JP2017044533A5 - - Google Patents

Description

また、この発明にかかる時計部品の製造方法は、上記の発明において、前記第１のレジストパタンが、前記所定領域の外側の部分を覆う部品外枠部と、前記時計部品の形状をなす部品形状部と、当該部品形状部と前記部品外枠部とを接続する部品接続部と、からなることを特徴とする。また、この発明にかかる時計部品の製造方法は、上記の発明において、前記部品接続部は、前記部品形状部との境界位置において細くなる形状であることを特徴とする。また、この発明にかかる時計部品の製造方法は、上記の発明において、前記接続部と前記部品接続部は、平面視で異なる位置に配置されていることを特徴とする。

Claims (6)

1. 二酸化珪素からなる中間層を介して、シリコンからなる支持層とシリコンからなるデバイス層とが積層された積層基板の前記デバイス層に、酸化膜を形成する酸化膜形成工程と、
   前記酸化膜形成工程において形成された酸化膜の表側面に、時計の駆動機構を構成する時計部品の形状に基づく第１のパタンの第１のレジストパタンを形成する第１のパタン形成工程と、
   前記酸化膜および前記デバイス層に対して、前記第１のパタン形成工程において形成された第１のレジストパタン部分を残して残余を除去するエッチング加工をおこなう第１のエッチング工程と、
   前記支持層の裏側面に、当該支持層の厚さ方向において前記第１のパタンと一部が重複し当該第１のパタンを含む所定領域の内側に配置され、当該支持層の厚さ方向に貫通する複数の貫通孔または溝を含む第２のパタンの第２のレジストパタンを形成する第２のパタン形成工程と、
   前記支持層に対して、前記第２のパタン形成工程において形成された第２のレジストパタン部分を残して残余を除去するエッチング加工をおこなう第２のエッチング工程と、
   前記所定領域の内側における前記中間層および前記酸化膜を除去する除去工程と、
   を含むことを特徴とする時計部品の製造方法。
2. 前記第２のレジストパタンは、前記所定領域の外側の部分を覆う外枠部と、前記複数の貫通孔または溝の位置を避けて前記所定領域の内側を覆うパタン部と、前記外枠部と前記パタン部との境界位置を開放する開放部と、からなることを特徴とする請求項１に記載の時計部品の製造方法。
3. 前記開放部は、前記外枠部と前記パタン部とを接続する接続部を含むことを特徴とする請求項２に記載の時計部品の製造方法。
4. 前記第１のレジストパタンは、前記所定領域の外側の部分を覆う部品外枠部と、前記時計部品の形状をなす部品形状部と、当該部品形状部と前記部品外枠部とを接続する部品接続部と、からなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一つに記載の時計部品の製造方法。
5. 前記部品接続部は、前記部品形状部との境界位置において細くなる形状であることを特徴とする請求項４に記載の時計部品の製造方法。
6. 前記接続部と前記部品接続部は、平面視で異なる位置に配置されていることを特徴とする請求項４または５に記載の時計部品の製造方法。