JP2017109446A - 液体噴射装置及び圧力調整装置 - Google Patents

Abstract

【課題】汎用性を高めることができる液体噴射装置及び圧力調整装置を提供する。【解決手段】液体噴射装置は、液体流入部２５２と、ダイヤフラム部２３２の変位で内部の容積が変化する液体収容部２３１と、液体流入部２５２と液体収容部２３１とを連通する連通経路２５４と、連通経路２５４を開閉する開閉弁２５５とを有する圧力調整機構２５０と、ダイヤフラム部２３２を押圧して開閉弁２５５を開弁する押圧機構２５１とを備える。押圧機構２５１は、ダイヤフラム部２３２を押圧する押圧部２３７を有した回動可能なレバー２３３と、レバー２３３に回動力を付与する可撓壁２２１を有した圧力調整室２２０と、圧力調整室２２０内の圧力を調整する圧力調整部とを有し、圧力調整部による圧力調整室２２０の圧力の調整に伴う可撓壁２２１による回動力の付与によりレバー２３３を回動させて押圧部２３７によるダイヤフラム部２３２の押圧を行う。【選択図】図１２

Description

本発明は、例えばインクジェット式プリンターなどの液体噴射装置及び当該液体噴射装置に備えられる圧力調整装置に関する。

従来から、液体噴射装置の一例として、インクタンク（液体供給源）から供給されたインク（液体）をインクジェットヘッド（液体噴射部）から媒体に噴射することで印刷を行うインクジェットプリンターが知られている。そして、こうしたプリンターの中には、インクジェットヘッドへ供給するインクの圧力を調整するダンパ（圧力調整装置）を備えたものがある（例えば、特許文献１参照）。

このダンパは、タンク側液室（液体流入部）とヘッド側液室（液体収容部）とを接続するインク経路（連通経路）と、インク経路を開閉する弁（開閉弁）とを備えている。そして、弁は、ヘッド側液室と可撓性膜（ダイヤフラム部）を隔てて形成された圧力可変室（圧力調整室）の圧力に応じて開弁するように構成されている。すなわち、インク経路の弁は、タンク側液室の圧力が圧力可変室の圧力よりも所定値以上高くなると閉弁する。

そして、例えば、インクタンクからインクをインクジェットヘッドへ加圧供給してノズルから排出する、所謂加圧クリーニングを行う場合には、ダンパの弁を強制的に開弁させる必要がある。すなわち、加圧クリーニングを行う場合には、圧力可変室内を加圧し続けて弁の開弁状態を維持する必要がある。

特開２００９−１７８８８９号公報

ところで、上述のようなプリンターでは、圧力可変室がダンパの弁の大きさに依存する傾向にあるため、例えばダンパの弁を大きくする場合、圧力可変室も大きくする必要がある。このため、ダンパ全体を設計し直さなければならず、汎用性に乏しいという問題がある。

なお、こうした問題は、ノズルからインクを噴射して印刷を行うインクジェット式プリンターに限らず、液体の圧力を調整する液体噴射装置及び圧力調整装置においては、概ね共通したものとなっている。

本発明は、このような従来技術に存在する問題点に着目してなされたものである。その目的とするところは、汎用性を高めることができる液体噴射装置及び圧力調整装置を提供することにある。

以下、上記課題を解決するための手段及びその作用効果について記載する。
上記課題を解決する液体噴射装置は、アクチュエーターを駆動してノズルから液体を噴射する液体噴射部に前記液体を液体供給源から供給可能な液体供給経路と、前記液体供給経路に設けられた圧力調整機構であって、前記液体供給源から供給される前記液体が流入する液体流入部と、前記液体を内部に収容可能であってダイヤフラム部が変位することで内部の容積が変化する液体収容部と、前記液体流入部と前記液体収容部とを連通させる連通経路と、前記ダイヤフラム部における前記液体収容部の内面となる第１の面にかかる圧力が前記ダイヤフラム部における前記液体収容部の外面となる第２の面にかかる圧力より低く且つ前記第１の面にかかる圧力と前記第２の面にかかる圧力との差が所定値以上になると、前記連通経路において前記液体流入部と前記液体収容部とを非連通とする閉弁状態から前記液体流入部と前記液体収容部とを連通させる開弁状態となる開閉弁と、を有する圧力調整機構と、前記ダイヤフラム部を前記液体収容部の容積が小さくなる方向に押圧することによって、前記開閉弁を開弁状態とする押圧機構であって、前記ダイヤフラム部の前記第２の面側を押圧可能な押圧部を有する回動可能なレバーと、前記レバーに回動力を付与する回動力付与部を有した圧力調整室と、前記圧力調整室内の圧力を調整可能な圧力調整部と、を有し、前記圧力調整部が前記圧力調整室内の圧力を調整して前記回動力付与部により前記レバーに回動力を付与することで、前記レバーを回動させて、前記押圧部による前記ダイヤフラム部の前記第２の面側の押圧を行う押圧機構と、を備える。

この構成によれば、レバーの回動により押圧部がダイヤフラム部の第２の面側を押圧するので、レバーの仕様（レバー比や形状等）を変更するだけで、圧力調整室の仕様（加圧力や大きさ等）を変更することなく押圧部による押圧力を変更することができる。すなわち、押圧部による必要な押圧力が変化しても、レバーの仕様を変更するだけで、圧力調整室の仕様を変更することなく対応することができるので、汎用性を高めることができる。

上記液体噴射装置において、前記レバーに前記回動力付与部による回動力が付与されない状態では、前記押圧部が前記ダイヤフラム部から離れていることが好ましい。
この構成によれば、レバーの押圧部がダイヤフラム部に接触することに起因する圧力調整機構の動作不良の発生を抑制できる。

上記液体噴射装置において、前記圧力調整機構は、前記液体収容部の容積を小さくする方向へ変位する前記ダイヤフラム部に接触した状態で移動可能な移動部材をさらに有し、前記押圧機構は、前記ダイヤフラム部における前記移動部材が接触する領域を前記レバーの前記押圧部によって押圧することが好ましい。

この構成によれば、ダイヤフラム部における移動部材の外側領域を液体収容部側に変形させないように、押圧部によってダイヤフラム部を押圧することができる。そして、押圧部によるダイヤフラム部の押圧を解除した後には、ダイヤフラム部における移動部材の外側領域が液体収容部の容積が大きくなる方向に移動して押圧前の状態に復帰するので、ノズルから気泡や液体が引き込まれることを抑制できる。

上記液体噴射装置において、前記押圧機構は、前記圧力調整部が前記圧力調整室内の圧力を大気圧よりも高い圧力に調整することで、前記レバーの前記押圧部によって前記ダイヤフラム部を押圧することが好ましい。

この構成によれば、圧力調整室内の圧力を大気圧よりも高い圧力に調整するだけで、レバーの押圧部によってダイヤフラム部を押圧することができる。
上記液体噴射装置において、前記押圧機構は、前記圧力調整部が前記圧力調整室内の圧力を前記押圧部による前記ダイヤフラム部の押圧時の前記圧力調整室内の圧力よりも低い圧力に調整することで、前記レバーの前記押圧部による前記ダイヤフラム部の押圧を解除することが好ましい。

この構成によれば、レバーの押圧部によるダイヤフラム部の押圧状態を容易に解除することができる。
上記液体噴射装置において、前記回動力付与部は、前記圧力調整室の一部を形成する可撓壁であり、前記レバーに接触することにより前記レバーに回動力を付与することが好ましい。

この構成によれば、圧力調整室の一部を形成する可撓壁を、レバーに回動力を付与する回動力付与部として好適に機能させることができる。
上記液体噴射装置において、前記圧力調整機構に供給される前記液体を加圧可能な加圧機構をさらに備え、前記加圧機構は、前記押圧機構が前記ダイヤフラム部を押圧することによる前記開閉弁の開弁状態において前記液体を加圧することで、加圧状態の前記液体を前記液体噴射部に対して供給可能に構成されていることが好ましい。

この構成によれば、開閉弁を強制的に開弁した状態で加圧機構によって液体を加圧することで加圧状態の液体を液体噴射部に供給してノズルから排出させるクリーニングである、所謂加圧クリーニングを行うことができる。

上記液体噴射装置において、前記加圧機構によって前記液体が加圧された状態で、前記押圧機構による前記ダイヤフラム部の押圧状態を解除して前記開閉弁を閉弁状態とすることが好ましい。

この構成によれば、液体が加圧された状態で、押圧機構によるダイヤフラム部の押圧状態を解除して開閉弁を閉弁状態とするので、加圧クリーニング後にノズルから気泡や液体が引き込まれることを抑制できる。

上記課題を解決する圧力調整装置は、アクチュエーターを駆動してノズルから液体を噴射する液体噴射部に前記液体を液体供給源から供給可能な液体供給経路に設けられた圧力調整機構であって、前記液体供給源から供給される前記液体が流入する液体流入部と、前記液体を内部に収容可能であってダイヤフラム部が変位することで内部の容積が変化する液体収容部と、前記液体流入部と前記液体収容部とを連通させる連通経路と、前記ダイヤフラム部における前記液体収容部の内面となる第１の面にかかる圧力が前記ダイヤフラム部における前記液体収容部の外面となる第２の面にかかる圧力より低く且つ前記第１の面にかかる圧力と前記第２の面にかかる圧力との差が所定値以上になると、前記連通経路において前記液体流入部と前記液体収容部とを非連通とする閉弁状態から前記液体流入部と前記液体収容部とを連通させる開弁状態となる開閉弁と、を有する圧力調整機構と、前記ダイヤフラム部を前記液体収容部の容積が小さくなる方向に押圧することによって、前記開閉弁を開弁状態とする押圧機構であって、前記ダイヤフラム部の前記第２の面側を押圧可能な押圧部を有する回動可能なレバーと、前記レバーに回動力を付与する回動力付与部を有した圧力調整室と、前記圧力調整室内の圧力を調整可能な圧力調整部と、を有し、前記圧力調整部が前記圧力調整室内の圧力を調整して前記回動力付与部により前記レバーに回動力を付与することで、前記レバーを回動させて、前記押圧部による前記ダイヤフラム部の前記第２の面側の押圧を行う押圧機構と、を備える。

この構成によれば、レバーの回動により押圧部がダイヤフラム部の第２の面側を押圧するので、レバーの仕様（レバー比や形状等）を変更するだけで、圧力調整室の仕様（加圧力や大きさ等）を変更することなく押圧部による押圧力を変更することができる。すなわち、押圧部による必要な押圧力が変化しても、レバーの仕様を変更するだけで、圧力調整室の仕様を変更することなく対応することができるので、汎用性を高めることができる。

