JP2018098333A - 電子部品搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】撮像手段に位置ブレが生じても、その位置校正が不要で正確に電子部品を収容可能な電子部品搬送装置を提供する。【解決手段】電子部品搬送装置が備えるテーピングユニット２は、ポケットＴ１が保持手段１１の停止位置に順次位置するようにキャリアテープＴを移動させる移動手段と、ポケットＴ１のうち、保持手段１１の停止位置と合致した第１のポケットＴｆと、次に停止位置に位置する第２のポケットＴｓとの両方を、１つの撮像視野ＯＶに収めて同時に撮影する撮像部２３と、撮像部により得た第１のポケット及び第２のポケットの画像から、第１のポケットに対する第２のポケットの変位量を、キャリアテープの長手方向と幅方向とにおいて検出する変位量検出部２４と、を有し、移動手段は、第２のポケットが停止位置に来るように、キャリアテープの長手方向及び幅方向に変位量分キャリアテープＴを移動させる。【選択図】図６

Description

本発明は、搬送経路を形成して、当該経路を通った電子部品を収容するテーピングユニットを備えた電子部品搬送装置に関する。

半導体素子等の電子部品は、ダイシング、マウンティング、ボンディング、及びシーリング等の各組み立て工程を経て個片に分離された後、各種検査等の工程が行われる。この工程は、一般的にはテストハンドラと呼ばれる電子部品検査装置で行われる。これは、メインテーブルの電子部品を吸着ノズル等の保持手段で保持し、メインテーブルを回転させ、各検査装置に対して搬送して検査を行うものである。検査を終えた電子部品は、テーピングユニットにおいてキャリアテープのポケットに収容される。

キャリアテープは長い帯状体であり、長手方向に沿ってポケットの列が形成されている。ポケットは、設計上、電子部品を収容する大きさ及び深さを有し、長手方向に沿って等間隔である。また、ポケットは、設計上、テープの幅中心に位置し、キャリアテープの幅方向及び長手方向と各辺が平行になるように向きを揃えている（例えば特許文献１参照）。

そのため、テーピングユニットは、搬送経路と重複する収容ポジションをキャリアテープの走行経路上に設定し、その収容ポジションに向けて各ポケットが順次移動するように間欠的にキャリアテープを送れば、各ポケットに順次電子部品を挿入することができた。

特開２０１２−００１２３３号公報

キャリアテープに対するポケットの位置は、設計上、テープの幅中心に位置し、キャリアテープの幅方向及び長手方向と各辺が平行になるように向きを揃えているとはいっても、製造誤差により微妙にバラツキが生じ得る。そこで、この製造誤差と電子部品とポケットとの許容可能なクリアランスとを考慮しつつ、ポケットの大きさを設計すればよかった。

しかしながら、近年は、０６０３サイズ（０．６ｍｍ×０．３ｍｍ）や０４０２サイズ（０．４ｍｍ×０．２ｍｍ）等の微小な電子部品が普及しつつある。このサイズの電子部品では、ポケットとのクリアランスが厳しく、ポケットが製造誤差により微妙にシフトしてしまっただけでも、ポケットを画成する壁と電子部品の衝突や挿入ミスが発生することとなる。例えば、０６０３サイズに合わせて０．７ｍｍ×０．４ｍｍ角のポケットを形成した場合、そのポケットが０．１ｍｍ横にシフトするだけで電子部品とポケットを画成する壁との衝突が発生し、０．２ｍｍ横にシフトするだけで挿入ミスが発生する。

そこで、空のポケットを収容ポジションに来るようにキャリアテープを送った後、ポケット位置のバラツキの分、キャリアテープを移動させることで、当該ポケットを正確に収容ポジションに位置させるよう補正を行っていた。すなわち、収容ポジションと合致する位置の真上にカメラを設け、収容ポジションに送られてきた空のポケットを撮影する。カメラは、その中心が収容ポジションと合致するよう設置されているため、撮影した画像の中心と、ポケットの中心とのズレを検出し、このズレが解消するようキャリアテープを移動させていた。

しかし、電子部品の搬送やその他機器の動作振動などにより、カメラに位置ブレが生じる場合がある。そのため、撮影する毎にカメラ中心がぶれたり、位置ブレが続くとカメラの位置が変わってしまう。すなわち、上記のポケット位置補正の技術は、カメラ中心と収容ポジションとを固定関係とするため、位置ブレが生じた状態で撮影された画像中心を、誤って収容ポジションとしてポケット位置を補正してしまう。そのため、こうした自体を避けるべくカメラの位置ブレが生じないようにカメラを固定する措置を採る必要があり、その校正に手間が掛かっていた。

本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、その目的は、カメラなどの撮像手段に位置ブレが生じても、撮像手段の位置校正不要で正確に電子部品を収容することができる電子部品搬送装置を提供することにある。

本発明の電子部品搬送装置は、電子部品を搬送しながら工程処理を行う電子部品搬送装置であって、前記電子部品の搬送経路と、前記電子部品を保持して前記搬送経路に沿って間欠移動する保持手段と、長手方向に前記電子部品が収容されるポケットが複数設けられたキャリアテープを保持し、前記搬送経路上の一地点である前記保持手段の停止位置に設けられ、前記保持手段から受け取った前記電子部品を梱包するテーピングユニットと、を備え、前記テーピングユニットは、前記ポケットが前記停止位置に順次位置するように前記キャリアテープを移動させる移動手段と、前記ポケットのうち、前記停止位置と合致した第１のポケットと、次に前記停止位置に位置する前記第２のポケットとの両方を、１つの撮像視野に収めて同時に撮影する撮像手段と、前記撮像手段により得た前記第１のポケット及び前記第２のポケットの画像から、前記第１のポケットに対する第２のポケットの変位量を、前記キャリアテープの長手方向と幅方向とにおいて検出する変位量検出部と、を有し、前記移動手段は、前記第２のポケットが前記停止位置に来るように、前記キャリアテープの長手方向及び幅方向に前記変位量分前記キャリアテープを移動させること、を特徴とする。

前記移動手段は、前記キャリアテープを、１ピッチ毎に前記長手方向の一方向に移送する移送手段と、前記キャリアテープを、前記長手方向及び幅方向に移動させ、前記第２のポケットの位置ズレを補正する補正手段と、を有するようにしても良い。

前記変位量検出部で得た前記変位量の前記長手方向の成分量から、前記１ピッチの理想量を引いて得られる前記第２のポケットの前記第１のポケットに対する位置ズレ量を算出する算出部を備え、前記補正手段は、前記位置ズレ量と前記変位量の前記幅方向の成分量の分、前記キャリアテープを前記長手方向及び幅方向に移動させて前記第２のポケットの位置ズレを補正するようにしても良い。

前記移送手段は、外形が円状で、円周方向に沿って間隔を空けて複数のピンが突出して設けられたスプロケットと、前記スプロケットを、その円中心軸周りに回転させる駆動モータと、を有し、前記スプロケットが回転するとともに、前記ピンが、前記キャリアテープに前記長手方向に所定間隔離間して設けられたスプロケット孔に引っかけられることで前記キャリアテープを前記長手方向に移送するようにしても良い。

各前記ピンの設けられた位置と、当該ピンが設けられる規定位置との位置ズレであるピンズレ量が前記ピン毎に予め記憶されたピンズレ記憶手段と、を備え、前記移送手段は、前記１ピッチの理想量と前記ピンズレ量との合成値である前記１ピッチの移送量だけ前記キャリアテープを移送し、前記算出部は、前記変位量検出部で得た前記変位量の前記長手方向の成分量から、前記１ピッチの理想量と、を引いて得られる、前記第２のポケットの前記第１のポケットに対する位置ズレ量と、前記移送の際に次に前記スプロケット孔に引っかけられる前記ピンの前記ピンズレ量と、の合成値を算出し、前記補正手段は、前記算出部の算出した前記位置ズレ量と前記ピンズレ量との合成値を補正量として、前記キャリアテープをその長手方向に移動させるようにしても良い。

前記キャリアテープの移送の際に引っかけられる前記ピンを判別するピン判別手段を備え、前記ピン判別手段は、前記移送手段のピッチ数に基づいて判別するようにしても良い。また、前記キャリアテープの移送の際に引っかけられる前記ピンを判別するピン判別手段を備え、前記ピン判別手段は、前記スプロケットを撮影するカメラとしても良い。

