JP2018202726A - 液体噴射装置及び液体噴射装置のメンテナンス方法 - Google Patents

Abstract

【課題】液体噴射部を良好にメンテナンスできる液体噴射置及び液体噴射装置のメンテナンス方法を提供する。【解決手段】液体噴射装置１１は、液体を噴射するノズル１９を有する液体噴射部１２と、液体供給源１３と液体噴射部１２とに接続される液体供給流路２７と、液体供給流路２７の途中に設けられるポンプ室４１を有して、吸引駆動と吐出駆動とを繰り返すことによって液体供給源１３から液体噴射部１２に向けて液体を流動させるポンプ機構３１と、を備える。液体噴射装置１１においては、ノズル１９から液体を排出させることによって液体噴射部１２をメンテナンスする前に、ポンプ室４１の液体収容量が予め設定された設定値になるまで、ポンプ機構３１が吸引駆動する。【選択図】図７

Description

本発明は、プリンターなどの液体噴射装置及び液体噴射装置のメンテナンス方法に関する。

液体を噴射するノズルを有する液体噴射ヘッドと、吸引駆動と吐出駆動とを繰り返すことによって液体噴射ヘッドに液体を供給するポンプと、を備える液体噴射装置がある（例えば、特許文献１）。

特開２００９−１６０９１２号公報

ポンプが吐出駆動して液体を供給することによって、ノズルから液体を排出させて液体噴射ヘッドをメンテナンスすることができる。この場合、ポンプが吐出駆動を始める時点のポンプ室の液体収容量が異なると、その後の吐出駆動時の液体の流れ方が一定にならない。そして、ノズルから流れる液体の量または速度が十分でないと、メンテナンスが適切に行われない。本発明の課題は、液体噴射部を良好にメンテナンスできる液体噴射置及び液体噴射装置のメンテナンス方法を提供することである。

以下、上記課題を解決するための手段及びその作用効果について記載する。
上記課題を解決する液体噴射装置は、液体を噴射するノズルを有する液体噴射部と、液体供給源と前記液体噴射部とに接続される液体供給流路と、前記液体供給流路の途中に設けられるポンプ室を有して、吸引駆動と吐出駆動とを繰り返すことによって前記液体供給源から前記液体噴射部に向けて前記液体を流動させるポンプ機構と、を備え、前記ノズルから前記液体を排出させることによって前記液体噴射部をメンテナンスする前に、前記ポンプ室の液体収容量が予め設定された設定値になるまで、前記ポンプ機構が吸引駆動する。

この構成によれば、メンテナンスの前にポンプ機構が吸引駆動してポンプ室の液体収容量を設定値にするので、メンテナンスの際にノズルから一定量の液体が排出される。したがって、液体噴射部を良好にメンテナンスできる。

上記液体噴射装置は、前記ポンプ機構が吸引駆動して前記ポンプ室の液体収容量が前記設定値になった後に、前記ポンプ機構が吐出駆動することによって、前記ノズルから前記液体を排出させることが好ましい。

この構成によれば、ポンプ機構が吸引駆動してポンプ室の液体収容量を設定値になると、その後の吐出駆動により、ノズルから一定量の液体が排出される。したがって、メンテナンスの際に適切に液体を流動させて、液体噴射部内の異物をノズルから排出することができる。

上記液体噴射装置は、前記ポンプ室と前記液体噴射部との間で前記液体供給流路を開閉することによって前記液体噴射部内の圧力を調整する圧力調整機構を備え、前記ポンプ室の液体収容量が前記設定値となるまで前記ポンプ機構が吸引駆動した後、前記圧力調整機構が前記液体供給流路を開いて、前記ポンプ機構が吐出駆動することにより、前記液体噴射部をメンテナンスすることが好ましい。

上記構成によれば、圧力調整機構が液体供給流路を開く前にポンプ機構が吸引駆動をすると、その後の吐出駆動までの間に、液体供給流路の開閉に伴う圧力変動が起こりにくい。そのため、吐出駆動に伴って、液体噴射部内から異物を適切に排出することができる。

上記液体噴射装置において、前記圧力調整機構は、前記液体供給流路の途中に配置される液体流入部と、前記液体流入部と前記液体噴射部の間の前記液体供給流路に配置される液体流出部と、前記液体流出部の壁面の一部を構成するダイヤフラムと、前記液体流入部と前記液体流出部との間で前記液体供給流路を開閉する開閉弁と、を有し、前記ダイヤフラムの前記液体流出部内側の面を第１の面とし、前記第１の面の反対側の面を第２の面とすると、前記ダイヤフラムの前記第１の面にかかる圧力が、前記第２の面にかかる圧力よりも低くなり、かつ、前記第１の面にかかる圧力と前記第２の面にかかる圧力との差が所定値以上になると、前記開閉弁が前記液体供給流路を開くことが好ましい。

この構成によれば、液体噴射部につながる液体流出部内の圧力の変化に伴ってダイヤフラムが変位することにより、液体供給流路を開閉することができる。
上記液体噴射装置は、前記液体流出部の容積が小さくなる方向に前記ダイヤフラムを押圧することによって、前記開閉弁に前記液体供給流路を開かせる押圧機構を備えることが好ましい。

この構成によれば、押圧機構がダイヤフラムを押すことによって、液体供給流路を強制的に開くことができる。
上記液体噴射装置において、前記押圧機構は、前記ダイヤフラムの前記第２の面側に形成される圧力調整室と、前記圧力調整室内の圧力を調整可能な圧力調整部と、を有し、前記圧力調整部が前記圧力調整室内を大気圧より高い圧力に調整することによって、前記ダイヤフラムを押圧することが好ましい。

この構成によれば、圧力調整室の圧力を調整することによって、液体供給流路を強制的に開くことができる。
上記液体噴射装置において、前記ポンプ機構は、前記液体供給源と前記ポンプ室との間に設けられ、前記ポンプ室への前記液体の流入を許容するとともに前記ポンプ室からの前記液体の流出を抑制する第１の一方向弁と、前記ポンプ室と前記液体噴射部との間に設けられ、前記ポンプ室からの前記液体の流出を許容するとともに前記ポンプ室への前記液体の流入を抑制する第２の一方向弁と、前記ポンプ室の壁面の一部を構成して、前記ポンプ室の容積を変更する方向に変位可能な変位部と、前記ポンプ室の容積を増大する方向に前記変位部を変位させる変位機構と、前記ポンプ室の容積を減少させる方向に前記変位部を付勢する付勢部材と、を有することが好ましい。

この構成によれば、ポンプ機構は、変位機構がポンプ室の容積を増大する方向に変位部を変位させることによって吸引駆動し、付勢部材が変位部を付勢することによって吐出駆動することができる。

上記液体噴射装置において、前記変位機構は、前記変位部によって前記ポンプ室と区画される減圧室を有し、前記減圧室を減圧することによって、前記ポンプ室の容積を増大する方向に前記変位部を変位させることが好ましい。

この構成によれば、減圧室内の圧力を調整することによって、変位部を変位させることができる。
上記課題を解決する液体噴射装置のメンテナンス方法は、液体を噴射するノズルを有する液体噴射部と、液体供給源と前記液体噴射部とに接続される液体供給流路と、前記液体供給流路の途中に設けられたポンプ室を有して、吸引駆動と吐出駆動とを繰り返すことによって前記液体供給源から前記液体噴射部に向けて前記液体を流動させるポンプ機構と、前記ポンプ室と前記液体噴射部との間で前記液体供給流路を開閉することによって前記液体噴射部内の圧力を調整可能な圧力調整機構と、を備える液体噴射装置のメンテナンス方法であって、前記ポンプ室の液体収容量が設定値となるまで前記ポンプ機構が吸引駆動し、前記吸引駆動の後に前記圧力調整機構が前記液体供給流路を開き、前記液体供給流路が開いた後に前記ポンプ機構が吐出駆動することにより、前記ノズルから前記液体を排出させる。

上記構成によれば、圧力調整機構が液体供給流路を開く前にポンプ機構が吸引駆動をするので、その後の吐出駆動までの間に、液体供給流路の開閉に伴う圧力変動が起こりにくい。そのため、吐出駆動に伴って適切に液体を流動させ、液体排出部内から異物を排出することができる。これにより、液体噴射部を良好にメンテナンスできる。

第１実施形態の液体噴射装置の模式図。 印刷領域と非印刷領域の模式平面図。 ワイピング機構の側面図。 開閉弁が閉弁した状態の圧力調整機構と供給機構の模式図。 複数の圧力調整機構と圧力調整部の模式図。 クリーニングを行うために制御部が実行する処理内容を示すフローチャート。 開閉弁が開弁した状態の圧力調整機構と供給機構の模式図。 圧力低下動作中の圧力調整機構と供給機構の模式図。 仕上げ払拭動作中の圧力調整機構と供給機構の模式図。 第２実施形態の圧力調整機構の分解斜視図。 圧力調整機構の斜視図。 図１１を別の角度から見たときの斜視図。 図１１の側面図。 図１３を反対側から見たときの側面図。 圧力調整部の模式図。 閉弁状態の圧力調整機構の断面図。 開弁状態の圧力調整機構の断面図。 第１の変形例に係る液体噴射装置の模式図。 第２の変形例に係る液体噴射装置の模式図。

以下、液体噴射装置の実施形態について、図を参照して説明する。液体噴射装置は、例えば、液体の一例であるインクを噴射することによって用紙などの媒体に印刷するインクジェット式のプリンターである。

（第１実施形態）
図１に示すように、液体噴射装置１１は、液体を噴射する液体噴射部１２と、液体供給源１３から液体噴射部１２に液体を供給する供給機構１４とを備えている。さらに、液体噴射装置１１は、液体噴射部１２と対向する位置に配置された支持台１１２と、媒体１１３を搬送方向Ｙに搬送する搬送部１１４と、液体噴射部１２を走査方向Ｘに移動させながら媒体１１３に液体を噴射することで印刷を行う印刷部１１５とを備えている。

支持台１１２は、媒体１１３の搬送方向Ｙと直交（交差）する方向である媒体１１３の幅方向（走査方向Ｘ）に延在している。支持台１１２、搬送部１１４、及び印刷部１１５は、ハウジングやフレームなどによって構成される本体１１６に組み付けられている。そして、本体１１６には、カバー１１７が開閉可能に設けられている。

搬送部１１４は、搬送方向Ｙにおける支持台１１２の上流側及び下流側にそれぞれ配置された搬送ローラー対１１８，１１９と、搬送ローラー対１１９の下流側に配置されて媒体１１３を案内する案内板１２０とを備えている。そして、搬送ローラー対１１８，１１９が搬送モーター（図示略）に駆動されて媒体１１３を挟持しながら回転すると、媒体１１３は、支持台１１２及び案内板１２０に支持されつつ、支持台１１２の表面及び案内板１２０の表面に沿って搬送される。

印刷部１１５は、走査方向Ｘに沿って延設されたガイド軸１２２，１２３と、そのガイド軸１２２，１２３に案内されて走査方向Ｘに往復移動可能なキャリッジ１２４とを備えている。キャリッジ１２４は、キャリッジモーター（図示略）の駆動に伴って移動する。キャリッジ１２４における鉛直方向Ｚ側の端部である下端部には、少なくとも１つ（本実施形態では２つ）の液体噴射部１２が取り付けられている。これら２つの液体噴射部１２同士は、走査方向Ｘに所定の距離だけ離れ、且つ搬送方向Ｙに所定の距離だけずれるように配置されている。液体噴射部１２は、液体を液滴として噴射する複数のノズル１９と、これらノズル１９が開口するノズル面１８と、を有する。

図２に示すように、走査方向Ｘにおいて液体噴射部１２が搬送中の媒体１１３と対峙しない領域である非印刷領域には、フラッシング機構１３０と、ワイピング機構１４０と、キャップ機構１５０とが設けられている。

フラッシングとは、ノズル１９の目詰まりなどを予防または解消する目的でノズル１９から印刷とは無関係に液体を排出するメンテナンス動作のことである。フラッシング機構１３０は、フラッシングの際に液体噴射部１２から噴射された液体を受容する液体受容部１３１を有している。液体受容部１３１は、開口１３２を有する箱状をなしている。

図３に示すように、ワイピング機構１４０は、箱状をなす筐体１４１と、筐体１４１の奥行方向（図３では左右方向）における一端側に配置される繰出ローラー１４２と、筐体１４１の奥行方向における他端側に配置される巻取ローラー１４３と、筐体１４１の開口から露出する位置に配置される中間ローラー１４４とを備えている。また、ワイピング機構１４０は、中間ローラー１４４を筐体１４１の外側に向けて付勢する付勢部材１４５と、筐体１４１を進退移動させる際に駆動される第１ワイパー駆動部１４６と、ノズル面１８との鉛直方向Ｚにおける間隔を調整する際に駆動される第２ワイパー駆動部１４７とを備えている。

