JP2016170110A - Ｘ線検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】製品全体の特徴に隠れてしまうような、厚みのムラや、ひび割れの検査について、正確な結果を得ることができるＸ線検査装置を提供する。【解決手段】物品を搬送しながらＸ線を照射し、このＸ線照射によって得られる前記物品のＸ線透過画像に基づいて、均一な製品状態であることを検査するＸ線検査装置であって、Ｘ線透過画像から物品を区分けし、区分けごとの特徴を抽出し、抽出した特徴に基づいて区分けされた領域の検査を行う処理手段を備える。各領域の特徴は、各領域の画像上の濃淡偏差や濃淡ピークである。【選択図】図１４

Description

本発明は、Ｘ線検査装置に関する。

従来、物品（対象製品）をコンベヤによって搬送しながらＸ線を照射し、対象製品を透過したＸ線（透過Ｘ線）に基づいて、欠品検査を行うＸ線検査装置が知られている。また、例えば、下記特許文献１には、Ｘ線透過画像から物品の体積を求めて、所定の基準体積と比較することによって欠品検査を可能にするＸ線検査装置が提案されている。

特開２００７―１８３２００号公報

しかし、上記文献に示されるＸ線検査装置では、物品全体の画像から求められた体積によって欠品検査をするため、体積変化が見られない同一の物品内での厚みのムラや、ひび割れ、数量不足（欠品）などを検出することができない。
本発明の課題は、同一の物品の一部にある厚みのムラや、ひび割れ、数量不足（欠品）などを検出することができるＸ線検査装置を提供することにある。

本発明に係るＸ線検査装置は、物品にＸ線を照射するＸ線照射部と、前記物品を透過したＸ線を検出するＸ線検出部と、前記透過したＸ線に基づき透過画像を生成する画像生成部と、前記透過画像における前記物品の領域を複数の領域に区分けする領域生成部と、前記複数の領域のそれぞれの濃淡に基づき前記物品の良否を判定する良否判定部を備えている。領域生成部が、物品の領域を所定の情報に基づいて分割して、分割線領域および複数の小領域を生成し、良否判定部が、Ｘ線画像上の物品の厚みを小領域ごとに検査することで、厚みのムラの検査を行う。

また、良否判定部は、前記複数の領域の濃淡データの偏差に基づき良品を判定する。また、この良否判定部は、前記複数の領域の濃淡データのピークに基づき良否を判定する。これにより、物品の一部に厚みのムラがあっても、物品の厚さのムラの正確な結果を得ることができる。

また、領域生成部は、前記複数の領域の濃淡に基づき、前記複数の領域を変更する領域変更手段を、さらに備える。物品全体の厚みのムラが大きければ、領域を広い範囲にし、物品全体の厚みのムラが小さいならば、領域を狭い範囲に分割する。これにより、物品の厚み検査を高速化することができる。

また、領域生成部は、透過画像の物品の領域全体の濃淡データの偏差または濃淡データヒストグラムに基づき、前記複数の領域の区分け数を決定する。これにより、検査が必要とされる領域だけを検査することにより、物品の厚み検査を高速化することができる。

また、領域変更手段は、物品のプロファイルデータに基づき、物品の検査対象領域を決定する。これにより、小さな厚みのムラを検出ことができる。

本発明に係るＸ線検査装置によれば、同一の素材からなる物品の一部にある厚みのムラや、ひび割れなどを検出することができる。

本発明の一の実施形態に係るＸ線検査装置の外観斜視図である。 Ｘ線検査装置を含む検査ライン（Ｘ線検査システム）の概略図である。 Ｘ線検査装置のシールドボックス内部の簡易構成図である。 Ｘ線検出素子によって検出される透過Ｘ線量の例を示すグラフである。 制御ブロック図である。 Ｘ線透過画像の例を示す図である。 二値化画像の例を示す図である。 傾き補正処理の例を示す図である。 矩形の内部に生成される分割線領域および複数の小領域の例を示す図である。 小領域の濃淡ヒストグラムを示す図である。 濃淡ヒストグラムの分布の大きな領域を再分割することを示す図である。 横方向に濃淡プロファイルをとり一定量以上の変化のある領域を再分割すること示す図である。 等分割を示す図である。 処理の流れを示すフローチャートである。

