JP2003251290A - 洗浄装置及びこれを備えた基板処理装置 - Google Patents
洗浄装置及びこれを備えた基板処理装置Info
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- JP2003251290A JP2003251290A JP2002058844A JP2002058844A JP2003251290A JP 2003251290 A JP2003251290 A JP 2003251290A JP 2002058844 A JP2002058844 A JP 2002058844A JP 2002058844 A JP2002058844 A JP 2002058844A JP 2003251290 A JP2003251290 A JP 2003251290A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 処理部内の処理液排出を行うことなく独立し
た洗浄装置で処理液配管の配管部品を洗浄できるように
することにより、洗浄時における処理液の無駄を抑制す
るとともに洗浄の短時間化を図る。 【解決手段】 洗浄液循環タンク７及びポンプ１１と、
洗浄液を回収する洗浄液回収タンク１９と、洗浄液循環
タンク７を配管部品を挟んで処理液配管に連通接続する
ための屈曲配管２１，２３とを筐体３に備え、屈曲配管
２１，２３を処理液配管に連通接続し、処理液配管から
処理部への流通を遮断した状態で配管部品を洗浄する。
これにより処理部内の処理液を排出することなく配管部
品を洗浄液で洗浄でき、処理液の飛散が防止できる。し
たがって、安全に作業を行えるとともに、処理液の損失
が抑制できて洗浄を短時間化できる。
た洗浄装置で処理液配管の配管部品を洗浄できるように
することにより、洗浄時における処理液の無駄を抑制す
るとともに洗浄の短時間化を図る。 【解決手段】 洗浄液循環タンク７及びポンプ１１と、
洗浄液を回収する洗浄液回収タンク１９と、洗浄液循環
タンク７を配管部品を挟んで処理液配管に連通接続する
ための屈曲配管２１，２３とを筐体３に備え、屈曲配管
２１，２３を処理液配管に連通接続し、処理液配管から
処理部への流通を遮断した状態で配管部品を洗浄する。
これにより処理部内の処理液を排出することなく配管部
品を洗浄液で洗浄でき、処理液の飛散が防止できる。し
たがって、安全に作業を行えるとともに、処理液の損失
が抑制できて洗浄を短時間化できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウエハや
液晶表示装置用のガラス基板（以下、単に基板と称す
る）に所定の処理を施す基板処理装置における配管部品
の洗浄装置及びこれを備えた基板処理装置に係り、特
に、処理液配管から処理部に処理液を供給する基板処理
装置における処理液配管の配管部品を洗浄する技術に関
する。
液晶表示装置用のガラス基板（以下、単に基板と称す
る）に所定の処理を施す基板処理装置における配管部品
の洗浄装置及びこれを備えた基板処理装置に係り、特
に、処理液配管から処理部に処理液を供給する基板処理
装置における処理液配管の配管部品を洗浄する技術に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の基板処理装置として、ポ
ンプ、温度調節器、フィルタなどの配管部品を備えた処
理液配管の端部が処理槽の底部に接続され、基板を収納
した処理槽に処理液配管から処理液を供給することで基
板に対して処理を施すものが挙げられる。
ンプ、温度調節器、フィルタなどの配管部品を備えた処
理液配管の端部が処理槽の底部に接続され、基板を収納
した処理槽に処理液配管から処理液を供給することで基
板に対して処理を施すものが挙げられる。
【０００３】このような基板処理装置において配管部品
を洗浄するには、配管部品を取り外してから配管部品だ
けを洗浄する第１の手法と、処理液配管に洗浄液を供給
して処理液配管ごと配管部品を洗浄する第２の手法とが
ある。
を洗浄するには、配管部品を取り外してから配管部品だ
けを洗浄する第１の手法と、処理液配管に洗浄液を供給
して処理液配管ごと配管部品を洗浄する第２の手法とが
ある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来例の場合には、次のような問題がある。すなわ
ち、従来の第１の手法では、配管部品を取り外す前に処
理液配管内の処理液を排出する必要があり、コスト面で
不利であり、処理液の飛散が生じる恐れがあって作業時
の危険性が大きい。また、配管部品を取り外した後に洗
浄を行う必要があるので、配管部品の洗浄を行うまでに
長時間を要する。さらに、洗浄後に次なる基板に対する
処理を行うには、処理液配管に再び洗浄液を供給して温
度調節を行う必要があるので、コスト面で不利であり、
長時間を要するという問題点がある。
うな従来例の場合には、次のような問題がある。すなわ
ち、従来の第１の手法では、配管部品を取り外す前に処
理液配管内の処理液を排出する必要があり、コスト面で
不利であり、処理液の飛散が生じる恐れがあって作業時
の危険性が大きい。また、配管部品を取り外した後に洗
浄を行う必要があるので、配管部品の洗浄を行うまでに
長時間を要する。さらに、洗浄後に次なる基板に対する
処理を行うには、処理液配管に再び洗浄液を供給して温
度調節を行う必要があるので、コスト面で不利であり、
長時間を要するという問題点がある。
【０００５】また、従来の第２の手法では、洗浄液を供
給する前に処理液を排出する必要があり、コスト面にお
いて不利である。さらに、洗浄後に次なる基板に対する
処理を行うには、処理液配管から洗浄液を排出した後に
再び洗浄液を供給して温度調節を行う必要があるので、
