JP2016128901A - ポジ型感光性樹脂組成物及びそれより調製される硬化膜 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(A)式(I)で表されるシラン化合物に由来する少なくとも1つの構造単位を含有するシロキサンポリマーと、(B)エポキシ化合物と、(C)1,2−キノンジアジド化合物と、を含む感光性樹脂組成物。
【選択図】なし
Description
(A)式(I)で表されるシラン化合物に由来する少なくとも1つの構造単位を含有するシロキサンポリマーと、
(B)エポキシ化合物と、
(C)1,2−キノンジアジド化合物と、を含み、
(R1)nSi(R2)4−n (I)
式中、R1は1〜12個の炭素原子を有するアルキル基、2〜10個の炭素原子を有するアルケニル基、6〜12個の炭素原子を有するアリール基、7〜12個の炭素原子を有するアリールアルキル基、または7〜12個の炭素原子を有するアルキルアリール基であり、複数のR1の場合は、それらは同一または互いに異なっていてもよく、R2は水素原子、ハロゲン原子、1〜12個の炭素原子を有するアルコキシ基、アミノ基、2〜12個の炭素原子を有するアシルオキシ基、または6〜12個の炭素原子を有するアリールオキシ基であり、複数のR2の場合は、それらは同一または互いに異なっていてもよく、nは0〜3の整数である、感光性樹脂組成物が提供される。
本発明のシロキサンポリマー(またはポリシロキサン)は、シラン化合物の凝縮物及び/またはその加水分解物を含む。シラン化合物またはその加水分解物は、1〜4個の官能基を有するシラン化合物であってもよい。
−Q型シロキサン構造単位は、シリコン原子及び4つの隣接する酸素原子を含有するシロキサン構造単位を指し、例えば、四官能シラン化合物、または4つの加水分解性基を有するシラン化合物の加水分解物に由来してもよい。
−T型シロキサン構造単位は、シリコン原子及び3つの隣接する酸素原子を含有するシロキサン構造単位を指し、例えば、三官能シラン化合物、または3つの加水分解性基を有するシラン化合物の加水分解物に由来してもよい。
−D型シロキサン構造単位は、シリコン原子及び2つの隣接する酸素原子(すなわち、直鎖状シロキサン構造単位)を含有するシロキサン構造単位を指し、例えば、二官能シラン化合物、または2つの加水分解性基を有するシラン化合物の加水分解物に由来してもよい。
−M型シロキサン構造単位は、シリコン原子及び1つの隣接する酸素原子を含有するシロキサン構造単位であり、例えば、単官能シラン化合物、または1つの加水分解性基を有するシラン化合物の加水分解物に由来してもよい。
(R1)nSi(R2)4−n (I)
式中、R1は1〜12個の炭素原子を有する非加水分解性有機基であり、R2は加水分解性基であり、nは0〜3の整数である。
本発明の感光性樹脂組成物では、エポキシ化合物はシロキサンバインダの内部濃度を増加させるためにシロキサンポリマーと一緒に使用されて、そのことでそれから調製される硬化膜の耐化学性を改善する。
R3はHまたはC1−C2アルキル、好ましくはHであり、
R4はH、または直鎖状もしくは分岐状のC1−C5アルキル、好ましくは直鎖状もしくは分岐状のC1−C5アルキルであり、
mは1〜10の整数、好ましくは1〜5の整数である。
本発明の感光性樹脂組成物は、1,2−キノンジアジド化合物(C)を含む。
本発明の感光性樹脂組成物は、上記成分を溶媒中に混合することで液体組成物として調製されてもよい。本発明に係る感光性樹脂組成物中の溶媒の量は特に限定されていないが、例えば樹脂組成物は溶媒を、その固形分が樹脂組成物の全重量に基づいて10〜70重量%、好ましくは15〜60重量%、より好ましくは20〜40重量%の範囲内となるように含有してもよい。固形分は、いかなる溶媒も除外した、本発明の樹脂組成物に含まれる全ての成分を指す。