以下、図面を参照して、本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置について説明する。

（１）Ｘ線検査装置の概略説明
図１は、本発明の一実施形態に係るＸ線検査装置１０の外観を示す斜視図である。また、図２に、Ｘ線検査装置１０が組み込まれる検査ライン（Ｘ線検査システム）１００の例を示す。検査ライン１００では、食品等の製品Ｐの検査が行われる。検査ライン１００には、Ｘ線検査装置１０の他、上流コンベアユニット６０と、振り分け機構７０とが含まれる。上流コンベアユニット６０は、Ｘ線検査装置１０の上流に設けられている。振り分け機構７０は、Ｘ線検査装置１０の下流に設けられている。

Ｘ線検査装置１０は、上流コンベアユニット６０によって連続的に搬送されてくる製品Ｐに対してＸ線を照射することにより製品Ｐの良否判断を行う。具体的に、Ｘ線検査装置１０は、製品Ｐを透過したＸ線量に基づいて製品Ｐに含まれる物品Ｇの欠品判定や厚み・割れ検査を行う。製品Ｐは、大きな均一の厚みを持つことを特徴としている。

Ｘ線検査装置１０は、製品Ｐが一定の厚みであり、割れなどがない場合には、製品Ｐを良品と判断する。一方、Ｘ線検査装置１０は、製品Ｐの厚みが均一でない場合、割れなどがある場合には、製品Ｐを不良品と判断する。Ｘ線検査装置１０での検査結果は、振り分け機構７０に送られる。振り分け機構７０は、ラインコンベアユニット７３および不良品回収ライン７４に接続される。振り分け機構７０は、Ｘ線検査装置１０において良品と判断された製品Ｐをラインコンベアユニット７３に振り分け、不良品と判断された製品Ｐを不良品回収ライン７４に振り分ける。

（２）Ｘ線検査装置の詳細説明
図１、図３、に示すように、Ｘ線検査装置１０は、主として、シールドボックス１１と、コンベアユニット１２と、Ｘ線照射器（Ｘ線照射部）１３と、Ｘ線ラインセンサ（Ｘ線検出部）１４と、タッチパネル機能付きのモニタ３０と、制御装置（制御部）２０とから構成されている。

（２−１）シールドボックス
シールドボックス１１は、後述するコンベアユニット１２、Ｘ線照射器１３、Ｘ線ラインセンサ１４、制御装置２０等を収容するボックスである。シールドボックス１１の正面上部には、モニタ３０の他、キーの差し込み口および電源スイッチ等が配置されている。シールドボックス１１の両側面には、開口１１ａが形成されている。開口１１ａは、製品Ｐをシールドボックス１１の内外に搬入および搬出させるために用いられる。開口１１ａは、遮蔽ノレン１９によって塞がれている。遮蔽ノレン１９は、シールドボックス１１の内部のＸ線が外部へ漏洩することを防止する。遮蔽ノレン１９は、タングステンを含むゴムから成形されている。遮蔽ノレン１９は、製品Ｐが開口１１ａを通過する際に製品Ｐによって押しのけられるようになっている。

（２−２）コンベアユニット
コンベアユニット１２は、シールドボックス１１内で製品Ｐを搬送する。コンベアユニット１２は、図１に示すように、シールドボックス１１の両側面に形成された開口１１ａを貫通するように配置されている。コンベアユニット１２は、図３に示すように、主として、無端状のベルト１２ｄと、コンベアローラ１２ｃと、コンベアモータ１２ａ（図６参照）とから構成されている。コンベアローラ１２ｃは、コンベアモータ１２ａによって駆動される。コンベアローラ１２ｃの駆動により、ベルト１２ｄが回転され、ベルト１２ｄ上の製品Ｐが下流に搬送される。コンベアユニット１２による製品Ｐの搬送速度は、オペレータによって入力された設定速度に応じて変動する。制御装置２０は、設定速度に基づいてコンベアモータ１２ａをインバータ制御し、製品Ｐの搬送速度を細かく制御する。また、コンベアモータ１２ａには、コンベアユニット１２による搬送速度を検出して制御装置２０に送るエンコーダ１２ｂ（図５参照）が装着されている。

（２−３）Ｘ線照射器
Ｘ線照射器１３は、図３に示すように、コンベアユニット１２の上方に配置されている。Ｘ線照射器１３は、Ｘ線ラインセンサ１４に向けて扇状の照射範囲ＸにＸ線を照射する。照射範囲Ｘは、コンベアユニット１２の搬送面に対して垂直に延びる。また、照射範囲Ｘは、コンベアユニット１２の搬送方向に対して交差する方向に扇状に広がる。すなわち、Ｘ線照射器１３から照射されるＸ線は、ベルト１２ｄの幅方向に広がる。

（２−４）Ｘ線ラインセンサ
Ｘ線ラインセンサ１４は、図３に示すように、コンベアユニット１２の下方に配置されている。Ｘ線ラインセンサ１４は、主として、多数のＸ線検出素子１４ａから構成されている。Ｘ線検出素子１４ａは、コンベアユニット１２による搬送方向に直交する向きに一直線に水平配置されている。

また、各Ｘ線検出素子１４ａは、製品Ｐやコンベアユニット１２を透過したＸ線量（透過Ｘ線量）を検出し、透過Ｘ線量に基づくＸ線透過信号を出力する。言い換えると、Ｘ線透過信号は、透過したＸ線の強度に応じたＸ線透過信号を出力する。なお、透過したＸ線の強度は、透過Ｘ線量の大小に依存する。Ｘ線透過信号により、Ｘ線画像の明るさ（濃淡値）が決定される（図４参照）。図４は、Ｘ線ラインセンサ１４のＸ線検出素子１４ａによって検出される透過Ｘ線量（検出量）の例を示すグラフである。グラフの横軸は、各Ｘ線検出素子１４ａの位置に対応する。また、グラフの横軸は、コンベアユニット１２の搬送方向に直交する方向の距離に対応する。また、グラフの縦軸は、Ｘ線検出素子１４ａで検出されたＸ線の透過量（検出量）を示す。すなわち、検出量の多いところが明るい（淡い）Ｘ線画像として表示され、検出量が少ないところが暗い（濃い）Ｘ線画像として表示される。すなわち、Ｘ線画像の明暗（濃淡）は、Ｘ線の検出量に対応する。

さらに、Ｘ線ラインセンサ１４は、製品Ｐが扇状のＸ線の照射範囲Ｘ（図３参照）を通過するタイミングを検知するためのセンサとしても機能する。すなわち、Ｘ線ラインセンサ１４は、コンベアユニット１２のベルト１２ｄ上で搬送される製品ＰがＸ線ラインセンサ１４の上方位置（照射範囲Ｘ）に来たとき、所定の閾値以下の電圧を示すＸ線透過信号（第１信号）を出力する。一方、Ｘ線ラインセンサ１４は、製品Ｐが照射範囲Ｘを通過すると所定の閾値を上回る電圧を示すＸ線透過信号（第２信号）を出力する。第１信号および第２信号が後述の制御装置２０に入力されることにより、照射範囲Ｘにおける製品Ｇの有無が検出される。

（２−５）モニタ
モニタ３０は、表示部および入力部として機能する。具体的に、モニタ３０は、液晶ディスプレイである。モニタ３０には、製品Ｐの検査結果が表示される。また、モニタ３０は、タッチパネル機能を有する。したがって、モニタ３０は、オペレータによる検査パラメータおよび動作設定情報等の入力を受け付ける。

ここで、検査パラメータとは、製品Ｐの正否を判定するために必要なパラメータである。また、動作設定情報とは、検査速度やコンベアユニット１２の搬送方向等の情報である。また、モニタ３０は、オペレータによる並列数情報の入力を受け付ける。並列数情報は、後述する領域生成部２２ｄによって用いられる情報である。モニタ３０で受け付けた検査パラメータは、後述の記憶部２１に記憶される。モニタ３０は、制御装置２０と電気的に接続されており、制御装置２０と信号の授受を行う。

