JP2015102389A - ウェーハの検出方法 - Google Patents
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Abstract
Description
2 サポートウェーハ
3 ウェーハ
4 チャックテーブル
5 第一の撮像手段
6 第二の撮像手段
7 切削ブレード
31 面取り部
32 外周エッジ
33 低倍率エッジ(エッジ)
34 低倍率外周エッジ位置座標(外周エッジ位置座標)
36 高倍率エッジ
37 平坦面
41 保持面
Claims (2)
- サポートウェーハ及び該サポートウェーハ上に貼着された該サポートウェーハと略同一直径のウェーハからなる積層ウェーハの該サポートウェーハ側を保持して回転可能なチャックテーブルと、該チャックテーブルの保持面に保持されたウェーハの上面を撮像する第一の撮像手段と、該チャックテーブルの該保持面に保持されたウェーハに加工を施す加工手段と、を少なくとも備えた加工装置において、該保持面に載置したウェーハの中心位置を検出するウェーハの検出方法であって、
該チャックテーブルの該保持面に積層ウェーハの該サポートウェーハ側を載置するウェーハ載置ステップと、
該ウェーハの外周エッジの任意の3箇所を該第一の撮像手段で撮像して画像を取得し、画像処理により3箇所のエッジの位置座標を検出する第一のエッジ位置検出ステップと、
該第一のエッジ位置検出ステップを実施した後に、該エッジの位置座標3点からウェーハの中心位置を算出し、ついで該中心位置及びウェーハの設計値に基づき外周エッジ位置座標を算出する外周エッジ算出ステップと、を備え、
該積層ウェーハにおいては、ウェーハの外周に表面側から裏面側にわたって断面円弧状に面取りされた面取り部が形成され、ウェーハと該サポートウェーハはそれぞれの中心位置がずれた状態で且つウェーハの下方からサポートウェーハが僅かに露出した状態で積層されており、
該第一のエッジ位置検出ステップにおいては、
該第一の撮像手段の光源からウェーハの表面に対して垂直に光を照射し、ウェーハの該面取り部及び該サポートウェーハは暗く且つウェーハの該面取り部よりも内側の平坦面内をハレーションさせて、該第一の撮像手段でウェーハの該面取り部内周の白黒の境界をエッジとして検出すること、
を特徴とするウェーハの検出方法。 - 該チャックテーブルの該保持面に保持されたウェーハの上面を、該第一の撮像手段よりも高倍率の撮像領域にて撮像して高倍率画像を取得する第二の撮像手段をさらに備えた該加工装置において、該保持面に載置したウェーハの中心位置を検出するウェーハの検出方法であって、
該外周エッジ算出ステップを実施した後に、算出された該外周エッジ位置座標の任意の3箇所に該第二の撮像手段を位置付けて撮像して3つの高倍率画像を取得し、画像処理により3箇所の高倍率エッジの位置座標を検出する第二のエッジ位置検出ステップと、
該第二のエッジ位置検出ステップを実施した後に、該高倍率エッジの位置座標3点から中心位置を算出する中心位置算出ステップと、を備え、
該第二のエッジ位置検出ステップにおいては、
ウェーハの下方からサポートウェーハが僅かに露出した位置に該第二の撮像手段が位置付けられ、ウェーハ及びサポートウェーハの両方のエッジが該高倍率の撮像領域内に入ってしまうことにより複数の高倍率エッジが検出された場合には、当該高倍率画像は破棄するとともに該第二の撮像手段を該外周エッジ位置座標の任意の他の位置に位置付け、
ウェーハのエッジのみが該高倍率の撮像領域内に入る位置に該第二の撮像手段が位置付けられ、高倍率画像内の該外周エッジ位置座標から所定範囲内に高倍率エッジが一つのみ検出された場合には、当該高倍率画像により高倍率エッジの位置座標を検出する請求項1に記載のウェーハの検出方法。
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