前記ポケットの１つが前記第１のポケットとなるように、前記移送手段及び前記補正手段により前記キャリアテープを予め定めた量移動させ、前記撮像手段は、前記移送手段による移送経路上に設けられ、前記予め定めた量の移動により前記停止位置に来て前記第１のポケットとなる前記ポケットと、その次に前記停止位置に移動させる前記ポケットとの両方を、前記第１のポケットに収容する電子部品を保持した前記保持手段の間欠移動中に、１つの撮像視野に収めて同時に撮影するようにしても良い。

前記撮像手段は、前記移送手段による移送経路上に設けられ、前記停止位置に位置し、前記保持手段から受け取って前記電子部品が収容された前記ポケットと、その次に前記停止位置に来る前記ポケットとの両方を、次に前記停止位置に来る前記ポケットに収容する電子部品を保持した前記保持手段の間欠移動中に、１つの撮像視野に収めて同時に撮影し、前記移送手段は、前記撮影手段の撮影終了とともに、前記キャリアテープの移送を開始するようにしても良い。

前記移動手段は、前記キャリアテープを、前記長手方向及び前記幅方向に直交する軸周りに回転させる回転手段を有し、前記変位量検出部は、前記撮像手段により得た前記第１のポケット及び前記第２のポケットの画像から、前記第１のポケットに対する前記第２のポケットの前記軸周りの回転角を更に検出し、前記回転手段は、前記回転角に基づいて、前記キャリアテープを回転させ、前記第２のポケットの向きを補正するようにしても良い。

本発明によれば、カメラなどの撮像手段に位置ブレが生じても、撮像手段の位置校正不要で正確に電子部品を収容することができる電子部品搬送装置を得ることができる。

第１の実施形態に係るテーピングユニットの構成を示す図である。 キャリアテープＴの平面図である。 第１の実施形態に係るテーピングユニットの動作フローチャートである。 第１のポケットと第２のポケットを含むキャリアテープの拡大平面図である。 変位量検出部の動作フローチャートである。 第１のポケットと第２のポケットを含むキャリアテープの拡大平面図であり、変位量の検出を説明するための図である。 算出部の位置ズレ量の算出の動作フローチャートである。 第２のポケットの位置ズレを説明する図である。 移送手段と補正手段によるキャリアテープの移動の内訳を説明するベクトル図である。 第１の実施形態に係る電子部品搬送装置の構成を示す平面図である。 （ａ）は、テーピングユニットが設置される保持手段の停止位置近傍の平面図である。（ｂ）は、テーピングユニットが設置される保持手段の停止位置近傍の側面図である。 第１の実施形態に係る電子部品搬送装置のタイミングチャートである。 （ａ）は、搬送テーブルが回転中の電子部品搬送装置の平面図である。（ｂ）は、搬送テーブルが停止中の電子部品搬送装置の平面図である。 従来の電子部品搬送装置のタイミングチャートである。 第１の実施形態の変形例に係る電子部品搬送装置のタイミングチャートである。 ピンズレを説明するための図である。 第２の実施形態に係るテーピングユニットの制御部の機能ブロック図である。 各ピンとそのピンズレ量との対応表である。 テーピングユニットの移送の際、スプロケット孔に引っかかるピンと、その次に引っかかるピンを説明するための図である。 第２の実施形態に係る算出部の動作フローチャートである。 （ａ）は、第２の実施形態に係るテーピングユニットの作用を説明するベクトル図である。（ｂ）は、補正手段が移動させる補正ベクトルを説明するベクトル図である。 ピンズレ量の測定方法を説明するための図である。 他の態様に係るピンズレ量の測定方法を説明するための図である。

［１．第１の実施形態］
本発明の実施形態に係る電子部品搬送装置について、図面を参照しつつ説明する。

［１−１．全体構成］
電子部品搬送装置は、電子部品を搬送しながら工程処理を行う装置である。電子部品搬送装置は、電子部品の搬送経路と、電子部品を保持して搬送経路に沿って間欠移動する保持手段と、搬送経路上の一地点である保持手段の停止位置に設けられ、保持手段から受け取った電子部品を梱包するテーピングユニットと、を備える。

搬送経路は、電子部品が搬送される円周状の経路である。保持手段は、電子部品を保持し、搬送経路上でその保持する電子部品を搬送する。搬送経路には、円周の等間隔に保持手段の停止位置が設けられており、保持手段は、電子部品を停止位置まで搬送し、停止位置で停止する。その後、電子部品を離脱し、停止位置に設けられたテーピングユニットに当該電子部品を受け渡す。搬送経路及び保持手段の詳細構成については、後述する。

テーピングユニットは、キャリアテープを保持し、キャリアテープに形成された各ポケットに電子部品を収容する。テーピングユニットは、収容ポジションに搬送された電子部品をポケットに収容し、梱包する。

［１−２．詳細構成］
（テーピングユニット）
図１は、テーピングユニット２の構成を示す図である。図１に示すように、キャリアテープＴ上の一箇所には、電子部品Ｄの搬送経路と重複する収容ポジションＰ１が設けられている。すなわち、収容ポジションＰ１は、テーピングユニット２が保持手段１１から電子部品を受け取る保持手段１１の停止位置である。テーピングユニット２は、収容ポジションＰ１に各ポケットＴ１を位置させ、搬送経路に沿って収容ポジションＰ１に運搬された電子部品ＤをポケットＴ１に収容する。電子部品Ｄは、保持手段１１によって保持されながら搬送経路に沿って運搬される。保持手段１１は、収容ポジションＰ１で停止し、電子部品ＤをポケットＴ１に向けて離脱させる。

また、キャリアテープＴ上の他の箇所には、収容検査ポジションＰ３が設けられている。収容検査ポジションＰ３では、ポケットＴ１に収容された電子部品Ｄの誤収容を検出する。すなわち、収容検査ポジションＰ３には、収容検査ポジションＰ３に位置するポケットＴ１の内部を撮像する撮像部２３１が設けられている。

ポケットＴ１に収容される電子部品Ｄは、電気製品に使用される部品である。電子部品Ｄとしては、半導体素子、及び半導体素子以外の抵抗やコンデンサ等を挙げることができる。半導体素子としては、トランジスタ、ダイオード、ＬＥＤ、及びサイリスタ等のディスクリート半導体、ＩＣやＬＳＩ等の集積回路等を挙げることができる。さらに半導体以外の電子部品Ｄとして、チップコンデンサ、チップ抵抗、インダクタ、フィルタ、アイソレータ等も含まれる。

テーピングユニット２が保持するキャリアテープＴは、紙やポリスチレン樹脂等の化成品から成る長い帯状体であり、巻出し及び巻取り可能に可撓性を有する。このキャリアテープＴには、その長手方向に沿ってポケットＴ１の列が形成されている。ポケットＴ１は、設計上、電子部品Ｄを収容する大きさ及び深さを有し、長手方向に沿って複数離間して設けられている。また、ポケットＴ１は、設計上、概ね、テープの幅中心に位置し、キャリアテープＴの幅方向及び長手方向と各辺が平行になるように向きを揃えている。

テーピングユニット２は、キャリアテープＴを保持するユニット本体２０、キャリアテープＴを移動させる移動手段を有する。

ユニット本体２０は、キャリアテープＴを支持する支持体であり、後述のスプロケット２１ａ、２１ｂを軸支するケースである。移動手段は、ユニット本体２０及びキャリアテープＴに連結して設けられており、キャリアテープＴをその長手方向の一方向に移送するとともに、キャリアテープＴの長手方向及び幅方向に移動可能である。すなわち、移動手段は、キャリアテープＴを、１ピッチ毎に長手方向の一方向（以下、単に移送方向ともいう。）に移送する移送手段２１と、キャリアテープＴを、長手方向及び幅方向に移動させ、ポケットＴ１の位置ズレを補正する補正手段２２とを有する。

移送手段２１は、キャリアテープＴを送る機構であり、外形が円状で、円周方向に沿って間隔を空けて複数のピン２１ｃが突出して設けられたスプロケット２１ａ、２１ｂと、スプロケット２１ａ、２１ｂを、その円中心軸周りに回転させる駆動モータ２１ｄ、２１ｅと、を有する。