第１実施形態の液体噴射装置の模式図。 印刷領域と非印刷領域の模式平面図。 開閉弁が閉弁した状態の圧力調整装置と供給機構の模式図。 複数の圧力調整装置と圧力調整部の模式図。 開閉弁が開弁した状態の圧力調整装置と供給機構の模式図。 第２実施形態の圧力調整装置の分解斜視図。 圧力調整装置の斜視図。 図７を別の角度から見たときの斜視図。 図７の側面図。 図９を反対側から見たときの側面図。 圧力調整部の模式図。 閉弁状態の圧力調整装置の断面図。 開弁状態の圧力調整装置の断面図。 変更例２において、液体噴射部のキャッピングを行ったときの状態を示す要部拡大断面模式図。 変更例３において、液体噴射部のキャッピングを行ったときの状態を示す要部拡大断面模式図。 変更例４において、液体噴射部のキャッピングを行ったときの状態を示す要部拡大断面模式図。 変更例６の押圧機構の側面図。

（第１実施形態）
以下、液体噴射装置の第１実施形態を図面に従って説明する。
図１に示すように、例えばインクジェット式プリンターなどの液体噴射装置１１は、例えばインクなどの液体を噴射する液体噴射部１２と、液体供給源１３から液体噴射部１２に液体を供給する供給機構１４とを備えている。さらに、液体噴射装置１１は、液体噴射部１２と対向する位置に配置された支持台１１２と、例えば用紙などの媒体１１３を搬送方向Ｙに搬送する搬送部１１４と、液体噴射部１２を走査方向Ｘに移動させながら媒体１１３に液体を噴射することで印刷を行う印刷部１１５とを備えている。

支持台１１２は、媒体１１３の搬送方向Ｙと直交（交差）する方向である媒体１１３の幅方向（走査方向Ｘ）に延在している。支持台１１２、搬送部１１４、及び印刷部１１５は、ハウジングやフレームなどによって構成される本体１１６に組み付けられている。そして、本体１１６には、カバー１１７が開閉可能に設けられている。

搬送部１１４は、搬送方向Ｙにおける支持台１１２の上流側及び下流側にそれぞれ配置された搬送ローラー対１１８，１１９と、搬送ローラー対１１９の下流側に配置されて媒体１１３を案内する案内板１２０とを備えている。そして、搬送ローラー対１１８，１１９が搬送モーター（図示略）に駆動されて媒体１１３を挟持しながら回転すると、媒体１１３は、支持台１１２及び案内板１２０に支持されつつ、支持台１１２の表面及び案内板１２０の表面に沿って搬送される。

印刷部１１５は、走査方向Ｘに沿って延設されたガイド軸１２２，１２３と、そのガイド軸１２２，１２３に案内されて走査方向Ｘに往復移動可能なキャリッジ１２４とを備えている。キャリッジ１２４は、キャリッジモーター（図示略）の駆動に伴って移動する。キャリッジ１２４における鉛直方向Ｚ側の端部である下端部には、少なくとも１つ（本実施形態では２つ）の液体噴射部１２が取り付けられている。これら２つの液体噴射部１２同士は、走査方向Ｘに所定の距離だけ離れ、且つ搬送方向Ｙに所定の距離だけずれるように配置されている。そして、各液体噴射部１２は、ノズル形成面１８に形成された複数のノズル１９から液体を噴射する。

図２に示すように、走査方向Ｘにおいて液体噴射部１２が搬送中の媒体１１３と対峙しない領域である非印刷領域には、ワイパーユニット１２６と、フラッシングユニット１２７と、キャップユニット１２８とが設けられている。ワイパーユニット１２６は、ノズル形成面１８を払拭可能な可動式のワイピング部材１３０と、ワイピング部材１３０の動力源となるワイピングモーター１３１とを有している。

ワイピング部材１３０は、例えば布ワイパーやゴムブレードなどによって構成することができる。本実施形態のワイピング部材１３０は、布ワイパーによって構成され、液体噴射部１２をワイピング部材１３０によって払拭可能な位置に移動させた状態でワイピングモーター１３１を駆動させることで、搬送方向Ｙに沿って移動しながらノズル形成面１８の払拭を行う。

フラッシングユニット１２７は、液体噴射部１２のノズル１９からフラッシングによって吐出された液体を受容する液体受容部１３２を有している。液体受容部１３２は、可動式のベルトによって構成され、フラッシングモーター１３３の動力により移動する。なお、フラッシングとは、ノズル１９の目詰まりなどを予防及び解消する目的で全てのノズル１９から印刷とは無関係に液体を強制的に吐出（排出）する動作のことである。

キャップユニット１２８は、２つの液体噴射部１２の各ノズル１９の開口を覆う２つの有底四角箱状のキャップ１３４と、キャップ１３４を昇降させるキャッピングモーター１３５とを備えている。そして、２つの液体噴射部１２を２つのキャップ１３４とそれぞれ対向する位置に移動させた状態でキャッピングモーター１３５を駆動させて２つのキャップ１３４を上昇させることで、２つの液体噴射部１２のノズル形成面１８に対して全てのノズル１９を覆うように２つのキャップ１３４がそれぞれ当接する、所謂キャッピングが行われる。すなわち、各キャップ１３４は、各液体噴射部１２のノズル形成面１８における全てのノズル１９を含む領域をキャッピングすることが可能になっている。

図３に示すように、液体噴射部１２は、液体中の気泡や異物を捕捉する噴射部フィルター１６と、噴射部フィルター１６を通過した液体を貯留する共通液室１７とを備えている。さらに、液体噴射部１２は、ノズル形成面１８に形成された複数のノズル１９と共通液室１７とを連通させる複数の圧力室２０を備えている。この圧力室２０の壁面の一部は振動板２１によって形成され、共通液室１７と圧力室２０とは連通孔２２を通じて連通している。さらに、振動板２１における圧力室２０と面する部分の反対側の面であって共通液室１７と異なる位置には、収容室２３に収容されたアクチュエーター２４が配設されている。

本実施形態のアクチュエーター２４は、駆動電圧が印加された場合に収縮する圧電素子によって構成されている。そして、駆動電圧の印加によるアクチュエーター２４の収縮に伴って振動板２１を変形させた後、アクチュエーター２４への駆動電圧の印加を解除すると、容積が変化した圧力室２０内の液体がノズル１９から液滴として噴射される。すなわち、液体噴射部１２は、アクチュエーター２４を駆動してノズル１９から液体を噴射する。

液体供給源１３は、例えば液体を収容可能な収容容器であり、収容容器を交換することで液体を補給するカートリッジであってもよいし、装着部２６に固定された収容タンクであってもよい。液体供給源１３がカートリッジである場合、装着部２６は液体供給源１３を着脱可能に保持する。なお、液体供給源１３及び供給機構１４は、液体噴射部１２から噴射する液体の種類ごとに少なくとも１組（本実施形態では４組）設けられている。

また、供給機構１４は、液体の供給方向Ａにおいて上流側となる液体供給源１３から下流側となる液体噴射部１２に液体を供給可能な液体供給経路２７を備えている。液体供給経路２７の一部は、循環経路形成部２８と協働して循環経路としても機能する。すなわち、循環経路形成部２８は、共通液室１７と液体供給経路２７とを接続する。そして、循環経路形成部２８には、循環経路において液体を循環方向Ｂに循環させる循環ポンプ２９が設けられている。

液体供給経路２７における循環経路形成部２８が接続された位置よりも液体供給源１３側には、液体供給源１３から供給方向Ａに液体を流動させることにより、液体を液体噴射部１２に向けて加圧供給する加圧機構３１が設けられている。さらに、液体供給経路２７における循環経路形成部２８が接続された位置よりも下流側の循環経路としても機能する部分には、上流側から順にフィルターユニット３２、スタティックミキサー３３、液体貯留部３４、及び圧力調整機構３５が設けられている。

加圧機構３１は、可撓性を有する可撓性部材３７を往復運動させることにより所定量の液体を加圧可能な容積ポンプ３８と、液体供給経路２７における容積ポンプ３８の上流側と下流側とにそれぞれ設けられた一方向弁３９，４０とを備えている。容積ポンプ３８は、可撓性部材３７によって区切られたポンプ室４１と負圧室４２とを有している。さらに、容積ポンプ３８は、負圧室４２を減圧するための減圧部４３と、負圧室４２内に設けられて可撓性部材３７をポンプ室４１側に向けて付勢する付勢部材４４とを備えている。

また、一方向弁３９，４０は、液体供給経路２７において上流側から下流側への液体の流動を許容し、且つ下流側から上流側への液体の流動を阻害する。すなわち、加圧機構３１は、付勢部材４４が可撓性部材３７を介してポンプ室４１内の液体を付勢することにより、圧力調整機構３５に供給される液体を加圧可能である。このため、加圧機構３１が液体を加圧する加圧力は、付勢部材４４の付勢力により設定される。

フィルターユニット３２は、液体中の気泡や異物を捕捉し、交換可能に設けられている。スタティックミキサー３３は、液体の流れに方向転換や分割などの変化を起こし、液体中の濃度の偏りを低減させる。液体貯留部３４は、ばね４５により付勢された容積可変の空間に液体を貯留し、液体の圧力の変動を緩和する。

次に、圧力調整装置４７について説明する。
図３に示すように、圧力調整装置４７は、液体供給経路２７に設けられてこの液体供給経路２７の一部を構成する圧力調整機構３５と、圧力調整機構３５を押圧する押圧機構４８とを備えている。圧力調整機構３５は、液体供給源１３から液体供給経路２７を介して供給される液体が流入する液体流入部５０と、液体を内部に収容可能な液体収容部５１とが形成された本体部５２を備えている。

液体供給経路２７と液体流入部５０とは、壁部５３により仕切られており、壁部５３に形成された貫通孔５４により連通している。貫通孔５４は、フィルター部材５５により覆われている。したがって、液体供給経路２７の液体は、フィルター部材５５に濾過されて液体流入部５０に流入する。

液体収容部５１は、壁面の一部がダイヤフラム部５６により構成されている。このダイヤフラム部５６は、液体収容部５１の内面となる第１の面５６ａで液体収容部５１内の液体の圧力を受ける一方、液体収容部５１の外面となる第２の面５６ｂで大気圧を受ける。このため、ダイヤフラム部５６は、液体収容部５１内の圧力に応じて変位する。したがって、液体収容部５１は、ダイヤフラム部５６が変位することで容積が変化する。なお、液体流入部５０と液体収容部５１とは、連通経路５７により連通されている。