本発明の感光性樹脂組成物は、必要に応じて、その被覆性を増強させるために界面活性剤をさらに含んでもよい。
本発明の感光性樹脂組成物は、コーティングの基板への接着性を向上させるために、さらに接着補助剤を含んでもよい。
0.07g(0.0019モル)の0.1N塩酸及び40.57g(2.25モル)の脱イオン水を反応フラスコに装填し、続いて攪拌した。次に、92.45g(0.383モル)のフェニルトリエトキシシラン(Aldrich)、34.29g(0.192モル)のメチルトリエトキシシラン(Aldrich)、40.06g(0.192モル)のテトラエトキシシラン(Aldrich)、及び12gのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA、Aldrich)をそこに添加し、続いて室温で1時間攪拌した。反応フラスコは凝縮器及びディーンスタークトラップを装備し、混合物を105℃で2時間蒸留し、次に100℃で3時間、反応に供した。続いて、6gのPGMEAを反応混合物に添加し、混合物を次に冷却した。反応混合物中に残る酸を、イオン交換カラムを通して除去した。得られた混合物を反応器に装填し、次に水及びアルコールを、45℃で減圧下にてそこから除去して、約4,000のMwを有するシロキサンポリマーを得て、これを次にPGMEAに添加して、その固形分が40重量%となるように調製した。
0.07g(0.0019モル)の0.1N塩酸及び40.57g(2.25モル)の脱イオン水を反応フラスコに装填し、続いて攪拌した。次に、46.224g(0.192モル)のフェニルトリエトキシシラン(Aldrich)、68.4g(0.383モル)のメチルトリエトキシシラン(Aldrich)、40.06g(0.192モル)のテトラエトキシシラン(Aldrich)、及び12gのプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA、Aldrich)をそこに添加し、続いて室温で1時間攪拌した。反応フラスコは凝縮器及びディーンスタークトラップを装備し、混合物を105℃で2時間蒸留して、次に100℃で3時間、反応に供した。続いて、6gのPGMEAを反応混合物に添加し、混合物を次に冷却した。反応混合物に残る酸を、イオン交換カラムを通して除去した。得られた混合物を反応器に装填し、次に水及びアルコールを45℃で減圧下にてそこから除去して、約4,000の重量平均分子量を有するシロキサンポリマーを得て、これを次にPGMEAに添加して、その固形分が30重量%となるように調節した。
凝縮器を装備する三つ口フラスコを、自動温度制御器を有するホットプレートスターラーの上に載せた。メタクリル酸グリシジル(50モル%)及びスチレン(50モル%)を含む100重量部のモノマー混合物、10重量部の2,2′−アゾビス(2−メチルブチロニトリル)、ならびに100重量部のPGMEAをフラスコに装填し、フラスコに窒素を充填した。フラスコを80℃まで、混合物をゆっくり攪拌しながら加熱し、その温度を5時間維持して、約12,000の重量平均分子量を有するエポキシ化合物を得て、次にこれをPGMEAに添加して、その固形分が20重量%となるように調節した。
凝縮器を装備する三つ口フラスコを、自動温度制御器を有するホットプレートスターラーの上に載せた。メタクリル酸グリシジル(100モル%)を含む100重量部のモノマー、10重量部の2,2′−アゾビス(2−メチルブチロニトリル)、及び100重量部のPGMEAをフラスコに装填し、フラスコに窒素を充填した。フラスコを80℃まで、混合物をゆっくり攪拌しながら加熱し、その温度を5時間維持して約14,000の重量平均分子量を有するエポキシ化合物を得て、次にこれをPGMEAに添加して、その固形分が20重量%となるように調節した。
凝縮器を装備する三つ口フラスコを、自動温度制御器を有するホットプレートスターラーの上に載せた。メタクリル酸(21モル%)、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート(15モル%)、メチルメタクリレート(21モル%)、及びスチレン(43モル%)を含む100重量部のモノマー混合物、10重量部の2,2′−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、ならびに100重量部のメチル3−メトキシプロピオネートをフラスコに装填し、フラスコに窒素を充填した。フラスコを70℃まで、混合物をゆっくり攪拌しながら加熱し、その温度を5時間維持して約4,800の重量平均分子量を有するアクリル化合物を得て、次にこれをPGMEAに添加して、その固形分が40重量%となるように調節した。
凝縮器を装備する三つ口フラスコを、自動温度制御器を有するホットプレートスターラーの上に載せた。メタクリル酸(22.5モル%)、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート(25モル%)、メチルメタクリレート(9.5モル%)、及びスチレン(43モル%)を含む100重量部のモノマー混合物、10重量部の2,2′−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、ならびに100重量部のメチル3−メトキシプロピオネートをフラスコに装填し、フラスコに窒素を充填した。フラスコは70℃まで、混合物をゆっくり攪拌しながら加熱し、その温度を5時間維持して約6,700の重量平均分子量を有するアクリル化合物を得て、次にこれをPGMEAに添加して、その固形分が40重量%となるように調節した。
凝縮器を装備する三つ口フラスコを、自動温度制御器を有するホットプレートスターラーの上に載せた。メタクリル酸(24モル%)、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート(25モル%)、及びスチレン(51モル%)を含む100重量部のモノマー混合物、10重量部の2,2′−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、ならびに100重量部のメチル3−メトキシプロピオネートをフラスコに装填し、フラスコに窒素を充填した。フラスコを70℃まで、混合物をゆっくり攪拌しながら加熱し、その温度を5時間維持して、約6,800の重量平均分子量を有するアクリル化合物を得て、次にこれをPGMEAに添加して、その固形分が40重量%となるように調節した。
凝縮器を装備する三つ口フラスコを、自動温度制御器を有するホットプレートスターラーの上に載せた。メタクリル酸(20モル%)、3,4−エポキシシクロヘキシルメチルメタクリレート(20モル%)、スチレン(55モル%)、及び4−ヒドロキシブチルアクリレートグリシジルエーテル(4HBAGE、5モル%)を含む100重量部のモノマー混合物、10重量部の2,2′−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)、及び100重量部のメチル3−メトキシプロピオネートをフラスコに装填し、フラスコに窒素を充填した。フラスコを70℃まで、混合物をゆっくり攪拌しながら加熱して、温度を5時間維持して約5,000の重量平均分子量を有するアクリル化合物を得て、次にこれをPGMEAに添加して、その固形分が40重量%となるように調節した。
実施例及び比較例の感光性樹脂組成物を、上記調製実施例にて得られた構成成分を用いて調製した。また、以下の化合物を実施例及び比較例にて用いた。
−1,2−キノンジアジド化合物:TPA−523、Miwon Commercial社
−接着補助剤:3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、GPTMS、Sigma−Aldrich社
