ピントのずれや多層
フィルムの微小な位置変化などの影響で欠陥を見落すこ
とを防止して、精度の高い検査を行うことが可能とな
る。
【0008】請求項2に記載された発明では、前記セン
サが、反射光の正反射位置に対して微小にずれた位置に
配置されたことを特徴としている。
【0009】このように構成された請求項2にかかる発
明によれば、前記センサを、反射光の正反射位置に対し
て微小にずれた位置に配置することにより、感度を上げ
て欠陥を効率良く検出することが可能となる。
【0010】
【発明の実施の形態1】以下、本発明の具体的な実施の
形態1について、図示例と共に説明する。
【0011】図1〜図5は、この発明の実施の形態1を
示すものである。
【0012】まず構成を説明すると、図1中、符号11
は、多層フィルム12の搬送ラインであり、複数本のロ
ール13〜16と巻取機17とを備えている。ここで、
多層フィルム12は、例えば、ポリエチレンとアルミと
を重ねた、幅寸法が1000mm、厚みが50μmのも
のなどとする。複数本のロール13〜16は千鳥状に配
設されており、これに帯状の多層フィルム12をジグザ
グ状に通すことにより、多層フィルム12に所要の張力
を付与しつつ搬送して、巻取機17で巻取らせるように
なっている。
【0013】この実施の形態1のものでは、多層フィル
ム12の搬送ライン11の途中に設けられたロール15
の表面にバフ研磨などによる鏡面加工を施す。ここで、
ロール15には、例えば直径300φのものが使用され
ている。
【0014】そして、図2に示すように、このロール1
5の上方に、ロール15へ向けて検査光を照射する照明
装置18を配設する。この照明装置18には、例えば、
蛍光灯式のものを使用する。この蛍光灯式の照明装置1
8は、ロール15の軸線方向、あるいは、多層フィルム
12の幅方向へ向けて多層フィルム12の幅寸法以上の
長さに延設する。
【0015】そして、ロール15の上方に、ロール15
上の検査光の照射位置にほぼ向けて、ロール15および
多層フィルム12からの反射光を検出するセンサ19を
配設する。このセンサ19には、例えば、ラインセンサ
カメラを用いる。そして、このラインセンサカメラは、
ロール15の軸線方向、あるいは、ロール15の幅方向
へ向けて延設する。図2では、フィルム12の幅寸法が
1000mmとなっていることに対応して、ラインセン
サカメラは10台が並設されている。
【0016】ここで、図3に示すように、照明装置18
とセンサ19とは、ロール15の上記照射位置を通る垂
直線に対してほぼ対称の角度となるよう配設する。
【0017】更に、センサ19からの信号に基づき欠陥
を判定する検査装置20を配設する。この検査装置20
では、センサ19からの信号は図4(a)に示すように
1ドット当り256階調で画像化され、この画像が図4
(b)に示すように予め決められた閾値で2値化される
ことにより、図4(c)に示すような2値画像あるいは
図4(d)に示すような2値波形に変換される。この2
値画像あるいは2値波形によって欠陥を検出すると、検
査装置20は警報を発生するようになっている。また、
この検査装置20には、オシロスコープなどの表示装置
21が設けらている。
【0018】次に、この実施の形態1の作用について説
明する。
【0019】搬送ライン11を流れている多層フィルム
12に対し、ロール15の上方から照明装置18により
ロール15へ向けて検査光を照射する。
【0020】そして、鏡面加工されたロール15の表面
で反射され多層フィルム12を透過した反射光をセンサ
19で検出する。
【0021】センサ19で検出した信号を、検査装置2
0が、図4(a)に示すように1ドット当り256階調
で画像化し、この画像を図4(b)に示すように予め決
められた閾値で2値化して、図4(c)に示すような2
値画像あるいは図4(d)に示すような2値波形に変換
する。この2値画像あるいは2値波形によって欠陥を検
出すると、検査装置20は警報を発生する。
【0022】この実施の形態1によれば、鏡面加工を施
したロール15を利用することにより、透過照明による
欠陥検出装置と同等の検査をオンラインで行うことがで
きる。
【0023】しかも、鏡面加工を施したロール15を利
用することにより、ロール15に多層フィルム12を保
持させた状態で検査を行うことができるので、ピントの
ずれや多層フィルム12の微小な位置変化などの影響で
欠陥を見落すことを防止して、精度の高い検査を行うこ
とが可能となる。
【0024】この欠陥検出装置は、図5に示すように、
多層フィルム12と同等の厚み(例えば50μm)のテ
ープ22をロール15に巻き付けてロール15を回転さ
せ、欠陥検出装置で測定して、常に同一の検出レベルが
得られるかどうかをオシロスコープなどの表示装置21
を用いて調べることにより、導入当所の性能を保持して
いるかどうかの性能評価を行うことができる。この際、
