JP2016079504A - 基板ホルダおよびめっき装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板ホルダ7は、基板Wの周縁部に接触するシールリング31と、シールリング31を支持する支持リング33と、シールリング31を支持リング33に押し付ける固定リング40とを備える。固定リング40は、テーパー面からなる内周面42aおよび外周面42bを有する環状部42と、環状部42に接続されたシールリング押え部43と、シールリング押え部43から半径方向内方に突出するレギュレーションリング45とを有し、レギュレーションリング45は、シールリング31の内径よりも小さい内径を有する。
【選択図】図5
Description
2 貯留槽
3 オーバーフロー槽
4 めっき液循環ライン
5 アノード
6 アノードホルダ
7 基板ホルダ
10 電源
11 攪拌パドル
12 レギュレーションプレート
24 ベース部材
26 ヒンジ
28 保持部材
30 基部
31 シールリング(第1シールリング)
31a 環状突起部
31b 内側環状突起部
33 支持リング
33b 傾斜面
40 固定リング(第1固定リング)
41 ねじ
42 環状部
42a 内周面
42b 外周面
43 シールリング押え部
45 レギュレーションリング
45a 第1の切り欠き(液逃し流路)
45b 第2の切り欠き(通気流路)
51 シールリング(第2シールリング)
52 固定リング(第2固定リング)
53 ねじ
54 スペーサリング
56 押えリング
74 クランパ
80 支持面
82 突条部
84 凹部
86 導電体
88 電気接点
90 ホルダハンガ
91 給電端子
92 ハンドレバー
95 位置決め部材
97 ねじ孔
99 環状シール
101 シールフランジ
101a 第1の外側環状突起部
101b 第2の外側環状突起部
Claims (26)
- 基板の周縁部に接触するシールリングと、
前記シールリングを支持する支持リングと、
前記シールリングを前記支持リングに押し付ける固定リングとを備え、
前記固定リングは、テーパー面からなる内周面および外周面を有する環状部と、前記環状部に接続されたシールリング押え部と、前記シールリング押え部から半径方向内方に突出するレギュレーションリングとを有し、前記レギュレーションリングは、前記シールリングの内径よりも小さい内径を有することを特徴とする基板ホルダ。 - 前記固定リングを前記支持リングに固定するためのねじをさらに備え、
前記ねじは、前記支持リングを貫通して、前記固定リング内に形成されたねじ穴にまで延びることを特徴とする請求項1に記載の基板ホルダ。 - 前記シールリングは、前記固定リングに接触する内側環状突起部を有し、前記ねじは前記内側環状突起部の外側に位置することを特徴とする請求項2に記載の基板ホルダ。
- 前記支持リングと前記固定リングとの間に挟まれた環状シールをさらに備え、前記シールリングおよび前記ねじは、前記環状シールの内側に位置していることを特徴とする請求項2に記載の基板ホルダ。
- 前記シールリングは、前記支持リングと前記固定リングとの間に挟まれたシールフランジを有し、
前記ねじは前記シールフランジを貫通して延びていることを特徴とする請求項2に記載の基板ホルダ。 - 前記シールフランジは、前記固定リングに接触する第1の外側環状突起部と、前記支持リングに接触する第2の外側環状突起部とを有し、前記ねじは前記第1の外側環状突起部および前記第2の外側環状突起部の内側に位置していることを特徴とする請求項5に記載の基板ホルダ。
- 前記環状部、前記シールリング押え部、および前記レギュレーションリングは、一体に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の基板ホルダ。
- 前記固定リングは、該固定リングの中心に関して対称に配置された液逃し流路および通気流路を有していることを特徴とする請求項1に記載の基板ホルダ。
- 前記液逃し流路および前記通気流路は、前記レギュレーションリングに形成された切り欠きであることを特徴とする請求項8に記載の基板ホルダ。
- 前記液逃し流路および前記通気流路は、前記固定リング内をその半径方向に貫通する通孔であることを特徴とする請求項8に記載の基板ホルダ。
- 前記基板ホルダが鉛直姿勢であるときに、前記液逃し流路は固定リングの最下部に位置し、前記通気流路は前記固定リングの最上部に位置することを特徴とする請求項8に記載の基板ホルダ。
- 前記レギュレーションリングは、方位角的に非対称であることを特徴とする請求項1に記載の基板ホルダ。
- 前記固定リングの少なくとも一部は、樹脂材で被覆されていることを特徴とする請求項1に記載の基板ホルダ。
- めっき液を内部に保持するためのめっき槽と、
基板を保持する基板ホルダと、
前記めっき槽内に配置されたアノードと、
前記アノードと前記基板ホルダに保持された前記基板との間に電圧を印加する電源とを備え、
前記基板ホルダは、
基板の周縁部に接触するシールリングと、
前記シールリングを支持する支持リングと、
前記シールリングを前記支持リングに押し付ける固定リングとを備え、
前記固定リングは、テーパー面からなる内周面および外周面を有する環状部と、前記環状部に接続されたシールリング押え部と、前記シールリング押え部から半径方向内方に突出するレギュレーションリングとを有し、前記レギュレーションリングは、前記シールリングの内径よりも小さい内径を有することを特徴とするめっき装置。 - 前記固定リングを前記支持リングに固定するためのねじをさらに備え、
前記ねじは、前記支持リングを貫通して、前記固定リング内に形成されたねじ穴にまで延びることを特徴とする請求項14に記載のめっき装置。 - 前記シールリングは、前記固定リングに接触する内側環状突起部を有し、前記ねじは前記内側環状突起部の外側に位置することを特徴とする請求項15に記載のめっき装置。
- 前記支持リングと前記固定リングとの間に挟まれた環状シールをさらに備え、前記シールリングおよび前記ねじは、前記環状シールの内側に位置していることを特徴とする請求項15に記載のめっき装置。
- 前記シールリングは、前記支持リングと前記固定リングとの間に挟まれたシールフランジを有し、
前記ねじは前記シールフランジを貫通して延びていることを特徴とする請求項15に記載のめっき装置。 - 前記シールフランジは、前記固定リングに接触する第1の外側環状突起部と、前記支持リングに接触する第2の外側環状突起部とを有し、前記ねじは前記第1の外側環状突起部および前記第2の外側環状突起部の内側に位置していることを特徴とする請求項18に記載のめっき装置。
- 前記環状部、前記シールリング押え部、および前記レギュレーションリングは、一体に形成されていることを特徴とする請求項14に記載のめっき装置。
- 前記固定リングは、該固定リングの中心に関して対称に配置された液逃し流路および通気流路を有していることを特徴とする請求項14に記載のめっき装置。
- 前記液逃し流路および前記通気流路は、前記レギュレーションリングに形成された切り欠きであることを特徴とする請求項21に記載のめっき装置。
- 前記液逃し流路および前記通気流路は、前記固定リング内をその半径方向に貫通する通孔であることを特徴とする請求項21に記載のめっき装置。
- 前記基板ホルダが鉛直姿勢であるときに、前記液逃し流路は固定リングの最下部に位置し、前記通気流路は前記固定リングの最上部に位置することを特徴とする請求項21に記載のめっき装置。
- 前記レギュレーションリングは、方位角的に非対称であることを特徴とする請求項14に記載のめっき装置。
- 前記固定リングの少なくとも一部は、樹脂材で被覆されていることを特徴とする請求項14に記載のめっき装置。
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