繰出ローラー１４２、巻取ローラー１４３及び中間ローラー１４４は、軸方向が互いに平行をなすように筐体１４１に回転可能に支持されている。繰出ローラー１４２には、媒体１１３を吸収したり保持したりする布ワイパー１４８がロール状に巻き重ねられている。繰出ローラー１４２から巻き解かれた布ワイパー１４８は、途中部分が布ワイパー１４８に巻き掛けられるとともに、その先端が巻取ローラー１４３に巻き付けられる。布ワイパー１４８のうち、中間ローラー１４４に巻き掛けられた部分を払拭部１４９と言う。払拭部１４９が相対移動しながらノズル面１８を払拭するメンテナンス動作を、ワイピングと言う。巻取ローラー１４３は、繰出ローラー１４２から繰り出された布ワイパー１４８を巻き取るべく、回転駆動する。

ワイピング機構１４０の上方に液体噴射部１２が位置するようにキャリッジ１２４を移動させた状態において、第１ワイパー駆動部１４６及び第２ワイパー駆動部１４７が駆動すると、払拭部１４９が液体噴射部１２に対して相対移動し、ノズル面１８を払拭する。また、ノズル面１８の払拭に伴って払拭部１４９が液体を吸収すると、巻取ローラー１４３が回転駆動して、使用済みの払拭部１４９を巻取ローラー１４３に巻き取る。これにより布ワイパー１４８の未使用部分が中間ローラー１４４に巻き掛けられ、その未使用部分が新たに払拭部１４９となる。

図２に示すように、キャップ機構１５０は、２つの液体噴射部１２が有するノズル１９の開口をそれぞれ覆う２つの有底四角箱状のキャップ１５１と、キャップ１５１を昇降させるキャップ駆動部１５２と、キャップ１５１内を吸引する吸引機構１５３と、を備えている。２つの液体噴射部１２がそれぞれ対応するキャップ１５１と対向する位置にキャリッジ１２４が移動したときに、キャップ駆動部１５２が２つのキャップ１５１を上昇させると、２つの液体噴射部１２のノズル面１８に対して２つのキャップ１５１がそれぞれ当接して、全てのノズル１９を覆う。このようにキャップ１５１でノズル１９を覆う動作を、キャッピングと言う。

キャップ１５１は、液体噴射部１２のノズル面１８における全てのノズル１９を含む領域を覆うことが可能になっている。キャッピング時に吸引機構１５３が駆動すると、キャップ１５１内に生じた負圧がノズル１９内に及び、液体噴射部１２内が吸引される。この吸引により、液体噴射部１２内の液体とともに、液体に含まれる気泡等の異物をノズル１９から排出するメンテナンス動作を吸引クリーニングと言う。

次に、液体噴射部１２について詳しく説明する。
図４に示すように、液体噴射部１２は、液体中にある気泡等の異物を捕捉する噴射部フィルター１６と、噴射部フィルター１６を通過した液体を貯留する共通液室１７とを備えている。液体噴射部１２は、ノズル面１８に開口する複数のノズル１９と共通液室１７との間に位置する複数の圧力室２０と、圧力室２０の壁面の一部を形成する振動板２１と、共通液室１７と圧力室２０とを連通させる連通孔２２と、を備えている。液体噴射部１２は、振動板２１における圧力室２０と面する部分の反対側の面であって共通液室１７と異なる位置に配置される収容室２３と、収容室２３に収容されたアクチュエーター２４と、を備えている。

本実施形態のアクチュエーター２４は、駆動電圧が印加された場合に収縮する圧電素子によって構成されている。そして、駆動電圧の印加によるアクチュエーター２４の収縮に伴って振動板２１を変形させた後、アクチュエーター２４への駆動電圧の印加を解除すると、容積が変化した圧力室２０内の液体がノズル１９から液滴として噴射される。すなわち、液体噴射部１２は、アクチュエーター２４を駆動してノズル１９から液体を噴射する。

液体供給源１３は、例えば液体を収容可能な収容容器であり、収容容器を交換することで液体を補給するカートリッジであってもよいし、装着部２６に固定された収容タンクであってもよい。液体供給源１３がカートリッジである場合、装着部２６は液体供給源１３を着脱可能に保持する。なお、液体供給源１３及び供給機構１４は、液体噴射部１２から噴射する液体の種類ごとに少なくとも１組（本実施形態では４組）設けられている。

また、供給機構１４は、液体の供給方向Ａにおいて上流側となる液体供給源１３から下流側となる液体噴射部１２に液体を供給可能な態様で、液体供給源１３と液体噴射部１２とに接続される液体供給流路２７を備えている。液体供給流路２７の一部は、循環経路形成部２８と協働して循環経路としても機能する。循環経路形成部２８は、共通液室１７と液体供給流路２７とに接続される。循環経路形成部２８には、循環経路において液体を循環方向Ｂに循環させる循環ポンプ２９が設けられている。

液体供給流路２７における循環経路形成部２８が接続された位置よりも液体供給源１３側には、液体供給源１３から供給方向Ａに液体を流動させることにより、液体を液体噴射部１２に向けて加圧供給するポンプ機構３１が設けられている。さらに、液体供給流路２７における循環経路形成部２８が接続された位置よりも下流側の循環経路としても機能する部分には、上流側から順にフィルターユニット３２、スタティックミキサー３３、液体貯留部３４、及び圧力調整装置４７が設けられている。

ポンプ機構３１は、容積ポンプ３８と、一方向弁３９，４０とを備えている。容積ポンプ３８は、液体供給流路２７の途中に設けられるポンプ室４１と、ポンプ室４１の壁面の一部を構成する変位部３７と、ポンプ室４１の容積を増大する方向に変位部３７を変位させる変位機構３０と、ポンプ室４１の容積を減少させる方向に変位部３７を付勢する付勢部材４４と、を備えている。変位部３７は、ポンプ室４１の容積を変更する方向に変位可能な態様で配置される。

変位機構３０は、変位部３７によってポンプ室４１と区画される減圧室４２と、減圧室４２を減圧するための減圧部４３と、を備えている。変位機構３０は、減圧室４２の圧力を調整することによって、変位部３７を変位させる。例えば、減圧部４３が減圧室４２を減圧することによって、ポンプ室４１の容積を増大する方向に変位部３７を変位させる。付勢部材４４は、減圧室４２内に配置するとよい。

一方向弁３９は、液体供給源１３とポンプ室４１との間に設けられ、ポンプ室４１への液体の流入を許容するとともにポンプ室４１からの液体の流出を抑制する第１の一方向弁である。一方向弁４０は、ポンプ室４１と液体噴射部１２との間に設けられ、ポンプ室４１からの液体の流出を許容するとともにポンプ室４１への液体の流入を抑制する第２の一方向弁である。

減圧部４３が減圧室４２を減圧すると、変位部３７はポンプ室４１の容積を増大させる方向に移動する。これにより、一方向弁３９が開くとともに一方向弁４０が閉じて、液体供給源１３からポンプ室４１に液体が流入する。これをポンプ機構３１の吸引駆動と言う。吸引駆動の後に、減圧部４３が減圧を解除すると、付勢部材４４の付勢力によって変位部３７がポンプ室４１の容積を減少させる方向に変位する。これにより、一方向弁４０が開くとともに一方向弁３９が閉じて、ポンプ室４１から液体が流出する。これをポンプ機構３１の吐出駆動と言う。ポンプ機構３１は、吸引駆動と吐出駆動とを繰り返すことによって、液体供給源１３から液体噴射部１２に向けて液体を流動させる。

ポンプ機構３１は、付勢部材４４が変位部３７を介してポンプ室４１内の液体を付勢することにより、圧力調整装置４７に供給される液体を加圧する。このため、ポンプ機構３１が吐出駆動により液体を加圧する加圧力は、付勢部材４４の付勢力により設定される。また、こうした点で、本実施形態では、ポンプ機構３１は、液体供給流路２７の液体を加圧可能と言える。

フィルターユニット３２は、液体供給流路２７を流れる液体に含まれる気泡や異物を捕捉する。フィルターユニット３２は、交換可能であることが好ましい。スタティックミキサー３３は、液体の流れに方向転換や分割などの変化を起こし、液体中の濃度の偏りを低減させる。液体貯留部３４は、ばね４５により付勢された容積可変の空間に液体を貯留し、液体の圧力の変動を緩和する。

次に、圧力調整装置４７について詳しく説明する。
図４に示すように、圧力調整装置４７は、本体部５２を有する圧力調整機構３５と、押圧機構４８とを備えている。圧力調整機構３５は、ポンプ室４１と液体噴射部１２との間で液体供給流路２７を開閉することによって、液体噴射部１２内の圧力を調整する。本体部５２は、液体供給流路２７の途中に配置される液体流入部５０と、液体流入部５０と液体噴射部１２の間の液体供給流路２７に配置される液体流出部５１と、を有する。圧力調整装置４７は、液体流出部５１の壁面の一部を構成するダイヤフラム５６と、液体流入部５０と液体流出部５１との間で液体供給流路２７を開閉する開閉弁５９と、を有する。

液体供給流路２７と液体流入部５０とは、壁部５３により仕切られており、壁部５３に形成された貫通孔５４により連通している。貫通孔５４は、フィルター部材５５により覆われている。したがって、液体供給流路２７の液体は、フィルター部材５５に濾過されて液体流入部５０に流入する。

ダイヤフラム５６の液体流出部５１内側の面を第１の面５６ａとし、第１の面５６ａの反対側の面を第２の面５６ｂとする。ダイヤフラム５６は、第１の面５６ａで液体流出部５１内の液体の圧力を受け、液体流出部５１の外面となる第２の面５６ｂで大気圧を受ける。このため、ダイヤフラム５６は、液体流出部５１内の圧力に応じて変位する。そして、液体流出部５１は、ダイヤフラム５６が変位することで容積が変化する。なお、液体流入部５０と液体流出部５１とは、液体供給流路２７の一部である連通経路５７により連通されている。

開閉弁５９は、連通経路５７において液体流入部５０と液体流出部５１とを非連通とする閉弁状態（図４に示す状態）と、液体流入部５０と液体流出部５１とを連通させる開弁状態（図７に示す状態）とを切り替え可能である。開閉弁５９は、連通経路５７を遮断可能な弁部６０と、ダイヤフラム５６から圧力を受ける受圧部６１とを有し、受圧部６１がダイヤフラム５６に押圧されることによって、液体流出部５１の容積を小さくする方向に移動する。すなわち、受圧部６１は、液体流出部５１の容積を小さくする方向へ変位するダイヤフラム５６に接触した状態で移動可能な移動部材としても機能している。

液体流入部５０内には上流側付勢部材６２が設けられ、液体流出部５１内には下流側付勢部材６３が設けられている。上流側付勢部材６２と下流側付勢部材６３とは、いずれも開閉弁５９を閉弁させる方向に付勢する。そして、開閉弁５９は、ダイヤフラム５６の第１の面５６ａにかかる圧力が第２の面５６ｂにかかる圧力より低くなり、かつ、第１の面５６ａにかかる圧力と第２の面５６ｂにかかる圧力との差が所定値Ｐ１（例えば、１ｋＰａ）以上になると、連通経路５７を開く。

この所定値Ｐ１は、上流側付勢部材６２の付勢力、下流側付勢部材６３の付勢力、ダイヤフラム５６を変位させるために必要な力、弁部６０によって連通経路５７を遮断するために必要な押圧力（シール荷重）、弁部６０の表面に作用する液体流入部５０内の圧力、及び液体流出部５１内の圧力に応じて決まる値である。すなわち、上流側付勢部材６２と下流側付勢部材６３の付勢力が大きいほど所定値Ｐ１も大きくなる。

上流側付勢部材６２と下流側付勢部材６３の付勢力は、液体流出部５１内の圧力がノズル１９における気液界面にメニスカスを形成可能な範囲の負圧状態（例えば、第２の面５６ｂにかかる圧力が大気圧の場合、−１ｋＰａ）となるように設定される。この場合、気液界面とは液体と気体とが接する境界であり、メニスカスとは液体がノズル１９と接してできる湾曲した液体表面である。そして、ノズル１９には、液体の噴射に適した凹状のメニスカスが形成されることが好ましい。

こうして、本実施形態では、開閉弁５９が閉弁状態にある場合、液体流入部５０内の液体の圧力は、ポンプ機構３１によって正圧に保たれ、液体流出部５１からノズル１９までの液体の圧力は、圧力調整機構３５によって負圧に保たれる。よって、液体噴射部１２内の圧力は、印刷動作時及び待機時には、負圧なのが通常である。

そして、図４に示す状態において、液体噴射部１２が液体を噴射すると、液体流出部５１に収容された液体が液体供給流路２７を介して液体噴射部１２に供給される。これにより液体流出部５１内の圧力が低下し、ダイヤフラム５６における第１の面５６ａにかかる圧力と第２の面５６ｂにかかる圧力との差が所定値Ｐ１以上になると、ダイヤフラム５６が液体流出部５１の容積を小さくする方向へ撓み変形する。変位するダイヤフラム５６に押されて受圧部６１が移動すると、開閉弁５９が連通経路５７を開く。

