JP2016140191A - 可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】可動テーブル1は,ボールスプラインを構成するボールスプライン軸16をテーブル本体11に嵌挿固定して構成されている。通し孔48を形成したボールスプライン軸16の下部に先端ノズル部12を形成し,上部に後端ノズル部13を形成する。外筒14,15をベッド2の上下部に固定し,一対の外筒14,15によってボールスプライン軸16を往復移動自在に支持する。
【選択図】図2
Description
2 ベッド
3 基板部
4 対向板部
5 側板部
6 界磁マグネット
7 マグネット
8 電機子組立体
9 電機子コイル
10 コイル基板
11 テーブル本体
12 先端ノズル部
13 後端ノズル部
14 外筒(第2外筒)
15 外筒(第1外筒)
16 ボールスプライン軸
17 マグネットヨーク
18 挿通孔
19 ブラケット
20 立軸用スライド装置
25 カバー
30 リニアモータ
42 取付け板
48 通し孔
49 空隙
50,51 逃げ孔
Claims (9)
- 互いに対向する板状のマグネットヨークを構成する長尺でなる板状のベッド,前記ベッドの長手方向にボールスプラインを介して往復移動自在な可動テーブル,前記マグネットヨークの対向面における長手方向に交互に極性が異なり且つ対向する前記極性が反対極性にそれぞれ配設された複数のマグネットから構成された界磁マグネット,前記界磁マグネット間の空隙に位置し且つ前記可動テーブルに固定されたコイル基板に配設された複数の電機子コイルを備えた電機子組立体を有しており,前記電機子組立体を流れる電流と前記界磁マグネットに生じる磁束との電磁相互作用で前記ベッドに対して前記可動テーブルを往復移動させる可動コイル型リニアモータを内蔵したスライド装置において,
前記可動テーブルに形成された長手方向に延びる挿通孔には,前記ボールスプラインを構成する通し孔を備えた中空状ボールスプライン軸が嵌挿して固定され,前記ボールスプライン軸は,前記ベッドの下部に固定されたボールを備えた第1外筒と上部に固定されたボールを備えた第2外筒によって摺動自在に支持されており,
前記ボールスプライン軸の前記通し孔の下部は先端ノズル部に形成され,前記ボールスプライン軸の前記通し孔の上部は後端ノズル部に形成されていることを特徴とする可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置。 - 前記第1外筒及び前記第2外筒は,ブラケットを介して前記ベッドにねじ止めで固定されていることを特徴とする請求項1に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置。
- 前記ボールスプライン軸は,前記テーブルの前記通し孔にねじ止めで固定されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置。
- 前記ボールスプライン軸に形成された前記先端ノズル部と前記後端ノズル部とは,中空状の通し孔であって,長手方向全長にわたって同一径の空孔に形成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置。
- 前記ベッドは,互いに対向する前記マグネットヨークの一方を構成する長尺の矩形板状の基板部,前記マグネットヨークの他方を構成して前記基板部に所定の間隔を有して平行に対向配置され且つ前記基板部よりも短尺で幅小の矩形板状の対向板部,及び前記基板部の取付け基準面となって前記基板部と前記対向板部との一方の側部に固定された側板部から構成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置。
- 前記対向板部に対向する部分以外の前記基板部の部分は,前記基板部に対して所定間隔で固設されて前記対向板部と面一に配設されるカバーで覆われており,前記基板部に対向する前記対向板部の平面が前記リニアモータの取付け基準面に形成されて前記基板部の前記取付け基準面から前記カバーの外側平面までが幅寸法に構成されていることを特徴とする請求項5に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置。
- 前記外筒に対向する前記ベッドの前記基板部の部分と前記カバーの部分には,逃げ孔が形成されると共に,それぞれの前記逃げ孔に嵌入した前記第1外筒と第2外筒の部分は,前記基板部と前記カバーとの厚さ寸法内に収まる平面に形成されていることを特徴とする請求項5又は6に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置。
- 前記可動テーブルを構成する前記先端ノズル部と前記後端ノズル部は,前記ベッドの前記長手方向の端面から突出入して往復移動することを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置。
- 当該スライド装置は厚さ方向に複数個積層して取付け板に配設して固定されており,それぞれの前記可動テーブルがアクチュエータを構成することを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015014186A JP6535172B2 (ja) | 2015-01-28 | 2015-01-28 | 可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置 |
US15/008,716 US10483834B2 (en) | 2015-01-28 | 2016-01-28 | Vertical slider with built-in movable coil linear motor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015014186A JP6535172B2 (ja) | 2015-01-28 | 2015-01-28 | 可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016140191A true JP2016140191A (ja) | 2016-08-04 |
JP6535172B2 JP6535172B2 (ja) | 2019-06-26 |
Family
ID=56433818
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015014186A Active JP6535172B2 (ja) | 2015-01-28 | 2015-01-28 | 可動コイル型リニアモータを内蔵した立軸用スライド装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10483834B2 (ja) |
JP (1) | JP6535172B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10688528B2 (en) * | 2016-09-14 | 2020-06-23 | Nidec Seimitsu Corporation | Vibration motor |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2015
- 2015-01-28 JP JP2015014186A patent/JP6535172B2/ja active Active
-
2016
- 2016-01-28 US US15/008,716 patent/US10483834B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10483834B2 (en) | 2019-11-19 |
US20160218609A1 (en) | 2016-07-28 |
JP6535172B2 (ja) | 2019-06-26 |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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