JP2017031459A - フレキシブル配線板用の電気銅めっき液及び該電気銅めっき液により製造される積層体の製造方法 - Google Patents
フレキシブル配線板用の電気銅めっき液及び該電気銅めっき液により製造される積層体の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017031459A JP2017031459A JP2015151683A JP2015151683A JP2017031459A JP 2017031459 A JP2017031459 A JP 2017031459A JP 2015151683 A JP2015151683 A JP 2015151683A JP 2015151683 A JP2015151683 A JP 2015151683A JP 2017031459 A JP2017031459 A JP 2017031459A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plating solution
- copper plating
- electrolytic copper
- copolymer
- polyethylene glycol
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Electroplating And Plating Baths Therefor (AREA)
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Abstract
Description
本実施形態の電気銅めっき液は、硫酸銅と、硫酸と、塩素と、添加剤と、を含む電気銅めっき液であって、添加剤がジアリルジアルキルアンモニウムクロライドと二酸化硫黄との共重合体と、ポリエチレングリコールとポリプロピレングリコールとの共重合体と、ポリエチレングリコール重合体と、ビス(3−スルホプロピル)ジスルフィドと、を含有する添加剤であるフレキシブル配線板用の電気銅めっき液である。以下、本実施形態に係る添加剤に含有されるジアリルジアルキルアンモニウムクロライドと二酸化硫黄との共重合体と、ポリエチレングリコールとポリプロピレングリコールとの共重合体と、ポリエチレングリコール重合体と、ビス(3−スルホプロピル)ジスルフィドについてそれぞれ説明する。
本実施形態に係るジアリルジメチルアンモニウムクロライドと二酸化硫黄との共重合体とは、例えば、下記式(1)のようなポリマー主鎖にスルホンと第4級アンモニウム塩を有するジアリルジアルキルアンモニウムクロライドと二酸化イオウとの共重合体を挙げることができる。ジアリルジアルキルアンモニウムクロライドと二酸化硫黄との共重合体が含有されることで、電気銅めっき液によって形成される銅皮膜の凹凸の少なくし表面平滑性の高い銅皮膜とすることができる。
本実施形態に関する電気銅めっき液には、ポリエチレングリコールとポリプロピレングリコールとの共重合体と、ポリエチレングリコール重合体との混合物(以後、ポリマー混合物と表記することがある。)が含有される。ポリマー混合物が含有されることで、電気銅めっき液の濡れ性を向上させることができる。ポリエチレングリコールとポリプロピレングリコールとの共重合体と、ポリエチレングリコールについて各々説明する。
本実施形態に関する電気銅めっき液には、ポリエチレングリコールとポリプロピレングリコールとの共重合体が含有される。ポリエチレングリコールとポリプロピレングリコールとの共重合体とは、エチレングリコールに由来するポリオキシエチレンとプロピレングリコールに由来するポリオキシプロピレンとの共重合体である。ポリエチレングリコールとポリプロピレングリコールとの共重合体が含有されることで、電気銅めっき液の粘性を適切なものとし、銅皮膜の凹凸の少なくし表面平滑性の高い銅皮膜とすることができる。
本実施形態に関する電気銅めっき液には、ポリエチレングリコールが含有される。ポリエチレングリコールとは、エチレングリコールが重合した構造をもつポリマーである。ポリエチレングリコールが含有されることで、電気銅めっき液の粘性を適切なものとし、電気銅めっき液により形成される銅皮膜は反りやねじれが生じず寸法安定性の高いものとすることができる。
本実施形態に関する電気銅めっき液には、ビス(3−スルホプロピル)ジスルフィドが含有される。ビス(3−スルホプロピル)ジスルフィドが含有されることで、銅皮膜の銅析出を促進させ電気銅めっき液により形成される銅皮膜の反り量を少ないものとすることができる。
本実施形態の電気銅めっき液は、添加剤の他に、硫酸銅と、硫酸と、塩素とを含む。それによって、本実施形態の電気銅めっき液は、銅イオンと、塩化物イオンとを含む。電気銅めっき液中の銅イオンの濃度は、10g/L以上60g/L以下が好ましい。電気銅めっき液中の塩化物イオンの濃度は、30g/L以上70g/L以下が好ましい。電気銅めっき液中の硫酸は、50g/L以上250g/L以下が好ましい。電気銅めっき液中の銅イオンと、塩化物イオンと、硫酸とをこのような範囲含ませることにより、電気めっきに際しての銅の均一析出性を維持し、表面平滑性の高い銅皮膜を形成することができる。
本発明の積層体の製造方法の具体的な実施形態について、詳細に説明する。本実施形態の積層体は、例えば、樹脂フィルムにスパッタリング法等によって銅皮膜をあらかじめ形成した後、本実施形態の電気銅めっき液により電気めっきを行うことにより銅皮膜を形成することにより製造することができる。
本実施形態の電気銅めっき液により形成される銅皮膜は反り量が少なく、反り特性に優れる。表面平滑性に優れる銅皮膜を形成することで、接合不良のない優れたフレキシブル配線板を製造することができる。