液体流入部５０内の液体はポンプ機構３１により加圧されているため、開閉弁５９が連通経路５７を開くと、液体流入部５０から液体流出部５１に液体が流れて、液体流出部５１内の圧力が上昇する。これにより、ダイヤフラム５６は、液体流出部５１の容積を増大させる方向に変形する。そして、ダイヤフラム５６における第１の面５６ａにかかる圧力と第２の面５６ｂにかかる圧力との差が所定値Ｐ１よりも小さくなると、開閉弁５９は連通経路５７を閉じて液体の流動を阻害する。

このように、液体流出部５１の内圧に応じてダイヤフラム５６が変位することにより、圧力調整機構３５は液体噴射部１２に供給される液体の圧力を調整する。これにより、ノズル１９の背圧となる液体噴射部１２内の圧力が所定値Ｐ１程度の負圧に保たれる。

図４に示すように、押圧機構４８は、ダイヤフラム５６の第２の面５６ｂ側に圧力調整室６６を形成する膨張収縮部６７と、膨張収縮部６７を押さえる押さえ部材６８と、圧力調整室６６内の圧力を調整可能な圧力調整部６９とを備えている。膨張収縮部６７は、例えばゴムや樹脂により風船状に形成され、圧力調整部６９による圧力調整室６６の圧力の調整に伴って膨張したり収縮したりする。押さえ部材６８は、有底円筒形状をなしており、底部に形成された挿通孔７０に膨張収縮部６７の一部が挿通されている。

押さえ部材６８における内側面の開口部７１側の端縁部は、Ｒ面取りされて丸みが付けられている。押さえ部材６８は、開口部７１が圧力調整機構３５に塞がれるようにして圧力調整機構３５に取り付けられることにより、ダイヤフラム５６の第２の面５６ｂを覆う空気室７２を形成する。空気室７２内の圧力は大気圧にされ、ダイヤフラム５６の第２の面５６ｂには大気圧が作用する。

すなわち、圧力調整部６９は、圧力調整室６６内の圧力を空気室７２の圧力である大気圧よりも高い圧力に調整することで膨張収縮部６７を膨張させる。そして、押圧機構４８は、圧力調整部６９が膨張収縮部６７を膨張させることで、ダイヤフラム５６を液体流出部５１の容積が小さくなる方向に押圧する。このとき、押圧機構４８の膨張収縮部６７は、ダイヤフラム５６における受圧部６１が接触する領域を押圧する。なお、ダイヤフラム５６における受圧部６１が接触する領域の面積は、連通経路５７の断面積よりも大きくなっている。このように、押圧機構４８は、液体流出部５１の容積が小さくなる方向にダイヤフラム５６を押圧することによって、開閉弁５９に液体供給流路２７の一部である連通経路５７を開かせる。

図５に示すように、圧力調整部６９は、例えば空気や水などの流体を加圧する加圧ポンプ７４と、加圧ポンプ７４と膨張収縮部６７とを接続する接続経路７５と、接続経路７５に設けられた検出部７６と、流体圧調整部７７と、を備えている。流体圧調整部７７は、接続経路７５において、検出部７６と加圧ポンプ７４の間に設けられている。接続経路７５は、検出部７６よりも下流において複数（本実施形態では４つ）に分岐しており、その分岐した先は、それぞれ膨張収縮部６７に接続されている。接続経路７５の分岐数は、圧力調整装置４７が備える膨張収縮部６７の数（本実施形態では４つ）と一致する。なお、接続経路７５の複数に分岐した流路に該流路の連通状態と非連通状態とを切替える切替弁（図示略）をそれぞれ設けてもよい。この場合、切替弁の制御によって、加圧された流体を複数の膨張収縮部６７に選択的に供給することも可能である。

加圧ポンプ７４により加圧された流体は、接続経路７５を介して複数の膨張収縮部６７に供給される。検出部７６は接続経路７５内の流体の圧力を検出する。流体圧調整部７７は、例えば安全弁によって構成される。そして、流体圧調整部７７は、接続経路７５内の流体の圧力が所定の圧力よりも高くなった場合に接続経路７５内の流体を外部へ放出し、接続経路７５内の流体の圧力を低下させる。

図５に示すように、液体噴射装置１１は、液体噴射装置１１の各種の構成部材の駆動を制御する制御部１６０を備えている。制御部１６０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭなどを有するマイクロコンピューターである。

制御部１６０は、図１に示す搬送部１１４を駆動して媒体１１３を単位搬送量だけ搬送する搬送動作と、キャリッジ１２４を走査方向Ｘに移動させつつ液体噴射部１２から媒体１１３に向けて液体を噴射する噴射動作とを交互に行わせることで、媒体１１３に文字や画像を形成する印刷動作を行わせる。

また、制御部１６０は、図４に示す押圧機構４８において、加圧ポンプ７４を駆動することで、膨張収縮部６７に加圧された流体を供給させる。こうして、膨張収縮部６７が膨張する結果、ダイヤフラム５６が液体流出部５１の容積を減少させる方向に変位し、開閉弁５９が開弁状態となる。このように、制御部１６０は、押圧機構４８の駆動に基づいて、開閉弁５９の開閉制御を行う。

また、制御部１６０は、図４に示す液体噴射部１２内の圧力（液体の圧力）を液体噴射部１２の外部の圧力（例えば、大気圧）よりも大きくすることで、液体噴射部１２のノズル１９から加圧した液体を排出させる排出動作（以下、「加圧クリーニング」とも言う。）を行わせる。すなわち、制御部１６０は、排出動作を行わせる際に、押圧機構４８によりダイヤフラム５６を押圧させることにより開閉弁５９を開弁させ、ポンプ機構３１が加圧した液体を圧力調整機構３５及び液体噴射部１２に供給させる。

ノズル１９から液体を排出させる排出動作によって液体噴射部１２をメンテナンスする前には、ポンプ機構３１が吸引駆動をして、ポンプ室４１内に収容される液体の量が予め設定された設定値となるまで、液体を吸引することが好ましい。設定値は、例えばポンプ室４１の満容量である。この場合、排出動作の前に、ポンプ機構３１が、変位部３７が上死点に至るまで、吸引駆動をする。このように、ポンプ機構３１が吸引駆動してポンプ室４１の液体収容量が設定値になった後に、ポンプ機構３１が吐出駆動することによって、排出動作においてノズル１９から排出される液体の流れ方を一定にすることができる。

排出動作を行った後は、液体噴射部１２内の圧力が印刷動作時よりも高くなりやすい。詳しくは、印刷動作時には、液体噴射部１２内の圧力が負圧とされるのに対して、排出動作を行った後には、液体噴射部１２内の圧力が大気圧より高い正圧となりやすい。

このため、排出動作を行った後に、印刷動作を行う場合には、液体噴射部１２のノズル１９からの液体の噴射が不安定になるおそれがある。例えば、液体噴射部１２のノズル１９から噴射される液滴の大きさが所望の大きさにならなかったり、液体を噴射すべきタイミングで該液体が噴射されなかったりするおそれがある。

そのため、制御部１６０は、排出動作を行わせた場合には、該排出動作を停止する排出停止動作を行わせた後に、液体噴射部１２及び圧力調整機構３５よりも下流側の液体供給流路２７内の圧力を低下させる圧力低下動作を行わせるとよい。さらに、制御部１６０は、圧力低下動作を行わせることによって液体噴射部１２内の圧力を低下させた状態で、液体噴射部１２のノズル面１８を払拭する仕上げ払拭動作を行わせるとよい。そうすると、印刷動作を行う前に、液体噴射部１２内の圧力が適正な圧力（所定の負圧）になるとともに、液体噴射部１２のノズル１９内において液体の噴射に適したメニスカスが形成される。なお、圧力低下動作では、ノズル１９に形成されるメニスカスが該ノズル１９内に位置するように、液体噴射部１２内の圧力を低下させるとよい。

また、排出動作を長期間に亘って行う場合には、液体噴射部１２のノズル１９から排出される液体の消費量が、ポンプ機構３１が液体噴射部１２に向けて供給する液体の供給量に対して過多となり、液体供給流路２７を流れる液体の流速が次第に低下することがある。この場合には、液体噴射部１２及び液体供給流路２７内に存在する気泡などの異物を効率よく排出できないおそれがある。

そこで、制御部１６０は、排出動作と、該排出動作を停止する排出停止動作とを短い周期で繰り返し行わせることが好ましい。これにより、液体供給流路２７を流れる液体の流速が次第に低下することが抑制され、液体供給流路２７内に存在する気泡などの異物を排出する作用が弱まることが抑制される。

次に、図６に示すフローチャートを参照して、本実施形態の制御部１６０が排出動作を含むクリーニングを行うときに実行する処理の流れについて説明する。この一連の処理は、予め設定された制御サイクル毎に実行させてもよいし、ノズル１９において液体の噴射不良が発生していると予想される場合に限って実行させてもよいし、液体噴射装置１１のユーザー（オペレーター）が手動で実行させてもよい。

図６に示すように、制御部１６０は、計数用の変数であるカウンターＣｎｔを「０（零）」にリセットする（ステップＳ１１）。
次に、制御部１６０は、ポンプ機構３１の減圧部４３の駆動を制御して、ポンプ室４１の液体収容量が設定値となるまで吸引駆動させる（ステップＳ１２）。

続いて、制御部１６０は、押圧機構４８の駆動を制御し、液体流出部５１の容積が減少する方向にダイヤフラム５６を押圧させることで、開閉弁５９に液体供給流路２７を開かせる（ステップＳ１３）。

その後、制御部１６０は、減圧部４３による減圧を解除させて、付勢部材４４の付勢力により吐出駆動させる（ステップＳ１４）。この吐出駆動が排出動作となる。すなわち、液体流出部５１、液体供給流路２７、共通液室１７、圧力室２０及びノズル１９の内部に、加圧された液体が流れ、ノズル１９から液体が排出される。なお、ステップＳ１３の押圧動作と、ステップＳ１４の吐出駆動とは、同時に行ってもよい。

続いて、制御部１６０は、排出動作を停止すべく排出停止動作を行う（ステップＳ１５）。詳しくは、制御部１６０は、押圧機構４８の駆動を制御し、液体流出部５１の容積が増大する方向にダイヤフラム５６を変位させることで、開閉弁５９を閉弁状態とする。これにより、液体噴射部１２に加圧された液体が供給されなくなる。なお、排出動作を終了してから排出停止動作を開始するまでの時間は、例えば、０．１秒〜１秒程度にすることができる。

そして、制御部１６０は、カウンターＣｎｔを「１」だけインクリメントし（ステップＳ１６）、カウンターＣｎｔが判定回数ＣｎｔＴｈ以上となったか否かを判定する（ステップＳ１７）。ここで、判定回数ＣｎｔＴｈとは、排出動作及び排出停止動作を何度繰り返して行うかを定める判定値である。このため、判定回数ＣｎｔＴｈは、液体噴射装置１１の仕様やユーザーの設定に基づいて決定すればよい。なお、液体噴射部１２の全てのノズル１９において液体の噴射不良が発生しているか否かの検出を行っている場合には、液体の噴射不良が発生している不良ノズルの数に応じて、判定回数ＣｎｔＴｈを決定してもよい。

カウンターＣｎｔが判定回数ＣｎｔＴｈ未満である場合（ステップＳ１７：ＮＯ）、制御部１６０は、その処理を先のステップＳ１２に移行する一方、カウンターＣｎｔが判定回数ＣｎｔＴｈ以上である場合（ステップＳ１７：ＹＥＳ）、圧力低下動作を行わせる（ステップＳ１８）。本実施形態の圧力低下動作は、ワイピング機構１４０によりノズル面１８を払拭する払拭動作（以下、「前払拭動作」とも言う。）である。この前払拭動作によって、払拭部１４９がノズル１９の外側又はノズル１９の開口近傍に位置する気液界面に接触することで、加圧状態の液体が漏出し、液体噴射部１２内の圧力が低下する。

なお、最後に行われる圧力低下動作を行った直後は、液体噴射部１２のノズル１９から液体の漏出が継続する場合があるため、前払拭動作は、該液体の漏出が停止した後に行われることが好ましい。また、本実施形態では、圧力低下動作は、カウンターＣｎｔが判定回数ＣｎｔＴｈ以上である場合（ステップＳ１７：ＹＥＳ）に行われる点で、最後に行われた排出停止動作の後に行われるものである。

そして、制御部１６０は、ワイピング機構１４０によりノズル面１８を払拭する払拭動作（以下、「仕上げ払拭動作」とも言う。）を行わせる（ステップＳ１９）。この仕上げ払拭動作によって、ノズル面１８に付着した液体や異物が除去されるとともに、液体を噴射するのに適したメニスカスがノズル１９内に形成される。その後、制御部１６０は、一連の処理を一旦終了する。