（２−６）制御装置
制御装置２０は、主として、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、およびＨＤＤ（ハードディスク）等によって構成されている。制御装置２０は、図示しない表示制御回路、キー入力回路、通信ポートなども備えている。表示制御回路は、モニタ３０でのデータ表示を制御する回路である。キー入力回路は、モニタ３０のタッチパネルを介してオペレータにより入力されたキー入力データを取り込む回路である。通信ポートは、プリンタ等の外部機器やＬＡＮ等のネットワークとの接続を可能にする。

また、制御装置２０は、上述のコンベアモータ１２ａ、エンコーダ１２ｂ、Ｘ線照射器１３、Ｘ線ラインセンサ１４、およびモニタ３０等に電気的に接続されている。制御装置２０は、エンコーダ１２ｂからコンベアモータ１２ａの回転数に関するデータを取得し、当該データに基づき、製品Ｐの移動距離を把握する。また、制御装置２０は、上述したように、Ｘ線ラインセンサ１４から出力された信号を受信することにより、コンベアユニット１２のベルト１２ｄ上の製品Ｐが照射範囲Ｘに来たタイミングを検出する。

また、制御装置２０は、図５に示すように、主として、記憶部２１および制御部２２として機能する。制御装置２０は、透過Ｘ線に基づき、製品Ｐに含まれる厚みと厚みの均一性を検査する。

（２−６−１）記憶部
記憶部２１は、制御部２２に実行させる各種プログラムや検査パラメータを記憶する。検査パラメータは、上述したように、モニタ３０のタッチパネル機能を使ってオペレータによって入力される。

記憶部２１は、主として、Ｘ線画像記憶領域２１ａ、二値化画像記憶領域２１ｂ、角度補正画像記憶領域２１ｃを有する。

（ａ）Ｘ線画像記憶領域
Ｘ線画像記憶領域２１ａには、後述する画像生成部２２ａによって生成されたＸ線画像に関するデータ（画像データ）が記憶されている。（図６参照）

（ｂ）二値化画像記憶領域
二値化画像記憶領域２１ｂには、後述する画像生成部２２ａによって生成された二値化画像に関するデータ（二値化データ）が記憶されている。二値化画像は、製品ＰのＸ線画像が二値化処理された画像である（図７参照）。なお、二値化画像記憶領域２１ｂに記憶された二値化画像は、二値化される前のＸ線画像に関するデータ（画像データ）と関連付けて記憶される。

（ｃ）角度補正画像記憶領域
角度補正画像記憶領域２１には、後述する画像生成部２２ａによって生成された角度補正されたデータ（二値化データ）が記憶されている。補正画像は、製品ＰのＸ線画像が二値化処理されたものであり、製品が水平になるよう角度補正処理された画像である。
なお、Ｘ線画像に関するデータ（画像データ）も角度補正処理されて記憶される。

（２−６−２）制御部
制御部２２は、記憶部２１に記憶された各種プログラムを実行することにより、画像生成部２２ａ、入力受付部２２ｂ、角度補正武２２ｃ、領域生成部２２ｄ、および良否判定部２２ｅとして機能する。

（ａ）画像生成部
画像生成部２２ａは、Ｘ線ラインセンサ１４によって検出された透過Ｘ線量に基づいてＸ線画像を作成する。具体的に、画像生成部２２ａは、Ｘ線ラインセンサ１４の各Ｘ線検出素子１４ａから出力されるＸ線透過信号を細かい時間間隔で取得し、取得したＸ線透過信号の強度（輝度）に基づいてＸ線画像を生成する。すなわち、画像生成部２２ａは、扇状のＸ線の照射範囲Ｘ（図３参照）を製品Ｐが通過する際に各Ｘ線検出素子１４ａから出力されるＸ線透過信号に基づいて、製品Ｐを含むＸ線画像を生成する。照射範囲Ｘにおける製品Ｐの有無は、Ｘ線ラインセンサ１４が出力する信号により判断される。

