JP2015103662A5 - - Google Patents

Description

液処理装置は、タンク１０２に、処理液または処理液構成成分を補充するタンク液補充部１１６を有している。タンク１０２には、タンク１０２内の処理液を廃棄するためのドレンライン１１８が設けられている。

図３の実施形態では、図１及び図２の実施形態と比較すると、第１フラッシング液充填工程においてパーティクルが拡散する範囲が広くなる。それでも、排液ライン１２０の接続点よりも下流側の循環ライン１０４と、タンクの上部領域がパーティクルにより汚染されずに済む。このため、フィルタ１０８の交換後直ちにフラッシング液をタンク１０２及び循環ライン１０４を含む循環系に循環させた場合と比較すれば、パーティクルレベルを許容範囲内に低減するために必要な時間を短縮することができる。

１６ 処理ユニット（処理部）
１０２ タンク
１０４ 循環ライン
１０６ ポンプ
１０８ フィルタ
１１８ ドレンライン
１２０ 排液ライン

Claims (7)

1. 処理液を貯留するタンクと、前記タンクに接続された循環ラインと、前記循環ラインに前記タンクから出てタンクに戻る処理液の流れを形成するポンプと、前記循環ラインに介設されたフィルタと、前記循環ラインを流れる処理液を用いて基板に液処理を施す処理部と、を備えた液処理装置において、前記フィルタを洗浄するフィルタ洗浄方法において、 前記フィルタを前記循環ラインの所定位置に設置した状態で、前記循環ラインの一部のみ、及び前記タンクにフラッシング液を供給することにより、前記フィルタの内部を前記フラッシング液で満たすフラッシング液充填工程と、
   前記循環ラインの前記一部及び前記タンクに供給された前記フラッシング液を、前記循環ラインの前記一部または前記タンクに接続されたドレンラインから排出することにより、前記フィルタから前記フラッシング液を抜くフラッシング液排出工程と、
   を備えたフィルタ洗浄方法。
2. 前記フラッシング液充填工程において、前記フィルタの内部を前記フラッシング液で満たすことは、前記タンク内の前記フラッシング液の液位が前記フィルタの内部空間の頂部の高さ以上となるまで前記タンクにフラッシング液を供給することにより行われる、請求項１記載のフィルタ洗浄方法。
3. 前記フラッシング液充填工程において、前記フィルタの内部を前記フラッシング液で満たすことは、前記フィルタの下流側において前記循環ラインに接続された排液ラインを介して前記フラッシング液を前記循環ラインから排出しながら、前記タンク内の前記フラッシング液を前記ポンプにより前記循環ラインを介して前記フィルタに供給することにより行われる、請求項１記載のフィルタ洗浄方法。
4. 前記フラッシング液充填工程及び前記フラッシング液排出工程が交互に繰り返し実行される、請求項１から３のうちのいずれか一項に記載のフィルタ洗浄方法。
5. 前記フラッシング液充填工程及び前記フラッシング液排出工程を少なくとも１回ずつ行った後に、前記タンクに前記フラッシング液を貯留するとともに前記ポンプを稼働させて前記循環ラインに前記フラッシング液を循環させる工程と、
   その後、前記フラッシング液の循環を停止するとともに前記ドレンラインから前記フラッシング液を排出する工程と、
   その後、前記循環ラインの一部のみ、及び前記タンクに別のフラッシング液を供給することにより、前記フィルタの内部を前記別のフラッシング液で満たす第２フラッシング液充填工程と、
   その後、前記循環ラインの前記一部及び前記タンクに供給された前記別のフラッシング液を、前記循環ラインの前記一部または前記タンクに接続されたドレンラインから排出することにより、前記フィルタから前記別のフラッシング液を抜く第２フラッシング液排出工程と、
   を更に備えた、請求項１から４のうちのいずれか一項に記載のフィルタ洗浄方法。
6. 処理液を貯留するタンクと、
   前記タンクに接続された循環ラインと、
   前記循環ラインに前記タンクから出てタンクに戻る処理液の流れを形成するポンプと、 前記循環ラインに介設されたフィルタと、
   前記循環ラインを流れる処理液を用いて基板に液処理を施す処理部と、
   を備えた液処理装置であって、
   前記液処理装置の動作を制御する制御装置をさらに備え、
   前記制御装置は、
   前記フィルタを前記循環ラインの所定位置に設置した状態で、前記循環ラインの一部のみ、及び前記タンクにフラッシング液を供給することにより、前記フィルタの内部を前記フラッシング液で満たすフラッシング液充填工程と、
   前記循環ラインの前記一部及び前記タンクに供給された前記フラッシング液を、前記循環ラインの前記一部または前記タンクに接続されたドレンラインから排出することにより、前記フィルタから前記フラッシング液を抜くフラッシング液排出工程と
   を備えたフィルタ洗浄方法を実施するためのプログラムを格納する記憶部を有し、前記制御装置が前記プログラムを実行することにより前記フィルタ洗浄方法が実施されることを特徴とする、液処理装置。
7. 処理液を貯留するタンクと、前記タンクに接続された循環ラインと、前記循環ラインに前記タンクから出てタンクに戻る処理液の流れを形成するポンプと、前記循環ラインに介設されたフィルタと、前記循環ラインを流れる処理液を用いて基板に液処理を施す処理部と、を備えた液処理装置にフィルタ洗浄方法を実行させるためのコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、
   前記フィルタ洗浄方法が、
   前記フィルタを前記循環ラインの所定位置に設置した状態で、前記循環ラインの一部のみ、及び前記タンクにフラッシング液を供給することにより、前記フィルタの内部を前記フラッシング液で満たすフラッシング液充填工程と、
   前記循環ラインの前記一部及び前記タンクに供給された前記フラッシング液を、前記循環ラインの前記一部または前記タンクに接続されたドレンラインから排出することにより、前記フィルタから前記フラッシング液を抜くフラッシング液排出工程と
   を備えていることを特徴とする、記憶媒体。