このように、本実施形態のクリーニングは、排出動作、排出停止動作、圧力低下動作（前払拭動作）及び仕上げ払拭動作を含む動作であって、液体噴射部１２の液体噴射性能を回復させるための動作である。なお、液体噴射部１２のメンテナンスとして加圧クリーニング（ステップＳ１２，Ｓ１３，Ｓ１４，Ｓ１５）を単独で行い、その後の圧力低下動作（ステップＳ１８）または仕上げ払拭動作（ステップＳ１９）を省略することもできる。加圧クリーニングの後に払拭動作をしない場合には、払拭動作に代えて、液体を噴射するのに適したメニスカスをノズル１９内に形成するために、フラッシングを行ってもよい。

次に、第１実施形態において、液体噴射装置１１がクリーニングを行うときの作用について説明する。
さて、液体噴射装置１１が印刷動作を行っていると、液体噴射部１２に設けられる複数のノズル１９のうちの一部のノズル１９が、液体の噴射不良が発生した不良ノズルとなることがある。この場合には、該不良ノズルの液体の噴射不良を回復するために、クリーニングが行われる。

クリーニングを行う前には、ポンプ機構３１が吸引駆動して、図７に二点鎖線で示すように、変位部３７をポンプ室４１の容積を増大させる方向に移動させ、ポンプ室４１に設定値の液体を流入させる。このとき、一方向弁４０は閉じ、一方向弁３９は開く。

この状態で加圧ポンプ７４が駆動すると、膨張収縮部６７に加圧された流体が供給される。すると、流体が供給された膨張収縮部６７は、膨張してダイヤフラム５６における受圧部６１が接触する領域を押圧することで、開閉弁５９を開弁状態にする。

すなわち、押圧機構４８は、上流側付勢部材６２及び下流側付勢部材６３の付勢力に抗して受圧部６１を移動させることにより、開閉弁５９を開弁状態にする。この場合、圧力調整部６９は、複数の圧力調整装置４７の膨張収縮部６７に接続されているため、全ての圧力調整装置４７の開閉弁５９を開弁状態にする。

このとき、ダイヤフラム５６は液体流出部５１の容積を小さくする方向に変形するため、液体流出部５１に収容されていた液体は液体噴射部１２側に押し出される。すなわち、ダイヤフラム５６が液体流出部５１を押圧した圧力が液体噴射部１２に伝わることにより、メニスカスが壊れてノズル１９から液体が溢れる。つまり、押圧機構４８は、液体流出部５１内の圧力が、少なくとも１つのメニスカスが壊れる圧力（例えば、気液界面における液体側の圧力が気体側の圧力よりも３ｋＰａ高くなる圧力）よりも高くなるように、ダイヤフラム５６を押圧する。

また、押圧機構４８は、ダイヤフラム５６を押圧することによって、液体流入部５０内の圧力に関わらず開閉弁５９を開弁状態とする。この場合、押圧機構４８は、ポンプ機構３１が液体を加圧する圧力に前述の所定値Ｐ１を加えた圧力がダイヤフラム５６に加わった場合に発生する押圧力よりも大きな押圧力でダイヤフラム５６を押圧する。

押圧機構４８がダイヤフラム５６を押圧している間は開閉弁５９の開弁状態が維持される。この状態でポンプ機構３１が吐出駆動すると、変位部３７が図７に実線で示す下死点に移動する。これにより、閉じていた一方向弁４０が開くとともに一方向弁３９が閉じ、ポンプ室４１にあった設定量に相当する液体が液体供給流路２７の下流側に流出する。

この流出に伴う加圧力が液体流入部５０、連通経路５７、液体流出部５１を介して液体噴射部１２に伝わり、ノズル１９から液体が排出される排出動作（加圧クリーニング）が行われる。なお、排出動作が行われる場合には、図７に示すように、液体噴射部１２が液体受容部１３１と対向するようにキャリッジ１２４を移動させて、液体受容部１３１に排出される液体を受容させることが好ましい。

ここで、ダイヤフラム５６を押圧する膨張収縮部６７は、空気圧によって変位するので、開閉弁５９か開弁し始めてから、開弁し終わるまでにかかる時間がばらつくことがある。開閉弁５９が液体供給流路２７を開き始めるとき、一方向弁４０から液体流入部５０までの領域（上流領域）は正圧であるとともに、液体流出部５１からノズル１９までの領域（下流領域）は負圧である。そのため、弁部６０の移動に時間がかかると、その途中で連通経路５７に徐々に液体が流れ、下流領域の圧力が上がる。そうすると、その後にポンプ機構３１が吐出駆動したときに、下流領域で生じる圧力変動の変動量がばらつく。

さらに、開閉弁５９が液体供給流路２７を開いている途中にポンプ機構３１が吐出駆動した場合には、その途中にポンプ機構３１が駆動停止している場合よりも、押圧動作（ステップＳ１４）の過程で液体流入部５０から下流領域に流れる液体の量が多くなる。このように、開閉弁５９の動作時間やそのときのポンプ機構３１の動作状況により、押圧動作の間に液体噴射部１２内の圧力が不規則に変動するおそれがある。

吐出駆動では、液体噴射部１２内において、短時間に大きい圧力変動を生じさせることにより、液体噴射部１２内に溜まった異物を効率よく排出することができる。また、液体噴射部１２内にある異物をノズル１９の外まで押し流すには、一定量以上の液体を流動させる必要がある。

そのため、吐出駆動の前に液体噴射部１２内の圧力が不規則に上昇すると、吐出駆動のときに十分な液体排出量、圧力変動または単位時間あたりの流量が得られず、液体に混入した異物を十分に排出できないおそれがある。

その点、開閉弁５９が開弁する前に、ポンプ機構３１が吸引駆動しておくと、一方向弁４０が閉じるので、押圧動作の間に上流領域の圧力が変動しにくくなる。そのため、押圧動作で開閉弁５９の移動にかかる時間がばらついても、その後の吐出駆動に伴って、下流領域を効果的に加圧することができる。

また、開閉弁５９が液体供給流路２７を開く前の吸引駆動でポンプ室４１の容積を設定値にしておくと、開閉弁５９が開弁した後の吐出駆動に伴ってポンプ室４１から流出する液体の量が一定になる。そのため、排出動作においてノズル１９から過剰な液体が流れることがなく、液体の量が不足することもない。なお、排出動作でノズル１９から流れる液体を少なくしたい場合には、上記設定値を小さくするとよい。

排出動作の後には、排出動作を停止する排出停止動作が行われる。排出停止動作では、押圧機構４８によるダイヤフラム５６の押圧を解除して開閉弁５９を閉弁状態にする。これにより、圧力調整機構３５の上流側と下流側とが連通しなくなり、液体供給源１３から加圧された液体が液体噴射部１２に向かって供給されなくなる。また、本実施形態では、排出動作と排出停止動作とが短い周期で繰り返し行われる。これにより、排出動作において、液体供給流路２７及び液体噴射部１２内を流れる液体の流速が低下することが抑制され、液体供給流路２７及び液体噴射部１２内から気泡などの異物を除去しやすくなる。

排出停止動作を行った直後では、圧力調整機構３５よりも下流側に配置された液体噴射部１２内の圧力が高く、印刷動作に適さない状態となっているため、液体噴射部１２の圧力を低下させるために、前払拭動作（圧力低下動作）が行われる。

なお、排出停止動作を行った直後は、ノズル１９からの液体の滴下が継続し、ノズル１９から液体が排出する状態が継続する。そして、ノズル１９からの液体の排出は、液体噴射部１２内の圧力が低下し、ノズル１９にメニスカスが形成されるまで継続される。この場合にノズル１９内又はノズル１９の開口近傍に形成されるメニスカスは、印刷動作を行う場合にノズル１９内に形成されるノズル１９内部に向かって凸状のメニスカスではなく、ノズル開口又はノズル１９の開口近傍からノズル１９外部に向かって凸状のメニスカスとなっている。

図８に示すように、前払拭動作では、液体噴射部１２がワイピング機構１４０と対向するようにキャリッジ１２４が移動し、ワイピング機構１４０が液体噴射部１２を払拭する。このとき、液体噴射部１２内は正圧であるため、ノズル１９の外側に膨出する気液界面（凸状のメニスカス）に払拭部１４９が接触すると、ノズル１９から液体が漏出する。なお、前払拭動作は、ノズル１９から液体を漏出させて、液体噴射部１２内の圧力を低下させることを目的とする。このため、図８に示すように、液体噴射部１２のノズル面１８と払拭部１４９とが接触しない一方でノズル１９から膨出する気液界面と払拭部１４９とが接触する状態で払拭動作を行ってもよいし、液体噴射部１２のノズル面１８と払拭部１４９とが接触した状態で払拭動作を行ってもよい。

ところで、クリーニングを行う場合には、排出動作において、液体噴射部１２及び液体供給流路２７から気泡が排出されないことがある。この場合、排出動作において、液体の圧力が高い状態では気泡の体積が小さくなるが、排出停止動作後には、液体の圧力が低くなることで気泡の体積が大きくなる。このため、排出動作及び排出停止動作における、気泡の容積変化によって、ノズル１９にメニスカスが形成されたときの液体噴射部１２及び液体供給流路２７内の圧力がより高い状態になることがある。

この状態で払拭動作を行うと、払拭部１４９がノズル開口から凸状に膨出している不安定なメニスカスに接触することで、メニスカスが壊れて、ノズル１９内の液体がノズル面１８に拡がることがある。このように、払拭動作を行うことで、ノズル１９内に形成されるメニスカスが不安定な状態になる可能性がある。これに対して、液体噴射部１２内を含む下流領域の圧力が安定した状態とは、その下流領域の圧力が、ノズル１９内にメニスカスが形成される程度の負圧に保たれた状態を言う。

前払拭動作が完了することで、下流領域の圧力が安定した状態となると、仕上げ払拭動作が行われる。図９に示すように、仕上げ払拭動作では、布ワイパー１４８の払拭部１４９を液体噴射部１２のノズル面１８に接触させた状態でワイピングが行われる。こうして、液体噴射部１２のノズル面１８に付着した液体が除去され、液体噴射部１２のノズル１９の内部に正常なメニスカスが形成される。

次に、本実施形態の圧力調整装置４７を製造する方法について説明する。
はじめに、本実施形態の本体部５２は、レーザー光を吸収して発熱する光吸収性樹脂（例えばポリプロピレンやポリブチレンテレフタレート）や、光を吸収する色素で着色された樹脂により形成されている。また、ダイヤフラム５６は、例えばポリプロピレンとポリエチレンテレフタレートなどの異なる材料を積層して形成され、レーザー光を透過させる透過性及び可撓性を有する。そして、押さえ部材６８は、レーザー光を透過する光透過性樹脂（例えばポリスチレンやポリカーボネート）により形成されている。すなわち、ダイヤフラム５６の透明度は、本体部５２の透明度よりも高く、押さえ部材６８の透明度よりも低い。

さて、図４に示すように、まず挿通孔７０に膨張収縮部６７の一部を挿通させた押さえ部材６８と本体部５２とによりダイヤフラム５６を挟持させる（挟持工程）。そして、押さえ部材６８を介してレーザー光を照射する（照射工程）。すると、押さえ部材６８を透過したレーザー光を本体部５２が吸収して発熱する。このとき生じた熱により、本体部５２、ダイヤフラム５６、押さえ部材６８が溶着される。したがって、押さえ部材６８は、圧力調整装置４７を製造する際にダイヤフラム５６を押さえる治具としても機能する。

以上、詳述した第１実施形態によれば以下の効果を得ることができる。
（１−１）メンテナンスの前にポンプ機構３１が吸引駆動してポンプ室４１の液体収容量を設定値にするので、メンテナンスの際にノズル１９から一定量の液体が排出される。したがって、液体噴射部１２を良好にメンテナンスできる。

（１−２）ポンプ機構３１が吸引駆動してポンプ室４１の液体収容量を設定値になると、その後の吐出駆動により、ノズル１９から一定量の液体が排出される。したがって、メンテナンスの際に適切に液体を流動させて、液体噴射部１２内の異物をノズル１９から排出することができる。

（１−３）圧力調整機構３５が液体供給流路２７を開く前にポンプ機構３１が吸引駆動をすると、その後の吐出駆動までの間に、液体供給流路２７の開閉に伴う圧力変動が起こりにくい。そのため、吐出駆動に伴って、液体噴射部１２内から異物を適切に排出することができる。

（１−４）液体噴射部１２につながる液体流出部５１内の圧力の変化に伴ってダイヤフラム５６が変位することにより、液体供給流路２７を開閉することができる。
（１−５）押圧機構４８がダイヤフラム５６を押すことによって、液体供給流路２７を強制的に開くことができる。

（１−６）圧力調整室６６の圧力を調整することによって、液体供給流路２７を強制的に開くことができる。
（１−７）ポンプ機構３１は、変位機構３０がポンプ室４１の容積を増大する方向に変位部３７を変位させることによって吸引駆動し、付勢部材４４が変位部３７を付勢することによって吐出駆動することができる。