圧力調整機構３５は、連通経路５７において液体流入部５０と液体収容部５１とを非連通とする閉弁状態（図３に示す状態）と、液体流入部５０と液体収容部５１とを連通させる開弁状態（図５に示す状態）とを切り替え可能な開閉弁５９を備えている。開閉弁５９は、連通経路５７を遮断可能な弁部６０と、ダイヤフラム部５６から圧力を受ける受圧部６１とを有し、受圧部６１がダイヤフラム部５６に押圧されることで移動する。すなわち、受圧部６１は、液体収容部５１の容積を小さくする方向へ変位するダイヤフラム部５６に接触した状態で移動可能な移動部材としても機能している。

液体流入部５０内には上流側付勢部材６２が設けられ、液体収容部５１内には下流側付勢部材６３が設けられている。上流側付勢部材６２と下流側付勢部材６３とは、いずれも開閉弁５９を閉弁させる方向に付勢する。そして、開閉弁５９は、第１の面５６ａにかかる圧力が第２の面５６ｂにかかる圧力より低く且つ第１の面５６ａにかかる圧力と第２の面５６ｂにかかる圧力との差が所定値（例えば、１ｋＰａ）以上になると、閉弁状態から開弁状態になる。

この所定値は、上流側付勢部材６２の付勢力、下流側付勢部材６３の付勢力、ダイヤフラム部５６を変位させるために必要な力、弁部６０によって連通経路５７を遮断するために必要な押圧力（シール荷重）、弁部６０の表面に作用する液体流入部５０内の圧力、及び液体収容部５１内の圧力に応じて決まる値である。すなわち、上流側付勢部材６２と下流側付勢部材６３の付勢力が大きいほど所定値も大きくなる。

上流側付勢部材６２と下流側付勢部材６３の付勢力は、液体収容部５１内の圧力がノズル１９における気液界面にメニスカス６４を形成可能な範囲の負圧状態（例えば、第２の面５６ｂにかかる圧力が大気圧の場合、−１ｋＰａ）となるように設定される。この場合、気液界面とは液体と気体とが接する境界であり、メニスカス６４とは液体がノズル１９と接してできる湾曲した液体表面である。そして、ノズル１９には、液体の噴射に適した凹状のメニスカス６４が形成されることが好ましい。

押圧機構４８は、ダイヤフラム部５６の第２の面５６ｂ側に圧力調整室６６を形成する膨張収縮部６７と、膨張収縮部６７を押える押え部材６８と、圧力調整室６６内の圧力を調整可能な圧力調整部６９とを備えている。膨張収縮部６７は、例えばゴムや樹脂により風船状に形成され、圧力調整部６９による圧力調整室６６の圧力の調整に伴って膨張したり収縮したりする。押え部材６８は、有底円筒形状をなしており、底部に形成された挿通孔７０に膨張収縮部６７の一部が挿通されている。

押え部材６８における内側面の開口部７１側の端縁部は、Ｒ面取りされて丸みが付けられている。押え部材６８は、開口部７１が圧力調整機構３５に塞がれるようにして圧力調整機構３５に取り付けられることにより、ダイヤフラム部５６の第２の面５６ｂを覆う空気室７２を形成する。空気室７２内の圧力は大気圧にされ、ダイヤフラム部５６の第２の面５６ｂには大気圧が作用する。

すなわち、圧力調整部６９は、圧力調整室６６内の圧力を空気室７２の圧力である大気圧よりも高い圧力に調整することで膨張収縮部６７を膨張させる。そして、押圧機構４８は、圧力調整部６９が膨張収縮部６７を膨張させることで、ダイヤフラム部５６を液体収容部５１の容積が小さくなる方向に押圧する。このとき、押圧機構４８の膨張収縮部６７は、ダイヤフラム部５６における受圧部６１が接触する領域を押圧する。なお、ダイヤフラム部５６における受圧部６１が接触する領域の面積は、連通経路５７の断面積よりも大きくなっている。

図４に示すように、圧力調整部６９は、例えば空気や水などの流体を加圧する加圧ポンプ７４と、加圧ポンプ７４と膨張収縮部６７とを接続する接続経路７５と、接続経路７５に設けられた検出部７６及び流体圧調整部７７とを備えている。接続経路７５の下流側は、複数（本実施形態では４つ）に分岐しており、複数（本実施形態では４つ）設けられた圧力調整装置４７の膨張収縮部６７にそれぞれ接続されている。なお、接続経路７５の複数に分岐した流路に当該流路の連通状態と非連通状態とを切替える切替弁をそれぞれ設けることにより、加圧された流体を複数の膨張収縮部６７に選択的に供給することも可能である。

すなわち、加圧ポンプ７４により加圧された流体は、接続経路７５を介してそれぞれの膨張収縮部６７に供給される。検出部７６は接続経路７５内の流体の圧力を検出し、流体圧調整部７７は例えば安全弁によって構成される。そして、流体圧調整部７７は、接続経路７５内の流体の圧力が所定の圧力よりも高くなった場合に自動的に開弁して接続経路７５内の流体を外部へ放出することにより接続経路７５内の流体の圧力を低下させる。

また、液体噴射装置１１は、検出部７６が検出した接続経路７５内の流体の圧力に基づいて加圧ポンプ７４の駆動を制御する制御部７８を備えている。この制御部７８は、液体噴射装置１１全体の駆動を統括的に制御し、例えば各種機構、各種モーター、各種ポンプなどの駆動を制御する。

次に、液体噴射部１２に供給される液体の圧力を調整する圧力調整装置４７の作用について説明する。
図３に示すように、液体噴射部１２が液体を噴射すると、液体収容部５１に収容された液体が液体供給経路２７を介して液体噴射部１２に供給される。すると、図５に示すように、液体収容部５１内の圧力が低下し、ダイヤフラム部５６における第１の面５６ａにかかる圧力と第２の面５６ｂにかかる圧力との差が所定値以上になると、ダイヤフラム部５６が液体収容部５１の容積を小さくする方向へ撓み変形する。このダイヤフラム部５６の変形に伴って受圧部６１が押圧されて移動すると、開閉弁５９が開弁状態となる。

すると、液体流入部５０内の液体は加圧機構３１により加圧されているため、液体流入部５０から液体収容部５１に液体が供給されて液体収容部５１内の圧力が上昇する。これにより、ダイヤフラム部５６は、液体収容部５１の容積を増大させるように変形する。そして、ダイヤフラム部５６における第１の面５６ａにかかる圧力と第２の面５６ｂにかかる圧力との差が所定値よりも小さくなると、開閉弁５９は開弁状態から閉弁状態になって液体の流動を阻害する。

このようにして、圧力調整機構３５は、ダイヤフラム部５６を変位させて液体噴射部１２に供給される液体の圧力を調整することで、ノズル１９の背圧となる液体噴射部１２内の圧力を調整する。

次に、液体噴射部１２のメンテナンスのために、液体供給源１３から液体噴射部１２へ液体を強制的に流動させて加圧クリーニングを行う場合の作用について説明する。
図４に示すように、制御部７８が加圧ポンプ７４を駆動すると、膨張収縮部６７に加圧された流体が供給される。すると、図５に示すように、流体が供給された膨張収縮部６７は、膨張してダイヤフラム部５６における受圧部６１が接触する領域を押圧することで、開閉弁５９を開弁状態にする。

すなわち、押圧機構４８は、上流側付勢部材６２及び下流側付勢部材６３の付勢力に抗して受圧部６１を移動させることにより、開閉弁５９を開弁状態にする。この場合、圧力調整部６９は、複数の圧力調整装置４７の膨張収縮部６７に接続されているため、全ての圧力調整装置４７の開閉弁５９を開弁状態にする。

このとき、ダイヤフラム部５６は液体収容部５１の容積を小さくする方向に変形するため、液体収容部５１に収容されていた液体は液体噴射部１２側に押し出される。すなわち、ダイヤフラム部５６が液体収容部５１を押圧した圧力が液体噴射部１２に伝わることにより、メニスカス６４が壊れてノズル１９から液体が溢れる。つまり、押圧機構４８は、液体収容部５１内の圧力が、少なくとも１つのメニスカス６４が壊れる圧力（例えば、気液界面における液体側の圧力が気体側の圧力よりも３ｋＰａ高くなる圧力）よりも高くなるように、ダイヤフラム部５６を押圧する。

また、押圧機構４８は、ダイヤフラム部５６を押圧することによって、液体流入部５０内の圧力に関わらず開閉弁５９を開弁状態とする。この場合、押圧機構４８は、加圧機構３１が液体を加圧する圧力に前述の所定値を加えた圧力がダイヤフラム部５６に加わった場合に発生する押圧力よりも大きな押圧力でダイヤフラム部５６を押圧する。

そして、制御部７８は、押圧機構４８がダイヤフラム部５６を押圧することによる開閉弁５９の開弁状態において、減圧部４３を定期的に駆動することにより、加圧機構３１により加圧された液体を液体噴射部１２に供給する。すなわち、減圧部４３の駆動に伴って負圧室４２が減圧されると、可撓性部材３７はポンプ室４１の容積を増大させる方向に移動する。

すると、液体供給源１３からポンプ室４１に液体が流入する。そして、減圧部４３による減圧が解除されると、可撓性部材３７は付勢部材４４の付勢力によりポンプ室４１の容積を減少させる方向に付勢される。すなわち、ポンプ室４１内の液体は、可撓性部材３７を介して付勢部材４４の付勢力により加圧され、下流側の一方向弁４０を通過して液体供給経路２７の下流側に供給される。

押圧機構４８がダイヤフラム部５６を押圧している間は開閉弁５９の開弁状態が維持されるため、この状態で加圧機構３１が液体を加圧すると、その加圧力が液体流入部５０、連通経路５７、液体収容部５１を介して液体噴射部１２に伝わり、ノズル１９から液体が排出される、加圧クリーニングが行われる。

そして、加圧クリーニングを終了する場合、制御部７８は、加圧機構３１によって液体が加圧された状態で、押圧機構４８によるダイヤフラム部５６の押圧状態を解除して開閉弁５９を閉弁状態にする。この場合、制御部７８は、開閉弁５９を開弁状態から閉弁状態にする過程において、液体噴射部１２のアクチュエーター２４を駆動する。

