JP5602548B2 - 加工位置検出方法 - Google Patents
加工位置検出方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5602548B2 JP5602548B2 JP2010196197A JP2010196197A JP5602548B2 JP 5602548 B2 JP5602548 B2 JP 5602548B2 JP 2010196197 A JP2010196197 A JP 2010196197A JP 2010196197 A JP2010196197 A JP 2010196197A JP 5602548 B2 JP5602548 B2 JP 5602548B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- positional relationship
- similarity
- cutting
- division
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Dicing (AREA)
Description
11 被加工物(ワーク)
12 チャックテーブル
13 撮像手段
14 記憶手段
20 切削手段
22 切削ブレード
C 制御手段
P1 第一のパターン
P2 第二のパターン
L1,L2 分割予定ライン
Claims (1)
- パターンが等間隔に形成されているワークをダイシング加工するためにワークの分割予定ラインの位置を認識する加工位置検出方法であって、
該パターンは、
第一のパターンと、
該第一のパターンに類似する第二のパターンとを含み、
該第一のパターンと該第二のパターンとは該分割予定ラインの伸びる方向に直交する方向に等間隔に交互に形成され、
隣り合う該分割予定ラインの間には該第一のパターンと該第二のパターンが一つずつ形成され、
該第一のパターンをターゲットパターンとして予め記憶するターゲットパターン記憶工程と、
該第一のパターンと該分割予定ラインとの相対的位置関係を第一の位置関係として予め記憶する第一の位置関係記憶工程と、
該第一のパターンと該第二のパターンとの相対的位置関係を第二の位置関係として予め記憶する第二の位置関係記憶工程と、
画像認識によって該第一のパターン又は該第二のパターンの何れかであるパターンを認識し、該ターゲットパターンとの形状の比較を行って第一の類似度を算出する第一の類似度算出工程と、
該第二の位置関係に基づいて、該第一の類似度算出工程で認識したパターンと異なる該第一のパターン又は該第二のパターンを撮像する位置へ撮像領域を移動させる撮像領域移動工程と、
画像認識によって該第一の類似度算出工程で認識したパターンと異なる該第一のパターン又は該第二のパターンの何れかであるパターンを認識し、該ターゲットパターンとの形状の比較を行って第二の類似度を算出する第二の類似度算出工程と、
該第一の類似度と該第二の類似度とを比較することによって該第一の類似度算出工程又は該第二の類似度算出工程の何れかで認識したパターンが該第一のパターンであることを検出する第一のパターン検出工程と、
該第一のパターン及び該第一の位置関係に基づいて該分割予定ラインの位置を算出する工程と、を含む加工位置検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010196197A JP5602548B2 (ja) | 2010-09-01 | 2010-09-01 | 加工位置検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010196197A JP5602548B2 (ja) | 2010-09-01 | 2010-09-01 | 加工位置検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012054429A JP2012054429A (ja) | 2012-03-15 |
JP5602548B2 true JP5602548B2 (ja) | 2014-10-08 |
Family
ID=45907445
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010196197A Active JP5602548B2 (ja) | 2010-09-01 | 2010-09-01 | 加工位置検出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5602548B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6607639B2 (ja) * | 2015-12-24 | 2019-11-20 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60244803A (ja) * | 1984-05-21 | 1985-12-04 | Disco Abrasive Sys Ltd | 自動精密位置合せシステム |
JPH02138670A (ja) * | 1987-08-31 | 1990-05-28 | Nitto Denko Corp | 半導体ウエハの位置合わせ装置 |
JP4342807B2 (ja) * | 2003-02-07 | 2009-10-14 | 株式会社ディスコ | アライメント方法およびアライメント装置 |
JP2010010539A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Disco Abrasive Syst Ltd | アライメント手段を備えた加工装置 |
CN101996398B (zh) * | 2009-08-12 | 2012-07-04 | 睿励科学仪器(上海)有限公司 | 用于晶圆对准的图像匹配方法及设备 |
-
2010
- 2010-09-01 JP JP2010196197A patent/JP5602548B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012054429A (ja) | 2012-03-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6215059B2 (ja) | マーク検出方法 | |
JP6174980B2 (ja) | ウェーハの検出方法 | |
JP5686545B2 (ja) | 切削方法 | |
JP5486405B2 (ja) | ウェーハの中心位置検出方法 | |
CN106920775B (zh) | 晶片的加工方法 | |
JP5057489B2 (ja) | アライメント装置及びアライメント方法 | |
JP6061776B2 (ja) | 切削溝の検出方法 | |
JP6422355B2 (ja) | アライメント方法 | |
JP7437958B2 (ja) | ウエーハの中心検出方法及びウエーハの中心検出装置 | |
JP6004761B2 (ja) | ダイシング方法 | |
JP5602548B2 (ja) | 加工位置検出方法 | |
TWI603425B (zh) | processing method | |
JP4436641B2 (ja) | 切削装置におけるアライメント方法 | |
JP6302658B2 (ja) | 加工方法 | |
JP5011003B2 (ja) | 位置合わせ方法 | |
TW202232052A (zh) | 缺口檢測方法 | |
JP2015075347A (ja) | アライメント方法 | |
TWI498993B (zh) | 首顆晶粒之自動定位方法 | |
JP2014239134A (ja) | ウェーハの加工方法 | |
KR101993670B1 (ko) | 촬영 방법 및 촬영 방법을 이용한 대상물 정렬 방법 | |
JP5686542B2 (ja) | 分割予定ラインの検出方法 | |
JP5835981B2 (ja) | プラズマエッチング確認装置 | |
KR20220127149A (ko) | 처리 장치 | |
JP6086810B2 (ja) | 加工方法 | |
JP2019075405A (ja) | ウェーハの加工方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130807 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140724 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140805 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140820 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5602548 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |