JP2017059823A - 熱電変換モジュール及び熱電変換装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一組の対向する配線基板2A,2Bの間に、複数の熱電変換素子3,4が組み合わせられた状態で配線基板2A,2Bを介して接続されてなる熱電変換モジュール1であって、配線基板2A,2Bは、セラミックス基板11の一方の面に熱電変換素子3,4に接続されるアルミニウム又はアルミニウム合金からなる電極層12,13が形成されてなり、少なくとも高温側に配置される電極層12は、表面にガラス層と銀層とが積層された状態の銀下地層21が形成されており、銀下地層21の銀層が熱電変換素子3,4に接合されている。
【選択図】 図1
Description
まず、第1実施形態の熱電変換モジュールについて説明する。この実施形態の熱電変換モジュール1は、図1〜図3に示すように、一組の対向配置した配線基板2A,2Bの間に、P型熱電変換素子3及びN型熱電変換素子4を線状(一次元状)又は面状(二次元状)に配列した構成である。簡便にするため、図1〜図3には、P型熱電変換素子3及びN型熱電変換素子4が二対で配列された例を示しており、合計4個の熱電変換素子3,4が一列に並んで設けられる。また、図中、P型熱電変換素子3には「P」、N型熱電変換素子4には「N」と表記する。この熱電変換モジュール1は、全体がケース5内に収容され、高温ガスが流れる高温側流路6と、冷却水が流れる低温側流路7との間に介在するように取り付けられることにより、熱電変換装置81を構成する。
配線基板2A,2Bは、セラミックス基板11の一方の面に電極層12,13が形成され、他方の面に熱伝達金属層14が形成されている。セラミックス基板11としては、窒化アルミニウム(AlN)、アルミナ(Al2O3)、窒化ケイ素(Si3N4)、炭化ケイ素(SiC)、カーボン板、グラファイト板上に成膜したダイヤモンド薄膜基板等の熱伝導性の高い絶縁性セラミックス基板が用いられる。セラミックス基板11の厚みは0.2mm〜1.5mmとされる。
配線基板2A,2Bは、セラミックス基板11の一方の面に電極層12,13、他方の面に熱伝達金属層14をAl−Si系ろう材等により接合することにより得られる。具体的には、セラミックス基板11に電極層12,13となるアルミニウム板及び熱伝達金属層14となるアルミニウム板をそれぞれろう材を介して積層し、これらを積層方向に加圧した状態で610℃〜650℃に加熱することにより、セラミックス基板11に電極層12,13及び熱伝達金属層14が接合される。
次に、電極層12,13の上にガラス含有銀ペーストを塗布して、焼成することにより銀下地層21を形成する。
熱電変換素子3,4については、例えば、シリサイド系材料であるマンガンシリサイド(MnSi1.73)、及びマグネシウムシリサイド(Mg2Si)は、それぞれ母合金を作製して、ボールミルにて例えば粒径75μm以下に粉砕後、プラズマ放電焼結、ホットプレス、熱間等方圧加圧法により例えば円盤状、角板状のバルク材を作製し、これを例えば角柱状に切断することにより、熱電変換素子3,4として形成される。なお、この熱電変換素子3,4の両端面に、ニッケル、銀、金のうちのいずれかの層を含むメタライズ層25と、必要に応じてニッケル、チタンのいずれかからなる単層またはこれらの積層構造からなるバリア層26とが形成されている。これらメタライズ層25及びバリア層26はめっき、スパッタリング等によって形成される。
配線基板2A,2Bの電極層12,13の銀下地層21に、熱電変換素子3,4の端面のメタライズ層25を重ね合わせるようにして両配線基板2A,2Bの間にP型熱電変換素子3及びN型熱電変換素子4を並べて配置し、加熱炉内で、積層方向の加圧力:5MPa以上40MPa以下、加熱温度:200℃以上400℃以下、その加熱温度での保持時間:1分以上60分の範囲内の条件で加熱することにより、電極層12,13の銀下地層21の銀層24と熱電変換素子3,4のメタライズ層25とが固相拡散接合により直接接合される。