すなわち、アクチュエーター２４が駆動されると、ノズル１９から液体が噴射されると共に、この噴射された分の液体が液体収容部５１から液体噴射部１２に供給されるため、液体流入部５０から液体収容部５１に液体を流動させた状態で開閉弁５９が閉弁される。その後、制御部７８は、ワイピング部材１３０にノズル形成面１８を払拭（ワイピング）させてからアクチュエーター２４を駆動してフラッシングを行う。これにより、ノズル１９にはメニスカス６４が形成される。

次に、圧力調整機構３５と押圧機構４８とを接合して圧力調整装置４７を製造する製造方法について説明する。
はじめに、本実施形態の本体部５２は、レーザー光を吸収して発熱する光吸収性樹脂（例えばポリプロピレンやポリブチレンテレフタレート）や、光を吸収する色素で着色された樹脂により形成されている。また、ダイヤフラム部５６は、例えばポリプロピレンとポリエチレンテレフタレートなどの異なる材料を積層して形成され、レーザー光を透過させる透過性及び可撓性を有する。そして、押え部材６８は、レーザー光を透過する光透過性樹脂（例えばポリスチレンやポリカーボネート）により形成されている。すなわち、ダイヤフラム部５６の透明度は、本体部５２の透明度よりも高く、押え部材６８の透明度よりも低い。

さて、図３に示すように、まず挿通孔７０に膨張収縮部６７の一部を挿通させた押え部材６８と本体部５２とによりダイヤフラム部５６を挟持させる（挟持工程）。そして、押え部材６８を介してレーザー光を照射する（照射工程）。すると、押え部材６８を透過したレーザー光を本体部５２が吸収して発熱する。このとき生じた熱により、本体部５２、ダイヤフラム部５６、押え部材６８が溶着される。したがって、押え部材６８は、圧力調整装置４７を製造する際にダイヤフラム部５６を押える治具としても機能する。

以上、詳述した第１実施形態によれば以下の効果を得ることができる。
（１）液体流入部５０内の圧力が変動しても、押圧機構４８は液体流入部５０内の圧力に関わらず開閉弁５９を開弁状態にできる。このため、液体噴射部１２に液体を安定して供給できる。

（２）圧力調整部６９は、圧力調整室６６内の圧力を調整することでダイヤフラム部５６を液体収容部５１の容積が小さくなる方向に押圧する。このため、押圧機構４８は、ダイヤフラム部５６の押圧を好適に行うことができる。

（３）圧力調整部６９は、膨張収縮部６７を膨張させることでダイヤフラム部５６を液体収容部５１の容積が小さくなる方向に押圧する。このため、押圧機構４８は、ダイヤフラム部５６の押圧を好適に行うことができる。

（４）液体供給源１３側から加圧供給した液体をノズル１９から排出させる加圧クリーニング時には、メニスカス６４が壊れる圧力よりも高い圧力で液体を加圧供給する。この点、本実施形態では、押圧機構４８によりダイヤフラム部５６が押圧された液体収容部５１内の圧力は、メニスカス６４が壊れる圧力より高いため、加圧クリーニングを行う場合でも開閉弁５９を開弁状態にすることができる。

（５）押圧機構４８は、ダイヤフラム部５６において受圧部６１が接触する領域を押圧するため、圧力調整機構３５が受圧部６１を有していない場合に比べてダイヤフラム部５６の変形を制限できる。したがって、押圧機構４８がダイヤフラム部５６の押圧を解除し、ダイヤフラム部５６が液体収容部５１の容積を大きくする方向に変位した場合に、ノズル１９から気体などが引き込まれてしまう虞を低減できる。

（６）開閉弁５９を開弁した状態において、加圧機構３１により加圧された液体を液体噴射部１２に供給することにより、液体噴射部１２のクリーニングを好適に行うことができる。

（７）押圧機構４８により押圧されたダイヤフラム部５６は、液体収容部５１の容積を小さくする方向に変位して開閉弁５９を開弁状態とするため、押圧機構４８の押圧を解除すると、ダイヤフラム部５６は液体収容部５１の容積を大きくする方向に変位しようとする。この場合、加圧機構３１により加圧された液体が圧力調整機構３５に供給されるため、液体噴射部１２側から液体を引き込む虞を低減できる。したがって、ノズル１９から気体などを引き込んでしまう虞を低減できる。

（８）液体噴射部１２は、アクチュエーター２４を駆動することにより、液体供給源１３から供給された液体をノズル１９から噴射する。すなわち、液体供給源１３側から液体噴射部１２側に向かって液体を流動させることができるため、ノズル１９から気体などを引き込んでしまう虞を低減できる。

（９）液体流入部５０の圧力に関わらず開閉弁５９を開弁状態とすることができる。このため、例えばノズル１９から液体を噴射して媒体１１３に記録処理を行う際に液体流入部５０の圧力が高くなった場合でも、開閉弁５９を開弁状態とすることにより液体噴射部１２に液体を供給することができる。したがって、記録処理の中断や、記録処理の中断に伴う記録品質の低下を抑制できる。

（１０）接続経路７５に流体圧調整部７７を設けたため、加圧ポンプ７４が予期しない駆動をして接続経路７５の圧力が高まった場合でも、膨張収縮部６７に供給される流体の圧力を調整することができる。したがって、膨張収縮部６７に予期しない圧力が加わる虞を低減することができる。

（１１）開閉弁５９を開弁状態から閉弁状態にした後、ワイピング及びフラッシングを行うことで、メニスカス６４を整えることができる。例えば、ダイヤフラム部５６が液体収容部５１の容積を増大させる方向に移動する場合に、受圧部６１と接触しない領域が液体収容部５１の容積を減少させる方向に移動してノズル１９から液体が溢れてしまった場合でも、メニスカス６４を整えることができる。

（第２実施形態）
次に、液体噴射装置の第２実施形態を図面にしたがって説明する。
この第２実施形態は、上記第１実施形態における圧力調整装置４７を図６及び図７に示す圧力調整装置２００に変更したものであり、その他の点では第１実施形態とほぼ同じであるため、同一の部材については同一符号を付すことによって重複した説明は省略する。

図６及び図７に示すように、圧力調整装置２００は、空気室形成ユニット２０１と、圧力調整機構形成ユニット２０２と、底板部材２０３と、接続部形成ユニット２０４と、２つのレバーユニット２０５とを組み付けることによって形成される。

接続部形成ユニット２０４は、本体部２０６と、本体部２０６の外側面を覆うように取着された接続フィルム２０７とを備えている。本体部２０６の上面には、複数の液体供給経路２７のうちの２つがそれぞれ接続される第１液体接続部２０８及び第２液体接続部２０９と、圧力調整部２１０が接続される圧力接続部２１１とが突設されている。本体部２０６の内側面には、第１液体接続部２０８、第２液体接続部２０９、及び圧力接続部２１１とそれぞれ連通する第１液体導出部２１２、第２液体導出部２１３、及び圧力供給部２１４が突設されている。

接続部形成ユニット２０４の本体部２０６の外側面には３つの溝（図示略）が形成されており、３つの溝と接続フィルム２０７とで３つの流路（図示略）が形成されている。これら３つの流路（図示略）は、第１液体接続部２０８、第２液体接続部２０９、及び圧力接続部２１１と、第１液体導出部２１２、第２液体導出部２１３、及び圧力供給部２１４とをそれぞれ接続している。

空気室形成ユニット２０１は、本体部２１５と、本体部２１５の両側面の全体を覆うように当該両側面にそれぞれ取着される可撓性の空気室フィルム２１６とを備えている。本体部２１５における接続部形成ユニット２０４側の側面には、圧力供給部２１４が接続される空気導入部２１７が設けられている。本体部２１５の両側面における圧力調整機構形成ユニット２０２との境界近傍には、レバーユニット２０５が取り付けられる略Ｔ字状の取付部２１８がそれぞれ突設されている。

図６及び図８に示すように、空気室形成ユニット２０１の本体部２１５の両側面には、円形の凹部２１９がそれぞれ形成されている。そして、各凹部２１９と各空気室フィルム２１６とで囲まれた空間は、空気室である圧力調整室２２０とされている。各空気室フィルム２１６における凹部２１９と対応する円形の部分は、圧力調整室２２０の一部を形成する可撓壁２２１とされている。本実施形態では、可撓壁２２１によって回動力付与部が構成されている。

図９及び図１０に示すように、空気室形成ユニット２０１の本体部２１５の両側面には溝２２２がそれぞれ形成され、これらの溝２２２同士は貫通孔２２３によって連通している。２つの溝２２２はそれぞれ反対側に位置する凹部２１９の中央部に貫通孔２２４を介して連通している。そして、これら２つの溝２２２と２つの空気室フィルム２１６とで囲まれた空間により空気流路２２５が形成されている。したがって、空気流路２２５は、本体部２１５の両側面にわたって延びている。なお、空気流路２２５は、空気導入部２１７と連通している。

図６に示すように、圧力調整機構形成ユニット２０２は、本体部２２６と、本体部２２６の両側面の全体を覆うように当該両側面にそれぞれ取着される可撓性の圧力フィルム２２７とを備えている。本体部２２６における接続部形成ユニット２０４側の側面には、第１液体導出部２１２及び第２液体導出部２１３がそれぞれ接続される第１液体導入部２２８及び第２液体導入部２２９が設けられている。

図６及び図８に示すように、圧力調整機構形成ユニット２０２の本体部２２６の両側面には、円形の凹部２３０がそれぞれ形成されている。そして、各凹部２３０と各圧力フィルム２２７とで囲まれた空間は、液体収容部２３１とされている。各圧力フィルム２２７における凹部２３０と対応する円形の部分は、液体収容部２３１の一部を形成するダイヤフラム部２３２とされている。

図６及び図１０に示すように、レバーユニット２０５は、矩形板状のレバー２３３と、レバー２３３の係止部２３４に係止されたねじりばね２３５とを備えている。レバー２３３における長手方向の中央部よりもやや一端側寄りの位置には、レバーユニット２０５を取付部２１８に取り付けるための取付孔２３６が貫通するように形成されている。レバー２３３は、その一方側の面における長手方向の一端部に略円板状の押圧部２３７を有し、他端部に略半球状の被押圧部２３８を有している。

そして、レバーユニット２０５は、レバー２３３の取付孔２３６において取付部２１８に取り付けた場合に、レバー２３３における取付部２１８との接触部分である支点を回動中心として回動可能になっている。このとき、押圧部２３７はダイヤフラム部２３２の中央部と対向するとともに、被押圧部２３８は可撓壁２２１の中央部に接触している。