テープ22の幅がロール15の幅よりも小さい場合に
は、テープ22の位置をずらせながらロール15の全幅
に対して測定を行うようにする。
【0025】このようにすることにより、特別の評価装
置を設ける必要をなくすことができる。また、現場で簡
単に性能評価を行うことができるため、こまめに性能を
確認することが可能となる。
【0026】
【発明の実施の形態2】図6、図7は、この発明の実施
の形態2を示すものである。なお、実施の形態1と同一
ないし均等な部分については、同一の符号を付して説明
する。
【0027】この実施の形態2のものでは、センサ19
を、反射光の正反射位置に対して微小にずれた位置に配
置するようにしている。
【0028】例えば、照明装置18の入射角を10゜に
設定した場合に、センサ19の検出角を、ロール15上
の照射位置を通る垂直線と対称方向へ10゜±αの角度
に設定する(図6では11゜となっている)。この角度
αは、1゜〜5゜程度の範囲とするのが好ましい。
【0029】このように、センサ19を、反射光の正反
射位置に対して微小にずれた位置に配置することによ
り、図7(a)の状態から図7(b)の状態となって、
多層フィルム12からの反射光が入りにくくなり、欠陥
からの反射光の検出割合が多くなるため、感度を上げ
て、欠陥を効率良く検出することが可能となる。
【0030】この際、センサ19のずれ量を余り大きく
すると、欠陥からの反射光の検出量も減少してしまうた
め、センサ19のずれ量を1゜〜5゜程度の範囲にする
のが、感度を上げるためには好ましい。
【0031】上記以外の部分については、実施の形態1
と同様の構成を備えており、同様の作用・効果を得るこ
とができる。
【0032】
【発明の効果】以上説明してきたように、請求項1の発
明によれば、ロールに多層フィルムを保持させた状態で
検査を行うことができるので、ピントのずれや多層フィ
ルムの微小な位置変化などの影響で欠陥を見落すことを
防止して、精度の高い検査を行うことが可能となる。
【0033】請求項2の発明によれば、センサを、反射
光の正反射位置に対して微小にずれた位置に配置するこ
とにより、感度を上げて欠陥を効率良く検出することが
可能となる、という実用上有益な効果を発揮し得る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1の全体側面図である。
【図2】図1の部分斜視図である。
【図3】図2の部分拡大側面図である。
【図4】(a)〜(d)は検査装置内での信号の処理の
様子を表す図である。
【図5】図1の欠陥検出装置の性能評価手段を示す斜視
図である。
【図6】本発明の実施の形態2の側面図である。
【図7】(a)(b)は実施の形態2の効果を説明する
図である。
【図8】多層フィルムの欠陥を示す平面図である。
【符号の説明】
12 多層フィルム 11 搬送ライン 15 ロール 18 照明装置 19 センサ 20 検査装置

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】多層フィルムの搬送ラインの途中に設けら
    れ表面に鏡面加工を施されたロールと、 該ロールへ向けて検査光を照射する照明装置と、 前記ロールおよび多層フィルムからの反射光を検出する
    センサと、 該センサからの信号に基づき欠陥を判定する検査装置と
    を備えたことを特徴とする多層フィルム欠陥検出装置。
  2. 【請求項2】前記センサが、反射光の正反射位置に対し
    て微小にずれた位置に配置されたことを特徴とする請求
    項1記載の多層フィルム欠陥検出装置。
JP2001050496A 2001-02-26 2001-02-26 多層フィルム欠陥検出装置 Pending JP2002250695A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007205921A (ja) * 2006-02-02 2007-08-16 Nireco Corp ラミネートフィルムの欠陥検出装置及びラミネートフィルムの欠陥検出方法
JP2012233880A (ja) * 2011-04-19 2012-11-29 Shibaura Mechatronics Corp 基板検査装置、基板検査方法及び該基板検査装置の調整方法
JP2014062817A (ja) * 2012-09-21 2014-04-10 Dainippon Printing Co Ltd パターン検出装置、パターン検出方法
CN109490323A (zh) * 2017-09-13 2019-03-19 住友化学株式会社 缺陷检查装置、缺陷检查方法、圆偏振板或椭圆偏振板的制造方法及相位差板的制造方法

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