JP2018058160A - 研削砥石のドレッシング方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Z2=Z1−(ΔH−ΔZ)
の式により算出して記憶する第2の研削手段高さ記憶工程と、該第2の研削手段高さ記憶工程で記憶した該研削手段の高さ位置にあらかじめ記憶した該ドレッシング砥石の厚みを加算して該ドレッシング砥石の上面に該研削面が接触する時の該研削送り手段が認識する該研削手段の高さ位置を算出するドレッシング開始高さ算出工程と、該ドレッシング開始高さ算出工程で算出した該研削送り手段が認識する該研削手段の高さから研削送りして該保持手段が保持する該ドレッシング砥石によって該研削面のドレッシングを行うドレッシング工程と、を備え、該保持テーブルが保持した該ドレッシング砥石で該研削砥石の研削面をドレッシングする。
Z2i=Z1−(ΔHi−ΔZ)
の式により算出する。ここで、iは、1からiまでの値をとる。
また、保持テーブルが複数ある場合は、各保持テーブルの保持面の高さ位置が異なる場合であっても、基準テーブルの高さとの相対関係から、研削砥石が各保持面に接触する高さをそれぞれ求めることができる。
図1に示す研削装置1は、保持テーブル2に保持されたウエーハを研削手段3によって研削する装置である。保持テーブル2は、図示しない送り手段によって駆動されて基台10上を前後方向(Y軸方向)に移動可能であるとともに、回転可能である。保持テーブル2は、多孔質部材によって形成された吸着部20と、吸着部20を支持する枠体21とを備えている。吸着部20は、図示しない吸引源に連通している。吸着部20の上面と枠体21の上面とは面一に形成されており、その面が保持面200を構成している。保持テーブル20の周囲は、カバー22によって覆われている。
図1に示すように、ドレッシング砥石8は、接着剤等によって支持プレート80に固定される。支持プレート80は、保持テーブル2の吸着部20と同径か、または吸着部20よりも若干大径に形成されている。一方、ドレッシング砥石8は、支持プレート80よりも小径に形成されている。
図3に示すように、ハイトゲージ60の先端を保持面200に接触させ、ハイトゲージ60が認識する保持面200のZ軸方向の高さ位置を測定する。ここで、ハイトゲージ60から見た略鉛直方向の軸をZg軸とし、Zg軸上における保持面200の高さ位置をZg1とする。Zg1の値は、図2に示した記憶手段70に記憶される。この測定では、ハイトゲージ60の先端を保持面200のうち枠体21の上面に接触させればよいため、ドレッシング砥石80が保持テーブル2に保持された状態においても測定可能である。
次に、図4に示すように、基準テーブル50が上限位置に位置する状態において、ハイトゲージ60の先端を基準テーブル50の基準面500に接触させ、ハイトゲージ60が認識する基準面500のZ軸方向の高さ位置、すなわちZg軸上における基準面500の高さ位置Zg2を測定する。Zg2の値は、図1に示した記憶手段70に記憶される。本工程も、ドレッシング砥石8が保持テーブル2に保持された状態において測定可能である。
次に、算出手段71は、記憶手段70に記憶されているZg軸上における保持面200の高さ位置Zg1の値とZg軸上における基準面500の高さ位置Zg2の値とを読み出し、図5に示すZg2とZg1との差(ΔH)を算出する。この差は、(Zg2−Zg1)の式により算出する。ここで、基準面500は保持面200よりも高い位置にあるため、ΔH=Zg2−Zg1の算出結果は、正の値となる。
次に、基準テーブル50を研削砥石340の下方に位置付け、研削ホイール34を回転させずに、研削送り手段4が研削手段3を研削送りして下降させていき、図5に示すように、研削砥石340によって基準テーブル50を下方に押圧することにより、研削面340aが基準テーブル50を押し下げて下降させていく。そして、基準テーブル50が一定距離(ΔZ)だけ下降し、相対高さ基準部5を構成する検出部52が基準テーブル50の下端を検出すると、基準テーブル50が一定距離下降した旨の信号が検出部52から制御手段7に通知される。この通知を受けた制御手段7は、研削送り手段4を構成する図1に示したモータ42に対して駆動の停止を指示する信号を送出する。そうすると、研削手段3の下降が停止する。研削送り手段4においては、研削手段3の下降が停止した瞬間に高さ測定部45が読み取ったスケール46の値(Z1)を認識し、その値を記憶手段70に通知し、記憶手段70に記憶させる。この時のZ1の値は、研削送り手段4が認識する研削手段3の高さ位置、すなわち、研削送り手段4から見た略鉛直方向の軸をZ軸とした場合の高さ位置の値であり、このZ軸は、ハイトゲージ60から見たZ1軸とは異なる座標系である。