−界面活性剤:シリコン系レベリング界面活性剤、FZ−2122、東レ・ダウコーニング株式会社
−溶媒:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)
調製実施例1で得た14.45gのシロキサンポリマー(a)、調製実施例3で得た1.66gのエポキシ化合物(a)、0.83gの1,2−キノンジアジド化合物、0.15gの接着補助剤、及び0.15gの界面活性剤を均一的に混合して、次に11.43gの溶媒に溶解した。得られた溶液を0.2μmの細孔径を有する薄膜フィルタを通してろ過して、25重量%の固形分を有する液体で樹脂組成物を得た。シロキサンポリマー中のフェニル残基を有するT型構造単位(Tフェニル型):メチル残基を有するT型構造単位(Tメチル型):Q型構造単位のモル比は、50:25:25であった。
調製実施例1で得た14.12gのシロキサンポリマー(a)、調製実施例2で得た2.22gのシロキサンポリマー(b)、調製実施例3で得た1.66gのエポキシ化合物(a)、0.83gの1,2−キノンジアジド化合物、0.15gの接着補助剤、及び0.15gの界面活性剤を均一的に混合し、次に11.43gの溶媒に溶解した。得られた溶液を0.2μmの細孔径を有する薄膜フィルタを通してろ過して、25重量%の固形分を有する液体で樹脂組成物を得た。シロキサンポリマー中のTフェニル型:Tメチル型:Q型構造単位のモル比は、47.4:27.6:25であった。
調製実施例1で得た13.29gのシロキサンポリマー(a)、調製実施例2で得た3.32gのシロキサンポリマー(b)、調製実施例3で得た1.66gのエポキシ化合物(a)、0.83gの1,2−キノンジアジド化合物、0.15gの接着補助剤、及び0.15gの界面活性剤を均一的に混合して、次に11.43gの溶媒に溶解した。得られた溶液は0.2μmの細孔径を有する薄膜フィルタを通してろ過して、25重量%の固形分を有する液体で樹脂組成物を得た。シロキサンポリマー中のTフェニル型:Tメチル型:Q型構造単位のモル比は、46.1:28.9:25であった。
調製実施例1で得た16.11gのシロキサンポリマー(a)、調製実施例3で得た0.99gのエポキシ化合物(a)、0.83gの1,2−キノンジアジド化合物、0.15gの接着補助剤、及び0.15gの界面活性剤を均一的に混合して、次に11.43gの溶媒に溶解した。得られた溶液は0.2μmの細孔径を有する薄膜フィルタを通してろ過して、25重量%の固形分を有する液体で樹脂組成物を得た。シロキサンポリマー中のTフェニル型:Tメチル型:Q型構造単位のモル比は、50:25:25であった。
調製実施例1で得た14.45gのシロキサンポリマー(a)、調製実施例2で得た2.22gのシロキサンポリマー(b)、調製実施例3で得た0.99gのエポキシ化合物(a)、0.83gの1,2−キノンジアジド化合物、0.15gの接着補助剤、及び0.15gの界面活性剤を均一的に混合して、次に11.43gの溶媒に溶解した。得られた溶液は0.2μmの細孔径を有する薄膜フィルタを通してろ過して、25重量%の固形分を有する液体で樹脂組成物を得た。シロキサンポリマー中のTフェニル型:Tメチル型:Q型構造単位のモル比は、47.4:27.6:25であった。
調製実施例1で得た13.62gのシロキサンポリマー(a)、調製実施例2で得た3.32gのシロキサンポリマー(b)、調製実施例3で得た0.99gのエポキシ化合物(a)、0.83gの1,2−キノンジアジド化合物、0.15gの接着補助剤、及び0.15gの界面活性剤を均一的に混合して、次に11.43gの溶媒に溶解した。得られた溶液を0.2μmの細孔径を有する薄膜フィルタを通してろ過して、25重量%の固形分を有する液体で樹脂組成物を得た。シロキサンポリマー中のTフェニル型:Tメチル型:Q型構造単位のモル比は、46.1:28.9:25であった。