さらにこのとき、ねじりばね２３５の付勢力は、押圧部２３７がダイヤフラム部２３２に近づく方向にレバー２３３を回動させる際の抵抗力として作用するようになっている。したがって、押圧部２３７は、通常、ダイヤフラム部２３２から離れている。

図１１に示すように、圧力調整部２１０は、環状の環状管２４０と、環状管２４０の途中に設けられたポンプ２４１と、環状管２４０におけるポンプ２４１と反対側の位置に設けられて環状管２４０と圧力接続部２１１とを接続する接続管２４２とを備えている。環状管２４０における接続管２４２との接続位置とポンプ２４１との間には第２バルブＶ２が設けられ、環状管２４０における第２バルブＶ２と反対側の位置には第３バルブＶ３が設けられている。

環状管２４０における第２バルブＶ２とポンプ２４１との間には先端側が大気開放された第１分岐管２４３の基端側が接続され、第１分岐管２４３の途中位置には第１バルブＶ１が設けられている。環状管２４０における第３バルブＶ３とポンプ２４１との間には先端側が大気開放された第２分岐管２４４の基端側が接続され、第２分岐管２４４の途中位置には第４バルブＶ４が設けられている。

ポンプ２４１は、その駆動により環状管２４０内の空気を図１１の矢印で示す一方向に流動させる。そして、圧力調整部２１０は、第１バルブＶ１及び第３バルブＶ３を閉弁するとともに第２バルブＶ２及び第４バルブＶ４を開弁した状態でポンプ２４１を駆動することで、圧力接続部２１１から空気を加圧供給して圧力調整室２２０（図７及び図８参照）を加圧する。

一方、圧力調整部２１０は、第１バルブＶ１及び第３バルブＶ３を開弁するとともに第２バルブＶ２及び第４バルブＶ４を閉弁した状態でポンプ２４１を駆動することで、圧力接続部２１１から空気を吸引して圧力調整室２２０（図７及び図８参照）を減圧する。

したがって、圧力調整部２１０は、圧力調整装置２００の２つの圧力調整室２２０（図７及び図８参照）を同時に加圧したり減圧したりすることが可能な加圧減圧装置として機能する。なお、第１〜第４バルブＶ１〜Ｖ４は電磁バルブによって構成され、それらの開閉動作は制御部７８（図４参照）によってそれぞれ制御される。

次に、圧力調整装置２００について詳述する。
ここでは、主に図３と図１２とに基づいて説明するが、図３においては圧力調整装置４７を図１２に示す圧力調整装置２００に置き換えたものとして説明する。

図３及び図１２に示すように、圧力調整装置２００は、液体供給経路２７に設けられてこの液体供給経路２７の一部を構成する圧力調整機構２５０と、圧力調整機構２５０を押圧する押圧機構２５１とを２つずつ備えている。したがって、圧力調整装置２００は、１つで２種類の液体の圧力を調整することが可能になっている。

圧力調整機構形成ユニット２０２が備える圧力調整機構２５０は、液体供給源１３から液体供給経路２７を介して供給される液体が流入する液体流入部２５２と、液体を内部に収容可能な液体収容部２３１とが形成された本体部２２６を備えている。液体供給経路２７と液体流入部２５２とは、壁部２４７により仕切られており、壁部２４７に形成された貫通孔２４８により連通している。液体供給経路２７における貫通孔２４８の直ぐ上流側には、フィルター部材２４９が配置されている。したがって、液体供給経路２７の液体は、フィルター部材２４９に濾過されて液体流入部２５２に流入する。

液体収容部２３１は、壁面の一部がダイヤフラム部２３２により構成されている。このダイヤフラム部２３２は、液体収容部２３１の内面となる第１の面２３２ａで液体収容部２３１内の液体の圧力を受ける一方、液体収容部２３１の外面となる第２の面２３２ｂで大気圧を受ける。

このため、ダイヤフラム部２３２は、液体収容部２３１内の圧力に応じて変位する。したがって、液体収容部２３１は、ダイヤフラム部２３２が変位することで容積が変化する。なお、液体流入部２５２と液体収容部２３１とは、連通経路２５４によって連通されている。

圧力調整機構２５０は、連通経路２５４において液体流入部２５２と液体収容部２３１とを非連通とする閉弁状態（図１２に示す状態）と、液体流入部２５２と液体収容部２３１とを連通させる開弁状態（図１３に示す状態）とを切り替え可能な開閉弁２５５を備えている。

開閉弁２５５は、連通経路２５４を遮断可能な弁部２５６と、連通経路２５４に挿通されるロッド部２５７とを備えている。ロッド部２５７は、その先端がダイヤフラム部２３２の第１の面２３２ａの中央部に接触するように配置された略円板状の受圧部２５８に接触している。この場合、受圧部２５８は、ロッド部２５７の先端に固定されていてもよいし、ダイヤフラム部２３２の第１の面２３２ａの中央部に固定されていてもよい。

開閉弁２５５は、ダイヤフラム部２３２により受圧部２５８を介して押圧されることで移動する。すなわち、受圧部２５８は、液体収容部２３１の容積を小さくする方向へ変位するダイヤフラム部５６に接触した状態で移動可能な移動部材としても機能している。

液体流入部２５２内には上流側付勢部材２５９が設けられ、液体収容部２３１内には下流側付勢部材２６０が設けられている。上流側付勢部材２５９は開閉弁２５５を閉弁させる方向に付勢し、下流側付勢部材２６０は、受圧部２５８をダイヤフラム部２３２側に付勢する。そして、開閉弁２５５は、第１の面２３２ａにかかる圧力が第２の面２３２ｂにかかる圧力より低く且つ第１の面２３２ａにかかる圧力と第２の面２３２ｂにかかる圧力との差が所定値（例えば、１ｋＰａ）以上になると、閉弁状態から開弁状態になる。

この所定値は、上流側付勢部材２５９の付勢力、下流側付勢部材２６０の付勢力、ダイヤフラム部２３２を変位させるために必要な力、弁部２５６によって連通経路２５４を遮断するために必要な押圧力（シール荷重）、弁部２５６の表面に作用する液体流入部２５２内の圧力、及び液体収容部２３１内の圧力に応じて決まる値である。すなわち、上流側付勢部材２５９と下流側付勢部材２６０の付勢力が大きいほど所定値も大きくなる。

上流側付勢部材２５９と下流側付勢部材２６０の付勢力は、液体収容部２３１内の圧力がノズル１９における気液界面にメニスカス６４を形成可能な範囲の負圧状態（例えば、第２の面２３２ｂにかかる圧力が大気圧の場合、−１ｋＰａ）となるように設定される。この場合、気液界面とは液体と気体とが接する境界であり、メニスカス６４とは液体がノズル１９と接してできる湾曲した液体表面である。そして、ノズル１９には、液体の噴射に適した凹状のメニスカス６４が形成されることが好ましい。

押圧機構２５１は、ダイヤフラム部２３２の第２の面２３２ｂ側を押圧可能な押圧部２３７を有する回動可能なレバー２３３と、レバー２３３に回動力を付与する可撓壁２２１を有した圧力調整室２２０と、圧力調整室２２０内の圧力を調整可能な圧力調整部２１０（図７参照）とを備えている。可撓壁２２１は、圧力調整部２１０（図７参照）による圧力調整室２２０内の圧力の調整に伴って膨らんだり凹んだりする。

そして、押圧機構２５１は、圧力調整部２１０（図７参照）が圧力調整室２２０内の圧力を大気圧よりも高い圧力に調整することによって可撓壁２２１を膨らませることで、ダイヤフラム部２３２を液体収容部２３１の容積が小さくなる方向にレバー２３３の押圧部２３７によって押圧することによって開閉弁２５５を開弁状態とする。

すなわち、可撓壁２２１がレバー２３３の被押圧部２３８に接触した状態で膨らむと、可撓壁２２１によって被押圧部２３８が押圧されてレバー２３３に回動力が付与され、この回動力によりレバー２３３が取付部２１８との接触部分である支点を回動中心として回動する。

このレバー２３３の回動に伴って押圧部２３７がダイヤフラム部２３２の第２の面２３２ｂ側を液体収容部２３１の容積が小さくなる方向に押圧することで、開閉弁２５５が閉弁状態から開弁状態にされる。このとき、押圧機構２５１の押圧部２３７は、ダイヤフラム部２３２における受圧部２５８が接触する領域を押圧する。この場合、ダイヤフラム部２３２における受圧部２５８が接触する領域の面積は、連通経路２５４の断面積よりも大きくなっている。

また、押圧機構２５１は、圧力調整部２１０（図７参照）が圧力調整室２２０内の圧力をレバー２３３の押圧部２３７によるダイヤフラム部２３２の押圧時の圧力調整室２２０内の圧力よりも低い圧力に調整することで、レバー２３３の押圧部２３７によるダイヤフラム部２３２の押圧を解除する。なお、レバー２３３に可撓壁２２１による回動力が付与されない状態では、押圧部２３７がダイヤフラム部２３２から離れている。

次に、液体噴射部１２に供給される液体の圧力を調整する圧力調整装置２００の作用について説明する。
さて、液体噴射部１２が液体を噴射すると、液体収容部２３１に収容された液体が液体供給経路２７を介して液体噴射部１２に供給される。すると、図１３に示すように、液体収容部２３１内の圧力が低下し、ダイヤフラム部２３２における第１の面２３２ａにかかる圧力と第２の面２３２ｂにかかる圧力との差が所定値以上になると、ダイヤフラム部２３２が液体収容部２３１の容積を小さくする方向へ撓み変形する。このダイヤフラム部２３２の変形に伴って受圧部２５８を介して開閉弁２５５が押圧されて移動し、開閉弁２５５が開弁状態となる。

すると、液体流入部２５２内の液体は加圧機構３１により加圧されているため、液体流入部２５２から液体収容部２３１に液体が供給されて液体収容部２３１内の圧力が上昇する。これにより、ダイヤフラム部２３２は、液体収容部２３１の容積を増大させるように変形する。そして、ダイヤフラム部２３２における第１の面２３２ａにかかる圧力と第２の面２３２ｂにかかる圧力との差が所定値よりも小さくなると、開閉弁２５５が上流側付勢部材２５９の付勢力により移動して開弁状態から閉弁状態になって液体の流動を阻害する。