次に、算出手段71は、図5に示した第1の研削手段高さ記憶工程で記憶手段70に記憶した研削手段3の高さ位置(Z1)と、図4に示したテーブル高さ差算出工程で算出したハイトゲージ60が測定した保持面200の高さZg1とハイトゲージ60が測定した基準面の高さZg2との差(ΔH)と、基準テーブル50が上限位置から一定距離下降したことを検出部が検出した時の当該一定距離(ΔZ)とを用いて、研削面340aが200保持面に接触する時に研削送り手段4が認識する研削手段3の高さ位置を、Z軸上における第2の研削手段高さZ2として以下の(式1)により求める。
Z2=Z1−(ΔH−(ΔZ))・・・(式1)
上記(式1)では、Zg軸上の高さ位置の値は使用せず、Zg軸上における2つの位置の間の距離を用いるだけであるため、Z軸とZg軸との関係を意識する必要はなく、基準面500及び保持面200のZ軸上の位置を直接測定しなくても、当該Z軸上の位置を求めることができる。
次に、算出手段71は、第2の研削手段高さ記憶工程で記憶した研削手段3の高さ位置Z2と、あらかじめ記憶手段70に記憶したドレッシング砥石8の厚みと支持プレート80の厚みとを合算した厚みTとを加算し、以下の(式2)によって、ドレッシング砥石8の上面800に研削面340aが接触する時の研削送り手段4が認識する図6に示す研削手段3の高さ位置Z3を算出する。
Z3=Z2+T・・・(式2)
図1に示したモータ32が研削ホイール34を回転させるとともに、研削送り手段4が研削手段3をZ軸方向下方に向けて研削送りし、図6に示すように、研削砥石340の研削面340aをドレッシング砥石8の上面800に接触させ、研削面340aをドレッシングする。研削送り手段4が研削手段3を研削送りするにあたっては、研削手段3の高さ位置が上記Z3に近づくまでは高速に下降させていき、研削手段3の高さ位置がZ3に到達する直前に研削送り速度を低速に切り換える。そして、ドレッシング開始高さ算出工程で算出した研削手段3の高さにおいて研削面340aをドレッシング砥石8の上面800に接触させ、そこからさらに研削送り手段4が研削手段3を研削送りし、研削面340aのドレッシングを行う。なお、ドレッシング中は、基準テーブル50を下降させることにより、基準テーブル50の基準面500がドレッシング砥石8の上面800よりも低い位置に位置するようにしておく。
上記のようにしてドレッシングを行うと、研削砥石340に含まれる砥粒が脱落するため、図7に示すように、ドレッシング後の研削面340bは、ドレッシング前の研削面340aよりも上方に位置することとなる。したがって、研削によってウエーハを所定の厚みに仕上げるために、ドレッシング後は、いわゆるセットアップを行う必要がある。そこで、まず、上記第1の研削手段高さ記憶工程と同様に、基準テーブル50を研削砥石340の下方に位置付け、研削ホイール34を回転させずに、研削送り手段4が研削手段3を下降させていき、図7に示すように、研削砥石340によって基準テーブル50を下方に押圧することにより、基準テーブル50を下降させていく。そして、基準テーブル50が一定距離(ΔZ)だけ下降し、相対高さ基準部5を構成する検出部52が基準テーブル50の下端を検出すると、基準テーブル50を検出した旨の信号が検出部52から制御手段7に通知される。この通知を受けた制御手段7は、研削送り手段4を構成する図1に示したモータ42に対して駆動の停止を指示する信号を送出する。そうすると、研削手段3の下降が停止する。研削送り手段4においては、研削手段3の下降が停止した瞬間に高さ測定部45が読み取ったスケール46の値(Z4)を認識し、その値を記憶手段70に通知し、記憶手段70に記憶させる。