スプロケット２１ａ、２１ｂは、同径の円盤であり、水平面と垂直な同一垂直面上に並び、回転軸が平行且つ同一高さに設けられている。両スプロケット２１ａ、２１ｂには、キャリアテープＴが架橋され、駆動モータ２１ｄ、２１ｅの回転により、キャリアテープＴが移送方向に送られる。すなわち、図２に示すように、キャリアテープＴには、その長手方向に複数のスプロケット孔Ｔ２が所定間隔離間して設けられており、このスプロケット孔Ｔ２にスプロケット２１ａ、２１ｂから半径方向に突出したピン２１ｃが引っかけられることでキャリアテープＴがその長手方向に走行する。

駆動モータ２１ｄ、２１ｅは、それぞれ対応のスプロケット２１ａ、２１ｂを軸支し、同一円周方向に回転させるキャリアテープＴの走行駆動源である。駆動モータ２１ｄ、２１ｅは、１ピッチずつ間欠回転する。そのピッチは、ポケットＴ１の設計上の配置間隔に同一である。つまり、ポケットＴ１は、共通の停止位置で停止する。そして、テーピングユニット２は、ポケットＴ１の停止位置の１つを搬送経路上の収容ポジションＰ１に合致させ、保持手段１１が離脱する電子部品ＤをキャリアテープＴのポケットＴ１で受ける。また、テーピングユニット２は、ポケットＴ１の停止位置の他の１つを搬送経路上の収容検査ポジションＰ３に原則的に合致させ、ポケットＴ１内部の電子部品Ｄの収容態様を検査する。

補正手段２２は、キャリアテープＴを移動させ、次に停止位置に合致させるポケットＴ１の位置及び向きを補正する機構である。この補正は、収容ポジションＰ１、すなわち保持手段１１の停止位置でポケットＴ１が基準の位置及び向きとなるように事前に補正手段２２がキャリアテープＴを移動させて行う。

具体的には、補正手段２２は、ユニット本体２０をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動駆動部２２１と、ユニット本体２０をＹ軸方向に移動させるＹ軸移動駆動部２２２と、ユニット本体２０をＺ軸周りに回転させるＺ軸回転駆動部２２３を有する。Ｘ軸は、収容ポジションＰ１を通り、ポケットＴ１の開口面と平行であり、望ましくはキャリアテープＴの長手方向に沿う。Ｙ軸は、収容ポジションＰ１を通り、ポケットＴ１の開口面と平行であり、望ましくはキャリアテープＴの幅方向に沿う。Ｚ軸は、収容ポジションＰ１を通り、ポケットＴ１の開口面と直交する。

Ｘ軸移動駆動部２２１は、スライダ２２１ａと、スライダ２２１ａが嵌合し、Ｘ軸方向に延びるネジ軸２２１ｂと、ネジ軸２２１ｂを回転させるモータ２２１ｃとから構成されている。Ｙ軸移動駆動部２２２は、Ｘ軸が載置されるスライダ２２２ａと、スライダ２２２ａが嵌合し、Ｙ軸方向に延びるネジ軸２２２ｂと、ネジ軸２２１ｂを回転させるモータ２２１ｃとから構成されている。Ｚ軸回転駆動部２２３は、回転軸２２３ａを有するモータ２２３ｂである。Ｚ軸回転駆動部２２３は、ユニット本体２０の底面に配置されており、モータ２２３ｂがＸ軸移動駆動部２２１のスライダ２２１ａに載置されている。

上記のような移動手段を有するテーピングユニット２は、撮像部２３、制御部を更に有する。

撮像部２３は、ＣＭＯＳやＣＣＤ等の撮像素子を有する撮像手段である。撮像部２３は、ポケットＴ１のうち、停止位置と合致した第１のポケットＴ１と、次に停止位置に位置する第２のポケットＴ１との両方を、１つの撮像視野に収めて同時に撮影する。これにより、撮像部２３は、第１のポケットＴ１と第２のポケットＴ１が映し出された１つの画像を生成する。第２のポケットＴ１は、換言すれば、第１のポケットＴ１に隣接し、かつ、キャリアテープ移送方向と反対方向に位置するポケットＴ１である。

そのために、テーピングユニット２には、収容ポジションＰ１よりも移送方向上流側にズレ確認ポジションＰ２が設けられている。撮像部２３は、ズレ確認ポジションＰ２で撮影する。

ズレ確認ポジションＰ２は、停止位置に合致するポケットＴ１と、その次に停止位置に移送されるポケットＴ１との両方を１つの撮像視野に収めて同時に撮影できれば、場所は問わないが、キャリアテープＴの電子部品Ｄの移送経路上であり、かつ、停止位置に合致するポケットＴ１と、その次に停止位置に移送されるポケットＴ１との中間に設けられることが好ましい。なお、収容検査ポジションＰ３は、収容ポジションＰ１よりも移送方向下流側に位置している。

制御部は、所謂コンピュータで構成されており、撮像部２３により得た画像を解析し、移動手段を制御する。制御部は、変位量検出部２４、算出部２５を有する。

変位量検出部２４は、第１のポケットＴ１に対する第２のポケットＴ１の相対的な変位量を検出する。具体的には、変位量検出部２４は、撮像部２３により得た第１のポケットＴ１と第２のポケットＴ１の画像に対し二値化処理を行い、第１のポケットＴ１と第２のポケットＴ１の輪郭を抽出し、それぞれのポケットＴ１の中心座標（Ｘ、Ｙ）を算定する。そして、これらの中心座標の差分から、第１のポケットＴ１の中心座標を基準として第２のポケットＴ１の中心座標がどれだけ変位しているかを示す変位量を算定する。この変位量は、長手方向を示すＸ軸成分と、幅方向を示すＹ軸成分とを有し、この変位量は、第２のポケットＴ１が停止位置に来るように移動させるべき移動量である。

また、変位量検出部２４は、次に停止位置に来る第２のポケットＴ１のＺ軸周りの回転角を更に検出する。この回転角は、当該第２のポケットＴ１の直前に停止位置に位置していた第１のポケットＴ１を基準とするＺ軸周りの角度である。すなわち、変位量検出部２４は、撮像部２３により得た画像から、上記と同様に第１のポケットＴ１と第２のポケットＴ２の輪郭を抽出し、矩形状をなす第１のポケットＴ１の一辺と、これに対応する第２のポケットＴ１の一辺とのなす角度を検出する。この回転角は、第２のポケットＴ１の向きのズレを示す量であり、回転手段であるＺ軸回転駆動部２２３により第２のポケットＴ１が停止位置に移動されるまでに事前に補正されるべき量である。換言すれば、変位量検出部２４の検出する変位量には、本実施形態では、この回転角が含まれる。

算出部２５は、変位量のＸ軸方向の成分量から、移送手段２１の１ピッチの理想量を引き算する。これにより得られた値は、第１のポケットに対する第２のポケットＴ２の位置ズレ量である。すなわち、算出部２５は、第１のポケットＴ１を基準とする第２のポケットＴ１のＸ軸方向の位置ズレを算出する。なお、１ピッチの理想量は、コンピュータ内の記憶部に予め記憶されている。

ここで、このテーピングユニット２の動作及び作用を、図３〜図７を用いて説明する。図３は、テーピングユニットのフローチャートである。説明を簡単にするため、保持手段１１の停止位置、すなわち、収容ポジションＰ１にキャリアテープＴのポケットＴ１の１つが予め合致しているものとする。

図３及び図４に示すように、撮像部２３により、保持手段１１の停止位置に合致したポケットＴ１（以下、第１のポケットＴｆとする。）と、その次に停止位置に来るポケットＴ１（以下、第２のポケットＴｓとする。）とを、１つの撮像視野ＯＶに収めて同時に撮影する（ステップＳ０１）。

そして、当該撮影直後に、移送手段２１によりキャリアテープＴの移送を開始する（ステップＳ０２）。その後、変位量検出部２４により、第１のポケットＴｆに対する第２のポケットＴｓの相対的な変位量を検出する（ステップＳ０３）。