二軸延伸ポリイミドフィルム(厚さ:38μm 東レ・デュポン社製:カプトン150EN)を基材として、スパッタリング法により0.1μmの銅皮膜を形成し、電解脱脂・酸洗を施し、下記に示す組成の電気銅めっき液を準備し、表1に記載の添加剤を含有させた電気銅めっき液を電気めっきにより、電流密度8A/dm2で8μmの銅皮膜を形成し、実施例の積層体を得た。
実施例及び比較例に係る積層体を10cm×10cmのサイズに裁断し、温度21〜25℃、湿度を45〜55%のクリーンルーム内に240時間以上放置して銅皮膜のセルフアニールによる再結晶化後に、水平に設置された台の上に静置させ、四辺の反り高さ(mm)を測定し平均値(表1、表2中、反りと表記。)を求めた。測定結果を表1、表2に示す。
実施例及び比較例に係る積層体の銅皮膜表面を、光学的な検査機器を使用し、凹凸幅の大きさが20μmよりも大きいものを凹凸欠陥として数え、25cm2当たりの凹凸欠陥数(表1、表2中、表面欠陥数と表記。)を測定した。測定結果を表1、表2に示す。
実施例及び比較例の電気銅めっき液において、電気めっき時の電気めっき液中の添加剤の電解消耗量を測定した。具体的にはCVS法によって添加剤の濃度を測定(ECI製QL−5)した。
Claims (7)
- 硫酸銅と、硫酸と、塩素と、添加剤と、を含有するフレキシブル配線板用の電気銅めっき液であって、
前記添加剤は、ジアリルジアルキルアンモニウムクロライドと二酸化硫黄との共重合体と、ポリエチレングリコールとポリプロピレングリコールとの共重合体と、ポリエチレングリコールと、ビス(3−スルホプロピル)ジスルフィドと、を含有する電気銅めっき液。 - 前記電気銅めっき液中の前記ジアリルジアルキルアンモニウムクロライドと二酸化硫黄との共重合体の濃度が10mg/L以上30mg/L以下である請求項1に記載の電気銅めっき液。
- 前記電気銅めっき液中の前記ポリエチレングリコールとポリプロピレングリコールとの共重合体の濃度が100mg/L以上1500mg/L以下である請求項1又は2に記載の電気銅めっき液。
- 前記電気銅めっき液中の前記ポリエチレングリコールの濃度が100mg/L以上500mg/L以下である請求項1から3のいずれかに記載の電気銅めっき液。
- 前記電気銅めっき液中の前記ビス(3−スルホプロピル)ジスルフィドの濃度が5mg/L以上20mg/L以下である請求項1から4のいずれかに記載の電気銅めっき液。
- 樹脂フィルムに、請求項1から5のいずれかに記載の電気銅めっき液を用いて電気めっきを行い、前記樹脂フィルムの表面に銅皮膜を形成する工程を含む積層体の製造方法。
- 前記電気めっきにおける電流密度が0.5A/dm2以上12A/dm2以下である請求項6に記載の積層体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015151683A JP6421719B2 (ja) | 2015-07-31 | 2015-07-31 | フレキシブル配線板用の電気銅めっき液及び該電気銅めっき液により製造される積層体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015151683A JP6421719B2 (ja) | 2015-07-31 | 2015-07-31 | フレキシブル配線板用の電気銅めっき液及び該電気銅めっき液により製造される積層体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017031459A true JP2017031459A (ja) | 2017-02-09 |
JP6421719B2 JP6421719B2 (ja) | 2018-11-14 |
Family
ID=57986467
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015151683A Active JP6421719B2 (ja) | 2015-07-31 | 2015-07-31 | フレキシブル配線板用の電気銅めっき液及び該電気銅めっき液により製造される積層体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6421719B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019026781A1 (ja) * | 2017-08-04 | 2019-02-07 | 日東紡績株式会社 | 電解めっき液添加剤及びその用途 |
JP2020011440A (ja) * | 2018-07-18 | 2020-01-23 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板 |
JP2020011438A (ja) * | 2018-07-18 | 2020-01-23 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板 |
JP2020011439A (ja) * | 2018-07-18 | 2020-01-23 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板 |
KR20200038237A (ko) * | 2017-08-04 | 2020-04-10 | 니토 보세키 가부시기가이샤 | 알릴메타알릴아민계 (공)중합체, 그 제조 방법, 및 그 용도 |
JP2020132920A (ja) * | 2019-02-15 | 2020-08-31 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板の製造方法 |
