JP7260871B2 - 変位センサ - Google Patents
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Description
前記コイル周辺の実温度を計測する温度計測器と、
前記コイル周辺の温度が所定値のときの前記コイルの出力と、前記コイルの出力から求まる温度補正された前記被測定物の位置の変位を示す補正変位信号と、の相関関係を用いて、前記実温度と前記コイルの出力とに対応する補正変位信号を被測定物の位置の変位を示す変位信号として出力する変位信号生成部を備える、変位センサが提供される。
前記変位信号生成部は、前記補間処理部にて補間された補正変位信号を前記変位信号として出力してもよい。
前記基板の温度を計測する基板温度計測器と、を備え、
前記補間処理部は、前記温度計測器で計測された前記コイル周辺の温度と前記基板温度計測器で計測された前記基板の温度とに基づいて、前記相関関係を補間してもよい。
前記第1温度とは異なる第2温度での前記コイルの出力と前記補正変位信号との第2相関関係を格納する第2相関関係格納部と、を備え、
前記補間処理部は、前記第1相関関係を使用して当該変位センサが計測を行っている間に、前記第1相関関係の補間処理にて前記第2相関関係を生成して前記第2相関関係格納部に格納し、
前記変位信号生成部は、前記温度計測器で計測された温度が前記第2温度に変わると、前記第2相関関係に基づいて前記補正変位信号を生成してもよい。
前記第1温度とは異なる第2温度での前記コイルの出力と前記補正変位信号との第2相関関係を格納する第2相関関係格納部と、を備え、
前記補間処理部は、前記第1相関関係を使用して当該変位センサが計測を行っている間に、前記温度計測器で計測された温度が前記第1温度から第2温度に変化すると、前記第1相関関係の補間処理にて前記第2相関関係を生成して前記第2相関関係格納部に格納してもよい。
前記自励式発振回路の発振レベルは、前記被測定物に発生した渦電流による前記コイルのインピーダンスの変化の影響を受けて変化してもよい。
図1は第1の実施形態による変位センサ1の概略構成を示すブロック図である。図1の変位センサ1は、コイル2と、発振器3と、整流器4と、A/Dコンバータ5と、制御部(変位信号生成部)6と、D/Aコンバータ7と、出力アンプ8と、温度計測器9とを備えている。
Claims (6)
- 交流電流を供給することで交流磁場を発生させ、被測定物の位置の変位に応じて前記被測定物に誘導される渦電流に応じた出力を生成するコイルと、
前記コイルの周辺の実温度を計測する温度計測器と、
前記コイルの周辺の温度が所定値のときの前記コイルの出力と、前記コイルの出力から求まる温度補正された前記被測定物の位置の変位を示す補正変位信号と、の相関関係を用いて、前記実温度と前記コイルの出力とに対応する補正変位信号を前記被測定物の位置の変位を示す変位信号として出力する変位信号生成部と、
少なくとも1つの温度での前記コイルの出力と前記補正変位信号との相関関係から、前記温度計測器で計測された実温度に対応する補正変位信号を補間する補間処理部と、
第1温度での前記コイルの出力と前記補正変位信号との第1相関関係を格納する第1相関関係格納部と、
前記第1温度とは異なる第2温度での前記コイルの出力と前記補正変位信号との第2相関関係を格納する第2相関関係格納部と、を備え、
前記補間処理部は、前記第1相関関係を使用して前記被測定物の位置の変位の計測を行っている間に、前記第1相関関係の補間処理にて前記第2相関関係を生成して前記第2相関関係格納部に格納し、
前記変位信号生成部は、前記補間処理部にて補間された前記補正変位信号を前記変位信号として出力し、かつ、前記温度計測器で計測された温度が前記第2温度に変わると、前記第2相関関係に基づいて前記補正変位信号を生成する、変位センサ。 - 交流電流を供給することで交流磁場を発生させ、被測定物の位置の変位に応じて前記被測定物に誘導される渦電流に応じた出力を生成するコイルと、
前記コイルの周辺の実温度を計測する温度計測器と、
前記コイルの周辺の温度が所定値のときの前記コイルの出力と、前記コイルの出力から求まる温度補正された前記被測定物の位置の変位を示す補正変位信号と、の相関関係を用いて、前記実温度と前記コイルの出力とに対応する補正変位信号を前記被測定物の位置の変位を示す変位信号として出力する変位信号生成部と、
少なくとも1つの温度での前記コイルの出力と前記補正変位信号との相関関係から、前記温度計測器で計測された実温度に対応する補正変位信号を補間する補間処理部と、
第1温度での前記コイルの出力と前記補正変位信号との第1相関関係を格納する第1相関関係格納部と、
前記第1温度とは異なる第2温度での前記コイルの出力と前記補正変位信号との第2相関関係を格納する第2相関関係格納部と、を備え、
前記変位信号生成部は、前記補間処理部にて補間された前記補正変位信号を前記変位信号として出力し、かつ、前記第1相関関係を使用して前記被測定物の位置の変位の計測を行っている間に、前記温度計測器で計測された温度が前記第1温度から第2温度に変化すると、前記第1相関関係の補間処理にて前記第2相関関係を生成して前記第2相関関係格納部に格納する、変位センサ。 - 前記補間処理部は、前記コイルの出力の変化に対して前記補正変位信号が線形に変化するように、前記相関関係を補間して新たな相関関係を生成する、請求項1又は2に記載の変位センサ。
- 前記補間処理部は、互いに異なる少なくとも2つの温度での前記コイルの出力と前記補正変位信号との相関関係から、前記2つの温度の間の中間温度における前記相関関係を生成する、請求項1乃至3のいずれか一項に記載の変位センサ。
- 前記変位信号生成部が実装された基板と、
前記基板の温度を計測する基板温度計測器と、を備え、
前記補間処理部は、前記温度計測器で計測された前記コイルの周辺の温度と前記基板温度計測器で計測された前記基板の温度とに基づいて、前記相関関係を補間する、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の変位センサ。 - 前記コイルのインピーダンスを利用して発振動作を行って前記交流電流を発生させるとともに、発振信号を出力する自励式発振回路を有し、
前記自励式発振回路の発振レベルは、前記被測定物に発生した渦電流による前記コイルのインピーダンスの変化の影響を受けて変化する、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の変位センサ。
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