JP2016209996A - 研削盤 - Google Patents
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Abstract
Description
2 ・・・ メインユニット
21・・・ 砥石
22・・・ コラム
22a・・・(コラムの)前面
22b・・・溝
23・・・ スピンドル
23a・・・サドル
23b・・・(スピンドルの)モータ
24・・・ リニアガイド
24a・・・前方リニアガイド
24b・・・後方リニアガイド
25・・・ スピンドル送り機構
25a・・・ ナット
25b・・・ ボールネジ
25c・・・ (スピンドル送り機構の)モータ
26・・・ 定圧シリンダ
3 ・・・ 搬送ユニット
31・・・ チャック
32・・・ スライダ
33・・・ レール
W ・・・ ウェハ
D1・・・ ウェハ搬送方向
D2・・・ 送り込み方向
V ・・・ 鉛直方向
H ・・・ 水平方向
O ・・・ ボールネジの回転軸
P ・・・ 砥石の加工点
G ・・・ スピンドルの重心
T ・・・ リニアガイドが形成する三角形
Claims (2)
- ウェハを研削する砥石を下端に取り付けて回転可能なスピンドルと、前記スピンドルをコラムに対して鉛直下方向に送るスピンドル送り機構と、を備え、前記スピンドルを鉛直下方向に送りながら前記砥石でウェハを加工する研削盤であって、
前記スピンドル送り機構と前記コラムとの間に定圧シリンダが介装され、
前記スピンドル送り機構が前記定圧シリンダに吊設され、
前記スピンドル送り機構が前記砥石を前記ウェハに切り込ませて該砥石に作用する摩擦力が所定値より高い場合に、前記定圧シリンダは、前記スピンドル及び前記スピンドル送り機構を鉛直方向に上昇させることを特徴とする研削盤。 - 前記砥石が前記ウェハを研削する加工点を挟み込むように前記スピンドルの外周に配置されて前記スピンドルをコラムに対して摺動可能に支持する少なくとも3つのリニアガイドをさらに備え、
前記スピンドルの重心は、平面視で前記リニアガイドにより形成される多角形内に配置されていることを特徴とする請求項1記載の研削盤。
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