そして、この両配線基板2A,2B間に熱電変換素子3,4を接合して一体化したものが、ステンレス鋼等により形成したケース5内に気密に収容され、内部を真空又は減圧状態に保持してパッケージ化され熱電変換モジュール1が製出される。外部配線部15は、ケース5に対して絶縁状態で外部に引き出される。
なお、ケース5は必ずしも必要なものではなく、ケース5を設けなくてもよい。
なお、この銀ペーストは、その粘度が10Pa・s以上100Pa・s以下、より好ましくは30Pa・s以上80Pa・s以下に調整されている。
また、他の試験体として、電極層の銀下地層の上に、上記実施形態に記載した銀ペーストをディスペンサーを用いて塗布し、その銀ペーストに熱電変換素子の端面を重ねるようにして、両配線基板の間に熱電変換素子を挟み、その状態で加熱温度:300℃、加圧力:10MPa、加熱温度での保持時間:30分で、大気中で焼成することにより、メタライズ層を有する熱電変換素子を電極層の銀下地層に銀接合層を介して接合した熱電変換モジュールの試験体(実施例2)も作製した。
2A,2B 配線基板
3 P型熱電変換素子
4 N型熱電変換素子
5 ケース
6 高温側流路
7 低温側流路
8 ヒートシンク
8a フィン
9 弾性部材
11 セラミックス基板
12,13 電極層
14 熱伝達金属層
15 外部配線部
21 銀下地層
22 銀接合層
23 ガラス層
24 銀層
25 メタライズ層
60,61 ヒートシンク
65 熱源
70 液冷式冷却器
81,82 熱電変換装置
Claims (10)
- 一組の対向する配線基板の間に、複数の熱電変換素子が組み合わせられた状態で前記配線基板を介して接続されてなる熱電変換モジュールであって、前記配線基板は、セラミックス基板の一方の面に前記熱電変換素子に接続されるアルミニウム又はアルミニウム合金からなる電極層が形成されてなり、少なくとも高温側に配置される前記配線基板の前記電極層は、表面に銀下地層が形成され、該銀下地層が前記熱電変換素子に接合されていることを特徴とする熱電変換モジュール。
- 前記銀下地層は、前記電極層の上に形成されたガラス層と、前記ガラス層の上に積層された銀の焼成体からなる銀層とにより構成されていることを特徴とする請求項1記載の熱電変換モジュール。
- 前記熱電変換素子には、前記電極層に接続される端面に、金、銀、ニッケルのいずれかからなるメタライズ層が形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の熱電変換モジュール。
- 前記銀下地層と前記熱電変換素子の前記メタライズ層とが直接接合されていることを特徴とする請求項3記載の熱電変換モジュール。
- 前記銀下地層と前記熱電変換素子の前記メタライズ層との間に、これらを接合する銀の焼成体からなる銀接合層が設けられていることを特徴とする請求項3記載の熱電変換モジュール。
- 前記メタライズ層が金、銀のいずれかからなり、前記熱電変換素子の前記端面と前記メタライズ層との間に、ニッケル又はチタンのいずれかからなるバリア層が形成されていることを特徴とする請求項3から5のいずれか一項記載の熱電変換モジュール。
- 前記電極層は純度99.99質量%以上のアルミニウムからなることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項記載の熱電変換モジュール。
- 前記セラミックス基板の他方の面に熱伝達金属層が接合されていることを特徴とする請求項1から7のいずれか一項記載の熱電変換モジュール。
- 請求項8記載の熱電変換モジュールにおける前記熱伝達金属層にヒートシンクが接合されていることを特徴とするヒートシンク付熱電変換モジュール。
- 請求項9記載のヒートシンク付熱電変換モジュールにおいて、低温側に配置されるヒートシンクが液冷式冷却器に固定されていることを特徴とする熱電変換装置。
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