JP2020132921A (ja) * | 2019-02-15 | 2020-08-31 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板の製造方法 |
JP2020139197A (ja) * | 2019-02-28 | 2020-09-03 | 住友金属鉱山株式会社 | フレキシブル基板の製造方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006316328A (ja) * | 2005-05-16 | 2006-11-24 | Daiso Co Ltd | 2層フレキシブル銅張積層板の製造方法 |
JP2009531542A (ja) * | 2006-03-30 | 2009-09-03 | アトテック・ドイチュラント・ゲーエムベーハー | 孔及びキャビティの金属による電解充填法 |
JP2010018885A (ja) * | 2008-06-12 | 2010-01-28 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 電解銅皮膜、その製造方法及び銅電解皮膜製造用の銅電解液 |
JP2010265532A (ja) * | 2009-05-18 | 2010-11-25 | Osaka Prefecture Univ | 銅を充填する方法 |
JP2011017036A (ja) * | 2009-07-07 | 2011-01-27 | Ebara-Udylite Co Ltd | 銅めっき方法 |
-
2015
- 2015-07-31 JP JP2015151683A patent/JP6421719B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006316328A (ja) * | 2005-05-16 | 2006-11-24 | Daiso Co Ltd | 2層フレキシブル銅張積層板の製造方法 |
JP2009531542A (ja) * | 2006-03-30 | 2009-09-03 | アトテック・ドイチュラント・ゲーエムベーハー | 孔及びキャビティの金属による電解充填法 |
JP2010018885A (ja) * | 2008-06-12 | 2010-01-28 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 電解銅皮膜、その製造方法及び銅電解皮膜製造用の銅電解液 |
JP2010265532A (ja) * | 2009-05-18 | 2010-11-25 | Osaka Prefecture Univ | 銅を充填する方法 |
JP2011017036A (ja) * | 2009-07-07 | 2011-01-27 | Ebara-Udylite Co Ltd | 銅めっき方法 |
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7226317B2 (ja) | 2017-08-04 | 2023-02-21 | 日東紡績株式会社 | 電解めっき液添加剤及びその用途 |
JPWO2019026781A1 (ja) * | 2017-08-04 | 2020-06-18 | 日東紡績株式会社 | 電解めっき液添加剤及びその用途 |
KR102533311B1 (ko) | 2017-08-04 | 2023-05-16 | 니토 보세키 가부시기가이샤 | 알릴메타알릴아민계 (공)중합체, 그 제조 방법, 및 그 용도 |
WO2019026781A1 (ja) * | 2017-08-04 | 2019-02-07 | 日東紡績株式会社 | 電解めっき液添加剤及びその用途 |
CN110959050A (zh) * | 2017-08-04 | 2020-04-03 | 日东纺绩株式会社 | 电镀液添加剂及其用途 |
KR20200038237A (ko) * | 2017-08-04 | 2020-04-10 | 니토 보세키 가부시기가이샤 | 알릴메타알릴아민계 (공)중합체, 그 제조 방법, 및 그 용도 |
KR20200038238A (ko) * | 2017-08-04 | 2020-04-10 | 니토 보세키 가부시기가이샤 | 전해 도금액 첨가제 및 그 용도 |
CN110959050B (zh) * | 2017-08-04 | 2022-07-29 | 日东纺绩株式会社 | 电镀液添加剂及其用途 |
KR102582786B1 (ko) | 2017-08-04 | 2023-09-25 | 니토 보세키 가부시기가이샤 | 전해 도금액 첨가제 및 그 용도 |
JP7087758B2 (ja) | 2018-07-18 | 2022-06-21 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板 |
JP7087760B2 (ja) | 2018-07-18 | 2022-06-21 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板 |
JP7087759B2 (ja) | 2018-07-18 | 2022-06-21 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板 |
JP2020011440A (ja) * | 2018-07-18 | 2020-01-23 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板 |
JP2020011439A (ja) * | 2018-07-18 | 2020-01-23 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板 |