すなわち、図５に示すように、撮像部２３から得た画像に対し二値化処理を行い、第１のポケットＴｆと第２のポケットＴｓの輪郭を抽出する（ステップＳ３１）。そして、図６に示すように、抽出した輪郭から各ポケットＴｆ、Ｔｓの中心座標（Ｘｆ，Ｙｆ）、（Ｘｓ，Ｙｓ）をそれぞれ検出する（ステップＳ３２）。その後、Ｘ軸方向（長手方向）の変位量Ｄ、Ｙ軸方向（幅方向）の変位量ΔＹ、及びθ方向の回転角θを検出する（ステップＳ３３）。Ｘ軸方向（長手方向）の変位量Ｄは、Ｄ＝Ｘｓ−Ｘｆであり、Ｙ軸方向（幅方向）の変位量ΔＹは、ΔＹ＝Ｙｓ−Ｙｆである。つまり、第２のポケットＴｓの中心座標を起点とし、第１のポケットＴｆの中心座標を終点とする変位ベクトルＡの長手方向成分及び幅方向成分を検出する。また、第１のポケットＴｆを基準として第２のポケットＴｓのＺ軸周りの回転方向の回転角θを検出する。なお、変位量検出部２４による検出は、キャリアテープＴの移送開始と同時に開始しても良い。

ここで、キャリアテープＴのポケットＴ１は、設計上は、Ｘ軸上に一列に所定距離Ｌずつ離れて設けられているが、実際にはキャリアテープＴの個体差により、ポケットＴ１が設けられる位置にバラツキが生じている。そのため、理想的には移送手段２１の１ピッチの移送量をＬとすれば、１ピッチ進む毎に収容ポジションＰ１にポケットＴ１が合致するはずであるが、移送量Ｌとしても、第２のポケットＴｓは保持手段１１の停止位置に正確には合致しない。

すなわち、Ｘ軸方向の変位量Ｄには、移送手段２１による１ピッチ分の移送量Ｌと、第２のポケットＴｓの位置ズレ量Δとが含まれており、Ｄ＝Ｌ＋Δが成立する。

そこで、算出部２５により、第２のポケットＴｓの位置ズレ量Δ＝Ｄ−Ｌを算出する（ステップＳ０４）。すなわち、図７に示すように、算出部２５は、変位量検出部２４が得たＸ軸方向の変位量Ｄを取得し（ステップＳ４１）、記憶部から移送手段２１の１ピッチの移送量Ｌを読み出す（ステップＳ４２）。その後、算出部２５は、（Ｄ−Ｌ）の演算を行い（ステップＳ４３）、第１のポケットＴｆに対する第２のポケットの位置ズレ量Δを得る。なお、Ｘ軸方向の変位量Ｄの取得（ステップＳ４１）と記憶部からの読み出し（ステップＳ４２）の前後は逆にしても良い。

図８に示すように、この位置ズレ量Δが、Ｘ軸方向の第２のポケットＴｓの位置ズレであり、ΔＹが、Ｙ軸方向の第２のポケットＴｓの位置ズレである。なお、図６に示すように、回転角θが、Ｚ軸周りの第２のポケットＴｓの向きのズレである。

そして、キャリアテープＴを走行させながら、補正手段２２により、各方向の第２のポケットＴｓの位置及び向きを補正する（ステップＳ０５）。すなわち、Ｘ軸移動駆動部２２１により、算出部２５により得たＸ軸方向の位置ズレ量Δ分の補正を行うようユニット本体２０を移動させ、Ｙ軸移動駆動部２２２により、変位量検出部２４により得たＹ軸方向の位置ズレ量ΔＹ分の補正を行うようユニット本体２０を移動させる。また、Ｚ軸回転駆動部２２３により、回転角θ分の補正を行うようユニット本体２０を回転させる。

これらの移動及び回転を、移送手段２１の１ピッチ分の移送が終了するまでに完了させる。なお、各方向の移動及び回転は、Ｘ軸方向の補正→Ｙ軸方向の補正→Ｚ軸周りの回転方向の補正のように、順次行うようにしても良いし、これらの何れか２つ又はこれら全てを同時に並列処理するようにしても良い。

このように、図９に示すように、第２のポケットＴｓの中心座標（Ｘｓ，Ｙｓ）から第１のポケットＴｆの中心座標（Ｘｆ，Ｙｆ）への変位ベクトルＡの長手方向の成分量Ｄのうち、移送量Ｌだけ移送手段２１でキャリアテープＴを移送し、残りをＸ軸移動駆動部２２１で移動させる。また、幅方向の成分量ΔＹをＹ軸移動駆動部２２２で移動させる。換言すれば、移送手段２１により大きさＬのベクトルＬだけキャリアテープＴを移送させ、補正手段２２により、ベクトルＢ（＝（Δ，ΔＹ））だけキャリアテープＴを移動させる。

これにより、キャリアテープＴの移送が完了する際には、第２のポケットＴｓは、停止位置、すなわち収容ポジションＰ１に合致する。

以上のように、本実施形態のテーピングユニット２は、保持手段１１の停止位置に合致する第１のポジションＴｆと、その次に当該停止位置に来る第２のポジションＴｓの両方を、１つの撮像視野に収めて同時に撮影するようにしたので、撮像部２３の位置にブレが生じてもその位置の校正をすることなく、収容ポジションＰ１に停止した保持手段１１から電子部品Ｄを受け取ることができる。

すなわち、第１のポケットＴｆと第２のポケットＴｓとの相対的な関係は、撮像部２３の位置ブレが生じても不変な関係である。つまり、撮像部２３に位置ブレが生じても、第１のポケットＴｆが保持手段１１の停止位置に合致している関係、及び第１のポケットＴｆに対する第２のポケットＴｓの相対的な関係は影響を受けない。第２のポケットＴｓと、第２のポケットＴｓが目指すべき位置に位置している第１のポケットＴｆとの両方を、１つの撮像視野ＯＶで同時に撮影し、これにより得た画像を基にして、撮像部２３の位置ブレに対して不変の関係により、解析処理及び移動処理を行っているので、撮像部２３の位置校正作業を要することなく、正確に電子部品Ｄを収容ポジションＰ１のポケットＴ１に収容することができる。

（電子部品搬送装置）
図１０は、このテーピングユニット２を備える電子部品搬送装置の構成を示す平面図である。図１０に示すように、電子部品搬送装置は、架台上に電子部品Ｄの搬送経路１ａを配設し、搬送経路１ａに沿って複数の電子部品Ｄを同時に整列搬送し、搬送経路１ａ上で各電子部品Ｄを処理する。

架台は、直方体の台であり、内部にコンピュータやコントローラ等の制御機器、電源、ケーブル類、コンプレッサや空気管を収容している。テーピングユニット２の制御部は、この架台内に内蔵される制御機器であってもよいし、テーピングユニット２が別に制御機器を備えるようにしてもよい。

電子部品Ｄの搬送経路１ａは、架台上の搬送テーブル１２により形成される。保持手段１１は、搬送テーブル１２の外周に取り付けられる。保持手段１１の回転軌跡が搬送経路１ａであり、搬送テーブル１２と保持手段１１が電子部品Ｄを搬送する搬送手段である。搬送テーブル１２は、一点を中心にして放射状に拡がる円盤又は星形等の形状を有する。この搬送テーブル１２は、周方向に間欠的に所定角度ずつ回転する。搬送テーブル１２の動力源は、ダイレクトドライブモータ１３である。搬送テーブル１２は、ダイレクトドライブモータ１３を介して架台に設置される。

保持手段１１は、搬送テーブル１２の水平盤外周に円周等配位置で、且つ水平盤の中心から同一距離に複数取り付けられる。搬送テーブル１２が星形の場合、アームの先端に取り付けられる。保持手段１１は、例えば吸着ノズルであり、内部が中空で一端が開口し、開口端を下向きにして水平盤に設置される。保持手段１１の内部は真空ポンプやエジェクタ等の負圧発生装置の空気圧回路と連通している。空気圧回路に負圧を発生させることにより、保持手段１１は開口端で電子部品Ｄを吸着し、真空破壊や大気解放によって電子部品Ｄを離脱させる。

図１１（ａ）は、テーピングユニット２が設置される停止位置近傍の平面図である。図１１（ｂ）は、その側面図である。図１１（ａ）に示すように、テーピングユニット２は、キャリアテープＴの延び方向が搬送テーブル１２の中心に向き、キャリアテープＴが搬送テーブル１２の外方へ走行するように配置される。保持手段１１は、搬送テーブル１２の外縁の更に外側に位置するように搬送テーブル１２に取り付けられている。すなわち、この保持手段１１の外形は、搬送テーブル１２の外周から半径方向外側に一旦延びてから真下へ屈曲する。

詳細には、図１１（ｂ）に示すように、搬送テーブル１２の外縁には下方へ延びたレール１２２が設けられる。保持手段１１は、このレール１２２を摺動するスライダ１１１を有する。スライダ１１１からはアーム１１２が搬送テーブル１２の外方へ向けて延びる。アーム１１２の先端には、下方へ延びる吸着ノズル１１３が固定される。また、電子部品搬送装置は進退駆動装置１４を有する。進退駆動装置１４は、このスライダ１１１に向けて延びるロッド１４１を有し、スライダ１１１を押し込むように作用する。進退駆動装置１４から推力を付与されるスライダ１１１と昇降する吸着ノズル１１３とがアーム１１２を介することにより離間しているが、レール１２２が摺動方向をガイドしているため、偏荷重の発生による保持手段１１の向き変化を阻止している。

図１１（ｂ）に示すように、アーム１１２よりも高い位置に撮像部２３が設けられている。すなわち、撮像部２３は、搬送テーブル１２の回転の際、レール１２２、アーム１１２、及び吸着ノズル１１３と衝突しない位置であり、かつ、停止位置と合致する第１のポケットＴｆと、その次に停止位置に来る第２のポケットＴｓとを１つの撮像視野で同時に撮影可能な位置に設けられ、この位置がズレ確認ポジションＰ２である。撮像部２３は、例えば、搬送テーブル１２が設置される位置不動の架台から支持フレームを延ばして位置固定することができる。

ダイレクトドライブモータ１３は、１ピッチずつ間欠回転するように制御される。そのピッチは、保持手段１１の配置間隔に等しくなるように調整されている。つまり、保持手段１１は、搬送テーブル１２の間欠回転に伴って共通の移動軌跡を辿り、共通の停止位置で停止する。この停止位置にテーピングユニット２の収容ポジションＰ１を重ねることで、電子部品ＤをキャリアテープＴに収容することができる。

尚、テーピングユニット２が設けられる停止位置以外には他の処理ユニットを配置することができる。他の処理ユニットとしては、電子部品Ｄを搬送経路１ａに供給する供給ユニット１５、外観検査ユニット１６、電気テストユニット１７、分類ユニット１８、姿勢判別ユニット１９等を挙げることができる。

供給ユニット１５は、一例として、ウェハリングＷを保持するホルダ１５１と、ウェハリングＷと搬送手段との間の電子部品Ｄの受け渡しを中継する中継装置１５２が挙げられる。外観検査ユニット１６は、カメラを有し、電子部品Ｄを撮影し、画像から電子部品Ｄの電極形状、表面の欠陥、キズ、汚れ、異物等の有無を検査する。

電気テストユニット１７は、ベリリウム銅等の板やピン等の金属であるコンタクトを有し、電子部品Ｄのリードにコンタクトを接触させ、電流を流したり、電圧を印加したりすることで、電子部品Ｄの電圧、電流、抵抗、又は周波数等の電気特性を測定検査する。分類ユニット１８は、電気特性及び外観検査の結果に応じて電子部品Ｄを不良品と良品とに分類し、そのレベルに応じて分類してシュートする。

姿勢判別補正ユニット１９は、カメラを有し、電子部品Ｄの姿勢を判別する。判別対象となる電子部品Ｄの姿勢は、向き及び吸着ノズル１１３による保持位置を含む。姿勢判別補正ユニット１９は、判別した姿勢に応じて、電子部品Ｄの方向合わせと、保持位置の位置決めを行う。テーピングユニット２は、分類ユニット１８により良品とされた電子部品Ｄを梱包する。テーピングユニット２に梱包されなかった電子部品は電子部品搬送装置から不良品排出ユニットにより排出される。

［１−３．作用］
上記のような構成を有する電子部品搬送装置の作用について、図１２〜図１５を参照しつつ説明する。図１２は、電子部品搬送装置のタイミングチャートである。なお、テーピングユニット２には移動手段による初期移動の際に必要な情報が記憶された記憶部が設けられており、テーピングユニット２の初期動作の際、ポケットＴ１の１つが、収容ポジションＰ１、すなわち保持手段１１の停止位置に来るように、予め移動量が記憶部に記憶されているものとする。

まず、図１２に示すように、テーピングユニット２は、移送手段２１及び補正手段２２により、所定量キャリアテープＴを移動させる。この所定量は、記憶部に予め記憶された移動量である。これにより、ポケットＴ１の１つが、保持手段１１の停止位置に合致し、保持手段１１から電子部品Ｄを収容可能になる。このポケットＴ１は第１のポケットＴｆとなる。

このように空のポケットＴ１の１つが保持手段１１の停止位置に到達し、キャリアテープＴの移動が停止されたら、撮像部２３により、第１のポケットＴｆと、その次に停止位置に来るポケットＴ１（第２のポケットＴｓ）との両方を、１つの撮像視野ＯＶに収めて同時に撮影する。

この撮影より前に、搬送テーブル１２の間欠回転が開始されているものとする。図１３（ａ）に示すように、当該撮影は、搬送テーブル１２の間欠回転によって第１のポケットＴｆへ収容するための電子部品Ｄを保持した保持手段１１が搬送経路上を移動している途中に行う。すなわち、撮像部２３の光軸がアーム１１２間を通る時に撮像する。この場合、第１のポケットＴｆへ収容するための電子部品Ｄを保持した保持手段１１が収容ポジションＰ１へは到達していないため、撮影時にアーム１１２や保持手段１１に隠れて第１のポケットＴｆ、第２のポケットＴｓが撮影できないということはない。

撮像部２３による撮像直後に、図１３（ｂ）に示すように、保持手段１１が停止位置に到着し、停止する。そして保持手段１１を下降させ保持していた電子部品Ｄを離脱させることで第１のポケットＴｆに収容し、保持手段１１を上昇させる。

第１のポケットＴｆに保持手段１１からの電子部品Ｄの収容が完了した直後、或いは、保持手段１１の上昇が完了した直後に、移送手段２１により、キャリアテープＴの移送を開始する。この移送は、スプロケット２１ａ、２１ｂの１ピッチ分である。

また、撮像部２３による撮像後、変位量検出部２４により、第１のポケットＴｆに対する第２のポケットＴｓの相対的な変位量Ｄ、ΔＹ、θを検出する。そして、算出部２５により、第２のポケットＴｓの位置ズレ量Δ＝Ｄ−Ｌを算出する。この位置ズレ量Δが、Ｘ軸方向の第１のポケットＴｆに対する第２のポケットＴｓの位置ズレであり、ΔＹが、Ｙ軸方向の第１のポケットＴｆに対する第２のポケットＴｓの位置ズレであり、回転角θが、Ｚ軸周りの第１のポケットＴｆに対する第２のポケットＴｓの向きのズレである。

図１２に示すように、変位量検出部２４及び算出部２５による演算は、第１のポケットＴｆが保持手段１１から電子部品Ｄを受け取る間に行われる。すなわち、第１のポケットＴｆへの電子部品Ｄの受け渡し中に、次に停止位置に第２のポケットＴｓが来るための準備を行うことができる。

そして、キャリアテープＴを走行させながら、補正手段２２により、各方向の第２のポケットＴｓの位置及び向きを補正する。すなわち、Ｘ軸移動駆動部２２１により、算出部２５により得たＸ軸方向の位置ズレ量Δ分の補正を行うようユニット本体２０を移動させ、Ｙ軸移動駆動部２２２により、変位量検出部２４により得たＹ軸方向の位置ズレ量ΔＹ分の補正を行うようユニット本体２０を移動させる。また、Ｚ軸回転駆動部２２３により、回転角θ分の補正を行うようユニット本体２０を回転させる。これらの移動及び回転を、図１２に示すように、移送手段２１の１ピッチ分の移送が終了するまでに完了させる。なお、各方向の移動及び回転は、Ｘ軸方向の補正→Ｙ軸方向の補正→Ｚ軸周りの回転方向の補正のように、順次行うようにしても良いし、これらの何れか２つ又はこれら全てを同時に並列処理するようにしても良い。

また、変位量検出部２４及び算出部２５による演算時間が、第１のポケットＴｆへの受け渡し時間よりも短い場合は、補正手段２２による移動は、キャリアテープＴの移送と同様に、第１のポケットＴｆに保持手段１１からの電子部品Ｄの収容が完了した直後であって保持手段１１の上昇が完了する前から開始するようにしても良い。

このように移送手段２１及び補正手段２２による移送及び補正が完了し、第２のポケットＴｓが保持手段１１の停止位置（収容ポジションＰ１）に到達すると、当該ポケットＴｓは、第１のポケットＴｆとなる。その後は、撮像部２３での撮影へ戻り、梱包すべき電子部品Ｄが無くなったら、電子部品搬送装置の稼働を停止する。

図１４に示すように、従来技術によれば、キャリアテープを１ピッチ分移送させ、保持手段１１の停止位置にポケットを位置させた後、カメラで当該ポケットのみを撮影し、解析及び補正動作を行ってから電子部品の受け渡しが行われていた。すなわち、ポケットを保持手段１１の停止位置にポケットを位置させた後でなければ、撮影、解析、補正の動作が行えなかったため、タクトタイムの増大に繋がっていた。

これに対し、本実施形態によれば、第２のポケットＴｓの移送前から撮影及び解析を行うことができるので、第２のポケットＴｓの移送とともに補正動作を開始し、当該移送終了までに補正を完了することができる。従って、タクトタイムの大幅な短縮が可能となり、生産性を顕著に向上させることができる。例えば、従来技術のタクトタイムが１００ｍｓであったのに対し、本実施形態によれば、５０ｍｓとすることができ、タクトタイムを半減させることができる。

（変形例）
上記の動作では、第１のポケットＴｆに電子部品Ｄが収容される前に撮像部２３による撮像を行ったが、第１のポケットＴｆへの電子部品Ｄが収容された後に撮像部２３による撮像を行っても良い。

すなわち、図１５に示すように、第１のポケットＴｆへの電子部品Ｄが収容された後、撮像部２３により、電子部品Ｄが収容された第１のポケットＴｆと、その次に保持手段１１の停止位置に来る第２のポケットＴｓの両方を、１つの撮像視野に収めて同時に撮影する。そして、その撮像の直後、移送手段２１により１ピッチ分の移送を開始するとともに、変位量検出部２４及び算出部２５により、画像解析及び補正量の演算、補正動作を行うようにしても良い。この場合でも、キャリアテープＴの移送よりも前に、撮像部２３により撮像するので、早い段階から補正の準備を開始することができる。また、キャリアテープＴの移送と並列に画像解析、補正量の演算、及び補正動作を行うことができるので、タクトタイムの短縮化を図ることができる。

［１−４．効果］
（１）本実施形態に係る電子部品搬送装置は、電子部品Ｄを搬送しながら工程処理を行う電子部品搬送装置であって、電子部品Ｄの搬送経路と、電子部品Ｄを保持して搬送経路に沿って間欠移動する保持手段１１と、長手方向に電子部品Ｄが収容されるポケットＴ１が複数設けられたキャリアテープＴを保持し、搬送経路上の一地点である保持手段１１の停止位置に設けられ、保持手段１１から受け取った電子部品Ｄを梱包するテーピングユニット２と、を備える。そして、テーピングユニット２は、ポケットＴ１が保持手段１１の停止位置に順次位置するようにキャリアテープＴを移動させる移動手段と、ポケットＴ１のうち、保持手段１１の停止位置と合致した第１のポケットＴｆと、次に停止位置に位置する第２のポケットＴｓとの両方を、１つの撮像視野ＯＶに収めて同時に撮影する撮像部２３と、撮像部２３により得た第１のポケットＴｆ及び第２のポケットＴｓの画像から、第１のポケットＴｆに対する第２のポケットＴｓの変位量を、キャリアテープＴの長手方向と幅方向とにおいて検出する変位量検出部２４と、を有し、移動手段は、第２のポケットＴｓが停止位置に来るように、キャリアテープＴの長手方向及び幅方向に変位量分キャリアテープＴを移動させるようにした。

これにより、撮像部２３の位置ブレが生じた場合であっても、保持手段１１の停止位置と合致した第１のポケットＴｆも合わせて、その次に停止位置に来る第２のポケットＴｓを１つの撮像視野ＯＶで同時に撮像するので、第２のポケットＴｓの第１のポケットＴｆに対する相対的な変位量を得ることができる。この変位量は、撮像部２３の位置ブレが生じた場合であっても、不変な量であるので、当該変位量が０となるようにキャリアテープＴを移送及び移動させることで、撮像部２３の位置校正不要で第２のポケットＴｓを正確に停止位置に移動させることができる。

すなわち、従来は、カメラ中心を電子部品Ｄの収容ポジションとみなし、当該カメラで収容ポジションに送られたポケットＴ１を撮影した画像中心に、当該ポケットＴ１の中心が来るように補正しており、カメラの位置ブレの影響をダイレクトに受けるものであった。

これに対し、本実施形態によれば、撮像部２３に位置ブレが生じても、不変な関係に基づいて補正するので、正確に第２のポケットＴｓを保持手段１１の停止位置に移動させることができる。

（２）移動手段は、キャリアテープＴを、１ピッチ毎に長手方向の一方向に移送する移送手段２１と、キャリアテープＴを、長手方向及び幅方向に移動させ、第２のポケットＴｓの位置ズレを補正する補正手段２２と、を有するようにした。具体的には、電子部品搬送装置は、変位量検出部２４で得た変位量の長手方向の成分量から、１ピッチの理想量である移送量Ｌを引いて得られる第２のポケットＴｓの第１のポケットＴｆに対する位置ズレ量Δを算出する算出部２５を備えるようにした。そして、補正手段２２は、位置ズレ量Δと変位量の幅方向の成分量の分、キャリアテープＴを長手方向及び幅方向に移動させて第２のポケットＴｓの位置ズレを補正するようにした。

これにより、キャリアテープＴのポケットＴ１が設けられる位置に製造誤差があっても、正確に電子部品ＤをポケットＴ１に収容することができる。すなわち、理想的には、移送手段２１によりキャリアテープＴを移送方向に間欠走行させるだけで、収容ポジションＰ１にポケットＴ１が停止するはずであるが、製造誤差によりポケットＴ１の位置が規定位置からずれている場合でも、補正手段２２によりポケットＴ１の位置を補正することができる。

また、移動手段は、キャリアテープＴを、長手方向及び幅方向に直交するＺ軸周りに回転させるＺ軸回転駆動部２２３を有し、変位量検出部２４は、撮像部２３により得た第１のポケットＴｆ及び第２のポケットＴｓの画像から、第１のポケットＴｆに対する第２のポケットＴｓのＺ軸周りの回転角θを更に検出し、Ｚ軸回転駆動部２２３は、回転角θに基づいて、キャリアテープＴを回転させ、第２のポケットＴｓの向きを補正するようにした。これにより、キャリアテープＴのポケットＴ１が設けられる向きに製造誤差があっても、これを是正するので、正確に電子部品ＤをポケットＴ１に収容することができる。

（３）ポケットＴ１の１つが第１のポケットＴｆとなるように、移送手段２１及び補正手段２２によりキャリアテープＴを予め定めた量移動させ、撮像部２３は、移送手段２１による移送経路上に設けられ、当該予め定めた量の移動により停止位置に来て第１のポケットＴｆとなるポケットＴ１と、その次に停止位置に移動させるポケットＴ１（Ｔｓ）との両方を、第１のポケットＴｆに収容する電子部品を保持した保持手段１１の間欠移動中に、１つの撮像視野に収めて同時に撮影するようにした。

これにより、第１のポケットＴｆに電子部品Ｄを収容する最中も撮影した画像の分析を変位量検出部２４及び算出部２５により行うことができ、次に停止位置に位置させるべき第２のポケットＴｓの移動量を得ることができる。そのため、電子部品Ｄの収容動作と移動量の解析を時間的に重複させることができ、タクトタイムを短縮可能となり、生産性を向上させることができる。

また、第１のポケットＴｆと第２のポケットＴｓが双方とも空の状態で撮像することができるので、第１のポケットＴｆに電子部品Ｄが傾いて収容されたり、或いは第１のポケットＴｆの壁に電子部品Ｄが接触して第１のポケットＴｆの縁が隠されたりするなどの予定外の原因で第１のポケットＴｆに対する第２のポケットＴｓの位置ズレの検出が不能となる事態を防止することができる。

（４）撮像部２３は、移送手段２１による移送経路上に設けられ、停止位置に位置し、保持手段１１から受け取って電子部品Ｄが収容された第１のポケットＴｆと、その次に停止位置に来る第２のポケットＴｓとの両方を、次に停止位置に来る第２のポケットＴｓに収容する電子部品Ｄを保持した保持手段１１の間欠移動中に、１つの撮像視野に収めて同時に撮影し、移送手段２１は、撮影部２３の撮影終了とともに、キャリアテープＴの移送を開始するようにした。

これにより、次に停止位置に来るポケット、すなわち第２のポケットＴｓの移送中に第２のポケットＴｓの補正量を解析することができる。そのため、キャリアテープＴの移送と補正量の解析とを時間的に重複させることができ、タクトタイムを短縮可能となり、生産性を向上させることができる。

［２．第２の実施形態］
第２の実施形態を、図１６〜図１５を用いて説明する。第２の実施形態は、第１の実施形態の基本構成と同じである。以下では、第１の実施形態と異なる点のみを説明し、第１の実施形態と同じ部分については同じ符号を付して詳細な説明は省略する。

第２の実施形態は、移送手段２１の１ピッチのバラツキを考慮して補正手段２２により補正するものである。すなわち、スプロケット２１ａ、２１ｂ外周には、設計上は円周等配位置を規定位置としてピン２１ｃがスプロケット２１ａ、２１ｂの半径方向外側に突出して設けられるが、実際には、図１６に示すように、規定位置からずれてピン２１ｃが設けられている場合がある。この規定位置からのピン２１ｃの位置ズレを「ピンズレ」と称し、その規定位置からのずれ量をδとする。ピンズレ量δは、スプロケット２１ａ、２１ｂの円周に沿った距離である。ピンズレがある場合、１ピッチの設計上の移送量、すなわち理想量がＬであっても、ピンズレが含まれるため、実際の移送量Ｌ’は、Ｌ’＝Ｌ＋δとなり、ピンズレの分だけ移送量に過不足が生じる。そのため、第２の実施形態では、このピンズレ量δを加味して、補正手段２２により補正を行う。

具体的には、図１７に示すように、テーピングユニット２は、各ピン２１ｃが設けられた位置と、当該ピン２１ｃが設けられる規定位置との位置ズレであるピンズレ量δが、ピン２１ｃ毎に予め記憶されたピンズレ記憶部２６と、キャリアテープＴの移送の際にスプロケット孔Ｔ２に引っかけられるピン２１ｃを判別するピン判別部２７とを更に備える。本実施形態では、ピンズレ記憶部２６及びピン判別部２７は、テーピングユニット２の制御部に設けられている。

ピンズレ記憶部２６は、図１８に示すように、各ピン２１ｃのラベルと、当該ピン２１ｃのピンズレ量δとがテーブルなどとして、対応付けられて予め記憶されている。

ピン判別部２７は、移送手段２１のピッチ数に基づいて、キャリアテープＴの移送の際にスプロケット孔Ｔ２に引っかけられるピン２１ｃを判別する。ピン判別部２７の構成は、種々の態様を取り得る。例えば、ピン判別部２７にピッチ数をカウントするカウンタを設ける場合、図１９に示すように、初期動作の際に、特定のピン２１ｃをスプロケット孔Ｔ２に引っかけるものとし、当該特定のピン２１ｃのラベルをｉ０とすると、ｎピッチ後に引っかけられるピン２１ｃのラベルｉは、ｉ＝ｉ０＋ｎとなり、キャリアテープＴの移送の際にスプロケット孔Ｔ２に引っかけられるピン２１ｃのラベルが特定できる。１つのスプロケット２１ａ、２１ｂのピン２１ｃの数をＮとすると、ｎ≦Ｎの場合は、１ピッチずつ１を足し、ｎ＞Ｎとなれば、ｉ＝１とする。なお、補正に加味すべきピンズレ量は、その次にスプロケット孔Ｔ２に引っかけられるラベルｉ＋１のピン２１ｃである。

また、ピン判別部２７は、初期動作時にラベルｉ０のピン２１ｃをスプロケット孔Ｔ２に引っかけるとすると、ｉ０に、駆動モータ２１ｄ、２１ｅの軸周りの回転量を、理想の１ピッチ当たりの回転量で除した値を加算することでキャリアテープＴの移送の際にスプロケット孔Ｔ２に引っかけられるピン２１ｃのラベルを特定するようにしても良い。さらに、ピン判別部２７は、スプロケット２１ａ、２１ｂを撮影するカメラとし、スプロケット２１ａ、２１ｂを撮影することでキャリアテープＴの移送の際にスプロケット孔Ｔ２に引っかけられるピン２１ｃのラベルを特定するようにしても良い。

また、本実施形態の算出部２５は、次にスプロケット孔Ｔ２に引っかけられるピンズレ量δをピンズレ記憶部２６から読み出す。そして、第２のポケットＴｓの第１のポケットＴｆに対する位置ズレ量Δと、次にスプロケット孔Ｔ２に引っかけられるピン２１のピンズレ量δとの合成値Ｇを算出する。この合成値Ｇは、Ｘ軸方向の量である。

具体的には、算出部２５は、図２０に示すように、ピン判別部２７からスプロケット孔Ｔ２に引っかけられているピン２１ｃのラベルｉの情報を取得する（ステップＳ５１）。そして、取得したラベルｉに１を加算する（ステップＳ５２）。得られた（ｉ＋１）のラベルのピン２１ｃのピンズレ量δをピンズレ記憶部２６から読み出す（ステップＳ５３）。その後、そして、第２のポケットＴｓの第１のポケットＴｆに対する位置ズレ量Δと、読み出したピンズレ量δとの合成値Ｇを算出する（ステップＳ５４）。

例えば、図２１（ａ）に示すように、ピンズレ量δ分だけ余分に移送手段２１によりキャリアテープＴを移送する場合、δ分だけ移送方向の逆向きにキャリアテープＴを補正移動させる必要がある。すなわち、算出部２５は、合成値ＧをＤ−（Ｌ＋δ）（＝Δ−δ）に基づいて算出する。なお、位置ズレ量Δは、変位量検出部２４で得た変位量Ｄから、移送手段２１の１ピッチの理想量である移送量Ｌを引いて得られる値である。

補正手段２２は、Ｘ軸移動駆動部２２１により、算出部２５により得た合成値Ｇを補正量として、キャリアテープＴを長手方向に移動させる補正を行う。換言すると、幅方向のポケット位置ズレΔＹを考慮すれば、１ピッチの移送量が理想量Ｌである場合、ベクトルＢだけ補正手段２２はキャリアテープＴを移動させれば第２のポケットＴｓが停止位置に合致していたが、ピンズレ量が存在する場合、当該ピンズレ量を補正するべく、補正手段２２は、図２１（ｂ）に示すように、ベクトルＢとベクトルδとの合成ベクトルＣ（ここでは、ベクトルＢ−ベクトルδ）の分キャリアテープＴを移動させる。つまり、理想的な移送の下に得られる補正ベクトルＢに、ピンズレを解消する分だけベクトルδを合成し、その分だけ補正手段２２が移動させる。

以上のように、ピンズレ量を加味して補正手段２２により補正を行うので、第２のポケットＴｓを保持手段１１の停止位置に正確に合致させることができる。そのため、電子部品ＤがポケットＴｓの壁に乗りかかる事態を防止することができる。従って、生産性を著しく向上させることができる。

なお、ピンズレ量の測定方法は、次の方法を採用することができる。すなわち、図２２に示すように、棒状の治具Ｊをピン２１ｃに当て、スプロケット２１ａ、２１ｂを次のピン２１ｃが治具Ｊに当接するまで回転させる。その回転量によりピン２１ｃが掃く軌跡の長さ、すなわち実際の移送量Ｌ’を求め、理想的な移送量Ｌとの差分を取ることでピンズレ量を求める。また、カメラを別途設けて、カメラによりピン２１ｃを撮影し、規定位置とのズレを検出するようにしても良い。この場合、例えば、図２３に示すように、スプロケット２１ａ、２１ｂの半径方向内向きにカメラＣを向け、かつ、中心がスプロケット２１ａ、２１ｂのピン２１ｃが設けられる規定位置に合うようにカメラＣを設置する。画像のピン２１ｃの位置と規定位置との差分からピンズレ量を求めるようにしても良い。