コスト面で不利であって長時間を要するという多くの問
題を抱えている。
給する前に処理液を排出する必要があり、コスト面にお
いて不利である。さらに、洗浄後に次なる基板に対する
処理を行うには、処理液配管から洗浄液を排出した後に
再び洗浄液を供給して温度調節を行う必要があるので、
コスト面で不利であって長時間を要するという多くの問
題を抱えている。
【０００６】この発明は、このような事情に鑑みてなさ
れたものであって、処理部内の処理液排出を行うことな
く独立した洗浄装置で処理液配管の配管部品を洗浄でき
るようにすることにより、洗浄時における処理液の無駄
を抑制するとともに洗浄の短時間化を図ることができる
洗浄装置及びこれを備えた基板処理装置を提供すること
を目的とする。
れたものであって、処理部内の処理液排出を行うことな
く独立した洗浄装置で処理液配管の配管部品を洗浄でき
るようにすることにより、洗浄時における処理液の無駄
を抑制するとともに洗浄の短時間化を図ることができる
洗浄装置及びこれを備えた基板処理装置を提供すること
を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明は、このような
目的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項１に記載の発明は、基板処理装置の処理部に
処理液を供給する処理液配管に備えられた配管部品を洗
浄する洗浄装置において、前記配管部品を挟んで上流側
及び下流側の前記処理液配管に連通接続された２つの連
結配管と、前記処理液配管から前記処理部への処理液の
流通を遮断した状態で、前記２つの連結配管のうち一方
の連結配管を介して前記処理液配管に洗浄液を供給する
ための洗浄液供給手段と、前記処理液配管から前記処理
部への処理液の流通を遮断した状態で、前記２つの連結
配管のうち他方の連結配管を介して前記処理液配管から
洗浄液を回収するための洗浄液回収手段と、前記洗浄液
供給手段及び前記洗浄液回収手段を収納する筐体と、を
備えていることを特徴とするものである。
目的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項１に記載の発明は、基板処理装置の処理部に
処理液を供給する処理液配管に備えられた配管部品を洗
浄する洗浄装置において、前記配管部品を挟んで上流側
及び下流側の前記処理液配管に連通接続された２つの連
結配管と、前記処理液配管から前記処理部への処理液の
流通を遮断した状態で、前記２つの連結配管のうち一方
の連結配管を介して前記処理液配管に洗浄液を供給する
ための洗浄液供給手段と、前記処理液配管から前記処理
部への処理液の流通を遮断した状態で、前記２つの連結
配管のうち他方の連結配管を介して前記処理液配管から
洗浄液を回収するための洗浄液回収手段と、前記洗浄液
供給手段及び前記洗浄液回収手段を収納する筐体と、を
備えていることを特徴とするものである。
【０００８】（作用・効果）連結配管を処理液配管に連
通接続し、処理液配管から処理槽への流通を遮断した状
態で、筐体に収納された洗浄液供給手段から洗浄液を供
給し、洗浄液回収手段で洗浄液を回収する。これにより
処理部内の処理液を排出することなく配管部品を洗浄液
で洗浄することができるので、処理液の飛散が防止でき
る。したがって、安全に作業を行えるとともに、処理液
の損失が抑制でき、洗浄を短時間化することができる。
また、筐体を搬送可能なものにすれば、洗浄装置を複数
台の基板処理装置で共用することができ、洗浄液供給用
と排液用のユーティリティを設けるという負担を軽減す
ることができる。
通接続し、処理液配管から処理槽への流通を遮断した状
態で、筐体に収納された洗浄液供給手段から洗浄液を供
給し、洗浄液回収手段で洗浄液を回収する。これにより
処理部内の処理液を排出することなく配管部品を洗浄液
で洗浄することができるので、処理液の飛散が防止でき
る。したがって、安全に作業を行えるとともに、処理液
の損失が抑制でき、洗浄を短時間化することができる。
また、筐体を搬送可能なものにすれば、洗浄装置を複数
台の基板処理装置で共用することができ、洗浄液供給用
と排液用のユーティリティを設けるという負担を軽減す
ることができる。
【０００９】また、請求項２に記載の発明は、請求項１
に記載の洗浄装置において、前記洗浄液供給手段は、洗
浄液を貯留する洗浄液循環タンクと、前記洗浄液循環タ
ンク内の洗浄液を前記一方の連結配管に圧送する圧送手
段と、前記配管部品を通った洗浄液を前記他方の連結配
管を介して前記洗浄液循環タンクに回収する戻り配管と
を備え、前記洗浄液回収手段は、前記戻り配管から分岐
した分岐配管と、前記分岐配管からの洗浄液を回収する
洗浄液回収タンクと、前記戻り配管内の洗浄液を、前記
洗浄液循環タンク側と前記洗浄液回収タンク側のいずれ
か一方に切換える切り換え弁とを備えていることを特徴
とするものである。
に記載の洗浄装置において、前記洗浄液供給手段は、洗
浄液を貯留する洗浄液循環タンクと、前記洗浄液循環タ
ンク内の洗浄液を前記一方の連結配管に圧送する圧送手
段と、前記配管部品を通った洗浄液を前記他方の連結配
管を介して前記洗浄液循環タンクに回収する戻り配管と
を備え、前記洗浄液回収手段は、前記戻り配管から分岐
した分岐配管と、前記分岐配管からの洗浄液を回収する
洗浄液回収タンクと、前記戻り配管内の洗浄液を、前記
洗浄液循環タンク側と前記洗浄液回収タンク側のいずれ
か一方に切換える切り換え弁とを備えていることを特徴
とするものである。
【００１０】（作用・効果）洗浄時には、洗浄液循環タ
ンク内の洗浄液を圧送手段により一方の連結配管を介し
て処理液配管に供給して配管部品を洗浄し、戻り配管を
通って戻ってきた洗浄液を他方の連結配管を介して洗浄
液循環タンクに循環させて洗浄を行う。洗浄を一定時間