この時のZ4の値は、研削送り手段4が認識する研削手段3の高さ位置である。なお、検出部52が基準テーブル50を検出するまでの基準テーブル50の下降量(ΔZ)は一定であり、このΔZの値は、あらかじめ記憶手段70に記憶されている。また、検出部52が基準テーブル50を検出した時の基準面500は、ドレッシング砥石8の上面800よりも上方に位置しているため、検出部52が基準テーブル50を検出するまでの間に研削砥石34の研削面340がドレッシング砥石8の上面800に接触することはない。
次に、算出手段71は、図7に示した第3の研削手段高さ記憶工程で記憶手段70に記憶した研削手段3の高さ位置(Z4)と、図4に示したテーブル高さ差算出工程で算出したハイトゲージ60が測定した保持面200の高さZg1とハイトゲージ60が測定した基準面の高さZg2との差(ΔH)と、基準テーブル50が上限位置から一定距離下降したことを検出部が検出した時の当該一定距離(ΔZ)とを用いて、研削面340bが保持面200に接触する時に研削送り手段4が認識する研削手段3の高さ位置、すなわちZ軸上の高さ位置を、第4の研削手段高さZ5として以下の(式3)により求める。
Z5=Z4−(ΔH−(ΔZ))・・・(式3)
次に、保持テーブル2からドレッシング砥石8及び支持プレート80を離脱させ、図8に示すように、表面Waに保護部材Pが貼着されたウエーハWの保護部材P側を保持面200に載置し、吸着部20に吸引力を作用させて吸着保持する。そして、ウエーハWの裏面Wbを研削するにあたり、第4の研削手段高さ記憶工程で記憶した研削手段3の高さ位置Z5と、あらかじめ記憶手段70に記憶したウエーハWの厚みと保護部材Pの厚みとを合算した厚みT1とを加算し、以下の(式4)によって、ウエーハWの裏面Wbに研削砥石340の研削面340bが接触する時の研削送り手段4が認識する図8に示す研削手段3の高さ位置Z6を算出する。
Z6=Z5+T1・・・(式4)
なお、保持テーブル2からドレッシング砥石8及び支持プレート80を離脱させ、表面Waに保護部材Pが貼着されたウエーハWの保護部材P側を保持面200に載置し吸着部20に吸引力を作用させて吸着保持する作業は、上記Z6を求めた後に行ってもよい。
次に、図1に示したモータ32が研削ホイール34を回転させるとともに、研削送り手段4が研削手段3を下方に研削送りしていく。研削送り手段4が研削手段3を研削送りするにあたっては、研削手段3の高さ位置が上記Z6に近づくまでは高速に下降させていき、研削手段3の高さ位置がZ6に到達する直前に研削送り速度を低速に切り換える。そして、回転する研削砥石340の研削面340bがウエーハWの裏面Wbに接触し、裏面Wbの研削が開始される。研削中は、図1に示したハイトゲージ60が裏面Wbに接触するとともに、もう1本のハイトゲージ60が枠体21の上面に接触し、2本のハイトゲージ60の高低差によって、ウエーハWの研削中の厚みと保護部材Pの厚みとが合算された値が算出され、この算出した値が所定の値に達すると、研削送り手段4が研削手段3を上昇させることにより、研削を終了する。なお、ウエーハWの研削中は、基準テーブル50を下降させることにより、基準テーブル50の基準面500が研削後のウエーハWの裏面Wbよりも低い位置に位置するようにしておく。
図9に示す研削装置1Aは、3つの保持テーブル2a、2b、2cを備え、これらの保持テーブル2a、2b、2cに保持された被加工物に対して研削手段3a、3bが研削加工を施す装置である。なお、以下では、第1実施形態の研削装置1と同様に構成される部位については、研削装置1と同一の符号を付し、その説明は省略する。
本工程においては、保持テーブル2a、2b、2cのいずれかにおいて、図1に示したドレッシング砥石8を保持する。
本工程においては、第1実施形態と同様に、基準テーブル50の基準面500に面高さ測定部6a、6bのいずれかのハイトゲージ60を接触させ、ハイトゲージ60が認識する基準面500の高さを測定する。また、3つの保持テーブル2a、2b、2cのすべてについて、それぞれの保持面200に面高さ測定部6a、6bのいずれかのハイトゲージ60を接触させ、ハイトゲージ60が認識するそれぞれの保持面200の高さを測定する。本工程における測定は、ドレッシング砥石8を保持している保持テーブルにおいても行うことができる。