ピンズレ量の測定は、電子部品搬送装置が稼働する前に事前に行っておき、テーピングユニット２に入力部を別途設けて、入力部を介してピンズレ記憶部２６に各ピン２１ｃのピンズレ量の入力を行うようにしても良い。

［３．他の実施形態］
本発明は、第１の実施形態及び第２の実施形態に限定されるものではない。また、これらの実施形態を発明の範囲を逸脱しない範囲で、種々の省略や置き換え、変更を行うことができ、その変形も本発明に含まれる。

１１ 保持手段
１１１ スライダ
１１２ アーム
１１３ 吸着ノズル
１２ 搬送テーブル
１２２ レール
１３ ダイレクトドライブモータ
１４ 進退駆動装置
１４１ ロッド
１５ 供給ユニット
Ｗ ウェハリング
１５１ ホルダ
１５２ 中継装置
１６ 外観検査ユニット
１７ 電気テストユニット
１８ 分類ユニット
１９ 姿勢判別ユニット
２ テーピングユニット
２０ ユニット本体
２１ 移送手段
２１ａ、２１ｂ スプロケット
２１ｃ ピン
２１ｄ、２１ｅ 駆動モータ
２２ 補正手段
２２１ Ｘ軸移動駆動部
２２１ａ スライダ
２２１ｂ ネジ軸
２２１ｃ モータ
２２２ Ｙ軸移動駆動部
２２２ａ スライダ
２２２ｂ ネジ軸
２２２ｃ モータ
２２３ Ｚ軸回転駆動部
２２３ａ 回転軸
２２３ｂ モータ
２３ 撮像部
２３１ 撮像部
２４ 変位量検出部
２５ 算出部
２６ ピンズレ記憶部
２７ ピン判定部
Ｌ 移送手段の１ピッチの理想の移送量
Ｌ’ 移送手段の１ピッチの実際の移送量
Δ 第１のポケットに対する第２のポケットの位置ズレ量（長手方向成分）
δ ピンズレ量
Ｄ 変位量（長手方向成分）
ΔＹ 変位量（幅方向成分）
Ｇ 合成値
Ｔ キャリアテープ
Ｔ１ ポケット
Ｔｆ 第１のポケット
Ｔｓ 第２のポケット
Ｔ２ スプロケット孔
Ｐ１ 収容ポジション
Ｐ２ ズレ確認ポジション
Ｐ３ 収容検査ポジション
ＯＶ 撮像部の１つの撮像視野

Claims (10)

1. 電子部品を搬送しながら工程処理を行う電子部品搬送装置であって、
   前記電子部品の搬送経路と、
   前記電子部品を保持して前記搬送経路に沿って間欠移動する保持手段と、
   長手方向に前記電子部品が収容されるポケットが複数設けられたキャリアテープを保持し、前記搬送経路上の一地点である前記保持手段の停止位置に設けられ、前記保持手段から受け取った前記電子部品を梱包するテーピングユニットと、
   を備え、
   前記テーピングユニットは、
   前記ポケットが前記停止位置に順次位置するように前記キャリアテープを移動させる移動手段と、
   前記ポケットのうち、前記停止位置と合致した第１のポケットと、次に前記停止位置に位置する前記第２のポケットとの両方を、１つの撮像視野に収めて同時に撮影する撮像手段と、
   前記撮像手段により得た前記第１のポケット及び前記第２のポケットの画像から、前記第１のポケットに対する第２のポケットの変位量を、前記キャリアテープの長手方向と幅方向とにおいて検出する変位量検出部と、
   を有し、
   前記移動手段は、前記第２のポケットが前記停止位置に来るように、前記キャリアテープの長手方向及び幅方向に前記変位量分前記キャリアテープを移動させること、
   を特徴とする電子部品搬送装置。
2. 前記移動手段は、
   前記キャリアテープを、１ピッチ毎に前記長手方向の一方向に移送する移送手段と、
   前記キャリアテープを、前記長手方向及び幅方向に移動させ、前記第２のポケットの位置ズレを補正する補正手段と、
   を有すること、
   を特徴とする請求項１記載の電子部品搬送装置。
3. 前記変位量検出部で得た前記変位量の前記長手方向の成分量から、前記１ピッチの理想量を引いて得られる前記第２のポケットの前記第１のポケットに対する位置ズレ量を算出する算出部を備え、
   前記補正手段は、前記位置ズレ量と前記変位量の前記幅方向の成分量の分、前記キャリアテープを前記長手方向及び幅方向に移動させて前記第２のポケットの位置ズレを補正すること、
   を特徴とする請求項２記載の電子部品搬送装置。
4. 前記移送手段は、
   外形が円状で、円周方向に沿って間隔を空けて複数のピンが突出して設けられたスプロケットと、
   前記スプロケットを、その円中心軸周りに回転させる駆動モータと、
   を有し、
   前記スプロケットが回転するとともに、前記ピンが、前記キャリアテープに前記長手方向に所定間隔離間して設けられたスプロケット孔に引っかけられることで前記キャリアテープを前記長手方向に移送すること、
   を特徴とする請求項３記載の電子部品搬送装置。
5. 各前記ピンの設けられた位置と、当該ピンが設けられる規定位置との位置ズレであるピンズレ量が前記ピン毎に予め記憶されたピンズレ記憶手段と、
   を備え、
   前記移送手段は、前記１ピッチの理想量と前記ピンズレ量との合成値である前記１ピッチの移送量だけ前記キャリアテープを移送し、
   前記算出部は、前記変位量検出部で得た前記変位量の前記長手方向の成分量から、前記１ピッチの理想量と、を引いて得られる、前記第２のポケットの前記第１のポケットに対する位置ズレ量と、前記移送の際に次に前記スプロケット孔に引っかけられる前記ピンの前記ピンズレ量と、の合成値を算出し、
   前記補正手段は、前記算出部の算出した前記位置ズレ量と前記ピンズレ量との合成値を補正量として、前記キャリアテープをその長手方向に移動させること、
   を特徴とする請求項４記載の電子部品搬送装置。
6. 前記キャリアテープの移送の際に引っかけられる前記ピンを判別するピン判別手段を備え、
   前記ピン判別手段は、前記移送手段のピッチ数に基づいて判別すること、
   を特徴とする請求項４又は５記載の電子部品搬送装置。
7. 前記キャリアテープの移送の際に引っかけられる前記ピンを判別するピン判別手段を備え、
   前記ピン判別手段は、前記スプロケットを撮影するカメラであること、
   を特徴とする請求項４又は５記載の電子部品搬送装置。
8. 前記ポケットの１つが前記第１のポケットとなるように、前記移送手段及び前記補正手段により前記キャリアテープを予め定めた量移動させ、
   前記撮像手段は、
   前記移送手段による移送経路上に設けられ、
   前記予め定めた量の移動により前記停止位置に来て前記第１のポケットとなる前記ポケットと、その次に前記停止位置に移動させる前記ポケットとの両方を、前記第１のポケットに収容する電子部品を保持した前記保持手段の間欠移動中に、１つの撮像視野に収めて同時に撮影すること、
   を特徴とする請求項４〜７の何れかに記載の電子部品搬送装置。
9. 前記撮像手段は、
   前記移送手段による移送経路上に設けられ、
   前記停止位置に位置し、前記保持手段から受け取って前記電子部品が収容された前記ポケットと、その次に前記停止位置に来る前記ポケットとの両方を、次に前記停止位置に来る前記ポケットに収容する電子部品を保持した前記保持手段の間欠移動中に、１つの撮像視野に収めて同時に撮影し、
   前記移送手段は、前記撮影手段の撮影終了とともに、前記キャリアテープの移送を開始すること、
   を特徴とする請求項４〜７の何れかに記載の電子部品搬送装置。
10. 前記移動手段は、前記キャリアテープを、前記長手方向及び前記幅方向に直交する軸周りに回転させる回転手段を有し、
    前記変位量検出部は、前記撮像手段により得た前記第１のポケット及び前記第２のポケットの画像から、前記第１のポケットに対する前記第２のポケットの前記軸周りの回転角を更に検出し、
    前記回転手段は、前記回転角に基づいて、前記キャリアテープを回転させ、前記第２のポケットの向きを補正すること、
    を特徴とする請求項１〜９の何れかに記載の電子部品搬送装置。

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