行った後、切り換え弁を洗浄液回収タンク側に切換え、
戻り配管を通って戻ってきた洗浄液を洗浄液回収タンク
に回収することで、洗浄に使用して汚れを含む洗浄液を
回収する。
ンク内の洗浄液を圧送手段により一方の連結配管を介し
て処理液配管に供給して配管部品を洗浄し、戻り配管を
通って戻ってきた洗浄液を他方の連結配管を介して洗浄
液循環タンクに循環させて洗浄を行う。洗浄を一定時間
行った後、切り換え弁を洗浄液回収タンク側に切換え、
戻り配管を通って戻ってきた洗浄液を洗浄液回収タンク
に回収することで、洗浄に使用して汚れを含む洗浄液を
回収する。
【００１１】また、請求項３に記載の発明は、請求項１
または２に記載の洗浄装置において、前記洗浄液循環タ
ンクは、複数個であり、処理部に用いられる処理液に応
じた洗浄液を貯留することを特徴とするものである。
または２に記載の洗浄装置において、前記洗浄液循環タ
ンクは、複数個であり、処理部に用いられる処理液に応
じた洗浄液を貯留することを特徴とするものである。
【００１２】（作用・効果）洗浄液は処理液に応じて適
したものがあるので、例えば、有機溶剤（ＩＰＡなど）
や純水などを洗浄液として処理液に応じて用いることが
好ましい。複数個の洗浄液循環タンクを備えておけば、
それぞれに各種の洗浄液を貯留しておくことができ、処
理液に応じて洗浄液を切換えて供給することができる。
したものがあるので、例えば、有機溶剤（ＩＰＡなど）
や純水などを洗浄液として処理液に応じて用いることが
好ましい。複数個の洗浄液循環タンクを備えておけば、
それぞれに各種の洗浄液を貯留しておくことができ、処
理液に応じて洗浄液を切換えて供給することができる。
【００１３】また、請求項４に記載の発明は、配管部品
を有し、処理部に処理液を供給する処理液配管と、前記
処理液配管から前記処理部への処理液の流通を遮断する
流通遮断手段と、前記処理液配管に連通接続された２つ
の連結配管、前記流通遮断手段により前記処理液配管か
ら前記処理部への処理液の流通を遮断した状態で、前記
２つの連結配管のうち一方の連結配管を介して前記処理
液配管に洗浄液を供給するための洗浄液供給手段、前記
流通遮断手段により前記処理液配管から前記処理部への
処理液の流通を遮断した状態で、前記２つの連結配管の
うち他方の連結配管を介して前記処理液配管から洗浄液
を回収するための洗浄液回収手段、及び前記洗浄液供給
手段及び前記洗浄液回収手段を収納する筐体を有する洗
浄装置と、を備えていることを特徴とするものである。
を有し、処理部に処理液を供給する処理液配管と、前記
処理液配管から前記処理部への処理液の流通を遮断する
流通遮断手段と、前記処理液配管に連通接続された２つ
の連結配管、前記流通遮断手段により前記処理液配管か
ら前記処理部への処理液の流通を遮断した状態で、前記
２つの連結配管のうち一方の連結配管を介して前記処理
液配管に洗浄液を供給するための洗浄液供給手段、前記
流通遮断手段により前記処理液配管から前記処理部への
処理液の流通を遮断した状態で、前記２つの連結配管の
うち他方の連結配管を介して前記処理液配管から洗浄液
を回収するための洗浄液回収手段、及び前記洗浄液供給
手段及び前記洗浄液回収手段を収納する筐体を有する洗
浄装置と、を備えていることを特徴とするものである。
【００１４】（作用・効果）請求項１に記載の洗浄装置
を基板処理装置に備えることにより、処理槽内の処理液
を排出することなく配管部品を洗浄液で洗浄することが
できるので処理液の飛散が防止できる。したがって、安
全に作業を行え、処理液の損失が抑制でき、洗浄を短時
間化できる。また、洗浄液供給用と排液用のユーティリ
ティを設けるという負担を軽減することができる。
を基板処理装置に備えることにより、処理槽内の処理液
を排出することなく配管部品を洗浄液で洗浄することが
できるので処理液の飛散が防止できる。したがって、安
全に作業を行え、処理液の損失が抑制でき、洗浄を短時
間化できる。また、洗浄液供給用と排液用のユーティリ
ティを設けるという負担を軽減することができる。
【００１５】また、好ましくは、流通遮断手段を、配管
部品ごとに挟んで上流側及び下流側の処理液配管に設け
ることにより（請求項５に記載の発明）、洗浄対象とな
る配管部品を絞って洗浄でき、複数個の配管部品を挟ん
で設けることにより（請求項６に記載の発明）、一度に
複数個の配管部品を洗浄できる。
部品ごとに挟んで上流側及び下流側の処理液配管に設け
ることにより（請求項５に記載の発明）、洗浄対象とな
る配管部品を絞って洗浄でき、複数個の配管部品を挟ん
で設けることにより（請求項６に記載の発明）、一度に
複数個の配管部品を洗浄できる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照してこの発明の
一実施例を説明する。 ＜洗浄装置＞図１及び図２はこの発明の一実施例に係
り、図１は実施例に係る洗浄装置の概略構成を示す縦断
面図であり、図２はその外観斜視図である。
一実施例を説明する。 ＜洗浄装置＞図１及び図２はこの発明の一実施例に係
り、図１は実施例に係る洗浄装置の概略構成を示す縦断
面図であり、図２はその外観斜視図である。
【００１７】洗浄装置１は、処理部となる処理槽を備え
た基板処理装置における処理液配管の配管部品の洗浄を
行う機能を備えた装置である。配管部品とは、例えば、
フィルタ、加熱器、ポンプ、温度計、温度計、流量計、
配管自体等の処理液配管に取り付けられる部品のことで
ある。
た基板処理装置における処理液配管の配管部品の洗浄を
行う機能を備えた装置である。配管部品とは、例えば、
フィルタ、加熱器、ポンプ、温度計、温度計、流量計、
配管自体等の処理液配管に取り付けられる部品のことで
ある。
【００１８】洗浄装置１は、基板処理装置等のオペレー
