JP5250267B2 - リニアモータ及び部品移載装置 - Google Patents
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Description
図1は本発明にかかるリニアモータの第1実施形態を示す斜視図である。また、図2は図1のリニアモータのA−A線断面図である。さらに、図3は図1のリニアモータの分解組立斜視図である。なお、これらの図面及び後で説明する図面では、各図の方向関係を明確にするために、XYZ直角座標軸が示されている。これら3つの方向X、Y、ZのうちZ方向が本発明の「移動方向」に相当し、Y方向が本発明の「幅方向」に相当し、X方向が「移動方向」および「幅方向」の両方向に直交する「厚み方向」に相当している。
図9は本発明にかかる部品移載装置の一実施形態である表面実装機の概略構成を示す平面図である。また、図10はヘッドユニットの正面図および側面図である。さらに、図11は図9に示す表面実装機の電気的構成を示すブロック図である。なお、これらの図面及び後で説明する図面では、上記したリニアモータの移動方向Z、幅方向Yおよび厚み方向Xに対応した三次元の座標系を採用している。
なお、上記実施形態では、部品移載装置として機能する表面実装機MTに対して本発明を適用しているが、本発明の適用対象はこれに限定されるものではなく、ICハンドラー等の部品移載装置に対しても本発明を適用することができる。
1a…ベース面
1b〜1d…立壁
1e…凹部
1f…切欠部
2a、2a1、2a2…レール
2b、2b1、2b2…スライダ
3、3A、3B…電機子(固定子)
4…可動ベース(可動部)
4b…雌ネジ部(ネジ部)
5、5A、5B…ヨーク
6、6A、6B…永久磁石
106…ヘッドユニット
107…ヘッド駆動機構
161…吸着ノズル
163…ノズルシャフト
168…上下駆動機構
LM、LM1〜LM10…リニアモータ
MLM…多軸リニアモータ
MT…表面実装機(部品移載装置)
X…厚み方向(ベース面の法線方向)
Y…幅方向
Z…移動方向
Claims (4)
- ベースプレートと、
前記ベースプレートのベース面に対して延設された直線状のレールと、
前記レールに沿って所定の移動方向にスライド自在に設けられたスライダおよび前記スライダに取り付けられた可動ベースを有して、前記ベースプレートの前記ベース面に対して前記移動方向に移動自在となっている可動部と、
前記移動方向と直交する幅方向の前記可動部の一方端部側面に設けられて前記幅方向の前記可動ベースの端部側面に対して取り付けられ、前記可動部に対して前記移動方向に延設された可動子と、
前記幅方向に前記可動子から離間して対向するように前記ベースプレートの前記ベース面に対して前記移動方向に延設された固定子と、
リニアスケールおよびセンサを互いに前記幅方向に対向させながら、前記リニアスケールおよび前記センサの対向面の法線が前記移動方向および前記幅方向を含む平面に対して平行となるように前記リニアスケールおよび前記センサを配置するとともに、前記リニアスケールを前記可動部の他方端部側面に設ける一方、前記センサを前記ベースプレートに固定して、前記移動方向における前記可動部の位置を検出する検出手段と、
前記幅方向において前記センサの反リニアスケール側に配置されて前記センサを制御するセンサ制御ユニットと
を備え、
前記可動子および前記固定子で発生する磁束の相互作用により前記可動部を前記移動方向に駆動し、
前記幅方向の前記ベースプレートの両端部の各々に対し、前記ベース面の法線方向に延びる立壁が前記ベースプレートと一体あるいは別体で前記移動方向に延設され、
各立壁の前記ベース面からの高さが前記固定子の前記ベース面からの高さよりも高く、
前記移動方向の前記可動部の端部にネジ部が設けられ、
前記ネジ部を用いて直接または前記ネジ部を用いて前記可動部の端部に連結される連結部を介して、前記移動方向に移動させる被駆動物を前記可動部に取付可能となっており、
前記2つの立壁のうち前記可動部側に位置する前記可動部側立壁に、前記センサ制御ユニットを挿入可能な切欠部が設けられている
ことを特徴とするリニアモータ。 - 前記ベース面の法線方向における前記可動部の反ベース面側表面に前記ネジ部が設けられ、
前記ネジ部を用いて直接または前記ネジ部を用いて前記可動部に固定される前記連結部としてのテーブルを介して、前記被駆動物を前記可動部に取付可能となっている請求項1に記載のリニアモータ。 - 部品収容部から部品搭載領域に部品を移載する部品移載装置において、
ベース部材と、前記ベース部材に対して上下方向に移動自在に支持され、先端部に吸着ノズルが取り付けられるとともに、後端部に接続された負圧配管を介して供給される負圧を前記吸着ノズルに与えるノズルシャフトと、前記ノズルシャフトを前記上下方向に駆動する上下駆動機構とを有する、ヘッドユニットと、
前記部品収容部の上方位置と前記部品搭載領域の上方位置との間で前記ヘッドユニットを移動させるヘッド駆動手段とを備え、
前記上下駆動機構が請求項1または2に記載のリニアモータであり、
前記リニアモータは前記移動方向が前記上下方向と平行となるように前記ベース部材に取り付けられ、
前記リニアモータの前記可動部が前記ノズルシャフトに連結されている
ことを特徴とする部品移載装置。 - 基板を所定の搬送方向に搬送可能な基板搬送機構が配置され、
前記可動部に前記ノズルシャフトが連結された前記リニアモータを、前記移動方向および前記幅方向とそれぞれ直交する厚み方向に複数積層配置しつつ、前記厚み方向が前記搬送方向と一致するように前記ヘッドユニットに設けた請求項3に記載の部品移載装置。
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