JP2017027394A5 - - Google Patents

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好適には、反射防止膜ＡＮ１は、高屈折率膜ＨＲ１、低屈折率膜ＬＲ１および高屈折率膜ＨＲ２が順に積層された積層膜ＬＦ１からなる。高屈折率膜ＨＲ１およびＨＲ２の各々の屈折率は、低屈折率膜ＬＲ１の屈折率よりも高い。これにより、例えば反射防止膜ＡＮ１に入射された光が積層膜ＬＦ１の各界面で反射されて導電膜ＣＦ１の上面に到達しにくくなるか、または、例えば導電膜ＣＦ１の上面で反射された光が、積層膜ＬＦ１の各界面で反射されて反射防止膜ＡＮ１を透過しにくくなり、導電膜ＣＦ１の上面で光が反射することを防止することができる。
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