次に、第1実施形態と同様に、基準テーブル50が上限位置に位置する状態において、ハイトゲージ60の先端を基準テーブル50の基準面500に接触させ、ハイトゲージ60が認識する基準面500のZ軸方向の高さ位置を測定し、記憶手段70に記憶する。本工程も、ドレッシング砥石80が保持テーブル2に保持された状態において測定可能である。
次に、第1実施形態と同様に、算出手段71は、記憶手段70に記憶されている複数の保持面200の高さ位置の値と基準面500の高さ位置の値とを読み出し、図10に示す基準面500の高さ位置の値からそれぞれの保持面200の高さ位置の値を引いた差(ΔH1、ΔH2、ΔH3)を算出する。ここで、基準面500は保持面200よりも高い位置にあるため、ΔH1、ΔH2及びΔH3は、すべて正の値となる。
次に、図10に示すように、基準テーブル50を研削砥石342の下方に位置付け、研削ホイール34を回転させずに、研削送り手段4aが研削手段3aを下降させていき、研削砥石342によって基準テーブル50を下方に押圧することにより、基準テーブル50を下降させていく。そして、基準テーブル50が一定距離(ΔZ)だけ下降し、相対高さ基準部5を構成する検出部52が基準テーブル50の下端を検出すると、基準テーブル50を検出した旨の信号が検出部52から制御手段7に通知される。この通知を受けた制御手段7は、研削送り手段4aを構成する図9に示したモータ42に対して駆動の停止を指示する信号を送出する。そうすると、研削手段3aの下降が停止する。研削送り手段4aにおいては、研削手段3aの下降が停止した瞬間に図9に示したエンコーダ47の情報に基づき研削送り手段4aが認識する研削手段3aの高さ位置Z1の値を記憶手段70に通知し、記憶手段70に記憶させる。この時のZ1の値は、研削送り手段4aが認識する研削手段3aの高さ位置の値である。
次に、算出手段71は、第1の研削手段高さ記憶工程で記憶手段70に記憶した研削手段3aの高さ位置(Z1)と、テーブル高さ差算出工程で算出したハイトゲージ60が測定した保持面200の高さとハイトゲージ60が測定した基準面の高さとの差(ΔH1、ΔH2、ΔH3)と、基準テーブル50が上限位置から一定距離下降したことを検出部が検出した時の当該一定距離(ΔZ)とを用いて、研削砥石342の研削面342aが保持テーブル2a、2b、2cの各保持面200に接触する時に研削送り手段4aが認識する研削手段3aの高さ位置を、第2の研削手段高さZ21、Z22、Z23として以下の(式5)により求める。
Z2i=Z1−(ΔHi−ΔZ)・・・(式5)
ここで、iは、1から3(保持テーブルの数)までの値をとる。
また、本工程では、研削手段3bを構成する研削砥石343の研削面343aが保持テーブル2a、2b、2cの各保持面200に接触する時に研削送り手段4bが認識する研削手段3bの高さ位置についても、同様の方法によって求める。
次に、算出手段71は、第2の研削手段高さ記憶工程で記憶した研削手段3aの高さ位置Z2と、あらかじめ記憶手段70に記憶したドレッシング砥石8の厚みと支持プレート80の厚みとを合算した厚みTとを加算し、以下の(式6)によって、ドレッシング砥石8の上面800に研削面342aが接触する時の研削送り手段4aが認識する研削手段3aの高さ位置Z3を算出する。
Z3=Z2j+T・・・(式6)
ここで、jは、1−3のいずれかの値であり、例えば保持テーブル2aにおいてドレッシング砥石8を保持している場合は、Z21とTとの和が研削手段3aの高さ位置となるため、j=1となる。
また、上記算出は、ドレッシング砥石8の上面800に研削手段3bを構成する研削砥石343の研削面343aが接触する時の研削送り手段4bが認識する研削手段3bの高さ位置についても、同様の手法によって行う。
図9に示したモータ32が研削ホイール34を回転させるとともに、研削送り手段4aが研削手段3aをZ軸方向下方に向けて研削送りし、研削砥石342の研削面342aをドレッシング砥石8の上面800に接触させ、研削面342aをドレッシングする。研削手段3bを構成する研削砥石343の研削面343aをドレッシングする場合も、同様である。
上記のようにしてドレッシングを行うと、研削砥石342に含まれる砥粒が脱落するため、ドレッシング後の研削砥石342の研削面342は、ドレッシング前の研削面342aとは異なる高さ位置に位置することになる。したがって、研削によってウエーハを所定の厚みに仕上げるために、ドレッシング後は、いわゆるセットアップを行う必要がある。セットアップの手法は、第1実施形態と同様であり、本工程では、上記第1の研削手段高さ記憶工程と同様に、基準テーブル50を研削砥石342の下方に位置付け、研削ホイール34を回転させずに、研削送り手段4aが研削手段3aを下降させていき、研削砥石342によって基準テーブル50を下方に押圧することにより、基準テーブル50を下降させていく。そして、基準テーブル50が一定距離(ΔZ)だけ下降し、相対高さ基準部5を構成する検出部52が基準テーブル50の下端を検出すると、基準テーブル50を検出した旨の信号が検出部52から制御手段7に通知され、この通知を受けた制御手段7は、研削手段3aの下降を停止させたうえで、エンコーダ47からの情報に基づき、研削送り手段4aが認識する研削手段3aの高さ位置の値を記憶手段70に記憶させる。研削手段3bを構成する研削砥石343をドレッシングした場合は、研削砥石343の研削面343aについても、同様にセットアップを行う。
次に、算出手段71は、第3の研削手段高さ記憶工程で記憶手段70に記憶した研削手段3の高さ位置の値と、テーブル高さ差算出工程で算出したハイトゲージ60が測定した保持面200の高さとハイトゲージ60が測定した基準面の高さとの差(ΔH1、ΔH2、ΔH3)と、基準テーブル50が上限位置から一定距離下降したことを検出部が検出した時の当該一定距離(ΔZ)とを用いて、研削砥石342のドレッシング後の研削面が保持テーブル2a、2b、2cの各保持面200に接触する時の研削送り手段4aが認識する研削手段3aの高さ位置、すなわちZ軸上の高さ位置を、第4の研削手段高さとしてそれぞれ求める。ここで求めた値は、それぞれの保持テーブルに保持されたウエーハに研削砥石342のドレッシング後の研削面を接触させて研削を行う際の基準となる高さとなる。求めた値は、記憶手段70に記憶させる。研削手段3bを構成する研削砥石343をドレッシングした場合も、同様の手法により、研削砥石343の研削面343aについて、ドレッシング後の研削面が保持テーブル2a、2b、2cの各保持面200に接触する時の研削送り手段4bが認識する研削手段3bの高さ位置、すなわちZ軸上の高さ位置を、第4の研削手段の高さとしてそれぞれ求める。
次に、ロボット83が第1のカセット820aから加工前のウエーハを搬出し、仮置き領域84による位置合わせを経て、第1搬送手段85aによって、搬入出領域101に位置するいずれかの保持テーブル、具体的にはドレッシング砥石8が保持されていない保持テーブルにそのウエーハを搬送し、吸着部20に吸引力を作用させてウエーハを保持する。そして、第1実施形態と同様に、第4の研削手段高さ記憶工程において求めた研削手段3aの高さの値に、あらかじめ記憶手段70に記憶したウエーハの厚みと保護部材の厚みとを合算した厚みとを加算し、ウエーハの裏面に研削砥石342のドレッシング後の研削面が接触する時の研削送り手段4から見た研削手段3aの高さ位置を算出する。また、研削手段3bについても、同様の算出を行う。
次に、研削送り手段4aが研削開始高さ算出工程で求めた高さ位置に研削手段3aを研削送りしていく。そして、回転する研削砥石342のドレッシング後の研削面がウエーハの裏面に接触し、裏面が粗研削される。また、ターンテーブル81を所要角度回転させた後、研削送り手段4bが研削開始高さ算出工程で求めた高さ位置に研削手段3bを研削送りして、ウエーハの粗研削された裏面を仕上げ研削する。
2,2a,2b,2c:保持テーブル
20:吸着部 21:枠体 200:保持面 22:カバー
3,3a,3b:研削手段
30:回転軸 31:ハウジング 32:モータ 33:マウント
