JP7486333B2 - ブロックゲージを用いたセットアップ方法 - Google Patents
ブロックゲージを用いたセットアップ方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7486333B2 JP7486333B2 JP2020054018A JP2020054018A JP7486333B2 JP 7486333 B2 JP7486333 B2 JP 7486333B2 JP 2020054018 A JP2020054018 A JP 2020054018A JP 2020054018 A JP2020054018 A JP 2020054018A JP 7486333 B2 JP7486333 B2 JP 7486333B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- processing tool
- holding surface
- block gauge
- gap
- tip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 33
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 claims description 12
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Description
セットアップでは、特許文献1に開示のように、保持面と研削砥石の下面との間に予め厚みがわかっているブロックゲージを進入させて、ブロックゲージが辛うじて進入できる隙間になったときの研削砥石の高さ位置を装置に記憶させており、記憶される研削砥石の位置には、作業者の違い等による、ばらつきが生まれる場合がある。このばらつきを小さくするために、所定の厚みのブロックゲージにもう一段厚みを厚くしたブロックゲージを連接させて形成した少なくとも二段の階段を有する階段状のブロックゲージを用いてセットアップを行っている。
これによって、どの作業者がセットアップを行っても一段目と二段目との高さの差の間に研削砥石の高さが記憶されることになるので、作業者の違いによって記憶される研削砥石の位置が大きく異なる位置になることが防止できる。しかし、その高さの差の範囲において作業者によって記憶される研削砥石の高さに、ばらつきがある。
従って、ブロックゲージを用いたセットアップには、誤差をできる限り小さくするという解決すべき課題がある。
本発明は、被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、加工具を用いて該保持面に保持された被加工物を加工する加工手段と、該加工具を該保持面に垂直な方向に移動させる移動手段と、を備える加工装置において、該加工具を該チャックテーブルに接近させて、該保持面と該加工具の先端との間の距離を測定することによって、該保持面に該加工具の先端が接触する際の該加工具の位置を記憶させるセットアップ方法であって、該移動手段を用いて該加工具を該チャックテーブルに接近する方向に移動させることにより、該保持面と該加工具の先端との間に隙間を形成して、該隙間に進入可能な予め厚みが定められた第1ブロックゲージと、該隙間に進入できない該第1ブロックゲージより厚い予め厚みが定められた第2ブロックゲージとを用いて該隙間に該第1ブロックゲージが進入可能で該第2ブロックゲージが進入できないことを確認する確認工程と、該第2ブロックゲージと該第1ブロックゲージとの厚み差の半分の距離だけ、該加工具を該保持面に接近させて該保持面と該加工具の先端との間に第2隙間を形成する第2隙間形成工程と、該第2隙間形成工程によって形成した該第2隙間に該第1ブロックゲージが進入できれば、その位置から、また、該第2隙間に該第1ブロックゲージが進入できなければ、直前に該加工具を該保持面に接近させた移動距離だけ該加工具を該保持面から遠ざけた位置から、直前に該加工具を該保持面に接近させた移動距離の半分の距離だけ該加工具を該保持面に接近させることと、該加工具を該保持面に接近させた後の該保持面と該加工具の先端との間に該第1ブロックゲージが進入可能か否かを確認することとを、該保持面と該加工具の先端との間に該第1ブロックゲージが進入できなくなるまで繰り返し、最後に該保持面と該加工具の先端との間に該第1ブロックゲージが進入できたときの該加工具の位置を、該記憶部に記憶させる記憶工程と、を備えるセットアップ方法である。
図1に示す加工装置1は、加工手段3を用いて被加工物13を加工する加工装置である。以下、加工装置1について説明する。
加工具34は、例えば研削ホイールであり、ホイール基台341と、ホイール基台341の下面に環状に配列された略直方体形状の複数の研削砥石340とを備えている。研削砥石340の先端342は、被加工物13に接触する研削面となっている。
移動手段4のZ軸方向の移動量の最小分解能は、例えば0.1μmとする。
保持面200には図示しない吸引手段等が接続されている。保持面200に被加工物13が載置されている状態で、図示しない吸引手段等を用いて吸引力を発揮させることにより、生み出された吸引力が保持面200に伝達されて、保持面200に被加工物13を吸引保持することができる。
なお、階段ブロックゲージ8は、第1ブロックゲージ81の上に厚み差61の厚みのブロックゲージを積み重ねて第2ブロックゲージ82の厚み821を形成してもよい。
移動手段4を用いた加工具34のチャックテーブル2に接近する方向への移動により、保持面200と加工具34の先端342との間に形成された隙間への、階段ブロックゲージ8の進入を試みることによって、加工具34の先端342と保持面200との間に、第1ブロックゲージ81及び第2ブロックゲージ82がそれぞれ進入可能かどうかを確認することができる。
基台22の下部には、Z軸方向の回転軸25を軸にして基台22を回転させる回転手段24が連結されている。回転手段24に駆動されて基台22が回転軸25を軸にして回転すると、基台22に支持されているチャックテーブル2が回転軸25を軸にして回転する構成となっている。
Y軸移動手段5は、Y軸方向の回転軸55を有するボールネジ50と、ボールネジ50に対して平行に配設されたガイドレール51と、底部に連結されたナット54がボールネジ50に螺合して、ガイドレール51に沿ってY軸方向に往復移動する可動板53とを備えている。可動板53の上には支持柱23が立設されており、可動板53は、支持柱23を介してチャックテーブル2を支持している。
また、Y軸移動手段5は、回転軸55を軸にしてボールネジ50を回転させる図示しないY軸モータ等を備えている。
図示しないY軸モータ等に駆動されてボールネジ50が回転すると、可動板53がガイドレール51に案内されてY軸方向に移動するとともに、支持柱23を介して支持されているチャックテーブル2がY軸方向に移動することとなる。
次いで、回転手段24を用いて回転軸25を軸にしてチャックテーブル2を回転させることにより、保持面200に保持されている被加工物13を回転させるとともに、スピンドルモータ32を用いて回転軸35を軸にして研削砥石340を回転させる。
(1)確認工程
上記の階段ブロックゲージ8を用いて、加工装置1の加工具34の高さ位置を記憶部421に記憶させるセットアップ方法について、以下に説明する。階段ブロックゲージ8を用いたセットアップは、図3に示すフローチャートに従って行われる。
これにより、図4(a)に示すように、加工具34の先端342の高さ位置が第1高さ位置71に位置づけられて、保持面200と加工具34の先端342との間に第1隙間91が形成される。第1隙間91は、例えば18.4μmとする。
確認工程では、例えば上記の調整を、保持面200と加工具34の先端342との間の隙間が、該隙間に第1ブロックゲージ81は進入できるが、第2ブロックゲージ82は進入できない大きさになるまで繰り返し行い、該隙間に第1ブロックゲージ81は進入できるが、第2ブロックゲージ82は進入できないことを確認して終了する。
(イ)繰り返し工程
確認工程の終了後、第1隙間91に進入している階段ブロックゲージ8を第1隙間91から抜去する。そして、図4(b)に示すように、第2ブロックゲージ82と第1ブロックゲージ81との厚み差61の半分の距離62(10μm)だけ加工具34を保持面200に接近させる。これにより、加工具34の先端342が第2高さ位置72に位置づけられて、保持面200と加工具34の先端342との間に第2隙間92が形成される。ここで、第2隙間92は、第1隙間91である18.4μmから距離62である10μmを差し引いた8.4μmである。
図5には、加工具34を保持面200に段階的に接近させていったときの加工具34の先端432の高さ位置と、チャックテーブル2の保持面200と加工具34の先端342との間の距離との関係を表す表が示されている。
ここで、第3隙間93は、第2隙間92である8.4μmから距離62である5μmを差し引いた3.4μmである。
上記繰り返し工程の後、加工具34の先端342が第3高さ位置73に位置づけられている状態から、直前に加工具34を保持面200に接近させた際の加工具34の移動距離63の半分の距離であり、厚み差61の8分の1にあたる距離64である2.5μmだけ、加工具34を保持面200に接近させる。これにより、図7(b)に示すように、加工具34の先端342は第4高さ位置74に位置づけられて、保持面200と加工具34の先端342との間に第4隙間94が形成される。
ここで、第4隙間94は、第3隙間93である3.4μmから距離64である2.5μmを差し引いた0.9μmである。
第1ブロックゲージ81を進入させることができない場合には、直前に加工具34を保持面200に接近させた距離64だけ加工具34を保持面200から遠ざける。これにより、図8(a)に示すように、加工具34の先端342が第3高さ位置73に戻される。
(甲)下降ステップ
そして、離間工程の後、加工具34の先端342が第3高さ位置73に位置づけられている状態で、直前に加工具34を接近させた距離64の半分の距離65である1.25μmの小数第2位を切り上げた1.3μmだけ、加工具34を下降させる。
これにより、図8(b)に示すように、加工具34の先端342が第5高さ位置75に位置づけられて、保持面200と加工具34の先端342との間に第5隙間95が形成される。第5隙間95は、第3隙間93である3.4μmから1.3μmを差し引いた2.1μmである。
下降ステップの後、加工具34の先端342と保持面200との間に第1ブロックゲージ81が進入可能か否かを判断する。
第5隙間95は第1ブロックゲージ81の厚み811よりも大きいため、第1ブロックゲージ81を加工具34の先端342と保持面200との間に進入させることができる。
また、保持面200と加工具34の先端342との間隔を狭めることにより、被加工物13の研削加工時に、加工具34を被加工物13の上面130に接近させ始めてから、加工具34の先端342が被加工物13の上面130に接触するまでの時間を短縮することができる。これにより、研削加工にかかる時間を削減することが可能となる。
なお、階段ブロックゲージ8の取り扱いを容易にするため、一段目、すなわち第一ブロックゲージ81の厚み811を、2μmではなく、例えば5.00mmとしてもよい。
2:チャックテーブル 20:吸引部 200:保持面
21:枠体 210:枠体上面 22:基台 23:支持柱
24:回転手段 25:回転軸 27:カバー 28:蛇腹
3:加工手段 30:スピンドル 31:ハウジング 32:スピンドルモータ
33:マウント 34:加工具 340:研削砥石 342:加工具の先端(研削面)
341:ホイール基台 35:回転軸
4:移動手段 40:ボールネジ 41:ガイドレール
42:Z軸モータ 420:エンコーダ 43:昇降板 44:ホルダ 45:回転軸
5:Y軸移動手段 50:ボールネジ 51:ガイドレール 53:可動板
54:ナット 55:回転軸 421:記憶部 8:階段ブロックゲージ
81:第1ブロックゲージ 810:第1ブロックゲージの上面
82:第2ブロックゲージ 820:第2ブロックゲージの上面
13:被加工物 130:被加工物の上面
811:第1ブロックゲージの厚み 821:第2ブロックゲージの厚み
61~66:加工具の移動距離 71~76:加工具の先端の高さ位置
700:第1ブロックゲージの上面の高さ位置 701:段差真中位置
702:段差四半位置 703:段差八分位置
91~96:保持面と加工具の先端のとの間の隙間
Claims (2)
- 被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、加工具を用いて該保持面に保持された被加工物を加工する加工手段と、該加工具を該保持面に垂直な方向に移動させる移動手段と、を備える加工装置において、
該加工具を該チャックテーブルに接近させて、該保持面と該加工具の先端との間の距離を測定することによって、該保持面に該加工具の先端が接触する際の該加工具の位置を記憶させるセットアップ方法であって、
該移動手段を用いて該加工具を該チャックテーブルに接近する方向に移動させることにより、該保持面と該加工具の先端との間に隙間を形成して、該隙間に進入可能な予め厚みが定められた第1ブロックゲージと、該隙間に進入できない該第1ブロックゲージより厚い予め厚みが定められた第2ブロックゲージとを用いて該隙間に該第1ブロックゲージが進入可能で該第2ブロックゲージが進入できないことを確認する確認工程と、
該第2ブロックゲージと該第1ブロックゲージとの厚み差の半分の距離だけ、該加工具を該保持面に接近させて該保持面と該加工具の先端との間に第2隙間を形成する第2隙間形成工程と、
該第2隙間形成工程によって形成した該第2隙間に該第1ブロックゲージが進入できれば該加工具の位置を記憶部に記憶させて、該第2隙間に該第1ブロックゲージが進入できなければ該確認工程にて位置付けられた該加工具の位置を該記憶部に記憶させる記憶工程と、
を備えるセットアップ方法。 - 被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、加工具を用いて該保持面に保持された被加工物を加工する加工手段と、該加工具を該保持面に垂直な方向に移動させる移動手段と、を備える加工装置において、
該加工具を該チャックテーブルに接近させて、該保持面と該加工具の先端との間の距離を測定することによって、該保持面に該加工具の先端が接触する際の該加工具の位置を記憶させるセットアップ方法であって、
該移動手段を用いて該加工具を該チャックテーブルに接近する方向に移動させることにより、該保持面と該加工具の先端との間に隙間を形成して、該隙間に進入可能な予め厚みが定められた第1ブロックゲージと、該隙間に進入できない該第1ブロックゲージより厚い予め厚みが定められた第2ブロックゲージとを用いて該隙間に該第1ブロックゲージが進入可能で該第2ブロックゲージが進入できないことを確認する確認工程と、
該第2ブロックゲージと該第1ブロックゲージとの厚み差の半分の距離だけ、該加工具を該保持面に接近させて該保持面と該加工具の先端との間に第2隙間を形成する第2隙間形成工程と、
該第2隙間形成工程によって形成した該第2隙間に該第1ブロックゲージが進入できれば、その位置から、
また、該第2隙間に該第1ブロックゲージが進入できなければ、直前に該加工具を該保持面に接近させた移動距離だけ該加工具を該保持面から遠ざけた位置から、
直前に該加工具を該保持面に接近させた移動距離の半分の距離だけ該加工具を該保持面に接近させることと、該加工具を該保持面に接近させた後の該保持面と該加工具の先端との間に該第1ブロックゲージが進入可能か否かを確認することとを、該保持面と該加工具の先端との間に該第1ブロックゲージが進入できなくなるまで繰り返し、
最後に該保持面と該加工具の先端との間に該第1ブロックゲージが進入できたときの該加工具の位置を、該記憶部に記憶させる記憶工程と、
を備えるセットアップ方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020054018A JP7486333B2 (ja) | 2020-03-25 | 2020-03-25 | ブロックゲージを用いたセットアップ方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020054018A JP7486333B2 (ja) | 2020-03-25 | 2020-03-25 | ブロックゲージを用いたセットアップ方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021154396A JP2021154396A (ja) | 2021-10-07 |