調製実施例1で得た16.11gのシロキサンポリマー(a)、調製実施例4で得た0.99gのエポキシ化合物(b)、0.83gの1,2−キノンジアジド化合物、0.15gの接着補助剤、及び0.15gの界面活性剤を均一的に混合して、次に11.43gの溶媒に溶解した。得られた溶液を0.2μmの細孔径を有する薄膜フィルタを通してろ過して、25重量%の固形分を有する液体で樹脂組成物を得た。シロキサンポリマー中のTフェニル型:Tメチル型:Q型構造単位のモル比は、50:25:25であった。
調製実施例1で得た15.78gのシロキサンポリマー(a)、調製実施例4で得た1.66gのエポキシ化合物(b)、0.83gの1,2−キノンジアジド化合物、0.15gの接着補助剤、及び0.15gの界面活性剤を均一的に混合して、次に11.43gの溶媒に混合した。得られた溶液を0.2μmの細孔径を有する薄膜フィルタを通してろ過して、25重量%の固形分を有する液体で樹脂組成物を得た。シロキサンポリマー中のTフェニル型:Tメチル型:Q型構造単位のモル比は、50:25:25であった。
調製実施例1で得た13.62gのシロキサンポリマー(a)、調製実施例3で得た3.32gのエポキシ化合物(a)、0.83gの1,2−キノンジアジド化合物、0.15gの接着補助剤、及び0.15gの界面活性剤を均一的に混合して、次に11.43gの溶媒に混合した。得られた溶液を0.2μmの細孔径を有する薄膜フィルタを通してろ過して、25重量%の固形分を有する液体で樹脂組成物を得た。シロキサンポリマー中のTフェニル型:Tメチル型:Q型構造単位のモル比は、50:25:25であった。
調製実施例1で得た14.12gのシロキサンポリマー(a)、調製実施例3で得た4.98gのエポキシ化合物(a)、0.83gの1,2−キノンジアジド化合物、0.15gの接着補助剤、及び0.15gの界面活性剤を均一的に混合して、次に11.43gの溶媒に溶解した。得られた溶液を0.2μmの細孔径を有する薄膜フィルタを通してろ過して、25重量%の固形分を有する液体で樹脂組成物を得た。シロキサンポリマー中のTフェニル型:Tメチル型:Q型構造単位のモル比は、50:25:25であった。
調製実施例1で得た13.29gのシロキサンポリマー(a)、調製実施例3で得た6.64gのエポキシ化合物(a)、0.83gの1,2−キノンジアジド化合物、0.15gの接着補助剤、及び0.15gの界面活性剤を均一的に混合し、次に11.43gの溶媒に溶解した。得られた溶液を0.2μmの細孔径を有する薄膜フィルタを通してろ過して、25重量%の固形分を有する液体で樹脂組成物を得た。シロキサンポリマー中のTフェニル型:Tメチル型:Q型構造単位のモル比は、50:25:25であった。
調製実施例1で得た11.63gのシロキサンポリマー(a)、調製実施例3で得た9.96gのエポキシ化合物(a)、0.83gの1,2−キノンジアジド化合物、0.15gの接着補助剤、及び0.15gの界面活性剤を均一的に混合して、次に11.43gの溶媒に溶解した。得られた溶液を0.2μmの細孔径を有する薄膜フィルタを通してろ過して、25重量%の固形分を有する液体で樹脂組成物を得た。シロキサンポリマー中のTフェニル型:Tメチル型:Q型構造単位のモル比は、50:25:25であった。
調製実施例1で得た9.798gのシロキサンポリマー(a)、調製実施例3で得た13.28gのエポキシ化合物(a)、13.28gの1,2−キノンジアジド化合物、0.15gの接着補助剤、及び0.15gの界面活性剤を均一的に混合して、次に11.43gの溶媒に溶解した。得られた溶液を0.2μmの細孔径を有する薄膜フィルタを通してろ過して、25重量%の固形分を有する液体で樹脂組成物を得た。シロキサンポリマー中のTフェニル型:Tメチル型:Q型構造単位のモル比は、50:25:25であった。