タが容易に搬送することができる大きさと重さであり、
その筐体３の大きさは例えば「一斗缶」程度である。筐
体３の上部には、持ち運びを容易にするためのハンドル
５が取り付けられている。
タが容易に搬送することができる大きさと重さであり、
その筐体３の大きさは例えば「一斗缶」程度である。筐
体３の上部には、持ち運びを容易にするためのハンドル
５が取り付けられている。
【００１９】内部には、洗浄液循環タンク７と、供給配
管９と、ポンプ１１と、戻り配管１３と、三方弁１５
と、分岐配管１７と、洗浄液回収タンク１９とを収納し
ている。また、筐体３の図１における右側面下部には、
供給配管９に連通した屈曲配管２１が取り付けられ、右
側面上部には、戻り配管１３に連通した屈曲配管２３が
取り付けられている。これらの先端部には、基板処理装
置の処理液配管に設けられた弁部に連結可能な連結部２
５，２７が取り付けられている。
管９と、ポンプ１１と、戻り配管１３と、三方弁１５
と、分岐配管１７と、洗浄液回収タンク１９とを収納し
ている。また、筐体３の図１における右側面下部には、
供給配管９に連通した屈曲配管２１が取り付けられ、右
側面上部には、戻り配管１３に連通した屈曲配管２３が
取り付けられている。これらの先端部には、基板処理装
置の処理液配管に設けられた弁部に連結可能な連結部２
５，２７が取り付けられている。
【００２０】洗浄液循環タンク７には洗浄液が貯留され
ており、洗浄液は圧送手段となるポンプ１１の作動によ
って供給配管９を通して屈曲配管２１に供給される。三
方弁１５が「通常位置」にある場合には、屈曲配管２１
から供給されて配管部品を通った洗浄液は、屈曲配管２
３を通って戻り配管１３を介して洗浄液循環タンク７に
戻る。ポンプ１１の動作電源は、図示しない内蔵バッテ
リを使用したり、図示しないＡＣケーブルを介してコン
セントに接続したりすることで得られる。なお、電動式
のポンプ１１に代えて手回し式を採用することにより、
より軽量化を図ることもできる。
ており、洗浄液は圧送手段となるポンプ１１の作動によ
って供給配管９を通して屈曲配管２１に供給される。三
方弁１５が「通常位置」にある場合には、屈曲配管２１
から供給されて配管部品を通った洗浄液は、屈曲配管２
３を通って戻り配管１３を介して洗浄液循環タンク７に
戻る。ポンプ１１の動作電源は、図示しない内蔵バッテ
リを使用したり、図示しないＡＣケーブルを介してコン
セントに接続したりすることで得られる。なお、電動式
のポンプ１１に代えて手回し式を採用することにより、
より軽量化を図ることもできる。
【００２１】三方弁１５が「回収位置」にある場合に
は、屈曲配管２１から供給されて配管部品を通った洗浄
液は、屈曲配管２３及び戻り配管１３を通り、分岐配管
１７を通って洗浄液回収タンク１９に回収される。回収
された洗浄液は、洗浄液回収タンク１９の図示しないド
レインから排出したり、洗浄液回収タンク１９ごと筐体
３から取り出されて排出されたりする。
は、屈曲配管２１から供給されて配管部品を通った洗浄
液は、屈曲配管２３及び戻り配管１３を通り、分岐配管
１７を通って洗浄液回収タンク１９に回収される。回収
された洗浄液は、洗浄液回収タンク１９の図示しないド
レインから排出したり、洗浄液回収タンク１９ごと筐体
３から取り出されて排出されたりする。
【００２２】なお、洗浄液循環タンク７と、供給配管９
と、ポンプ１１とが本発明における洗浄液供給手段に相
当し、三方弁１５と、分岐配管１７と、洗浄液回収タン
ク１９とが本発明における洗浄液回収手段に相当する。
また、屈曲配管２１，２３と、連結部２５，２７とが本
発明における連結配管に相当する。
と、ポンプ１１とが本発明における洗浄液供給手段に相
当し、三方弁１５と、分岐配管１７と、洗浄液回収タン
ク１９とが本発明における洗浄液回収手段に相当する。
また、屈曲配管２１，２３と、連結部２５，２７とが本
発明における連結配管に相当する。
【００２３】次に、上述した構成の洗浄装置１による洗
浄処理について説明する。なお、洗浄液回収タンク１９
は空であり、洗浄液循環タンク７には所要量の洗浄液が
貯留されているものとする。
浄処理について説明する。なお、洗浄液回収タンク１９
は空であり、洗浄液循環タンク７には所要量の洗浄液が
貯留されているものとする。
【００２４】まず、洗浄の対象である基板処理装置の近
辺まで洗浄装置１を運ぶ。次に、洗浄対象である配管部
品を挟むように、屈曲配管２１，２３の先端部にある連
結部２５，２７を接続する。そして、三方弁１５を「通
常位置」にした状態で、ポンプ１１を作動させる。これ
により、洗浄液循環タンク７内の洗浄液が圧送され、配
管部品を洗浄した後に再び洗浄液循環タンク７に戻る。
これを所定時間だけ行って配管部品を洗浄する。その
後、三方弁１５を「回収位置」に切換えて、洗浄に使用
した洗浄液を分岐配管１７を通して洗浄液回収タンク１
９に回収する。
辺まで洗浄装置１を運ぶ。次に、洗浄対象である配管部
品を挟むように、屈曲配管２１，２３の先端部にある連
結部２５，２７を接続する。そして、三方弁１５を「通
常位置」にした状態で、ポンプ１１を作動させる。これ
により、洗浄液循環タンク７内の洗浄液が圧送され、配
管部品を洗浄した後に再び洗浄液循環タンク７に戻る。
これを所定時間だけ行って配管部品を洗浄する。その
後、三方弁１５を「回収位置」に切換えて、洗浄に使用
した洗浄液を分岐配管１７を通して洗浄液回収タンク１
９に回収する。
【００２５】このように可搬型の筐体３に備わった洗浄
液循環タンク７と、供給配管９と、ポンプ１１とにより
洗浄液を供給し、三方弁１５と、分岐配管１７と、洗浄
液回収タンク１９とで洗浄液を回収することにより、配
管部品を洗浄液で洗浄することができ、処理液の飛散が
防止できる。そのため、安全に作業を行えるとともに、
処理液の損失が抑制できて洗浄を短時間化することがで
きる。また、洗浄装置１を可搬型に構成しているので洗
浄装置１を複数台の基板処理装置で共用することがで
き、洗浄液供給用と排液用のユーティリティ等を設ける
という負担を軽減することができる。
液循環タンク７と、供給配管９と、ポンプ１１とにより
洗浄液を供給し、三方弁１５と、分岐配管１７と、洗浄
液回収タンク１９とで洗浄液を回収することにより、配
管部品を洗浄液で洗浄することができ、処理液の飛散が
防止できる。そのため、安全に作業を行えるとともに、
処理液の損失が抑制できて洗浄を短時間化することがで
きる。また、洗浄装置１を可搬型に構成しているので洗
浄装置１を複数台の基板処理装置で共用することがで
き、洗浄液供給用と排液用のユーティリティ等を設ける
という負担を軽減することができる。
【００２６】＜変形例＞図３は、上述した洗浄装置１の
変形例の概略構成を示す縦断面図である。なお、上述し
た実施例装置と同様の構成については、同符号を付すこ
とで詳細な説明については省略する。
変形例の概略構成を示す縦断面図である。なお、上述し
た実施例装置と同様の構成については、同符号を付すこ
とで詳細な説明については省略する。
【００２７】この洗浄装置１Ａは、２個の洗浄液循環タ
ンク７Ａ，７Ｂを備えている点において上記洗浄装置１
と相違する。そのため、供給配管９には、二つの洗浄液
供給タンク７Ａ，７Ｂを切換えるための三方弁２９と、
供給配管９Ａ，９Ｂとを備える。また、戻り配管１３に
は、洗浄液循環タンク７Ａ，７Ｂを切換えるための三方
弁３１と、戻り配管１３，１３Ａ，１３Ｂとを備える。
ンク７Ａ，７Ｂを備えている点において上記洗浄装置１
と相違する。そのため、供給配管９には、二つの洗浄液
供給タンク７Ａ，７Ｂを切換えるための三方弁２９と、
供給配管９Ａ，９Ｂとを備える。また、戻り配管１３に
は、洗浄液循環タンク７Ａ，７Ｂを切換えるための三方
弁３１と、戻り配管１３，１３Ａ，１３Ｂとを備える。
【００２８】上述した三方弁２９、３１は切換え動作が
連動しており、必ず一方側の洗浄液循環タンク７Ａ，７
Ｂだけが利用されるように構成されている。三方弁３１
は、「通常位置１」と「通常位置２」とに切換え可能で
あり、前者で洗浄液循環タンク７Ａに接続され、後者で
洗浄液循環タンク７Ｂに接続される。したがって、この
三方弁３１の動作に連動して、三方弁２９が同一のタン
クを選択するように連動して切換えられる。
連動しており、必ず一方側の洗浄液循環タンク７Ａ，７
Ｂだけが利用されるように構成されている。三方弁３１
は、「通常位置１」と「通常位置２」とに切換え可能で
あり、前者で洗浄液循環タンク７Ａに接続され、後者で
洗浄液循環タンク７Ｂに接続される。したがって、この
三方弁３１の動作に連動して、三方弁２９が同一のタン
クを選択するように連動して切換えられる。
【００２９】このように複数個の洗浄液循環タンク７
Ａ，７Ｂを備えることにより、それぞれに各種の洗浄液
を貯留しておくことができ、基板処理装置が使用してい
る処理液に応じて洗浄液を切換えて供給することができ
る。したがって、効率的に洗浄処理を行うことができ
る。
Ａ，７Ｂを備えることにより、それぞれに各種の洗浄液
を貯留しておくことができ、基板処理装置が使用してい
る処理液に応じて洗浄液を切換えて供給することができ
る。したがって、効率的に洗浄処理を行うことができ
る。
【００３０】なお、本発明は上記の実施例に限定される
ものではなく、以下のように変形実施が可能である。
ものではなく、以下のように変形実施が可能である。
【００３１】（１）可搬型の筐体３は、可搬型であれば
形状や大きさは種々の実施態様を採用できる。例えば、
人が直接的に運ぶことができない大きさや重さであって
も、台車等に載置して移動することができる形態も含
む。
形状や大きさは種々の実施態様を採用できる。例えば、
人が直接的に運ぶことができない大きさや重さであって
も、台車等に載置して移動することができる形態も含
む。
【００３２】（２）複数個の洗浄液循環タンクを備えて
いる洗浄装置１Ａでは、各々のタンクに専用の屈曲配管
を配備してもよい。
いる洗浄装置１Ａでは、各々のタンクに専用の屈曲配管
を配備してもよい。
【００３３】（３）ハンドル５に代えて、可搬型筐体１
の下面に車輪を設けて可搬型を構成するようにしてもよ
い。
の下面に車輪を設けて可搬型を構成するようにしてもよ
い。
【００３４】（４）連結配管は、上述した屈曲配管２
１，２３のように屈曲する構造に限定されるものではな
く、固定式の配管を採用してもよい。また、固定式の配
管を管継手で接続した多関節式の配管を用いてもよい。
１，２３のように屈曲する構造に限定されるものではな
く、固定式の配管を採用してもよい。また、固定式の配
管を管継手で接続した多関節式の配管を用いてもよい。
【００３５】＜基板処理装置＞次に、上述した洗浄装置
を備えた基板処理装置について図４を参照して説明す
る。なお、図４は、洗浄装置を備えた基板処理装置の概
略構成を示すブロック図である。
を備えた基板処理装置について図４を参照して説明す
る。なお、図４は、洗浄装置を備えた基板処理装置の概
略構成を示すブロック図である。
【００３６】この基板処理装置５１は、上述した洗浄装
置１（または洗浄装置１Ａ）と、保持アーム５３と、処
理部である処理槽５５と、処理液配管５７とを備えてい
る。保持アーム５３は、処理を施すための複数枚の基板
Ｗを保持し、処理槽５５の上方と、図１に示す浸漬位置
との間を昇降可能である。処理槽５５は、その底部に、
処理液を注入する注入管５９を備えている。また、その
上部周囲には、溢れた処理液を回収して排出する回収槽
６０を備えている。注入管５９には、処理液配管５７が
連通接続されている。
置１（または洗浄装置１Ａ）と、保持アーム５３と、処
理部である処理槽５５と、処理液配管５７とを備えてい