このようにして、圧力調整機構２５０は、ダイヤフラム部２３２を変位させて液体噴射部１２に供給される液体の圧力を調整することで、ノズル１９の背圧となる液体噴射部１２内の圧力を調整する。

次に、液体噴射部１２のメンテナンスのために、液体供給源１３から液体噴射部１２へ液体を強制的に流動させて加圧クリーニングを行う場合の作用について説明する。
図１１に示すように、制御部７８（図４参照）が圧力調整部２１０の第１バルブＶ１及び第３バルブＶ３を閉弁するとともに第２バルブＶ２及び第４バルブＶ４を開弁した状態でポンプ２４１を駆動すると、圧力接続部２１１から空気が加圧供給されて圧力調整室２２０（図１２参照）内の圧力が大気圧よりも高い圧力に調整される。

これにより、図１３に示すように、可撓壁２２１が膨らんでレバー２３３の被押圧部２３８を押圧し、レバー２３３がねじりばね２３５の付勢力に抗して取付部２１８との接触部分である支点を回動中心として回動する。

すると、レバー２３３の押圧部２３７がダイヤフラム部２３２における受圧部２５８が接触する領域を下流側付勢部材２６０の付勢力に抗して押圧する。すると、開閉弁２５５もダイヤフラム部２３２及び受圧部２５８越しに押圧部２３７による押圧力を受けて上流側付勢部材２５９の付勢力に抗して移動し、開閉弁２５５が開弁状態になる。

すなわち、押圧機構２５１は、上流側付勢部材２５９及び下流側付勢部材２６０の付勢力に抗して受圧部２５８及び開閉弁２５５を移動させることにより、開閉弁２５５を開弁状態にする。つまり、制御部７８は、押圧機構２５１にダイヤフラム部２３２を押圧させることにより開閉弁２５５を開弁させる。この場合、圧力調整部２１０は、複数の圧力調整装置２００の圧力接続部２１１に接続されているため、全ての圧力調整装置２００の開閉弁２５５を開弁状態にする。

このとき、ダイヤフラム部２３２は液体収容部２３１の容積を小さくする方向に変形するため、液体収容部２３１に収容されていた液体は液体噴射部１２側に押し出される。すなわち、ダイヤフラム部２３２が液体収容部２３１を押圧した圧力が液体噴射部１２に伝わることにより、メニスカス６４が壊れてノズル１９から液体が溢れる。

つまり、押圧機構２５１は、液体収容部２３１内の圧力が、少なくとも１つのメニスカス６４が壊れる圧力（例えば、気液界面における液体側の圧力が気体側の圧力よりも３ｋＰａ高くなる圧力）よりも高くなるように、ダイヤフラム部２３２を押圧する。

また、押圧機構２５１は、ダイヤフラム部２３２を押圧することによって、液体流入部２５２内の圧力に関わらず開閉弁２５５を開弁状態にする。この場合、押圧機構２５１は、加圧機構３１が液体を加圧する圧力に前述の所定値を加えた圧力がダイヤフラム部２３２に加わった場合に発生する押圧力よりも大きな押圧力でダイヤフラム部２３２を押圧する。

そして、制御部７８は、押圧機構２５１がダイヤフラム部２３２を押圧することによる開閉弁２５５の開弁状態において、減圧部４３を定期的に駆動することにより、加圧機構３１により加圧された所定量の液体を液体噴射部１２に供給する。すなわち、減圧部４３の駆動に伴って負圧室４２が減圧されると、可撓性部材３７はポンプ室４１の容積を増大させる方向に移動する。

すると、液体供給源１３からポンプ室４１に液体が流入する。そして、減圧部４３による減圧が解除されると、可撓性部材３７は付勢部材４４の付勢力によりポンプ室４１の容積を減少させる方向に付勢される。すなわち、ポンプ室４１内の所定量の液体は、可撓性部材３７を介して付勢部材４４の付勢力により加圧され、下流側の一方向弁４０を通過して液体供給経路２７の下流側に送られて液体噴射部１２に供給される。

押圧機構２５１がダイヤフラム部２３２を押圧している間は開閉弁２５５の開弁状態が維持されるため、この状態で加圧機構３１が所定量の液体を加圧すると、その加圧力が液体流入部２５２、連通経路２５４、液体収容部２３１を介して液体噴射部１２に伝わり、ノズル１９から液体が排出（滴下）される、加圧クリーニングが行われる。つまり、制御部７８は、加圧機構３１に液体を加圧させることにより加圧状態の所定量の液体を液体噴射部１２に供給してノズル１９から排出させる。

そして、ノズル１９から所定量（ポンプ室４１内の所定量の液体分）の液体が排出されると、ノズル１９からの液体の排出が停止される。すなわち、加圧機構３１は、所定量の加圧された液体をノズル１９から排出（滴下）させると、この液体の排出に伴って供給する液体の加圧のレベルが低下し、やがてノズル１９から液体が排出されない程度の加圧レベルになる。

この状態で、制御部７８は、ワイピングモーター１３１を駆動させてワイピング部材１３０にノズル形成面１８を払拭させる。これにより、通常のメニスカス形成時の液体噴射部１２の内圧よりも高い内圧状態でノズル１９内にメニスカス６４が形成される。その後、制御部７８が圧力調整部２１０の第１バルブＶ１及び第３バルブＶ３を開弁するとともに第２バルブＶ２及び第４バルブＶ４を閉弁すると、圧力接続部２１１から空気が吸引されて圧力調整室２２０が減圧される。

これにより、膨らんでいた可撓壁２２１が萎んで凹んだ状態になる。すると、レバー２３３がねじりばね２３５の付勢力によって取付部２１８との接触部分である支点を回動中心として回動して元の位置に戻る。すなわち、レバー２３３の押圧部２３７がダイヤフラム部２３２から離れた状態になる。

すると、受圧部２５８とともにダイヤフラム部２３２が下流側付勢部材２６０の付勢力によって元の位置に戻るとともに、開閉弁２５５が上流側付勢部材２５９の付勢力によって移動して閉弁状態になる。すなわち、制御部７８は、加圧機構３１によって液体がノズル１９から液体が排出されない程度に加圧された状態で、押圧機構２５１によるダイヤフラム部２３２の押圧状態を解除して開閉弁２５５を閉弁状態にする。

このとき、開閉弁２５５の閉弁動作によって液体噴射部１２の内圧が低下した場合にノズル１９内のメニスカス６４が壊れてノズル１９内に空気等が引き込まれるおそれがある。この点、本実施形態では、上述のように通常のメニスカス形成時の液体噴射部１２の内圧よりも高い内圧状態でノズル１９内にメニスカス６４が形成されるので、開閉弁２５５の閉弁動作によって液体噴射部１２の内圧が低下してもメニスカス６４が壊れてノズル１９内に空気等が引き込まれることが抑制される。これにより、液体噴射部１２の加圧クリーニングが終了し、その後、制御部７８は、圧力調整部２１０のポンプ２４１を停止する。

以上、詳述した第２実施形態によれば以下の効果を得ることができる。
（１２）液体噴射装置１１において、押圧機構２５１は、圧力調整部２１０が圧力調整室２２０内の圧力を調整して可撓壁２２１によりレバー２３３に回動力を付与することで、レバー２３３を回動させて、押圧部２３７によるダイヤフラム部２３２の第２の面２３２ｂ側の押圧を行う。このため、レバー２３３の仕様（レバー比や形状等）を変更するだけで、圧力調整室２２０の仕様（加圧力や大きさ等）を変更することなく押圧部２３７による押圧力を変更することができる。すなわち、押圧部２３７による必要な押圧力が変化しても、レバー２３３の仕様を変更するだけで、圧力調整室２２０の仕様を変更することなく対応することができるので、汎用性を高めることができる。

（１３）液体噴射装置１１において、レバー２３３に可撓壁２２１による回動力が付与されない状態では、押圧部２３７がダイヤフラム部２３２から離れている。このため、レバー２３３の押圧部２３７がダイヤフラム部２３２に接触することに起因する圧力調整機構２５０の動作不良の発生を抑制できる。

（１４）液体噴射装置１１において、押圧機構２５１は、ダイヤフラム部２３２における受圧部２５８が接触する領域をレバー２３３の押圧部２３７によって押圧する。このため、ダイヤフラム部２３２における受圧部２５８の外側領域（周囲の領域）を液体収容部２３１側に変形させないように、押圧部２３７によってダイヤフラム部２３２を押圧することができる。そして、押圧部２３７によるダイヤフラム部２３２の押圧を解除した後には、ダイヤフラム部２３２における受圧部２５８の外側領域が液体収容部２３１の容積が大きくなる方向に移動して押圧前の状態に復帰するので、ノズル１９から気泡や液体が引き込まれることを抑制できる。

（１５）液体噴射装置１１において、押圧機構２５１は、圧力調整部２１０が圧力調整室２２０内の圧力を大気圧よりも高い圧力に調整することで、レバー２３３の押圧部２３７によってダイヤフラム部２３２を押圧する。このため、圧力調整室２２０内の圧力を大気圧よりも高い圧力に調整するだけで、レバー２３３の押圧部２３７によってダイヤフラム部２３２を押圧することができる。

（１６）液体噴射装置１１において、押圧機構２５１は、圧力調整部２１０が圧力調整室２２０内の圧力を押圧部２３７によるダイヤフラム部２３２の押圧時の圧力調整室２２０内の圧力よりも低い圧力に調整することで、レバー２３３の押圧部２３７によるダイヤフラム部２３２の押圧を解除する。このため、レバー２３３の押圧部２３７によるダイヤフラム部２３２の押圧状態を容易に解除することができる。

（１７）液体噴射装置１１において、回動力付与部は、圧力調整室２２０の一部を形成する可撓壁２２１であり、レバー２３３に接触することによりレバー２３３に回動力を付与する。このため、圧力調整室２２０の一部を形成する可撓壁２２１を、レバー２３３に回動力を付与する回動力付与部として好適に機能させることができる。

（１８）液体噴射装置１１において、加圧機構３１は、押圧機構２５１がダイヤフラム部２３２を押圧することによる開閉弁２５５の開弁状態において液体を加圧することで、加圧状態の液体を液体噴射部１２に対して供給する。このため、開閉弁２５５を強制的に開弁した状態で加圧機構３１によって液体を加圧することで加圧状態の液体を液体噴射部１２に供給してノズル１９から排出させるクリーニングである、所謂加圧クリーニングを行うことができる。