画像生成部２２ａは、各Ｘ線検出素子１４ａから得られるＸ線の強度（輝度）に関する細かい時間間隔毎のデータをマトリクス状に時系列につなぎ合わせて、製品ＰについてのＸ線画像を生成する。画像生成部２２ａによって生成されたＸ線画像は、Ｘ線画像記憶領域２１ａに記憶される。

また、画像生成部２２ａは、Ｘ線画像の二値化画像を生成する。具体的に、画像生成部２２ａは、所定の閾値と、Ｘ線画像を構成する各画素の濃淡値とを比較し、Ｘ線画像を構成する各画素の濃淡値が所定の閾値以下かどうかを判断し、Ｘ線画像を二値化する。ここで、所定の閾値とは、製品Ｐと、それ以外の部分とを識別するために設定される閾値である。具体的に、画像生成部２２ａは、Ｘ線画像を構成する全画素のうち、透過Ｘ線の輝度（強度）が所定の閾値を上回る画素については白に対応する諧調（２５５）で表し、所定の閾値以下の画素については黒に対応する諧調（０）で表すように、画像データのフィルタ処理を行う。なお、画像生成部２２ａによって生成された二値化画像に関するデータ（二値化データ）は、上述した二値化画像記憶領域２１ｂに記憶される。

（ｂ）入力受付部
入力受付部２２ｂは、オペレータがモニタ３０から入力した検査パラメータや動作設定情報等の各種情報を受け付ける。また、入力受付部２２ｂは、オペレータがモニタ３０から入力した情報を受け付ける。入力受付部２２ｂによって受け付けられた情報は、記憶部２１に記憶される。

（ｃ）角度補正部
角度補正部２２ｃは、二値化画像を用いて製品の姿勢を正すよう、角度補正処理をした補正画像を生成する。具体的には、図８において、製品ＰのＰ１を通る水平な線上のＰ３から垂直に伸びて製品Ｐと交わるＰ２までの垂直距離Ｄ２を測定する。Ｐ１からＰ３までの距離Ｄ１と垂直距離Ｄ２を使い製品の傾き角度を下記計算式により求めて、水平になるよう回転させる。
角度＝ａｔａｎ（Ｄ２÷Ｄ１）

（ｄ）領域生成部
領域生成部２２ｄは、まず製品Ｐの画像を大きく分割（例えば４分割）する。（図９参照）さらに、分割した各小領域（Ｒ１〜Ｒ４）の濃淡ヒストグラムを作成して、濃淡の分布を求める。図１０に示した濃淡ヒストグラムは、横軸が画像の濃淡であり、縦軸が画素数を表したものである。図１０では、小領域Ｒ２の濃淡の分布が大きいことがわかる。
さらに、領域生成部２２ｄは、濃淡の分布が大きい領域をさらに極小領域に分割して記憶部２１に記憶する。（図１１参照）

（ｆ）良否判定部
良否判定部２２ｅは、領域生成部２２ｄによって、生成された領域ごとの濃淡偏差や、濃淡ピークや、濃淡最小値や、濃淡最大値に基づいて、製品Ｐに関する良品／不良品の判定を行う。

具体的に、良否判定部２２ｅは、記憶部２１に記憶された検査パラメータが示す製品Ｐの厚さや、厚さの均一性に関する情報が示す製品Ｐの特徴を比較し、製品Ｐが良品か否かを判定する。より具体的に、良否判定部２２ｅは、ある大きさに区切られた全ての領域の濃淡偏差や、濃淡ピークや、濃淡最小値や、濃淡最大値が、検査パラメータの良品範囲にあるのか否かを判定し、良品範囲にあると、正しい（良品である）と判定する。一方、良否判定部２２ｅは、濃淡偏差や、濃淡ピークや、濃淡最小値や、濃淡最大値が、検査パラメータの良品範囲にない場合には、製品Ｐは正しくない（不良品である）と判定する。

良否判定部２２ｅは、製品Ｐの良品／不良品の別を判断すると、製品Ｐが良品／不良品のいずれかである旨を示す信号（判定結果）を出力する。良否判定部２２ｃによって出力された信号は、振り分け機構７０に送られる。振り分け機構７０は、良否判定部２２ｅによる判定結果に基づき、製品Ｐをラインコンベアユニット７３または不良品回収ライン７４に振り分ける。

（３）処理の流れ
図５から図１４を参照しながら、Ｘ線検査装置１０による処理の流れを説明する。

Ｘ線検査装置１０に製品Ｐが投入されると、ステップＳ１において、画像生成部２２ａによって製品ＰのＸ線画像が生成される（図６参照）。Ｘ線画像が生成されると、Ｘ線画像に関するデータ（画像データ）がＸ線画像記憶領域２１ａに記憶される。画像データがＸ線画像記憶領域２１ａに記憶されると、ステップＳ２に進む。

ステップＳ２では、画像生成部２２ａによって、Ｘ線画像の二値化画像が生成される（図７参照）。具体的には、画像生成部２２ａが、所定の閾値と、Ｘ線画像を構成する各画素の濃淡値とを比較し、各画素の濃淡値が所定の閾値以下かどうかを判断し、判断結果に基づいてＸ線画像を二値化する。ステップＳ２で生成された二値化データは、二値化画像記憶領域２１ｂに記憶される。その後、ステップＳ３に進む。

ステップＳ３では、画像角度補正が行われる。具体的に、ステップＳ３では、角度補正部２２ｃによって、二値化画像の傾いている角度を求めて、前述のようにして回転させて補正する。

ステップＳ４では、領域生成部２２ｄによって、まず大きく領域を分割した小領域を生成する。（図９参照）

さらに、小領域ごとの濃淡ヒストグラムを作成し、濃淡の分布を判定する。このとき、濃淡の分布が小さい小領域は、正しい領域と判定する。濃淡の分布が大きい小領域は、さらに分割した極小領域を生成する。（図１０参照）その後、ステップＳ５に進む。

ステップＳ５では、処理画像に含まれる製品Ｐの画像が判定される。具体的には、領域ごとの濃淡偏差、濃淡ピーク、濃淡最小値、濃淡最大値に基づいて、処理画像に含まれる製品Ｐの画像が判定される。判定した製品Ｐの濃淡偏差、濃淡ピーク、濃淡最小値、濃淡最大値を、記憶部２１に記憶する。その後、ステップＳ６に進む。

ステップＳ６では、基準になる濃淡偏差、濃淡ピーク、濃淡最小値、濃淡最大値の検査パラメータ（所定の閾値）と、記憶部２１に記憶された、すべての領域の濃淡偏差、濃淡ピーク、濃淡最小値、濃淡最大値に基づいて、良否判定部２２ｅによって、製品Ｐの良品を判定をする。その後、ステップＳ７に進む。

ステップＳ７では、良否判定部２２ｅによる判定結果が、モニタ３０に表示される。なお、モニタ３０には、製品Ｐの検査に関する判定結果と共に、製品Ｐの画像を表示してもよい。ここで表示される製品Ｐの画像は、処理画像を加工した画像（加工画像）である。例えば、加工画像とは、処理画像を構成する全画素から、小領域を分割する分割線を描いた画像である。

（４）特徴
（４−１）
上記実施形態に係るＸ線検査装置１０は、Ｘ線透過画像に含まれる、製品Ｐを幾つかの小領域に分割して、小領域ごとに、濃淡偏差、濃淡ピーク、濃淡最小値、濃淡最大値を求めて、全ての小領域が良品であることを判定する。これにより、製品Ｐの中の小さな領域に不良部がある場合であっても、精度の良い良否判定を実行することができる。

Ｘ線検査装置の検査対象となる製品Ｐは、上流コンベアユニット６０によって連続的に搬送されてくる。ここで、上流コンベアユニット６０によって搬送される製品Ｐは、搬送方向に対して一定の傾きで搬送されてくるわけではない。すなわち、製品Ｐは、搬送方向に対して様々な傾きを有する状態でコンベアユニット１２に搬送されてくる。ここで、例えば、製品Ｐの検査を行うために、Ｘ線透過画像を水平にするよう角度補正をする。その結果正確な小領域を設定することができる。

（４−２）
また、上記実施形態に係るＸ線検査装置１０は、まず大まかに小領域を分割し、小領域ごとの濃淡ヒストグラムを生成する。濃淡ヒストグラムの分布の小さい領域には不良箇所がないと判断する。さらに、濃淡ヒストグラムの分布の大きい領域は、さらに分割した極小領域を作成し、極小領域ごとを検査することにより、小さな不良箇所を検出し特定することができる。

（５）変形例
（５−１）変形例Ａ
上記実施形態に係るＸ線検査装置１０では、領域生成部２２ｄによって、小領域を生成するが、製品Ｐの横方向、または縦方向の濃度のプロファイルを作成し、最小値から最大値までの幅が基準値を超えていると、不良箇所が含まれると考え、その領域を小領域に分割して、検査しなくてもよい（図１２参照）。その結果、検査の必要な領域だけ検査し、検査の必要のない領域に対しては検査しないで済むので、高速に検査することができる。

（５−２）変形例Ｂ
上記実施形態に係るＸ線検査装置１０では、領域生成部２２ｄによって、小領域を生成するが、予め入力した分割数（縦・横）によって小領域を生成してもよい（図１３参照）。その結果、前もって大きな領域でデータ収集する必要がないので、高速に検査することができる。

また、Ｘ線検査装置１０は、Ｘ線画像の濃淡値に基づき、各小領域の重量を判定し、判定された重量に基づいて、不良品の判定を行ってもよい。

さらに、Ｘ線検査装置１０は、上記検査の他、異物検査を併せて行ってもよい。異物検査では、濃淡ピークが閾値を超えた場合に異物が含まれると判断する。

１０ Ｘ線検査装置
１１ シールドボックス
１２ コンベアユニット
１３ Ｘ線照射器（Ｘ線照射部）
１４ Ｘ線ラインセンサ（Ｘ線検出部）
１４ａ Ｘ線検出素子
２０ 制御装置（検査制御部）
２１ 記憶部
２１ａ Ｘ線画像記憶領域
２１ｂ 二値化画像記憶領域
２１ｃ 並列数情報記憶領域
２１ｄ 処理画像情報記憶領域
２２ 制御部
２２ａ Ｘ線画像生成部
２２ｂ 入力受付部
２２ｃ 矩形生成部
２２ｄ 領域生成部
２２ｅ 個数検査実行部
２２ｆ 良否判定部
３０ モニタ
７０ 振り分け機構
８０ ラインコンベアユニット
９０ 不良品回収ライン
１００ 検査ライン（Ｘ線検査システム）

Claims (6)

1. 物品にＸ線を照射するＸ線照射部と、前記物品を透過したＸ線を検出するＸ線検出部と、前記透過したＸ線に基づき透過画像を生成する画像生成部と、前記透過画像における前記物品の領域を複数の領域に区分けする領域生成部と、前記複数の領域のそれぞれの濃淡に基づき前記物品の良否を判定する良否判定部を備えたＸ線検査装置。
2. 前記良否判定部は、前記複数の領域の濃淡データの偏差に基づき判定する請求項１記載のＸ線検査装置。
3. 前記良否判定部は、前記複数の領域の濃淡データのピークに基づき判定する請求項１記載のＸ線検査装置。
4. 前記領域生成部は、前記複数の領域の濃淡に基づき、前記複数の領域を変更する請求項１から３に記載のＸ線検査装置。
5. 前記領域生成部は、前記透過画像の物品の領域全体の濃淡データの偏差又は濃淡データヒストグラムに基づき、前記複数の領域の区分け数を決定する請求項１から４に記載のＸ線検査装置。
6. 前記領域生成部は、前記物品のプロファイルデータに基づき、前記物品の検査対象領域を決定する請求項４に記載のＸ線検査装置。