る。保持アーム５３は、処理を施すための複数枚の基板
Ｗを保持し、処理槽５５の上方と、図１に示す浸漬位置
との間を昇降可能である。処理槽５５は、その底部に、
処理液を注入する注入管５９を備えている。また、その
上部周囲には、溢れた処理液を回収して排出する回収槽
６０を備えている。注入管５９には、処理液配管５７が
連通接続されている。
【００３７】処理液配管５７は、本発明における配管部
品に相当するフィルタ６１と、温度調節機能を備える加
熱器６３と、ポンプ６５とを備えている。フィルタ６１
は処理液中のパーティクル等を除去するものであり、加
熱器６３は処理液を所定の温度に昇温調節するものであ
る。また、ポンプ６５は、図示しない処理液供給源から
処理槽５５に供給された処理液を、回収槽６０と処理槽
５５とにわたって循環流通させる。
品に相当するフィルタ６１と、温度調節機能を備える加
熱器６３と、ポンプ６５とを備えている。フィルタ６１
は処理液中のパーティクル等を除去するものであり、加
熱器６３は処理液を所定の温度に昇温調節するものであ
る。また、ポンプ６５は、図示しない処理液供給源から
処理槽５５に供給された処理液を、回収槽６０と処理槽
５５とにわたって循環流通させる。
【００３８】さらに処理液配管５７は、上述したフィル
タ６１と、加熱器６３と、ポンプ６５の各々を挟み込む
ように４個の三方弁６７〜７０を備えている。なお、こ
れらの三方弁６７〜７０が本発明における流通遮断手段
に相当する。各三方弁６７〜７０は、処理液配管５７に
直接接続されていない残りの部分が連結部７１〜７４と
なっている。
タ６１と、加熱器６３と、ポンプ６５の各々を挟み込む
ように４個の三方弁６７〜７０を備えている。なお、こ
れらの三方弁６７〜７０が本発明における流通遮断手段
に相当する。各三方弁６７〜７０は、処理液配管５７に
直接接続されていない残りの部分が連結部７１〜７４と
なっている。
【００３９】例えば、連結部７２は洗浄液供給用であ
り、連結部７１は排液用である。連結部７１，７２に
は、洗浄装置１（または洗浄装置１Ａ）の屈曲配管２
３，２１がそれぞれ接続されている。
り、連結部７１は排液用である。連結部７１，７２に
は、洗浄装置１（または洗浄装置１Ａ）の屈曲配管２
３，２１がそれぞれ接続されている。
【００４０】次に、上記のように構成された基板処理装
置の洗浄時における動作について説明する。なお、ポン
プ６５は予め停止され、保持アーム５３も処理槽５５の
上方に上昇されて待避しているものとする。
置の洗浄時における動作について説明する。なお、ポン
プ６５は予め停止され、保持アーム５３も処理槽５５の
上方に上昇されて待避しているものとする。
【００４１】●フィルタ洗浄
屈曲配管２１を三方弁６８の連結部７２に接続し、屈曲
配管２３を三方弁６７の連結部７１に接続する。そし
て、両三方弁６７，６８を操作して、それぞれ連結部７
１，７３側に切換える。これによりフィルタ６１内の残
液及び循環圧力が三方弁６７を通して排出されるととも
に、洗浄装置１から三方弁６８を通して供給された洗浄
液によってフィルタ６１が洗浄される。なお、必要であ
れば、所定時間の洗浄処理の後、フィルタ６１を新たな
ものに取り替える。そして、両三方弁６７，６８を元の
状態に切換えた後、処理液を流通させて基板Ｗの処理を
行う。
配管２３を三方弁６７の連結部７１に接続する。そし
て、両三方弁６７，６８を操作して、それぞれ連結部７
１，７３側に切換える。これによりフィルタ６１内の残
液及び循環圧力が三方弁６７を通して排出されるととも
に、洗浄装置１から三方弁６８を通して供給された洗浄
液によってフィルタ６１が洗浄される。なお、必要であ
れば、所定時間の洗浄処理の後、フィルタ６１を新たな
ものに取り替える。そして、両三方弁６７，６８を元の
状態に切換えた後、処理液を流通させて基板Ｗの処理を
行う。
【００４２】●加熱器洗浄
屈曲配管２１を三方弁６９の連結部７３に接続し、接続
配管２３を三方弁６８の連結部７２に接続する。それ以
降は、上記フィルタ６１の洗浄処理と同様の手順である
ので説明については省略する。
配管２３を三方弁６８の連結部７２に接続する。それ以
降は、上記フィルタ６１の洗浄処理と同様の手順である
ので説明については省略する。
【００４３】●ポンプ洗浄
屈曲配管２１を三方弁７０の連結部７４に接続し、もう
一つの屈曲配管２３を三方弁６９の連結部７３に接続す
る。それ以降は、上述したフィルタ６１の洗浄処理と同
様であるので説明は省略する。
一つの屈曲配管２３を三方弁６９の連結部７３に接続す
る。それ以降は、上述したフィルタ６１の洗浄処理と同
様であるので説明は省略する。
【００４４】本実施例によれば、処理槽５５と処理液配
管５７とが三方弁６７〜７０のいずれかによって遮断さ
れるので、処理槽５５内に貯留している大量の処理液を
排出することなくフィルタ６１、加熱器６３、ポンプ６
５を洗浄できる。したがって、処理液の損失が抑制で
き、すぐに洗浄に取りかかることができる。また、フィ
ルタ６１と、加熱器６３と、ポンプ６５を挟む近い位置
に一対の三方弁（６７と６８、６８と６９、６９と７
０）を設けることにより、処理液配管５７内の処理液の
無駄も抑制でき、無駄になる処理液の量をさらに抑制で
きる。
管５７とが三方弁６７〜７０のいずれかによって遮断さ
れるので、処理槽５５内に貯留している大量の処理液を
排出することなくフィルタ６１、加熱器６３、ポンプ６
５を洗浄できる。したがって、処理液の損失が抑制で
き、すぐに洗浄に取りかかることができる。また、フィ
ルタ６１と、加熱器６３と、ポンプ６５を挟む近い位置
に一対の三方弁（６７と６８、６８と６９、６９と７
０）を設けることにより、処理液配管５７内の処理液の
無駄も抑制でき、無駄になる処理液の量をさらに抑制で
きる。