34:研削ホイール 341:ホイール基台
340,342,343:研削砥石 340a,340b、342a,343a:研削面
4,4a,4b:研削送り手段
40:ボールネジ 41:ガイドレール 42:モータ 43:昇降板 44:ホルダ
45:高さ測定部 46:スケール 47:エンコーダ
5:相対高さ基準部 50:基準テーブル 500:基準面
51:シリンダ 52:検出部
6:面高さ測定部 60:ハイトゲージ
7:制御手段 70:記憶手段 71:算出手段
8:ドレッシング砥石 80:支持プレート 800:上面
81:ターンテーブル
82a:第1のカセット載置部 82b:第2のカセット載置部
820a:第1のカセット 820b:第2のカセット
83:ロボット 84:仮置き領域 840:位置合わせ手段
85a:第1搬送手段 85b:第2搬送手段 86:スピンナー洗浄手段
101:搬入出領域 102:加工領域
Claims (2)
- ウエーハを保持する保持面を有する保持テーブルと、研削砥石が環状に配設され回転可能な研削ホイールを用いて該保持テーブルの該保持面に保持されたウエーハを研削する研削手段と、該研削手段を該保持面に対して垂直方向に研削送りする研削送り手段と、該保持テーブルの該保持面の高さを測定するハイトゲージと、該保持テーブルに併設され上面に基準面を備え上下動可能な基準テーブルと、該基準テーブルが一定距離下降したことを検出する検出部と、演算機能を有する算出手段と、該算出手段が用いる値又は該算出手段により算出された値を記憶する記憶手段とを備える研削装置を用いた研削砥石のドレッシング方法であって、
該保持テーブルの該保持面に板状のドレッシング砥石を保持させるドレッシング砥石保持工程と、
該ハイトゲージが測定した該基準面の高さと該ハイトゲージが測定した該保持面の高さとの差(ΔH)を算出するテーブル高さ差算出工程と、
該研削送り手段が該研削手段を研削送りし該研削砥石の研削面が該基準テーブルを押し下げることにより該基準テーブルが一定距離下降したことを該検出部が検出した時の該研削送り手段が認識する該研削手段の高さ位置(Z1)を該記憶手段に記憶する第1の研削手段高さ記憶工程と、
該第1の研削手段高さ記憶工程で記憶した該研削手段の高さ位置(Z1)と、該テーブル高さ差算出工程で算出した該ハイトゲージが測定した該保持面の高さと該ハイトゲージが測定した該基準面の高さとの差(ΔH)と、該基準テーブルが上限位置から一定距離下降したことを該検出部が検出した時の該一定距離(ΔZ)とを用いて、該研削面が該保持面に接触した時に該研削送り手段が認識する該研削手段の高さ位置Z2を
Z2=Z1−(ΔH−ΔZ)
の式により算出して記憶する第2の研削手段高さ記憶工程と、
該第2の研削手段高さ記憶工程で記憶した該研削手段の高さ位置にあらかじめ記憶した該ドレッシング砥石の厚みを加算して該ドレッシング砥石の上面に該研削面が接触する時の該研削送り手段が認識する該研削手段の高さ位置を算出するドレッシング開始高さ算出工程と、
該ドレッシング開始高さ算出工程で算出した該研削送り手段が認識する該研削手段の高さから研削送りして該保持手段が保持する該ドレッシング砥石によって該研削面のドレッシングを行うドレッシング工程と、
を備え、
該保持テーブルが保持した該ドレッシング砥石で該研削砥石の研削面をドレッシングする研削砥石のドレッシング方法。 - 前記研削装置は、前記保持テーブルを複数備え、該複数の保持テーブルは、回転可能なターンテーブルによって自転可能に支持されるとともに該ターンテーブルの回転軸を中心として公転可能であり、
前記テーブル高さ差算出工程では、該複数の保持テーブルのぞれぞれの保持面の高さと前記ハイトゲージが測定した前記基準面の高さとの差ΔHiをそれぞれ算出し、
前記第2の研削手段高さ記憶工程では、前記研削面が該i個の保持テーブルのそれぞれに接触した時に該研削送り手段が認識する該研削手段のそれぞれの高さ位置Z2iを
Z2i=Z1−(ΔHi−ΔZ)
の式により算出する
請求項1に記載の研削砥石のドレッシング方法。
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