（１−８）減圧室４２内の圧力を調整することによって、変位部３７を変位させることができる。このように、変位機構３０は、空気圧によって変位部３７を変位させることができる。そのため、液体噴射装置１１が、使用する液体の種類に応じて複数の変位部３７を有する場合には、それら複数の変位部３７を１つの減圧部４３で変位させることができる。

（１−９）排出動作後に圧力低下動作（前払拭動作）を行うため、排出停止動作を行った直後よりも、液体供給流路２７及び液体噴射部１２の圧力が低下した状態で、仕上げ払拭動作を行うことができる。すなわち、圧力低下動作を行うことなく仕上げ払拭動作を行う場合に比較して、液体供給流路２７及び液体噴射部１２の圧力が安定した状態で仕上げ払拭動作を行うことができる。こうして、加圧された液体を液体噴射部１２に供給することで該液体噴射部１２のノズル１９から液体を排出する排出動作を行った後に、ノズル１９からの液体の噴射が不安定になることを抑制できる。

（１−１０）圧力低下動作において、ノズル１９に形成されるメニスカスが該ノズル１９内に位置するように液体噴射部１２内の圧力が低下されるため、仕上げ払拭動作を行うときに、メニスカスがノズル１９の外側に位置することが抑制される。このため、仕上げ払拭動作を行う際に、ノズル１９に形成されるメニスカスを壊すことを抑制できる。

（１−１１）排出停止動作を行った後には、メニスカスがノズル１９の外側又はノズル１９の開口近傍に位置していることがある。この点、本実施形態では、前払拭動作を行うことで、気液界面に布ワイパー１４８（払拭部１４９）を接触させて、ノズル１９から液体を排出させることができる。これにより、液体噴射部１２内の圧力を低下させることができる。

（１−１２）本実施形態では、液体供給流路２７の途中に圧力調整機構３５を設けたことで、液体噴射部１２に供給する液体の圧力を調整することができる。また、押圧機構４８が圧力調整機構３５のダイヤフラム５６を押圧するか否かによって、開閉弁５９の状態を切り替えることができる。すなわち、押圧機構４８によるダイヤフラム５６の押圧態様を変更することで、排出動作及び排出停止動作を行うことができる。

（１−１３）本実施形態では、排出動作及び排出停止動作を繰り返し行うことで、液体噴射部１２及び液体供給流路２７内に液体を流したり、液体の流れを停止させたりすることができる。その結果、排出動作を継続して行う場合と比較して、液体噴射部１２及び液体供給流路２７内を流れる液体の圧力を高く維持しやすくなる。その結果、液体噴射部１２及び液体供給流路２７内の液体に含まれる気泡などの異物を効果的に排出できる。

（１−１４）また、排出動作、排出停止動作及び圧力低下動作を含む一連の動作を繰り返す場合と比較して、圧力低下動作が繰り返し行われない点で、一連の動作を簡素化できる。

（第２実施形態）
次に、液体噴射装置１１の第２実施形態を図面にしたがって説明する。
この第２実施形態は、上記第１実施形態における圧力調整装置４７を図１０及び図１１に示す圧力調整装置２００に変更したものであり、その他の点では第１実施形態とほぼ同じであるため、同一の部材については同一符号を付すことによって重複した説明は省略する。

図１０及び図１１に示すように、圧力調整装置２００は、空気室形成ユニット２０１と、圧力調整機構形成ユニット２０２と、底板部材２０３と、接続部形成ユニット２０４と、２つのレバーユニット２０５とを組み付けることによって形成される。

接続部形成ユニット２０４は、本体部２０６と、本体部２０６の外側面を覆うように取着された接続フィルム２０７とを備えている。本体部２０６の上面には、複数の液体供給流路２７のうちの２つがそれぞれ接続される第１液体接続部２０８及び第２液体接続部２０９と、圧力調整部２１０が接続される圧力接続部２１１とが突設されている。本体部２０６の内側面には、第１液体接続部２０８、第２液体接続部２０９、及び圧力接続部２１１とそれぞれ連通する第１液体導出部２１２、第２液体導出部２１３、及び圧力供給部２１４が突設されている。

接続部形成ユニット２０４の本体部２０６の外側面には３つの溝（図示略）が形成されており、３つの溝と接続フィルム２０７とで３つの流路（図示略）が形成されている。これら３つの流路（図示略）は、第１液体接続部２０８、第２液体接続部２０９、及び圧力接続部２１１と、第１液体導出部２１２、第２液体導出部２１３、及び圧力供給部２１４とをそれぞれ接続している。

空気室形成ユニット２０１は、本体部２１５と、本体部２１５の両側面の全体を覆うように該両側面にそれぞれ取着される可撓性の空気室フィルム２１６とを備えている。本体部２１５における接続部形成ユニット２０４側の側面には、圧力供給部２１４が接続される空気導入部２１７が設けられている。本体部２１５の両側面における圧力調整機構形成ユニット２０２との境界近傍には、レバーユニット２０５が取り付けられる略Ｔ字状の取付部２１８がそれぞれ突設されている。

図１０及び図１２に示すように、空気室形成ユニット２０１の本体部２１５の両側面には、円形の凹部２１９がそれぞれ形成されている。そして、各凹部２１９と各空気室フィルム２１６とで囲まれた空間は、空気室である圧力調整室２２０とされている。各空気室フィルム２１６における凹部２１９と対応する円形の部分は、圧力調整室２２０の一部を形成する可撓壁２２１とされている。本実施形態では、可撓壁２２１によって「回動力付与部」が構成されている。

図１３及び図１４に示すように、空気室形成ユニット２０１の本体部２１５の両側面には溝２２２がそれぞれ形成され、これらの溝２２２同士は貫通孔２２３によって連通している。２つの溝２２２はそれぞれ反対側に位置する凹部２１９の中央部に貫通孔２２４を介して連通している。そして、これら２つの溝２２２と２つの空気室フィルム２１６とで囲まれた空間により空気流路２２５が形成されている。したがって、空気流路２２５は、本体部２１５の両側面にわたって延びている。なお、空気流路２２５は、空気導入部２１７と連通している。

図１０に示すように、圧力調整機構形成ユニット２０２は、本体部２２６と、本体部２２６の両側面の全体を覆うように該両側面にそれぞれ取着される可撓性の圧力フィルム２２７とを備えている。本体部２２６における接続部形成ユニット２０４側の側面には、第１液体導出部２１２及び第２液体導出部２１３がそれぞれ接続される第１液体導入部２２８及び第２液体導入部２２９が設けられている。

図１０及び図１２に示すように、圧力調整機構形成ユニット２０２の本体部２２６の両側面には、円形の凹部２３０がそれぞれ形成されている。そして、各凹部２３０と各圧力フィルム２２７とで囲まれた空間は、液体流出部２３１とされている。各圧力フィルム２２７における凹部２３０と対応する円形の部分は、液体流出部２３１の一部を形成するダイヤフラム２３２とされている。

図１０及び図１４に示すように、レバーユニット２０５は、矩形板状のレバー２３３と、レバー２３３の係止部２３４に係止されたねじりばね２３５とを備えている。レバー２３３における長手方向の中央部よりもやや一端側寄りの位置には、レバーユニット２０５を取付部２１８に取り付けるための取付孔２３６が貫通するように形成されている。レバー２３３は、その一方側の面における長手方向の一端部に略円板状の押圧部２３７を有し、他端部に略半球状の被押圧部２３８を有している。

そして、レバーユニット２０５は、レバー２３３の取付孔２３６において取付部２１８に取り付けた場合に、レバー２３３における取付部２１８との接触部分である支点を回動中心として回動可能になっている。このとき、押圧部２３７はダイヤフラム２３２の中央部と対向するとともに、被押圧部２３８は可撓壁２２１の中央部に接触している。

さらにこのとき、ねじりばね２３５の付勢力は、押圧部２３７がダイヤフラム２３２に近づく方向にレバー２３３を回動させる際の抵抗力として作用するようになっている。したがって、押圧部２３７は、通常、ダイヤフラム２３２から離れている。

図１５に示すように、圧力調整部２１０は、環状の環状管２４０と、環状管２４０の途中に設けられたポンプ２４１と、環状管２４０におけるポンプ２４１と反対側の位置に設けられて環状管２４０と圧力接続部２１１とを接続する接続管２４２とを備えている。環状管２４０における接続管２４２との接続位置とポンプ２４１との間には第２バルブＶ２が設けられ、環状管２４０における第２バルブＶ２と反対側の位置には第３バルブＶ３が設けられている。

環状管２４０における第２バルブＶ２とポンプ２４１との間には先端側が大気開放された第１分岐管２４３の基端側が接続され、第１分岐管２４３の途中位置には第１バルブＶ１が設けられている。環状管２４０における第３バルブＶ３とポンプ２４１との間には先端側が大気開放された第２分岐管２４４の基端側が接続され、第２分岐管２４４の途中位置には第４バルブＶ４が設けられている。

ポンプ２４１は、その駆動により環状管２４０内の空気を図１５の矢印で示す一方向に流動させる。そして、圧力調整部２１０は、第１バルブＶ１及び第３バルブＶ３を閉弁するとともに第２バルブＶ２及び第４バルブＶ４を開弁した状態でポンプ２４１を駆動することで、圧力接続部２１１から空気を加圧供給して圧力調整室２２０（図１１及び図１２参照）を加圧する。

一方、圧力調整部２１０は、第１バルブＶ１及び第３バルブＶ３を開弁するとともに第２バルブＶ２及び第４バルブＶ４を閉弁した状態でポンプ２４１を駆動することで、圧力接続部２１１から空気を吸引して圧力調整室２２０（図１１及び図１２参照）を減圧する。

したがって、圧力調整部２１０は、圧力調整装置２００の２つの圧力調整室２２０（図１１及び図１２参照）を同時に加圧したり減圧したりすることが可能な加圧減圧装置として機能する。なお、第１〜第４バルブＶ１〜Ｖ４は電磁バルブによって構成され、それらの開閉動作は制御部１６０によってそれぞれ制御される。

次に、圧力調整装置２００について詳述する。
ここでは、主に図４と図１６とに基づいて説明するが、図４においては圧力調整装置４７を図１６に示す圧力調整装置２００に置き換えたものとして説明する。

図４及び図１６に示すように、圧力調整装置２００は、液体供給流路２７に設けられてこの液体供給流路２７の一部を構成する圧力調整機構２５０と、圧力調整機構２５０を押圧する押圧機構２５１とを２つずつ備えている。したがって、圧力調整装置２００は、１つで２種類の液体の圧力を調整することが可能になっている。

圧力調整機構形成ユニット２０２が備える圧力調整機構２５０は、液体供給源１３から液体供給流路２７を介して供給される液体が流入する液体流入部２５２と、液体を内部に収容可能な液体流出部２３１とが形成された本体部２２６を備えている。液体供給流路２７と液体流入部２５２とは、壁部２４７により仕切られており、壁部２４７に形成された貫通孔２４８により連通している。液体供給流路２７における貫通孔２４８の直ぐ上流側には、フィルター部材２４９が配置されている。したがって、液体供給流路２７の液体は、フィルター部材２４９に濾過されて液体流入部２５２に流入する。

液体流出部２３１は、壁面の一部がダイヤフラム２３２により構成されている。このダイヤフラム２３２は、液体流出部２３１の内面となる第１の面２３２ａで液体流出部２３１内の液体の圧力を受ける一方、液体流出部２３１の外面となる第２の面２３２ｂで大気圧を受ける。

このため、ダイヤフラム２３２は、液体流出部２３１内の圧力に応じて変位する。したがって、液体流出部２３１は、ダイヤフラム２３２が変位することで容積が変化する。なお、液体流入部２５２と液体流出部２３１とは、連通経路２５４によって連通されている。

圧力調整機構２５０は、連通経路２５４において液体流入部２５２と液体流出部２３１とを非連通とする閉弁状態（図１６に示す状態）と、液体流入部２５２と液体流出部２３１とを連通させる開弁状態（図１７に示す状態）とを切り替え可能な開閉弁２５５を備えている。

開閉弁２５５は、連通経路２５４を遮断可能な弁部２５６と、連通経路２５４に挿通されるロッド部２５７とを備えている。ロッド部２５７は、その先端がダイヤフラム２３２の第１の面２３２ａの中央部に接触するように配置された略円板状の受圧部２５８に接触している。この場合、受圧部２５８は、ロッド部２５７の先端に固定されていてもよいし、ダイヤフラム２３２の第１の面２３２ａの中央部に固定されていてもよい。

開閉弁２５５は、ダイヤフラム２３２により受圧部２５８を介して押圧されることで移動する。すなわち、受圧部２５８は、液体流出部２３１の容積を小さくする方向へ変位するダイヤフラム５６に接触した状態で移動可能な移動部材としても機能している。