【００４５】＜変形例＞図５は、上記基板処理装置の変
形例に関する概略構成を示す図である。なお、上述した
実施例と共通の構成については同符号を付すことで詳細
な説明については省略してある。
形例に関する概略構成を示す図である。なお、上述した
実施例と共通の構成については同符号を付すことで詳細
な説明については省略してある。
【００４６】上記の実施例では、フィルタ６１と、加熱
器６３と、ポンプ６５の各々に三方弁を設けたが、本実
施例に係る基板処理装置５１Ａではこれらの配管部品を
一括して挟み込むように三方弁６７，７０を設けてい
る。したがって、洗浄する際には、フィルタ６１と、加
熱器６３と、ポンプ６５の全てを同時に洗浄することに
なる。
器６３と、ポンプ６５の各々に三方弁を設けたが、本実
施例に係る基板処理装置５１Ａではこれらの配管部品を
一括して挟み込むように三方弁６７，７０を設けてい
る。したがって、洗浄する際には、フィルタ６１と、加
熱器６３と、ポンプ６５の全てを同時に洗浄することに
なる。
【００４７】このようにフィルタ６１と、加熱器６３
と、ポンプ６５を挟んで三方弁６７，７０を設け、洗浄
装置１（１Ａ）の屈曲配管２１を三方弁７０の連結部７
４に接続し、屈曲配管２３を三方弁６７の連結部７３に
接続することにより、一度の処理で全ての配管部品を洗
浄することができる。
と、ポンプ６５を挟んで三方弁６７，７０を設け、洗浄
装置１（１Ａ）の屈曲配管２１を三方弁７０の連結部７
４に接続し、屈曲配管２３を三方弁６７の連結部７３に
接続することにより、一度の処理で全ての配管部品を洗
浄することができる。
【００４８】なお、上記の基板処理装置は、処理槽５５
と回収槽６０とに処理液配管５７が連通接続されて処理
液が循環するタイプであるが、処理液配管５７から供給
されて処理槽５５から回収槽６０に溢れた処理液が循環
することなく排出されるタイプであってもよい。
と回収槽６０とに処理液配管５７が連通接続されて処理
液が循環するタイプであるが、処理液配管５７から供給
されて処理槽５５から回収槽６０に溢れた処理液が循環
することなく排出されるタイプであってもよい。
【００４９】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係る洗浄装置によれば、筐体に収納された洗浄液供給
手段から洗浄液を供給し、洗浄液回収手段で洗浄液を回
収することにより、処理部内の処理液を排出することな
く配管部品を洗浄液で洗浄することができ、処理液の飛
散が防止できる。したがって、安全に作業を行えるとと
もに、処理液の損失が抑制できて洗浄を短時間化でき
る。
に係る洗浄装置によれば、筐体に収納された洗浄液供給
手段から洗浄液を供給し、洗浄液回収手段で洗浄液を回
収することにより、処理部内の処理液を排出することな
く配管部品を洗浄液で洗浄することができ、処理液の飛
散が防止できる。したがって、安全に作業を行えるとと
もに、処理液の損失が抑制できて洗浄を短時間化でき
る。
【図１】実施例に係る洗浄装置の概略構成を示す縦断面
図である。
図である。
【図２】図１の洗浄装置の外観斜視図である。
【図３】変形例の概略構成を示す縦断面図である。
【図４】洗浄装置を備えた基板処理装置の概略構成を示
すブロック図である。
すブロック図である。
【図５】変形例の概略構成を示すブロック図である。
１，１Ａ … 洗浄装置
３ … 筐体
５ … ハンドル
７，７Ａ，７Ｂ … 洗浄液循環タンク（洗浄液供給手
段） ９ … 供給配管（洗浄液供給手段） １１ … ポンプ（洗浄液供給手段） １３ … 戻り配管 １５ … 三方弁（洗浄液回収手段） １７ … 分岐配管（洗浄液回収手段） １９ … 洗浄液回収タンク（洗浄液回収手段） ２１，２３ … 屈曲配管（連結配管） ２５，２７ … 連結部（連結配管） Ｗ … 基板 ５１ … 基板処理装置 ５３ … 保持アーム ５５ … 処理槽（処理部） ５７ … 処理液配管 ５９ … 注入管 ６０ … 回収槽 ６１ … フィルタ ６３ … 加熱器 ６５ … ポンプ ６７〜７０ … 三方弁（流通遮断手段） ７１〜７４ … 連結部
段） ９ … 供給配管（洗浄液供給手段） １１ … ポンプ（洗浄液供給手段） １３ … 戻り配管 １５ … 三方弁（洗浄液回収手段） １７ … 分岐配管（洗浄液回収手段） １９ … 洗浄液回収タンク（洗浄液回収手段） ２１，２３ … 屈曲配管（連結配管） ２５，２７ … 連結部（連結配管） Ｗ … 基板 ５１ … 基板処理装置 ５３ … 保持アーム ５５ … 処理槽（処理部） ５７ … 処理液配管 ５９ … 注入管 ６０ … 回収槽 ６１ … フィルタ ６３ … 加熱器 ６５ … ポンプ ６７〜７０ … 三方弁（流通遮断手段） ７１〜７４ … 連結部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｈ０１Ｌ 21/304 Ｂ０８Ｂ 9/02 Ｚ
Ｆターム(参考） 2H088 FA21 FA30 HA01 MA20
2H090 HC18 JB02 JC19
3B116 AA13 AB53 BB62 BB90 CD22
3B201 AA13 AB53 BB62 BB90 BB92
CD22
Claims (7)
- 【請求項１】 基板処理装置の処理部に処理液を供給す
る処理液配管に備えられた配管部品を洗浄する洗浄装置
において、 前記配管部品を挟んで上流側及び下流側の前記処理液配
管に連通接続された２つの連結配管と、 前記処理液配管から前記処理部への処理液の流通を遮断
した状態で、前記２つの連結配管のうち一方の連結配管
を介して前記処理液配管に洗浄液を供給するための洗浄
液供給手段と、 前記処理液配管から前記処理部への処理液の流通を遮断
した状態で、前記２つの連結配管のうち他方の連結配管
を介して前記処理液配管から洗浄液を回収するための洗