調製実施例1で得た16.61gのシロキサンポリマー(a)、0.83gの1,2−キノンジアジド化合物、0.15gの接着補助剤、及び0.15gの界面活性剤を均一的に混合して、次に11.43gの溶媒に溶解した。得られた溶液を0.2μmの細孔径を有する薄膜フィルタを通してろ過して、25重量%の固形分を有する液体で樹脂組成物を得た。シロキサンポリマー中のTフェニル型:Tメチル型:Q型構造単位のモル比は、50:25:25であった。
調製実施例1で得た15.78gのシロキサンポリマー(a)、調製実施例5で得た1.03gのアクリル化合物(a)、0.83gの1,2−キノンジアジド化合物、0.15gの接着補助剤、及び0.15gの界面活性剤を均一的に混合して、次に11.43gの溶媒に溶解した。得られた溶液を0.2μmの細孔径を有する薄膜フィルタを通してろ過して、25重量%の固形分を有する液体で樹脂組成物を得た。シロキサンポリマー中のTフェニル型:Tメチル型:Q型構造単位のモル比は、50:25:25であった。
調製実施例1で得た15.78gのシロキサンポリマー(a)、調製実施例6で得た1.01gのアクリル化合物(b)、0.83gの1,2−キノンジアジド化合物、0.15gの接着補助剤、及び0.15gの界面活性剤を均一的に混合して、次に11.43gの溶媒に溶解した。得られた溶液を0.2μmの細孔径を有する薄膜フィルタを通してろ過して、25重量%の固形分を有する液体で樹脂組成物を得た。シロキサンポリマー中のTフェニル型:Tメチル型:Q型構造単位のモル比は、50:25:25であった。
調製実施例1で得た15.78gのシロキサンポリマー(a)、調製実施例7で得た1gのアクリル化合物(c)、0.83gの1,2−キノンジアジド化合物、0.15gの接着補助剤、及び0.15gの界面活性剤を均一的に混合して、次に11.43gの溶媒で溶解した。得られた溶液を0.2μmの細孔径を有する薄膜フィルタを通してろ過して、25重量%の固形分を有する液体で樹脂組成物を得た。シロキサンポリマー中のTフェニル型:Tメチル型:Q型構造単位のモル比は、50:25:25であった。
調製実施例1で得た15.78gのシロキサンポリマー(a)、調製実施例8で得た1.03gのアクリル化合物(d)、0.83gの1,2−キノンジアジド化合物、0.15gの接着補助剤、及び0.15gの界面活性剤を均一的に混合して、次に11.43gの溶媒に溶解した。得られた溶液を0.2μmの細孔径を有する薄膜フィルタを通してろ過して、25重量%の固形分を有する液体で樹脂組成物を得た。シロキサンポリマー中のTフェニル型:Tメチル型:Q型構造単位のモル比は、50:25:25であった。
実施例及び比較例で得た各感光性樹脂組成物を、ガラス基板上にスピンコーターを用いて被覆した。被覆された基板をホットプレート上にて115℃で90秒間プリベークして、3.1μmの厚さを有する膜を形成した。次に、ノズルを通して水性現像剤(2.38重量%水酸化テトラメチルアンモニウム)を23℃で60秒間噴霧することによって膜を現像した。続いて、パターンマスクを使うことなく、200nm〜450nmの波長を有する光を発するアライナ(モデル名:MA6)を用いて、特定の期間にわたり、365nmの波長に基づく200mJ/cm2の露光量で、現像された膜を露光した(すなわち、漂白プロセス)。次に膜を対流式オーブンにて230℃で30分間ポストベークして、硬化膜を得た。硬化膜の厚さ(T1)を、非接触型高さ測定装置(SNU Precision社)を用いて測定した。
[等式1]
耐化学性(%)=[(熱硬化後の厚さ(T2)/(調整化学薬品への浸漬前の初期厚さ(T1)]×100