液体流入部２５２内には上流側付勢部材２５９が設けられ、液体流出部２３１内には下流側付勢部材２６０が設けられている。上流側付勢部材２５９は開閉弁２５５を閉弁させる方向に付勢し、下流側付勢部材２６０は、受圧部２５８をダイヤフラム２３２側に付勢する。そして、開閉弁２５５は、第１の面２３２ａにかかる圧力が第２の面２３２ｂにかかる圧力より低く且つ第１の面２３２ａにかかる圧力と第２の面２３２ｂにかかる圧力との差が所定値Ｐ２（例えば、１ｋＰａ）以上になると、閉弁状態から開弁状態になる。

この所定値Ｐ２は、上流側付勢部材２５９の付勢力、下流側付勢部材２６０の付勢力、ダイヤフラム２３２を変位させるために必要な力、弁部２５６によって連通経路２５４を遮断するために必要な押圧力（シール荷重）、弁部２５６の表面に作用する液体流入部２５２内の圧力、及び液体流出部２３１内の圧力に応じて決まる値である。すなわち、上流側付勢部材２５９と下流側付勢部材２６０の付勢力が大きいほど所定値Ｐ２も大きくなる。

上流側付勢部材２５９と下流側付勢部材２６０の付勢力は、液体流出部２３１内の圧力がノズル１９における気液界面にメニスカスを形成可能な範囲の負圧状態（例えば、第２の面２３２ｂにかかる圧力が大気圧の場合、−１ｋＰａ）となるように設定される。この場合、気液界面とは液体と気体とが接する境界であり、メニスカスとは液体がノズル１９と接してできる湾曲した液体表面である。そして、ノズル１９には、液体の噴射に適した凹状のメニスカスが形成されることが好ましい。

押圧機構２５１は、ダイヤフラム２３２の第２の面２３２ｂ側を押圧可能な押圧部２３７を有する回動可能なレバー２３３と、レバー２３３に回動力を付与する可撓壁２２１を有した圧力調整室２２０と、圧力調整室２２０内の圧力を調整可能な圧力調整部２１０（図１１参照）とを備えている。可撓壁２２１は、圧力調整部２１０（図１１参照）による圧力調整室２２０内の圧力の調整に伴って膨らんだり凹んだりする。

そして、押圧機構２５１は、圧力調整部２１０（図１１参照）が圧力調整室２２０内の圧力を大気圧よりも高い圧力に調整することによって可撓壁２２１を膨らませることで、ダイヤフラム２３２を液体流出部２３１の容積が小さくなる方向にレバー２３３の押圧部２３７によって押圧することによって開閉弁２５５を開弁状態とする。

すなわち、可撓壁２２１がレバー２３３の被押圧部２３８に接触した状態で膨らむと、可撓壁２２１によって被押圧部２３８が押圧されてレバー２３３に回動力が付与され、この回動力によりレバー２３３が取付部２１８との接触部分である支点を回動中心として回動する。

このレバー２３３の回動に伴って押圧部２３７がダイヤフラム２３２の第２の面２３２ｂ側を液体流出部２３１の容積が小さくなる方向に押圧することで、開閉弁２５５が閉弁状態から開弁状態にされる。このとき、押圧機構２５１の押圧部２３７は、ダイヤフラム２３２における受圧部２５８が接触する領域を押圧する。この場合、ダイヤフラム２３２における受圧部２５８が接触する領域の面積は、連通経路２５４の断面積よりも大きくなっている。

また、押圧機構２５１は、圧力調整部２１０（図１１参照）が圧力調整室２２０内の圧力をレバー２３３の押圧部２３７によるダイヤフラム２３２の押圧時の圧力調整室２２０内の圧力よりも低い圧力に調整することで、レバー２３３の押圧部２３７によるダイヤフラム２３２の押圧を解除する。なお、レバー２３３に可撓壁２２１による回動力が付与されない状態では、押圧部２３７がダイヤフラム２３２から離れている。

次に、液体噴射部１２に供給される液体の圧力を調整する圧力調整装置２００の作用について説明する。
液体噴射部１２が液体を噴射すると、液体流出部２３１に収容された液体が液体供給流路２７を介して液体噴射部１２に供給される。これにより液体流出部２３１内の圧力が低下し、ダイヤフラム２３２における第１の面２３２ａにかかる圧力と第２の面２３２ｂにかかる圧力との差が所定値Ｐ２以上になると、ダイヤフラム２３２が液体流出部２３１の容積を小さくする方向へ撓み変形する。このダイヤフラム２３２の変形に伴って受圧部２５８を介して開閉弁２５５が押圧されて移動し、開閉弁２５５が開弁状態となる。

液体流入部２５２内の液体はポンプ機構３１により加圧されているため、開閉弁２５５が開弁すると、液体流入部２５２から液体流出部２３１に液体が流れる。これにより液体流出部２３１内の圧力が上昇すると、ダイヤフラム２３２が液体流出部２３１の容積を増大させる方向に変形する。そして、ダイヤフラム２３２における第１の面２３２ａにかかる圧力と第２の面２３２ｂにかかる圧力との差が所定値Ｐ２よりも小さくなると、開閉弁２５５が上流側付勢部材２５９の付勢力により移動し、開弁状態から閉弁状態になって液体の流動を阻害する。

このようにして、圧力調整機構２５０は、ダイヤフラム２３２を変位させて液体噴射部１２に供給される液体の圧力を調整することで、ノズル１９の背圧となる液体噴射部１２内の圧力を調整する。

次に、第２実施形態において、液体噴射装置１１がクリーニングを行う場合の作用について説明する。なお、第２実施形態におけるクリーニングでは、排出動作と排出停止動作とを繰り返し行わないものとする。

図１５に示すように、圧力調整部２１０の第１バルブＶ１及び第３バルブＶ３を閉弁するとともに第２バルブＶ２及び第４バルブＶ４を開弁した状態でポンプ２４１を駆動すると、圧力接続部２１１から空気が加圧供給されて圧力調整室２２０（図１６参照）内の圧力が大気圧よりも高い圧力に調整される。

これにより、図１７に示すように、可撓壁２２１が膨らんでレバー２３３の被押圧部２３８を押圧し、レバー２３３がねじりばね２３５の付勢力に抗して取付部２１８との接触部分である支点を回動中心として回動する。

すると、レバー２３３の押圧部２３７がダイヤフラム２３２における受圧部２５８が接触する領域を下流側付勢部材２６０の付勢力に抗して押圧する。すると、開閉弁２５５もダイヤフラム２３２及び受圧部２５８越しに押圧部２３７による押圧力を受けて上流側付勢部材２５９の付勢力に抗して移動し、開閉弁２５５が開弁状態になる。

すなわち、押圧機構２５１は、上流側付勢部材２５９及び下流側付勢部材２６０の付勢力に抗して受圧部２５８及び開閉弁２５５を移動させることにより、開閉弁２５５を開弁状態にする。この場合、圧力調整部２１０は、複数の圧力調整装置２００の圧力接続部２１１に接続されているため、全ての圧力調整装置２００の開閉弁２５５を開弁状態にする。

このとき、ダイヤフラム２３２は液体流出部２３１の容積を小さくする方向に変形するため、液体流出部２３１に収容されていた液体は液体噴射部１２側に押し出される。すなわち、ダイヤフラム２３２が液体流出部２３１を押圧した圧力が液体噴射部１２に伝わることにより、メニスカスが壊れてノズル１９から液体が溢れる。

つまり、押圧機構２５１は、液体流出部２３１内の圧力が、少なくとも１つのメニスカスが壊れる圧力（例えば、気液界面における液体側の圧力が気体側の圧力よりも３ｋＰａ高くなる圧力）よりも高くなるように、ダイヤフラム２３２を押圧する。

また、押圧機構２５１は、ダイヤフラム２３２を押圧することによって、液体流入部２５２内の圧力に関わらず開閉弁２５５を開弁状態にする。この場合、押圧機構２５１は、ポンプ機構３１が液体を加圧する圧力に前述の所定値Ｐ２を加えた圧力がダイヤフラム２３２に加わった場合に発生する押圧力よりも大きな押圧力でダイヤフラム２３２を押圧する。

押圧機構２５１がダイヤフラム２３２を押圧している間は開閉弁２５５の開弁状態が維持される。この状態でポンプ機構３１が吐出駆動してポンプ室４１から液体を流出させると、その加圧力が液体流入部２５２、連通経路２５４、液体流出部２３１を介して液体噴射部１２に伝わり、ノズル１９から液体が排出（滴下）される排出動作（加圧クリーニング）が行われる。すなわち、ポンプ機構３１が液体を加圧することにより、加圧状態の所定量の液体を液体噴射部１２に供給してノズル１９から液体受容部１３１に排出させる。

押圧機構２５１がダイヤフラム２３２を押圧する前には、ポンプ機構３１が吸引駆動して、ポンプ室４１内に収容される液体の量が予め設定された設定値となるまで、液体を吸引することが好ましい。そうすると、ポンプ機構３１が吐出駆動したときに、一定量の液体を液体噴射部１２に供給することができる。

そして、ノズル１９から一定量（ポンプ室４１内の設定値の液体分）の液体が排出されると、ノズル１９からの液体の排出が止まる。すなわち、ポンプ機構３１が吐出駆動して所定量の加圧された液体をノズル１９から排出（滴下）させると、この液体の排出に伴って供給する液体の加圧のレベルが低下し、やがてノズル１９から液体が排出されない程度の加圧レベルになる。

その後、圧力調整部２１０の第１バルブＶ１及び第３バルブＶ３が開弁されるとともに第２バルブＶ２及び第４バルブＶ４が閉弁されることで、圧力接続部２１１から空気が吸引されて圧力調整室２２０が減圧される。

これにより、膨らんでいた可撓壁２２１が萎んで凹んだ状態になる。すると、レバー２３３がねじりばね２３５の付勢力によって取付部２１８との接触部分である支点を回動中心として回動して元の位置に戻る。すなわち、レバー２３３の押圧部２３７がダイヤフラム２３２から離れた状態になる。

すると、受圧部２５８とともにダイヤフラム２３２が下流側付勢部材２６０の付勢力によって元の位置に戻るとともに、開閉弁２５５が上流側付勢部材２５９の付勢力によって移動して閉弁状態になる。こうして、ポンプ機構３１が設けられる上流側と液体噴射部１２が設けられる下流側とが開閉弁２５５によって連通しなくなり、加圧された液体が液体噴射部１２に供給できなくなることで、排出停止動作が行われる。

排出停止動作を行った後は、液体噴射部１２内の圧力が通常時よりも高くなっているため、第１実施形態と同様に、圧力低下動作が行われる。その後、仕上げ払拭動作が行われることで、液体噴射部１２のノズル１９において、正常なメニスカスが形成される。

以上、詳述した第２実施形態によれば以下の効果を得ることができる。
（２−１）液体噴射装置１１において、押圧機構２５１は、圧力調整部２１０が圧力調整室２２０内の圧力を調整して可撓壁２２１によりレバー２３３に回動力を付与することで、レバー２３３を回動させて、押圧部２３７によるダイヤフラム２３２の第２の面２３２ｂ側の押圧を行う。このため、レバー２３３の仕様（レバー比や形状等）を変更するだけで、圧力調整室２２０の仕様（加圧力や大きさ等）を変更することなく押圧部２３７による押圧力を変更することができる。すなわち、押圧部２３７による必要な押圧力が変化しても、レバー２３３の仕様を変更するだけで、圧力調整室２２０の仕様を変更することなく対応することができるので、汎用性を高めることができる。

（２−２）液体噴射装置１１において、レバー２３３に可撓壁２２１による回動力が付与されない状態では、押圧部２３７がダイヤフラム２３２から離れている。このため、レバー２３３の押圧部２３７がダイヤフラム２３２に接触することに起因する圧力調整機構２５０の動作不良の発生を抑制できる。

（２−３）液体噴射装置１１において、押圧機構２５１は、ダイヤフラム２３２における受圧部２５８が接触する領域をレバー２３３の押圧部２３７によって押圧する。このため、ダイヤフラム２３２における受圧部２５８の外側領域（周囲の領域）を液体流出部２３１側に変形させないように、押圧部２３７によってダイヤフラム２３２を押圧することができる。そして、押圧部２３７によるダイヤフラム２３２の押圧を解除した後には、ダイヤフラム２３２における受圧部２５８の外側領域が液体流出部２３１の容積が大きくなる方向に移動して押圧前の状態に復帰するので、ノズル１９から気泡や液体が引き込まれることを抑制できる。

（２−４）液体噴射装置１１において、押圧機構２５１は、圧力調整部２１０が圧力調整室２２０内の圧力を大気圧よりも高い圧力に調整することで、レバー２３３の押圧部２３７によってダイヤフラム２３２を押圧する。このため、圧力調整室２２０内の圧力を大気圧よりも高い圧力に調整するだけで、レバー２３３の押圧部２３７によってダイヤフラム２３２を押圧することができる。