JP7486333B2 true JP7486333B2 (ja) | 2024-05-17 |
Family
ID=77916522
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020054018A Active JP7486333B2 (ja) | 2020-03-25 | 2020-03-25 | ブロックゲージを用いたセットアップ方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7486333B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008087104A (ja) | 2006-10-02 | 2008-04-17 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削加工方法 |
JP2017193043A (ja) | 2016-04-19 | 2017-10-26 | オークマ株式会社 | 工作機械における対象物の位置計測方法及び位置計測システム |
JP2018058160A (ja) | 2016-10-05 | 2018-04-12 | 株式会社ディスコ | 研削砥石のドレッシング方法 |
-
2020
- 2020-03-25 JP JP2020054018A patent/JP7486333B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008087104A (ja) | 2006-10-02 | 2008-04-17 | Disco Abrasive Syst Ltd | 研削加工方法 |
JP2017193043A (ja) | 2016-04-19 | 2017-10-26 | オークマ株式会社 | 工作機械における対象物の位置計測方法及び位置計測システム |
JP2018058160A (ja) | 2016-10-05 | 2018-04-12 | 株式会社ディスコ | 研削砥石のドレッシング方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2021154396A (ja) | 2021-10-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102268946B1 (ko) | 웨이퍼의 연삭 방법 | |
JP2020196100A (ja) | 圧電アクチュエータで構成したチャックテーブル傾き調整機構 | |
JP2020089930A (ja) | クリープフィード研削方法 | |
JP7486333B2 (ja) | ブロックゲージを用いたセットアップ方法 | |
JP7128070B2 (ja) | 研削装置 | |
TWI651163B (zh) | 磨削方法 | |
JP7474082B2 (ja) | ウェーハの研削方法 | |
JP2006297511A (ja) | レンズの球面研削方法 | |
JP7477975B2 (ja) | 研削装置 | |
JP7517897B2 (ja) | 研削方法 | |
JP7078681B2 (ja) | クリープフィード研削方法及び研削装置 | |
JP7405563B2 (ja) | クリープフィード研削方法及び研削装置 | |
JP7471751B2 (ja) | ウェーハの加工方法 | |
JPS62242812A (ja) | 自動計測装置 | |
JP2021084146A (ja) | ウェーハの研削方法 | |
JP2021053746A (ja) | ウェーハの研磨方法 | |
JP2022162692A (ja) | 研削装置及び被加工物の研削方法 | |
JP2022067332A (ja) | ウェーハの研削方法 | |
JP2020049593A (ja) | 研削方法 | |
JP2023026173A (ja) | 研削方法 | |
JP7328099B2 (ja) | 研削装置および研削方法 | |
JP5939935B2 (ja) | 研削装置 | |
JP2023008492A (ja) | 研削装置 | |
JP2022061634A (ja) | 微調整装置、加工装置及び被加工物の加工方法 | |
JP2022040984A (ja) | 研削装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20230113 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20231116 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231128 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20240129 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20240315 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240409 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240507 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7486333 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |