JP5886484B2 - 製品保持装置および処理方法 - Google Patents
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Description
2 コネクタ部材
5 製品
6 第1の面
7 第2の面
11 第1の保持部
12 第2の保持部
13 第1の電気コンタクト部材
14 第2の電気コンタクト部材
15、16 製品シールのシールリップ
17 ケーシングシール
18、19 コンタクトリング、コンタクトフレーム
20 カバーリング
21 突起
22 開口
23 受け入れ部
24 ロック部材
25 切り欠き
25a スペーサ部材
25b 制限表面
26 閉鎖リング
26a サポートリング
27 ガイド部材
28 スロット
29 金属体
30 外側シール
31 保持装置
32 中央開口
41 第1の保持部
42 第2の保持部
43 金属体
44 ベアリング面
45 絶縁部材
46 金属体
47 ベアリング面
48 絶縁部材
49 第3のシール
50 中空室
51 第3のシール
52 第4のシール
58 真空源
59 配管
61 第1の保持部
62 第2の保持部
71、72 磁石
73、74 溝
81 処理システム
82 処理容器
83 電極
84 電気めっき浴
85 溶液液位
86 支持体
Claims (11)
- 製品(5)の電気めっき処理のための保持装置であって、
前記保持装置(1;31)は、
前記製品(5)の第1の面(6)とのコンタクトを確立する少なくとも1つの第1の電気コンタクト部材(13)を有する第1の保持部(11;41;61)と、
前記第1の面(6)とは反対側の前記製品(5)の第2の面(7)とのコンタクトを確立する少なくとも1つの第2の電気コンタクト部材(14)を有する第2の保持部(12;42;62)と、
を備え、
前記第1の保持部(11;41;61)および前記第2の保持部(12;42;62)は、前記製品(5)を保持するために分離可能に互いに結合可能に構成されており、
処理状態において、製品シール(15、16)およびケーシングシール(17)が、前記少なくとも1つの第1の電気コンタクト部材(13)および前記少なくとも1つの第2の電気コンタクト部材(14)への流体の浸入を防ぐ封止構成を提供し、
前記製品シール(15、16)は、前記第1の保持部(11;41;61)に取り付けられた第1のシールリップ(15)と、前記第2の保持部(12;42;62)に取り付けられた第2のシールリップ(16)とを有しており、
前記少なくとも1つの第1の電気コンタクト部材(13)および前記少なくとも1つの第2の電気コンタクト部材(14)は、前記製品シール(15、16)と前記ケーシングシール(17)との間に配置される、
ことを特徴とする保持装置。 - 前記第1の保持部(11;41;61)および前記第2の保持部(12;42;62)を互いに結合するために設けられた力付与装置(21、22、23;50、58、59;71、72)を備えている、請求項1記載の保持装置。
- 前記力付与装置(50、58、59)は、少なくとも1つの中空室(50)および真空源(58)を含んでおり、
前記中空室(50)の少なくとも1つの壁が前記第1の保持部(41)によって構成されており、
前記中空室(50)の少なくとも1つの別の壁が前記第2の保持部(42)によって構成されている、
請求項2記載の保持装置。 - 前記保持装置(31)は、処理状態において前記中空室(50)への流体の流入を防ぐ第3のシール(49;51)を備えている、請求項3記載の保持装置。
- 前記力付与装置(71、72)は、少なくとも1つの磁石(71、72)を有している、請求項2から4のいずれか1項記載の保持装置。
- 前記第1の保持部(41;61)は第1の金属体(43)を有しており、
前記第2の保持部(42、62)は第2の金属体(46)を有しており、
前記力付与装置(50、58、59;71、72)が前記第1の保持部(41;61)および前記第2の保持部(42;62)を互いに結合するときに、第1および第2の金属体は互いに平面状に当接する、
請求項2から5のいずれか1項記載の保持装置。 - 前記力付与装置は、機械的ロック機構(21、22、23)を有している、請求項2から6のいずれか1項記載の保持装置。
- 前記処理は、前記製品(5)の両面の処理である、請求項1から7のいずれか1項記載の保持装置。
- 電気めっきコーティングされる製品(5)の処理方法であって、
前記製品(5)を保持装置(1;31)に結合するステップと、
前記保持装置(1;31)によって保持された前記製品(5)を処理流体で処理するステップと、を含み、
前記保持装置は、少なくとも1つの第1の電気コンタクト部材(13)を有する第1の保持部(11;41;61)と、少なくとも1つの第2の電気コンタクト部材(14)を有する第2の保持部(12;42;62)とを含み、
前記第1の電気コンタクト部材(13)が前記製品(5)の第1の面(6)に当接し、かつ、前記第2の電気コンタクト部材(14)が、前記第1の面(6)とは反対側の前記製品(5)の第2の面(7)に当接し、かつ、前記少なくとも1つの第1の電気コンタクト部材(13)および前記少なくとも1つの第2の電気コンタクト部材(14)への流体の浸入を防ぐための封止構成を製品シール(15、16)およびケーシングシール(17)が提供するように、前記第1の保持部(11;41;61)および前記第2の保持部(12;42;62)は互いに分離可能に結合され、
前記製品シール(15、16)は、前記第1の保持部(11;41;61)に取り付けられた第1のシールリップ(15)と、前記第2の保持部(12;42;62)に取り付けられた第2のシールリップ(16)とを有しており、
前記少なくとも1つの第1の電気コンタクト部材(13)および前記少なくとも1つの第2の電気コンタクト部材(14)は、前記製品シール(15、16)と前記ケーシングシール(17)との間に配置される、
ことを特徴とする方法。 - 前記保持装置(1;31)は、当該保持装置によって保持されている前記製品(5)とともに、電気めっき浴(84)内に配列された電極(83)に対して動かされる、請求項9記載の方法。
- 前記製品(5)は、ウェハである、請求項9または10記載の方法。
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