JP2016156793A - 形状計測装置、加工装置及び形状計測方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本実施形態に係る形状計測装置が搭載された加工装置200の構成を例示する図である。
図2は、加工装置200に搭載されている形状計測装置100の構成を例示する図である。図2に示されるように、形状計測装置100は、制御装置20、センサヘッド30、表示装置40を含む。
次に、形状計測装置100において物体12の表面形状を求める方法について説明する。図4は、表面形状の計測方法について説明するための図である。
図5は、実施形態における形状計測処理のフローチャートを例示する図である。
図8は、実施形態における補間処理のフローチャートを例示する図である。
20 制御装置
23 ギャップデータ算出部(ギャップ算出手段)
25 補間処理部(補間手段)
27 形状算出部(形状算出手段)
30 センサヘッド(検出器)
31a 第1変位センサ(変位計)
31b 第2変位センサ(変位計)
31c 第3変位センサ(変位計)
40 表示装置(表示手段)
100 形状計測装置
200 加工装置
Claims (5)
- 3つの変位計が一列に配設された検出器で計測対象物を走査し、前記計測対象物の表面形状を計測する形状計測装置であって、
前記3つの変位計のうち中央の変位計による測定値と他の変位計による測定値との差異からギャップデータを求めるギャップ算出手段と、
前記ギャップデータの平均値及び標準偏差を求め、前記ギャップデータにおいて前記標準偏差に基づいて設定される範囲外の値を前記平均値で補間する補間処理を、前記標準偏差の変化率が予め設定される値以下になるまで繰り返し実行する補間手段と、
前記補間処理が実行された前記ギャップデータに基づいて、前記計測対象物の表面形状を算出する形状算出手段と、を備える
ことを特徴とする形状計測装置。 - 前記補間手段は、前記補間処理が実行された前記ギャップデータにおいて、前記平均値で補間された補間データの前後を含む補間領域の値を、前記補間領域の前記補間データの前後それぞれの平均値を用いて線形補間する
ことを特徴とする請求項1に記載の形状計測装置。 - 前記ギャップデータが前記範囲外の値を含む場合に、前記計測対象物の表面に異物が存在することを表示する表示手段を備える
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の形状計測装置。 - 請求項1から3の何れか一項に記載の形状計測装置を備える
ことを特徴とする加工装置。 - 3つの変位計が一列に配設された検出器で計測対象物を走査し、前記計測対象物の表面形状を計測する形状計測方法であって、
前記3つの変位計のうち中央の変位計による測定値と他の変位計による測定値との差異からギャップデータを求めるギャップ算出ステップと、
前記ギャップデータの平均値及び標準偏差を求め、前記ギャップデータにおいて前記標準偏差に基づいて設定される範囲外の値を前記平均値で補間する補間処理を、前記標準偏差の変化率が予め設定される値以下になるまで繰り返し実行する補間ステップと、
前記補間処理が実行された前記ギャップデータに基づいて、前記計測対象物の表面形状を算出する形状算出ステップと、を備える
ことを特徴とする形状計測方法。
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