（１９）液体噴射装置１１は、加圧機構３１によって液体が加圧された状態で、押圧機構２５１によるダイヤフラム部２３２の押圧状態を解除して開閉弁２５５を閉弁状態にする。このため、加圧クリーニング後にノズル１９から気泡や液体が引き込まれることを抑制できる。

（２０）液体噴射装置１１において、制御部７８は、押圧機構２５１にダイヤフラム部２３２を押圧させることにより開閉弁２５５を開弁し、加圧機構３１に液体を加圧させることにより加圧状態の液体を液体噴射部１２に供給してノズル１９から排出させた後、ワイピング部材１３０にノズル形成面１８を払拭させる。このため、加圧機構３１により加圧された液体を液体噴射部１２に供給してノズル１９から強制的に排出する加圧クリーニングを行った後に、ワイピング部材１３０によりノズル形成面１８の払拭（ワイピング）を行うことで、ノズル１９内にメニスカス６４を形成することができる。したがって、加圧クリーニングを行った後に、ノズル形成面１８におけるノズル開口付近に付着した液体が異物や気泡とともにノズル１９内に吸い込まれることを抑制できる。

（２１）液体噴射装置１１において、制御部７８は、加圧機構３１に所定量の液体を加圧させることにより加圧状態の所定量の液体を液体噴射部１２に供給し、ノズル１９からの液体の排出が停止した後、ワイピング部材１３０にノズル形成面１８を払拭させてから押圧機構２５１にダイヤフラム部２３２の押圧状態を解除させて開閉弁２５５を閉弁する。

通常、所定量の加圧された液体をノズル１９から排出させると、液体の排出に伴って供給される液体の加圧のレベルが低下し、やがてノズル１９から液体が排出されない程度の加圧レベルになる。この状態でワイピング部材１３０によってノズル形成面１８を払拭（ワイピング）することで、通常のメニスカス形成時の液体噴射部１２の内圧よりも高い内圧状態でノズル１９内にメニスカス６４を形成させることができる。このため、開閉弁２５５の閉弁動作によって液体噴射部１２の内圧が低下した場合にノズル１９内のメニスカス６４が壊れてノズル１９内に空気等が引き込まれることを抑制できる。

（変更例）
なお、上記各実施形態は以下のように変更してもよい。
（変更例１）上記第２実施形態における液体噴射部１２のメンテナンスのための加圧クリーニングは、次のように行うようにしてもよい。すなわち、まず、制御部７８は、押圧機構２５１にダイヤフラム部２３２を押圧させることにより開閉弁２５５を開弁してから連続的に液体を加圧可能な加圧ポンプ（加圧機構）に液体を加圧させることにより加圧状態の液体を液体噴射部１２に供給してノズル１９から排出させる。そして、制御部７８は、押圧機構２５１にダイヤフラム部２３２の押圧状態を解除させることにより開閉弁２５５を閉弁して加圧状態の液体の液体噴射部１２への供給を停止した後、ワイピング部材１３０にノズル形成面１８を払拭させる。これにより、加圧クリーニングが終了する。このようにすれば、加圧された液体のノズル１９からの排出中に開閉弁２５５を閉弁させると、開閉弁２５５の閉弁後も液体噴射部１２の加圧状態の液体がノズル１９から排出され、やがてノズル１９から液体が排出されない程度の加圧レベルになる。この状態でワイピング部材１３０によってノズル形成面１８を払拭（ワイピング）することにより、通常のメニスカス形成時の液体噴射部１２の内圧よりも高い内圧状態でノズル１９内にメニスカス６４を形成させることができる。このため、開閉弁２５５の閉弁動作によって液体噴射部１２の内圧が低下した場合にノズル１９内のメニスカス６４が壊れてノズル１９内に空気等が引き込まれることを抑制できる。

（変更例２）上記変更例１において、図１４に示すように、制御部７８は、キャップ１３４を液体噴射部１２のノズル形成面１８におけるノズル１９を含む領域に対してキャッピングさせた状態で、加圧機構に液体を加圧させることにより加圧状態の液体を液体噴射部１２に供給してノズル１９から排出させる。そして、制御部７８は、開閉弁２５５を閉弁させてノズル１９からの液体の排出を停止させた後、キャップ１３４による上記領域のキャッピング状態を解除してからワイピング部材１３０にノズル形成面１８を払拭させるようにしてもよい。このようにすれば、キャップ１３４によって液体噴射部１２のノズル形成面１８におけるノズル１９を含む領域をキャッピングした状態でノズル１９から液体が排出されると、キャップ１３４内の圧力が上昇して大気圧よりも高くなるので、ノズル１９からの液体の排出を妨げる抵抗が発生する。このため、ノズル１９から液体が排出されなくなったときの加圧レベルは、キャッピングしない場合に比べて高くなる。この状態でキャップ１３４によるキャッピング状態を解除してもノズル１９内に空気等が引き込まれ難い。その後、ワイピング部材１３０によってノズル形成面１８を払拭（ワイピング）することで、通常のメニスカス形成時の液体噴射部１２の内圧よりも高い内圧状態でノズル１９内にメニスカス６４を形成させることができる。したがって、開閉弁２５５の閉弁動作によって液体噴射部１２の内圧が低下した場合にノズル１９内のメニスカス６４が壊れてノズル１９内に空気等が引き込まれることを抑制できる。

（変更例３）上記変更例２において、図１５に示すように、キャップ１３４の底壁に、キャップ１３４内の液体を箱状の廃液回収容器３００に排出するための排出流路３０１を設けるようにしてもよい。このようにすれば、キャップ１３４によって液体噴射部１２のノズル形成面１８におけるノズル１９を含む領域をキャッピングした状態でノズル１９から液体が排出されると、液体が排出流路３０１を流れる際の流路抵抗の影響により、上記変更例２の場合と同様に、キャップ１３４内の圧力が上昇して大気圧よりも高くなる。このため、上記変更例２と同様の作用効果を得ることができる。

（変更例４）上記変更例２において、図１６に示すように、キャップ１３４の底壁に、キャップ１３４が液体噴射部１２のノズル形成面１８におけるノズル１９を含む領域をキャッピングした際に形成される閉空間を大気と連通させる連通流路３０２を設ける。さらに、連通流路３０２の途中位置に上記閉空間を大気と連通する連通状態と大気と連通しない非連通状態との間で切替え可能な大気開放弁３０３を設けるようにしてもよい。そして、制御部７８は、ノズル１９からの液体の排出中の一定時間及びキャップ１３４による上記領域のキャッピング状態の解除時に、大気開放弁３０３を連通状態から非連通状態に切替えるようにしてもよい。このようにすれば、大気開放弁３０３が連通状態で且つキャップ１３４によって液体噴射部１２のノズル形成面１８におけるノズル１９を含む領域をキャッピングした状態でノズル１９から液体を排出させ、途中から大気開放弁３０３を非連通状態に切替えることで、キャップ１３４内の圧力を変化させることができる。すなわち、大気開放弁３０３を連通状態から非連通状態に切替えるタイミングを変化させることで、キャップ１３４内の圧力の上昇度合いを調節することができる。因みに、キャップ１３４内の圧力は、液体の排出量によって変化するので、例えば、キャップ１３４の容積が小さくてキャップ１３４内への液体の排出量が多い場合には、大気開放弁３０３を連通状態から非連通状態に切替えるタイミングが早すぎると、キャップ１３４内の圧力が大きくなりすぎる。このため、ノズル１９からキャップ１３４内に液体が排出されなくなるおそれがある。

（変更例５）上記第２実施形態において、図１６に示すように、キャップ１３４の底壁にキャップ１３４内の液体を排出するための排出流路３０４を設け、且つ排出流路３０４の途中位置にキャップ１３４内を吸引可能な吸引ポンプ３０５を設けるようにする。そして、吸引ポンプ３０５の吸引力によってノズル１９から液体を排出する吸引クリーニングを行った後に、上記変更例４の加圧クリーニングを組み合わせて行うようにしてもよい。

（変更例６）上記第２実施形態において、押圧機構２５１における圧力調整室及び回動力付与部は、図１７に示すように、圧力調整部２１０によって内部の圧力が調整されることによって伸縮する蛇腹部分を有した伸縮部材３０６によって構成してもよい。なお、図１７では、伸縮部材３０６の伸長状態を実線で示すとともに収縮状態を二点鎖線で示している。あるいは、押圧機構２５１における圧力調整室及び回動力付与部は、エアシリンダーによって構成してもよい。

（変更例７）上記第２実施形態において、レバー２３３の押圧部２３７、レバー２３３の回動中心、及びレバー２３３の被押圧部２３８は、例えば、レバー２３３の回動中心、レバー２３３の押圧部２３７、レバー２３３の被押圧部２３８の順で並ぶように構成してもよい。この場合、圧力調整室２２０及び可撓壁２２１が上記第２実施形態と同じ側に配置され、圧力調整室２２０が減圧されることによりレバー２３３が回動されて押圧部２３７によりダイヤフラム部２３２が押圧される。さらにこの場合、被押圧部２３８と可撓壁２２１とは互いに連結されている必要がある。

（変更例８）上記第２実施形態において、回動力付与部は、必ずしも可撓壁２２１である必要はない。
（変更例９）上記第２実施形態において、受圧部２５８を省略してもよい。

（変更例１０）上記第２実施形態において、レバー２３３に可撓壁２２１による回動力が付与されない状態では、必ずしも押圧部２３７がダイヤフラム部２３２から離れている必要はない。

（変更例１１）上記第２実施形態において、可撓壁２２１に受圧部を設けてもよい。
（変更例１２）上記第２実施形態において、レバー２３３を金属製にし、金属の弾性を利用してレバー２３３がダイヤフラム部２３２を押圧するようにしてもよい。このようにすれば、ねじりばね２３５を省略することができる。

（変更例１３）上記第２実施形態において、開閉弁２５５と受圧部２５８とは、連結されていてもよいし、一体形成されていてもよい。
（変更例１４）上記第２実施形態において、加圧機構３１は、ギヤポンプ、ねじポンプ、ピストンポンプなどによって構成してもよい。