JP2020011438A (ja) * | 2018-07-18 | 2020-01-23 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板 |
JP7230564B2 (ja) | 2019-02-15 | 2023-03-01 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板の製造方法 |
JP2020132921A (ja) * | 2019-02-15 | 2020-08-31 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板の製造方法 |
JP2020132920A (ja) * | 2019-02-15 | 2020-08-31 | 住友金属鉱山株式会社 | 銅張積層板の製造方法 |
JP7273361B2 (ja) | 2019-02-28 | 2023-05-15 | 住友金属鉱山株式会社 | フレキシブル基板の製造方法 |
JP2020139197A (ja) * | 2019-02-28 | 2020-09-03 | 住友金属鉱山株式会社 | フレキシブル基板の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6421719B2 (ja) | 2018-11-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6421719B2 (ja) | フレキシブル配線板用の電気銅めっき液及び該電気銅めっき液により製造される積層体の製造方法 | |
US10686191B2 (en) | Electrodeposited copper foil, and electrical component and battery comprising same | |
US8153273B2 (en) | Surface treated electrodeposited copper foil and circuit board | |
JP6398893B2 (ja) | フレキシブル配線板用の電気銅めっき液及び該電気銅めっき液を用いた積層体の製造方法 | |
US9899683B2 (en) | Electrolytic copper foil, electric component and battery including the same | |
JP6485273B2 (ja) | フレキシブル配線板用の積層体の製造方法 | |
JP2016113645A (ja) | フレキシブル配線板用の電気銅めっき液及び該電気銅めっき液を用いた積層体の製造方法 | |
KR101605071B1 (ko) | 전해도금에 의한 구리호일 | |
JP6993613B2 (ja) | 銅張積層板の製造方法 | |
KR20230152633A (ko) | 동장 적층판 | |
US20170067173A1 (en) | Acid copper electroplating bath and method for electroplating low internal stress and good ductility copper deposits | |
EP3067442A1 (en) | Electrolytic copper foil, electric component and battery including the same | |
JP2016113644A (ja) | フレキシブル配線板用の電気銅めっき液及び該電気銅めっき液を用いた積層体の製造方法 | |
JP2016102248A (ja) | フレキシブル配線板用の電気銅めっき液及び該電気銅めっき液を用いた積層体の製造方法 | |
JP6477364B2 (ja) | フレキシブル多層回路基板用の金属張積層体の製造方法 | |
JP2016102247A (ja) | フレキシブル配線板用の電気銅めっき液及び該電気銅めっき液を用いた積層体の製造方法 | |
JP7276025B2 (ja) | 銅張積層板および銅張積層板の製造方法 | |
JP7230564B2 (ja) | 銅張積層板の製造方法 | |
JP7211184B2 (ja) | 銅張積層板および銅張積層板の製造方法 | |
JP4872257B2 (ja) | 2層めっき基板およびその製造方法 | |
JP7215211B2 (ja) | 銅張積層板の製造方法 | |
JP4976725B2 (ja) | 銅電解液及びその銅電解液を用いた電析銅皮膜の形成方法 | |
KR101502373B1 (ko) | 전해동박, 이를 포함하는 전기부품 및 전지 | |
CN110740567A (zh) | 覆铜层叠板 | |
JP7322678B2 (ja) | 銅張積層板の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171201 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180823 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180918 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20181001 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6421719 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |