JP6765942B2 - 収縮率測定方法及び保護部材形成装置 - Google Patents
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Description
(1)
収縮率[%]=(第1の高さ位置−第2の高さ位置)/第1の高さ位置×100
23 ステージ
25 ウエーハ保持手段
26 樹脂供給手段
28 押し力測定部
29 硬化手段
31 昇降手段(拡張手段)
40 制御手段
41 第1の記憶部
42 第2の記憶部
43 算出手段
44 収縮率記憶部
45 制御部
F フィルム
H1 第1の高さ位置
H2 第2の高さ位置
R 液状樹脂
W ウエーハ
Claims (2)
- フィルムを載置するステージと、フィルムの上面に紫外線で硬化する液状樹脂を所定量供給する樹脂供給手段と、該ステージの上方でウエーハを吸引保持するウエーハ保持手段と、該ウエーハ保持手段を該ステージに対して昇降させフィルムの上面に供給した液状樹脂を該ウエーハ保持手段が保持したウエーハで押し広げる拡張手段と、該拡張手段で液状樹脂を押し広げる押し力値を測定する押し力測定部と、ウエーハとフィルムとの間に押し広げられた液状樹脂に紫外線を照射させて液状樹脂を硬化させる硬化手段と、制御手段と、を備える保護部材形成装置を用いた収縮率測定方法であって、
該ステージにフィルムを載置するフィルム載置工程と、
該フィルムに所定量の液状樹脂を供給する樹脂供給工程と、
該ウエーハ保持手段にウエーハを保持させ該ステージに接近する方向に移動させ該ステージに載置した該フィルムの上面と該ウエーハ保持部が保持したウエーハの下面との距離が予め設定した距離にすると共に該フィルムの上面に供給した液状樹脂をウエーハ保持手段が保持したウエーハの所定の面積で拡張する液状樹脂拡張工程と、
該液状樹脂拡張工程での該押し力測定部が測定した押し力値を維持して拡張した液状樹脂を硬化させ硬化する樹脂の収縮に応じてウエーハ保持手段を移動させる樹脂硬化工程と、
該液状樹脂拡張工程で液状樹脂を押し広げたときの該ウエーハ保持手段の第1の高さ位置と該樹脂硬化工程で液状樹脂が硬化したときの該ウエーハ保持手段の第2の高さ位置とから液状樹脂の収縮率を算出する算出工程と、を備える収縮率測定方法。 - フィルムを載置するステージと、フィルムの上面に紫外線で硬化する液状樹脂を所定量供給する樹脂供給手段と、該ステージの上方でウエーハを吸引保持するウエーハ保持手段と、該ウエーハ保持手段を該ステージに対して昇降方向に移動させフィルムに供給した液状樹脂を該ウエーハ保持手段が保持したウエーハで押し広げる拡張手段と、該拡張手段で液状樹脂を押し広げる押し力値を測定する押し力測定部と、ウエーハとフィルムとの間に押し広げられた液状樹脂に紫外線を照射させて液状樹脂を硬化させる硬化手段と、制御手段と、を備える保護部材形成装置であって、
該制御手段は、該拡張手段で該ステージに載置したフィルムの上面と該ウエーハ保持手段が保持したウエーハの下面との間で液状樹脂を所定の面積で押し広げたときの該ウエーハ保持手段の第1の高さ位置を記憶する第1の記憶部と、液状樹脂を所定の面積で押し広げたときの該押し力測定部が測定した押し力値を維持して該硬化手段で押し広げられた液状樹脂を硬化させ樹脂の収縮に追従させて該ウエーハ保持手段を下降させ樹脂が硬化した時の該ウエーハ保持手段の第2の高さ位置を記憶する第2の記憶部と、第1の高さ位置と第2の高さ位置から液状樹脂の収縮率を算出する算出手段と、該算出手段が算出した該収縮率を液状樹脂の種類毎に記憶する収縮率記憶部と、該収縮率記憶部に記憶された液状樹脂の該収縮率を逆算して硬化した樹脂の厚みが予め設定した値になるよう液状樹脂の供給量を制御する制御部と、を備える保護部材形成装置。
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