実施例及び比較例で得た各組成物を、ガラス基板上にスピンコーターを用いて被覆し、被覆された基板を110℃で保たれたホットプレート上で90秒間プリベーク及び乾燥して、3.1μmの厚さを有する膜を形成した。膜を、2μm〜25μmの範囲内の大きさの角孔からなるパターンを有するマスクを通して、200nm〜450nmの波長を有する光を発するアライナ(モデル名:MA6)を用いて、365nmの波長に基づく0〜200mJ/cm2の露光量で特定の期間にわたって露光した。水性現像剤(2.38重量%水酸化テトラメチルアンモニウム)を、ノズルを通して23℃で噴霧することによって、膜を現像した。次に膜を対流式オーブンにて230℃で30分間加熱することで、硬化膜を得た。
実施例及び比較例で得た各組成物を、シリコン基板上にスピンコーターを用いて被覆し、被覆された基板を110℃で保たれたホットプレート上で90秒間プリベーク及び乾燥して、3.1μmの厚さを有する膜を形成した。膜を、パターンマスクを通して、200nm〜450nmの波長を有する光を発するアライナ(モデル名:MA6)を用いて、365nmの波長に基づく100mJ/cm2の露光量で特定の期間にわたって露光した。現像剤として2.38重量%水酸化テトラメチルアンモニウムの水性現像剤を、ノズルを通して25℃にて噴霧することで、膜を現像した。次に膜を対流式オーブンにて200℃で30分間加熱することによって、熱硬化膜を得た。
◎:長方形の形状は明確であり、底部かすが観察されなかった。
○:長方形の形状は明確であるが、表面は平滑ではなかった。
△:長方形の形状は明確であるが、表面は平滑ではない、またはまだらの残留膜が残った。
×:長方形の形状は明確ではない、または硬化膜が現像されなかった。
実験実施例3と同様の、プリベーク、マスクを通した露光、現像、及びポストベークを含む同一の手順を、実施例及び比較例で得た各組成物に繰り返して、熱硬化膜を調製した。膜保持率を、非接触厚さ測定装置(SNU Precision社)を用いて計測したとおり、プリベーク加工直後に硬化膜の厚さに対する熱硬化膜の最終厚さから得た。
実施例及び比較例で得た各組成物を、シリコン基板上にスピンコーターを用いて被覆した。実験実施例3と同様の、プリベーク、マスクを通した露光、現像、及びポストベークを含む同一の手順を繰り返して、約3μmの厚さを有する熱硬化膜を調製した。
Claims (5)
- (A)式(I)で表されるシラン化合物に由来する少なくとも1つの構造単位を含有するシロキサンポリマーと、
(B)エポキシ化合物と、
(C)1,2−キノンジアジド化合物と、を含み、
(R1)nSi(R2)4−n (I)
式中、R1は1〜12個の炭素原子を有するアルキル基、2〜10個の炭素原子を有するアルケニル基、6〜12個の炭素原子を有するアリール基、7〜12個の炭素原子を有するアリールアルキル基、または7〜12個の炭素原子を有するアルキルアリール基であり、複数のR1の場合は、それらは同一であっても互いに異なっていてもよく、
R2は水素原子、ハロゲン原子、1〜12個の炭素原子を有するアルコキシ基、アミノ基、2〜12個の炭素原子を有するアシルオキシ基、または6〜12個の炭素原子を有するアリールオキシ基であり、複数のR2の場合は、それらは同一であっても互いに異なっていてもよく、
nは0〜3の整数である、感光性樹脂組成物。 - 前記エポキシ化合物(B)はカルボキシル基を含有しない、請求項1に記載の前記感光性樹脂組成物。
- 前記シロキサンポリマー(A)と前記エポキシ化合物(B)の重量比、すなわちA:Bは、固形分の全重量に基づいて97:3〜70:30である、請求項1または2に記載の前記感光性樹脂組成物。
- 前記シロキサンポリマー(A)は、式(I)で表され、式中、nが0であるシラン化合物に由来する構造単位を含む、請求項3に記載の前記感光性樹脂組成物。
- 前記シロキサンポリマー(A)は、式(I)で表され、式中、nが0である前記シラン化合物に由来する、Si原子の合計モルに基づいて10〜60モル%の構造単位を含む、請求項4に記載の前記感光性樹脂組成物。
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