（２−５）液体噴射装置１１において、押圧機構２５１は、圧力調整部２１０が圧力調整室２２０内の圧力を押圧部２３７によるダイヤフラム２３２の押圧時の圧力調整室２２０内の圧力よりも低い圧力に調整することで、レバー２３３の押圧部２３７によるダイヤフラム２３２の押圧を解除する。このため、レバー２３３の押圧部２３７によるダイヤフラム２３２の押圧状態を容易に解除することができる。

（２−６）液体噴射装置１１において、回動力付与部は、圧力調整室２２０の一部を形成する可撓壁２２１であり、レバー２３３に接触することによりレバー２３３に回動力を付与する。このため、圧力調整室２２０の一部を形成する可撓壁２２１を、レバー２３３に回動力を付与する回動力付与部として好適に機能させることができる。

（２−７）液体噴射装置１１において、ポンプ機構３１は、押圧機構２５１がダイヤフラム２３２を押圧することによる開閉弁２５５の開弁状態において吐出駆動することで、加圧状態の液体を液体噴射部１２に対して供給する。このため、開閉弁２５５を強制的に開弁した状態でポンプ機構３１が吐出駆動して液体を加圧することにより、加圧状態の液体を液体噴射部１２に供給してノズル１９から排出させる排出動作を行うことができる。

（２−８）液体噴射装置１１は、ポンプ機構３１の吐出駆動によって液体が加圧された状態で、押圧機構２５１によるダイヤフラム２３２の押圧を解除して開閉弁２５５を閉弁状態にする。このため、加圧クリーニング後にノズル１９から気泡や液体が引き込まれることを抑制できる。

上記実施形態は、以下に示す変更例のように変更してもよい。上記実施形態に含まれる構成は、下記変更例に含まれる構成と任意に組み合わせることができる。下記変更例に含まれる構成同士は、任意に組み合わせることができる。

・図１８に示すように、液体噴射装置１１は、圧力調整機構３５を備えない液体噴射装置１１Ａであってもよい。この液体噴射装置１１Ａは、液体を貯留するメインタンク３０１（液体供給源の一例）と、メインタンク３０１から供給された液体を貯留するサブタンク３０２と、液体を噴射する液体噴射部１２とを備えている。また、液体噴射装置１１Ａは、メインタンク３０１とサブタンク３０２とを接続する第１流路３１１と、サブタンク３０２と液体噴射部１２とを個別に接続する第２流路３１２及び第３流路３１３とを備えている。また、この液体噴射装置１１Ａは、第１流路３１１に配置され、メインタンク３０１からサブタンク３０２に向けて液体を流動させる第１供給ポンプ３２１と、第３流路３１３に配置され、サブタンク３０２から液体噴射部１２に向けて液体を流動させる第２供給ポンプ３２２とを備えている。さらに、この液体噴射装置１１Ａは、サブタンク３０２に接続され、サブタンク３０２の内部と大気（外部）との連通状態を切り替える大気開放弁３３１と、第２流路３１２に配置され、液体の流動を許容したり規制したりする切換弁３３２とを備えている。

また、液体噴射装置１１Ａでは、サブタンク３０２と液体噴射部１２と鉛直方向Ｚにおける位置関係は、サブタンク３０２の液面と液体噴射部１２のノズル１９の液面との水頭差によって、液体噴射部１２内の圧力（ノズル１９内の圧力）が負圧に維持できる位置関係とされている。

そして、この液体噴射装置１１Ａにおいて、印刷動作を行う場合には、アクチュエーター２４の駆動に基づいて、液体噴射部１２のノズル１９から液体が噴射される。また、印刷動作時には、切換弁３３２が開弁状態とされることで、液体噴射部１２から噴射された液体量に相当する量の液体がサブタンク３０２から供給される。印刷動作を継続することで、サブタンク３０２に貯留される液体量が減少すると、第１供給ポンプ３２１が駆動され、メインタンク３０１からサブタンク３０２に液体が供給される。なお、印刷動作時には、大気開放弁３３１が大気開放状態とされ、第２供給ポンプ３２２が停止される。

一方、この液体噴射装置１１Ａにおいて、排出動作を行う場合には、切換弁３３２が閉弁された状態で、第２供給ポンプ３２２が駆動される。このため、第２流路３１２を介して、液体噴射部１２内に加圧された液体が供給されることにより、液体噴射部１２のノズル１９から液体が排出される。

・また、図１９に示すように、液体噴射装置１１は、圧力調整機構３５を備えない液体噴射装置１１Ｂであってもよい。この液体噴射装置１１Ｂは、液体を貯留するメインタンク４０１（液体供給源の一例）と、メインタンク４０１から供給された液体を貯留するサブタンク４０２と、液体を噴射する液体噴射部１２とを備えている。さらに、液体噴射装置１１Ｂは、メインタンク４０１とサブタンク４０２とを接続する第１流路４１１と、サブタンク４０２と液体噴射部１２とを接続する第２流路４１２と、サブタンク４０２の液面よりも高い位置に接続される第３流路４１３とを備えている。また、この液体噴射装置１１Ｂは、第１流路４１１に配置され、メインタンク４０１からサブタンク４０２に向けて液体を流動させる供給ポンプ４２１と、第３流路４１３に配置され、サブタンク４０２内の圧力を調整する圧力調整ポンプ４２２と、サブタンク４０２内の圧力を検出する圧力検出部４２３とを備えている。さらに、この液体噴射装置１１Ｂは、メインタンク４０１とサブタンク４０２との連通状態を切り替える第１切換弁４３１と、サブタンク４０２と液体噴射部１２との連通状態を切り替える第２切換弁４３２と、サブタンク４０２と圧力調整ポンプ４２２と大気（外気）との接続状態を切り替える三方弁４３３とを備えている。なお、第１切換弁４３１は第１流路４１１に配置され、第２切換弁４３２は第２流路４１２に配置され、三方弁４３３は第３流路４１３に配置されている。

そして、この液体噴射装置１１Ｂにおいて、印刷動作を行う場合には、アクチュエーター２４の駆動に基づいて、液体噴射部１２のノズル１９から液体が噴射される。また、印刷動作時には、サブタンク４０２と圧力調整ポンプ４２２とが連通するように三方弁４３３が切り替えられる。また、第２切換弁４３２が閉弁されることで、メインタンク４０１とサブタンク４０２とが非接続状態とされる。そして、圧力検出部４２３の検出結果に基づいて、サブタンク４０２が所定の圧力となるように圧力調整ポンプ４２２が駆動される。こうして、印刷動作時には、液体噴射部１２のノズル１９内の圧力を所定の負圧に維持しつつ、液体噴射部１２に液体が供給される。印刷動作を継続することで、サブタンク４０２に貯留される液体量が減少すると、供給ポンプ４２１が駆動され、メインタンク４０１からサブタンク４０２に液体が供給される。なお、サブタンク４０２への液体の供給時には、第１切換弁４３１が開弁され、第２切換弁４３２が閉弁され、サブタンク４０２内が大気に連通するように三方弁４３３が切り替えられる。

一方、この液体噴射装置１１Ｂにおいて、排出動作を行う場合には、サブタンク４０２を大気及び圧力調整ポンプ４２２に連通しないように三方弁４３３が切り替えられる。また、第２切換弁４３２が開弁されることで、メインタンク４０１とサブタンク４０２とが接続状態とされる。そして、第１切換弁４３１が開弁された状態で、供給ポンプ４２１を駆動し、サブタンク４０２を介して液体噴射部１２に加圧された液体を供給することで、液体噴射部１２から液体が排出される。

なお、この液体噴射装置１１Ｂでは、次のように排出動作を行うこともできる。すなわち、排出動作を行う場合には、サブタンク４０２と圧力調整ポンプ４２２とが連通するように三方弁４３３が切り替えられる。また、第１切換弁４３１が閉弁されることで、メインタンク４０１とサブタンク４０２とが非接続状態とされる。そして、圧力調整ポンプ４２２を駆動することで、サブタンク４０２の内部に気体を送出し、サブタンク４０２の内部を加圧する。こうして、液体噴射部１２に加圧された液体が供給され、液体噴射部１２から液体が排出される。

・圧力低下動作（ステップＳ１６）は、液体噴射部１２内から加圧された液体を排出することで液体噴射部１２内の圧力を低下させることができるのであれば、前払拭動作でなくてもよい。

例えば、圧力低下動作は、アクチュエーター２４を駆動して、振動板２１を変位（振動）させる動作であってもよい。これによれば、液体噴射部１２内の圧力が高く、ノズル１９内の気液界面が不安定な状態において、ノズル１９から液体を排出させることで液体噴射部１２内の圧力を低下させることができる。

なお、圧力低下動作としてアクチュエーター２４を駆動する場合には、アクチュエーター２４（圧電素子）に印加する電圧を低くすることで振動板２１を弱く振動させてもよい。この場合には、ノズル１９に形成された不安定なメニスカスが振動板２１の振動によって壊れ、ノズル１９から液体が漏出することとなる。なお、振動板２１を弱く振動させる場合の振動とは、例えば、ノズル１９に正常なメニスカスが形成されているときであっても、該ノズル１９から液体が噴射されない程度の振動板２１の振動を言う。

一方、圧力低下動作としてアクチュエーター２４を駆動する場合には、アクチュエーター２４（圧電素子）に印加する電圧を高くすることで振動板２１を強く振動させてもよい。この場合には、ノズル１９から液体が噴射されることで、より確かに液体噴射部１２内の圧力を低下させることができる。なお、振動板２１を強く振動させる場合の振動とは、例えば、印刷動作時など、媒体１１３に向けて液体が噴射されるときの振動板２１の振動を言う。

・また、圧力低下動作は、前払拭動作とアクチュエーター２４を駆動する動作とを組み合わせて行ってもよい。
・図９に示すフローチャートにおいて、制御部１６０は、仕上げ払拭動作を行った後にフラッシングを行わせてもよい。これによれば、液体噴射部１２のノズル１９内に正常なメニスカスを形成しやすくできる。

・払拭部１４９をノズル面１８に接触させて前払拭動作を行う場合において、前払拭動作と仕上げ払拭動作とにおけるノズル面１８に対する払拭部１４９の接触力は適宜に変更してもよい。例えば、ノズル面１８に対する払拭部の接触力は、前払拭動作及び仕上げ払拭動作において等しくてもよいし、前払拭動作の方が弱くてもよい。

・液体受容部１３１は、ワイピング機構１４０の筐体１４１の鉛直上部に設けてもよい。これによれば、排出動作を行った後に、キャリッジ１２４（液体噴射部１２）を移動させることなく、圧力低下動作を行うことができる。このため、キャリッジ１２４（液体噴射部１２）の移動中に、液体噴射部１２に作用する振動によって、加圧状態の液体が液体噴射部１２のノズル１９から漏出することを抑制できる。

・液体受容部１３１は、液体を受容可能な可動式のベルトによって構成してもよい。この場合には、上記ベルトにおいて、液体の受容した部分を液体の受容していない部分に変更できるように、ベルトを駆動させるためのモーターなどの構成を設けることが好ましい。

・押圧機構４８は、膨張収縮部６７を備えることなく、空気室７２の圧力を調整することで、ダイヤフラム５６を押圧してもよい。詳しくは、押圧機構４８は、空気室７２の圧力を高くすることでダイヤフラム５６を液体流出部５１の容積が小さくなる方向に変位させる一方、空気室７２の圧力を低くすることでダイヤフラム５６を液体流出部５１の容積が大きくなる方向に変位させてもよい。なお、この構成を採用する場合には、圧力低下動作として、空気室７２の圧力を大気圧未満の負圧とすることで、液体噴射部１２内の圧力を低下させてもよい。

・圧力調整機構３５と液体噴射部１２との間に、液体が流入及び流出するバッファタンクを設けてもよい。この場合、バッファタンクの壁部の一部を弾性変形可能な可撓壁とするとともに、バッファタンクの容積を可変すべく可撓壁を変位させる変位機構を設けることが好ましい。これによれば、バッファタンクの容積を小さくした状態で排出動作を行った後に、バッファタンクの容積を大きくすることで圧力低下動作を行うことができる。

・吸引クリーニングの際に、ポンプ機構３１を駆動してもよい。この場合、吸引機構１５３による吸引力にポンプ機構３１の加圧力を加えることにより、液体を排出するときの流速を増して、気泡等の異物を効率よく排出することができる。この場合、吸引クリーニングの前に、ポンプ機構３１が吸引駆動をして、ポンプ室４１内に収容される液体の量が予め設定された設定値となるまで、液体を吸引するとよい。設定値は、例えばポンプ室４１の満容量である。そしてその後、吸引機構１５３の駆動と同時に、あるいはその駆動と前後してポンプ機構３１が吐出駆動する。これにより、液体を排出するための加圧力のばらつきを抑制することができる。

なお、吸引クリーニング前にポンプ機構３１が吸引駆動しているか吐出駆動しているかで、上流領域の圧力が変化する。こうした液体供給流路２７内の圧力の違いは、吸引機構１５３が駆動したときの液体の流速に変動を生じさせることがある。そのため、吸引クリーニングの際にポンプ機構３１を駆動しない場合であっても、吸引クリーニングの前に、ポンプ機構３１が吸引駆動をして、ポンプ室４１内に収容される液体の量が予め設定された設定値となるまで、液体を吸引するとよい。