浄液回収手段と、 前記洗浄液供給手段及び前記洗浄液回収手段を収納する
筐体と、 を備えていることを特徴とする洗浄装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の洗浄装置において、 前記洗浄液供給手段は、 洗浄液を貯留する洗浄液循環タンクと、 前記洗浄液循環タンク内の洗浄液を前記一方の連結配管
に圧送する圧送手段と、 前記配管部品を通った洗浄液を前記他方の連結配管を介
して前記洗浄液循環タンクに回収する戻り配管とを備
え、 前記洗浄液回収手段は、 前記戻り配管から分岐した分岐配管と、 前記分岐配管からの洗浄液を回収する洗浄液回収タンク
と、 前記戻り配管内の洗浄液を、前記洗浄液循環タンク側と
前記洗浄液回収タンク側のいずれか一方に切換える切り
換え弁とを備えていることを特徴とする洗浄装置。 - 【請求項３】 請求項１または２に記載の洗浄装置にお
いて、 前記洗浄液循環タンクは、複数個であり、前記処理部に
用いられる処理液に応じた洗浄液を貯留することを特徴
とする洗浄装置。 - 【請求項４】 配管部品を有し、処理部に処理液を供給
する処理液配管と、 前記処理液配管から前記処理部への処理液の流通を遮断
する流通遮断手段と、 前記処理液配管に連通接続された２つの連結配管、前記
流通遮断手段により前記処理液配管から前記処理部への
処理液の流通を遮断した状態で、前記２つの連結配管の
うち一方の連結配管を介して前記処理液配管に洗浄液を
供給するための洗浄液供給手段、前記流通遮断手段によ
り前記処理液配管から前記処理部への処理液の流通を遮
断した状態で、前記２つの連結配管のうち他方の連結配
管を介して前記処理液配管から洗浄液を回収するための
洗浄液回収手段、及び前記洗浄液供給手段及び前記洗浄
液回収手段を収納する筐体を有する洗浄装置と、 を備えていることを特徴とする基板処理装置。 - 【請求項５】 請求項４に記載の基板処理装置におい
て、 前記流通遮断手段は、各配管部品を挟んで上流側及び下
流側の前記処理液配管に設けられていることを特徴とす
る基板処理装置。 - 【請求項６】 請求項４に記載の基板処理装置におい
て、 前記流通遮断手段は、複数個の配管部品を挟んで前記処
理液配管に設けられていることを特徴とする基板処理装
置。 - 【請求項７】 請求項４ないし６のいずれかに記載の基
板処理装置において、 前記洗浄液循環タンクは、複数個であり、前記処理部で
用いられる処理液に応じた洗浄液を貯留することを特徴
とする基板処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002058844A JP2003251290A (ja) | 2002-03-05 | 2002-03-05 | 洗浄装置及びこれを備えた基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002058844A JP2003251290A (ja) | 2002-03-05 | 2002-03-05 | 洗浄装置及びこれを備えた基板処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003251290A true JP2003251290A (ja) | 2003-09-09 |
Family
ID=28668702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002058844A Pending JP2003251290A (ja) | 2002-03-05 | 2002-03-05 | 洗浄装置及びこれを備えた基板処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003251290A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007301462A (ja) * | 2006-05-10 | 2007-11-22 | Asahi Breweries Ltd | タンク構造部の洗浄方法 |
| JP2009028696A (ja) * | 2007-07-30 | 2009-02-12 | Asahi Breweries Ltd | 溶存ガス圧測定装置の洗浄装置、及び、洗浄方法 |
| JP2012528000A (ja) * | 2009-05-28 | 2012-11-12 | ウンジンコーウエイ カンパニイ リミテッド | 水処理機器用洗浄装置及びその洗浄方法 |
| KR20150060547A (ko) * | 2013-11-25 | 2015-06-03 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 필터 세정 방법, 액처리 장치 및 기억 매체 |
| JP2016119414A (ja) * | 2014-12-22 | 2016-06-30 | 東京エレクトロン株式会社 | 金属汚染除去方法および金属汚染除去装置 |
| JP2016213450A (ja) * | 2015-04-30 | 2016-12-15 | 環球晶圓股▲ふん▼有限公司 | ウェーハ回転装置 |
| JP2017131861A (ja) * | 2016-01-29 | 2017-08-03 | 有限会社加藤創研 | ポリ塩化ビフェニル汚染変圧器の可搬型洗浄システム |
-
2002
- 2002-03-05 JP JP2002058844A patent/JP2003251290A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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