（変更例１５）上記各実施形態において、液体噴射装置１１は、インク以外の他の液体を噴射したり吐出したりする液体噴射装置であってもよい。なお、液体噴射装置から微小量の液滴となって吐出される液体の状態としては、粒状、涙状、糸状に尾を引くものも含むものとする。また、ここでいう液体は、液体噴射装置から噴射させることができるような材料であればよい。例えば、物質が液相であるときの状態のものであればよく、粘性の高い又は低い液状体、ゾル、ゲル水、その他の無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）のような流状体を含むものとする。また、物質の一状態としての液体のみならず、顔料や金属粒子などの固形物からなる機能材料の粒子が溶媒に溶解、分散又は混合されたものなども含むものとする。液体の代表的な例としては上記実施形態で説明したような水系インク、非水系インク、油性インク、ジェルインク、ホットメルトインク等の各種液体組成物や液晶等が挙げられる。液体噴射装置の具体例としては、例えば、液晶ディスプレイ、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ、面発光ディスプレイ、カラーフィルターの製造等に用いられる電極材や色材等の材料を分散又は溶解のかたちで含む液体を噴射する液体噴射装置がある。また、バイオチップ製造に用いられる生体有機物を噴射する液体噴射装置、精密ピペットとして用いられ試料となる液体を噴射する液体噴射装置、捺染装置やマイクロディスペンサー等であってもよい。さらに、時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を噴射する液体噴射装置、光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂等の透明樹脂液を基板上に噴射する液体噴射装置であってもよい。また、基板などをエッチングするために酸又はアルカリ等のエッチング液を噴射する液体噴射装置であってもよい。

１１…液体噴射装置、１２…液体噴射部、１３…液体供給源、１４…供給機構、１６…噴射部フィルター、１７…共通液室、１８…ノズル形成面、１９…ノズル、２０…圧力室、２１…振動板、２２…連通孔、２３…収容室、２４…アクチュエーター、２６…装着部、２７…液体供給経路、２８…循環経路形成部、２９…循環ポンプ、３１…加圧機構、３２…フィルターユニット、３３…スタティックミキサー、３４…液体貯留部、３５…圧力調整機構、３７…可撓性部材、３８…容積ポンプ、３９…一方向弁、４０…一方向弁、４１…ポンプ室、４２…負圧室、４３…減圧部、４４…付勢部材、４５…ばね、４７…圧力調整装置、４８…押圧機構、５０…液体流入部、５１…液体収容部、５２…本体部、５３…壁部、５４…貫通孔、５５…フィルター部材、５６…ダイヤフラム部、５６ａ…第１の面、５６ｂ…第２の面、５７…連通経路、５９…開閉弁、６０…弁部、６１…受圧部、６２…上流側付勢部材、６３…下流側付勢部材、６４…メニスカス、６６…圧力調整室、６７…膨張収縮部、６８…押え部材、６９…圧力調整部、７０…挿通孔、７１…開口部、７２…空気室、７４…加圧ポンプ、７５…接続経路、７６…検出部、７７…流体圧調整部、７８…制御部、１１２…支持台、１１３…媒体、１１４…搬送部、１１５…印刷部、１１６…本体、１１７…カバー、１１８…搬送ローラー対、１１９…搬送ローラー対、１２０…案内板、１２２…ガイド軸、１２３…ガイド軸、１２４…キャリッジ、１２６…ワイパーユニット、１２７…フラッシングユニット、１２８…キャップユニット、１３０…ワイピング部材、１３１…ワイピングモーター、１３２…液体受容部、１３３…フラッシングモーター、１３４…キャップ、１３５…キャッピングモーター、２００…圧力調整装置、２０１…空気室形成ユニット、２０２…圧力調整機構形成ユニット、２０３…底板部材、２０４…接続部形成ユニット、２０５…レバーユニット、２０６…本体部、２０７…接続フィルム、２０８…第１液体接続部、２０９…第２液体接続部、２１０…圧力調整部、２１１…圧力接続部、２１２…第１液体導出部、２１３…第２液体導出部、２１４…圧力供給部、２１５…本体部、２１６…空気室フィルム、２１７…空気導入部、２１８…取付部、２１９…凹部、２２０…圧力調整室、２２１…可撓壁（回動力付与部）、２２２…溝、２２３…貫通孔、２２４…貫通孔、２２５…空気流路、２２６…本体部、２２７…圧力フィルム、２２８…第１液体導入部、２２９…第２液体導入部、２３０…凹部、２３１…液体収容部、２３２…ダイヤフラム部、２３２ａ…第１の面、２３２ｂ…第２の面、２３３…レバー、２３４…係止部、２３５…ねじりばね、２３６…取付孔、２３７…押圧部、２３８…被押圧部、２４０…環状管、２４１…ポンプ、２４２…接続管、２４３…第１分岐管、２４４…第２分岐管、２４７…壁部、２４８…貫通孔、２４９…フィルター部材、２５０…圧力調整機構、２５１…押圧機構、２５２…液体流入部、２５４…連通経路、２５５…開閉弁、２５６…弁部、２５７…ロッド部、２５８…受圧部（移動部材）、２５９…上流側付勢部材、２６０…下流側付勢部材、３００…廃液回収容器、３０１…排出流路、３０２…連通流路、３０３…大気開放弁、３０４…排出流路、３０５…吸引ポンプ、３０６…伸縮部材、Ａ…供給方向、Ｂ…循環方向、Ｘ…走査方向、Ｙ…搬送方向、Ｚ…鉛直方向、Ｖ１…第１バルブ、Ｖ２…第２バルブ、Ｖ３…第３バルブ、Ｖ４…第４バルブ。

Claims (9)

1. アクチュエーターを駆動してノズルから液体を噴射する液体噴射部に前記液体を液体供給源から供給可能な液体供給経路と、
   前記液体供給経路に設けられた圧力調整機構であって、
   前記液体供給源から供給される前記液体が流入する液体流入部と、
   前記液体を内部に収容可能であってダイヤフラム部が変位することで内部の容積が変化する液体収容部と、
   前記液体流入部と前記液体収容部とを連通させる連通経路と、
   前記ダイヤフラム部における前記液体収容部の内面となる第１の面にかかる圧力が前記ダイヤフラム部における前記液体収容部の外面となる第２の面にかかる圧力より低く且つ前記第１の面にかかる圧力と前記第２の面にかかる圧力との差が所定値以上になると、前記連通経路において前記液体流入部と前記液体収容部とを非連通とする閉弁状態から前記液体流入部と前記液体収容部とを連通させる開弁状態となる開閉弁と、
   を有する圧力調整機構と、
   前記ダイヤフラム部を前記液体収容部の容積が小さくなる方向に押圧することによって、前記開閉弁を開弁状態とする押圧機構であって、
   前記ダイヤフラム部の前記第２の面側を押圧可能な押圧部を有する回動可能なレバーと、
   前記レバーに回動力を付与する回動力付与部を有した圧力調整室と、
   前記圧力調整室内の圧力を調整可能な圧力調整部と、
   を有し、
   前記圧力調整部が前記圧力調整室内の圧力を調整して前記回動力付与部により前記レバーに回動力を付与することで、前記レバーを回動させて、前記押圧部による前記ダイヤフラム部の前記第２の面側の押圧を行う押圧機構と、
   を備えることを特徴とする液体噴射装置。
2. 前記レバーに前記回動力付与部による回動力が付与されない状態では、前記押圧部が前記ダイヤフラム部から離れていることを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
3. 前記圧力調整機構は、前記液体収容部の容積を小さくする方向へ変位する前記ダイヤフラム部に接触した状態で移動可能な移動部材をさらに有し、
   前記押圧機構は、前記ダイヤフラム部における前記移動部材が接触する領域を前記レバーの前記押圧部によって押圧することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の液体噴射装置。
4. 前記押圧機構は、前記圧力調整部が前記圧力調整室内の圧力を大気圧よりも高い圧力に調整することで、前記レバーの前記押圧部によって前記ダイヤフラム部を押圧することを特徴とする請求項１〜請求項３のうちいずれか一項に記載の液体噴射装置。
5. 前記押圧機構は、前記圧力調整部が前記圧力調整室内の圧力を前記押圧部による前記ダイヤフラム部の押圧時の前記圧力調整室内の圧力よりも低い圧力に調整することで、前記レバーの前記押圧部による前記ダイヤフラム部の押圧を解除することを特徴とする請求項４に記載の液体噴射装置。
6. 前記回動力付与部は、前記圧力調整室の一部を形成する可撓壁であり、前記レバーに接触することにより前記レバーに回動力を付与することを特徴とする請求項１〜請求項５のうちいずれか一項に記載の液体噴射装置。
7. 前記圧力調整機構に供給される前記液体を加圧可能な加圧機構をさらに備え、
   前記加圧機構は、前記押圧機構が前記ダイヤフラム部を押圧することによる前記開閉弁の開弁状態において前記液体を加圧することで、加圧状態の前記液体を前記液体噴射部に対して供給可能に構成されていることを特徴とする請求項１〜請求項６のうちいずれか一項に記載の液体噴射装置。
8. 前記加圧機構によって前記液体が加圧された状態で、前記押圧機構による前記ダイヤフラム部の押圧状態を解除して前記開閉弁を閉弁状態とすることを特徴とする請求項７に記載の液体噴射装置。
9. アクチュエーターを駆動してノズルから液体を噴射する液体噴射部に前記液体を液体供給源から供給可能な液体供給経路に設けられた圧力調整機構であって、
   前記液体供給源から供給される前記液体が流入する液体流入部と、
   前記液体を内部に収容可能であってダイヤフラム部が変位することで内部の容積が変化する液体収容部と、
   前記液体流入部と前記液体収容部とを連通させる連通経路と、
   前記ダイヤフラム部における前記液体収容部の内面となる第１の面にかかる圧力が前記ダイヤフラム部における前記液体収容部の外面となる第２の面にかかる圧力より低く且つ前記第１の面にかかる圧力と前記第２の面にかかる圧力との差が所定値以上になると、前記連通経路において前記液体流入部と前記液体収容部とを非連通とする閉弁状態から前記液体流入部と前記液体収容部とを連通させる開弁状態となる開閉弁と、
   を有する圧力調整機構と、
   前記ダイヤフラム部を前記液体収容部の容積が小さくなる方向に押圧することによって、前記開閉弁を開弁状態とする押圧機構であって、
   前記ダイヤフラム部の前記第２の面側を押圧可能な押圧部を有する回動可能なレバーと、
   前記レバーに回動力を付与する回動力付与部を有した圧力調整室と、
   前記圧力調整室内の圧力を調整可能な圧力調整部と、
   を有し、
   前記圧力調整部が前記圧力調整室内の圧力を調整して前記回動力付与部により前記レバーに回動力を付与することで、前記レバーを回動させて、前記押圧部による前記ダイヤフラム部の前記第２の面側の押圧を行う押圧機構と、
   を備えることを特徴とする圧力調整装置。

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