・図１８の第２供給ポンプ３２２、図１９の供給ポンプ４２１または圧力調整ポンプ４２２を吐出駆動して排出動作を行う場合、その吐出駆動の前に吸引駆動をして、そのポンプ室内に収容される液体の量を予め設定された設定値としておくとよい。これにより、排出動作における液体の排出量のばらつきを抑制することができる。

・同じ液体を噴射する複数のノズル１９のグループをノズル群とする場合に、液体噴射部１２が異なる液体を噴射する複数のノズル群を有してもよい。この場合、キャップ１５１をノズル群毎に設け、ノズル群毎に吸引クリーニングを行ってもよい。同様に、ノズル群毎に別々に加圧クリーニングを行ってもよい。ノズル群毎に加圧または吸引クリーニングを行う場合には、その前に行うポンプ機構３１の吸引駆動において、ノズル群毎に個別の設定値を定めて、ポンプ室４１の液体収容量を異ならせてもよい。この構成によれば、液体の種類や使用状況に応じて、適切な液体排出量、圧力変動または単位時間あたりの流量で、液体噴射部１２をクリーニングすることができる。

逆に、１つのキャップ１５１が、異なる液体を噴射する複数のノズル群を覆う場合には、全てのノズル群に対して、吸引駆動の際の設定値を同じにすることが好ましい。そうすると、その後の吐出駆動において、全てのノズル群から同等の条件で液体が排出されるので、混ざり合った液体がノズル１９に入り込むリスクが小さくなる。

・液体噴射装置１１は、インク以外の他の液体を噴射したり吐出したりする液体噴射装置であってもよい。なお、液体噴射装置から微小量の液滴となって吐出される液体の状態としては、粒状、涙状、糸状に尾を引くものも含むものとする。また、ここでいう液体は、液体噴射装置から噴射させることができるような材料であればよい。例えば、物質が液相であるときの状態のものであればよく、粘性の高い又は低い液状体、ゾル、ゲル水、その他の無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）のような流状体を含むものとする。また、物質の一状態としての液体のみならず、顔料や金属粒子などの固形物からなる機能材料の粒子が溶媒に溶解、分散又は混合されたものなども含むものとする。液体の代表的な例としては上記実施形態で説明したような水系インク、非水系インク、油性インク、ジェルインク、ホットメルトインク等の各種液体組成物や液晶等が挙げられる。液体噴射装置の具体例としては、例えば、液晶ディスプレイ、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ、面発光ディスプレイ、カラーフィルターの製造等に用いられる電極材や色材等の材料を分散又は溶解のかたちで含む液体を噴射する液体噴射装置がある。また、バイオチップ製造に用いられる生体有機物を噴射する液体噴射装置、精密ピペットとして用いられ試料となる液体を噴射する液体噴射装置、捺染装置やマイクロディスペンサー等であってもよい。さらに、時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を噴射する液体噴射装置、光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂等の透明樹脂液を基板上に噴射する液体噴射装置であってもよい。また、基板などをエッチングするために酸又はアルカリ等のエッチング液を噴射する液体噴射装置であってもよい。

・媒体１１３は用紙に限らず、プラスチックフィルムまたは薄い板材などでもよいし、捺染装置などに用いられる布帛でもよい。媒体１１３はＴシャツなど、任意の形状の衣類等でもよいし、食器または文具のような任意の形状の立体物でもよい。

１１，１１Ａ，１１Ｂ…液体噴射装置、１２…液体噴射部、１３…液体供給源、１４…供給機構、１６…噴射部フィルター、１７…共通液室、１８…ノズル面、１９…ノズル、２０…圧力室、２１…振動板、２２…連通孔、２３…収容室、２４…アクチュエーター、２６…装着部、２７…液体供給流路、２８…循環経路形成部、２９…循環ポンプ、３０…変位機構、３１…ポンプ機構、３２…フィルターユニット、３３…スタティックミキサー、３４…液体貯留部、３５…圧力調整機構、３７…変位部、３８…容積ポンプ、３９…一方向弁（第１の一方向弁）、４０…一方向弁（第２の一方向弁）、４１…ポンプ室、４２…減圧室、４３…減圧部、４４…付勢部材、４５…ばね、４７…圧力調整装置、４８…押圧機構、５０…液体流入部、５１…液体流出部、５２…本体部、５３…壁部、５４…貫通孔、５５…フィルター部材、５６…ダイヤフラム、５６ａ…第１の面、５６ｂ…第２の面、５７…連通経路、５９…開閉弁、６０…弁部、６１…受圧部、６２…上流側付勢部材、６３…下流側付勢部材、６６…圧力調整室、６７…膨張収縮部、６８…押さえ部材、６９…圧力調整部、７０…挿通孔、７１…開口部、７２…空気室、７４…加圧ポンプ、７５…接続経路、７６…検出部、７７…流体圧調整部、１１２…支持台、１１３…媒体、１１４…搬送部、１１５…印刷部、１１６…本体、１１７…カバー、１１８…搬送ローラー対、１１９…搬送ローラー対、１２０…案内板、１２２…ガイド軸、１２３…ガイド軸、１２４…キャリッジ、１３０…フラッシング機構、１３１…液体受容部、１３２…開口、１４０…ワイピング機構、１４１…筐体、１４２…繰出ローラー、１４３…巻取ローラー、１４４…中間ローラー、１４５…付勢部材、１４６…第１ワイパー駆動部、１４７…第２ワイパー駆動部、１４８…布ワイパー、１４９…払拭部、１５０…キャップ機構、１５１…キャップ、１５２…キャップ駆動部、１６０…制御部、２００…圧力調整装置、２０１…空気室形成ユニット、２０２…圧力調整機構形成ユニット、２０３…底板部材、２０４…接続部形成ユニット、２０５…レバーユニット、２０６…本体部、２０７…接続フィルム、２０８…第１液体接続部、２０９…第２液体接続部、２１０…圧力調整部、２１１…圧力接続部、２１２…第１液体導出部、２１３…第２液体導出部、２１４…圧力供給部、２１５…本体部、２１６…空気室フィルム、２１７…空気導入部、２１８…取付部、２１９…凹部、２２０…圧力調整室、２２１…可撓壁、２２２…溝、２２３…貫通孔、２２４…貫通孔、２２５…空気流路、２２６…本体部、２２７…圧力フィルム、２２８…第１液体導入部、２２９…第２液体導入部、２３０…凹部、２３１…液体流出部、２３２…ダイヤフラム、２３２ａ…第１の面、２３２ｂ…第２の面、２３３…レバー、２３４…係止部、２３５…ばね、２３６…取付孔、２３７…押圧部、２３８…被押圧部、２４０…環状管、２４１…ポンプ、２４２…接続管、２４３…第１分岐管、２４４…第２分岐管、２４７…壁部、２４８…貫通孔、２４９…フィルター部材、２５０…圧力調整機構、２５１…押圧機構、２５２…液体流入部、２５４…連通経路、２５５…開閉弁、２５６…弁部、２５７…ロッド部、２５８…受圧部、２５９…上流側付勢部材、２６０…下流側付勢部材、３０１…メインタンク、３０２…サブタンク、３１１…第１流路、３１２…第２流路、３１３…第３流路、３２１…第１供給ポンプ、３２２…第２供給ポンプ、３３１…大気開放弁、３３２…切換弁、４０１…メインタンク、４０２…サブタンク、４１１…第１流路、４１２…第２流路、４１３…第３流路、４２１…供給ポンプ、４２２…圧力調整ポンプ、４２３…圧力検出部、４３１…第１切換弁、４３２…第２切換弁、４３３…三方弁、Ａ…供給方向、Ｂ…循環方向、Ｃｎｔ…カウンター、ＣｎｔＴｈ…判定回数、Ｖ１…第１バルブ、Ｖ２…第２バルブ、Ｖ３…第３バルブ、Ｖ４…第４バルブ、Ｘ…走査方向、Ｙ…搬送方向、Ｚ…鉛直方向。

Claims (9)

1. 液体を噴射するノズルを有する液体噴射部と、
   液体供給源と前記液体噴射部とに接続される液体供給流路と、
   前記液体供給流路の途中に設けられるポンプ室を有して、吸引駆動と吐出駆動とを繰り返すことによって前記液体供給源から前記液体噴射部に向けて前記液体を流動させるポンプ機構と、
   を備え、
   前記ノズルから前記液体を排出させることによって前記液体噴射部をメンテナンスする前に、前記ポンプ室の液体収容量が予め設定された設定値になるまで、前記ポンプ機構が吸引駆動する
   ことを特徴とする液体噴射装置。
2. 前記ポンプ機構が吸引駆動して前記ポンプ室の液体収容量が前記設定値になった後に、前記ポンプ機構が吐出駆動することによって、前記ノズルから前記液体を排出させる
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
3. 前記ポンプ室と前記液体噴射部との間で前記液体供給流路を開閉することによって前記液体噴射部内の圧力を調整する圧力調整機構を備え、
   前記ポンプ室の液体収容量が前記設定値となるまで前記ポンプ機構が吸引駆動した後、前記圧力調整機構が前記液体供給流路を開いて、前記ポンプ機構が吐出駆動することにより、前記液体噴射部をメンテナンスする
   ことを特徴とする請求項２に記載の液体噴射装置。
4. 前記圧力調整機構は、
   前記液体供給流路の途中に配置される液体流入部と、
   前記液体流入部と前記液体噴射部の間の前記液体供給流路に配置される液体流出部と、
   前記液体流出部の壁面の一部を構成するダイヤフラムと、
   前記液体流入部と前記液体流出部との間で前記液体供給流路を開閉する開閉弁と、
   を有し、
   前記ダイヤフラムの前記液体流出部内側の面を第１の面とし、前記第１の面の反対側の面を第２の面とすると、
   前記ダイヤフラムの前記第１の面にかかる圧力が、前記第２の面にかかる圧力よりも低くなり、かつ、前記第１の面にかかる圧力と前記第２の面にかかる圧力との差が所定値以上になると、前記開閉弁が前記液体供給流路を開く
   ことを特徴とする請求項３に記載の液体噴射装置。
5. 前記液体流出部の容積が小さくなる方向に前記ダイヤフラムを押圧することによって、前記開閉弁に前記液体供給流路を開かせる押圧機構を備える
   ことを特徴とする請求項４に記載の液体噴射装置。
6. 前記押圧機構は、前記ダイヤフラムの前記第２の面側に形成される圧力調整室と、前記圧力調整室内の圧力を調整可能な圧力調整部と、を有し、前記圧力調整部が前記圧力調整室内を大気圧より高い圧力に調整することによって、前記ダイヤフラムを押圧する
   ことを特徴とする請求項５に記載の液体噴射装置。
7. 前記ポンプ機構は、
   前記液体供給源と前記ポンプ室との間に設けられ、前記ポンプ室への前記液体の流入を許容するとともに前記ポンプ室からの前記液体の流出を抑制する第１の一方向弁と、
   前記ポンプ室と前記液体噴射部との間に設けられ、前記ポンプ室からの前記液体の流出を許容するとともに前記ポンプ室への前記液体の流入を抑制する第２の一方向弁と、
   前記ポンプ室の壁面の一部を構成して、前記ポンプ室の容積を変更する方向に変位可能な変位部と、
   前記ポンプ室の容積を増大する方向に前記変位部を変位させる変位機構と、
   前記ポンプ室の容積を減少させる方向に前記変位部を付勢する付勢部材と、
   を有する
   ことを特徴とする請求項１から請求項６のうちいずれか一項に記載の液体噴射装置。
8. 前記変位機構は、前記変位部によって前記ポンプ室と区画される減圧室を有し、前記減圧室を減圧することによって、前記ポンプ室の容積を増大する方向に前記変位部を変位させる
   ことを特徴とする請求項７に記載の液体噴射装置。
9. 液体を噴射するノズルを有する液体噴射部と、液体供給源と前記液体噴射部とに接続される液体供給流路と、前記液体供給流路の途中に設けられたポンプ室を有して、吸引駆動と吐出駆動とを繰り返すことによって前記液体供給源から前記液体噴射部に向けて前記液体を流動させるポンプ機構と、前記ポンプ室と前記液体噴射部との間で前記液体供給流路を開閉することによって前記液体噴射部内の圧力を調整可能な圧力調整機構と、を備える液体噴射装置のメンテナンス方法であって、
   前記ポンプ室の液体収容量が設定値となるまで前記ポンプ機構が吸引駆動し、
   前記吸引駆動の後に前記圧力調整機構が前記液体供給流路を開き、
   前記液体供給流路が開いた後に前記ポンプ機構が吐出駆動することにより、前記ノズルから前記液体を排出させる
   ことを特徴とする液体噴射装置のメンテナンス方法。