JP6362908B2 - 積層円形板状物の加工方法 - Google Patents
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Description
まず、保持テーブル20で積層円形板状物10を保持する。保持テーブル20は、XY平面に平行な保持面21を備え、保持面21に垂直な±Z方向に平行な回転軸29を中心として回転可能となっている。回転軸29は、保持面21の中心を通っている。保持ステップでは、円形板状物11の裏面を下(−Z方向)に向けて積層円形板状物10を保持テーブル20の保持面21に載置し、保持テーブル20は、保持面21において、載置された積層円形板状物10を吸引保持する。保持テーブル20に保持された積層円形板状物10は、円形板状物11の裏面が保持テーブル20の保持面21に接触して保持され、積層部12の円形平坦部122が上(+Z方向)側に露出する。
保持ステップを実施した後、積層円形板状物10が保持テーブル20に保持された状態で、例えば図2に示す撮像手段30を用いて、円形平坦部122と傾斜部123との境界124の水平位置(XY平面内における位置)を検出する。撮像手段30は、円形平坦部122よりも上方(+Z方向側)でかつ、円形平坦部122と傾斜部123との境界124よりも保持テーブル20の回転軸29に近い位置に配置され、光軸39が±Z方向に対して所定の角度αを有し、円形平坦部122と傾斜部123との境界124付近を内側から斜めに撮影する。
次に、検出ステップで計測した円形平坦部122と傾斜部123との境界124と保持テーブル20の回転軸29との間の距離、及び、計測時における保持テーブル20の回転角度に基づいて、検出した円形平坦部122と傾斜部123との境界124の位置を算出する。例えば、保持テーブル20の回転軸29と円形平坦部122との交点を原点として境界124のXY座標を算出する。少なくとも3回計測するので、少なくとも3つの座標が算出される。
次に、図5に示すように、保持テーブル20に積層円形板状物10が保持された状態で、保持テーブル20を回転させ、切削手段50を用いて積層部12の外周部分を切削する。切削手段50は、スピンドル52の先端に切削ブレード51が装着されて構成されており、スピンドル52は、±Y方向に平行でかつ保持テーブル20の回転軸29と交わる回転軸59を中心として回転することにより切削ブレード51を回転させる。
12…積層部、122…円形平坦部、123…傾斜部、124…境界、125…先端部、
13…接着剤、17…外周縁、
20…保持テーブル、21…保持面、29…回転軸、
30…撮像手段、39…光軸、
40…背圧センサ、41…ノズル、48…流体、
50…切削手段、51…切削ブレード、52…スピンドル、59…回転軸
Claims (1)
- 所定サイズを有する円形板状物上に該所定サイズより小さいサイズの円形平坦部と該円形平坦部から外周側に向けて傾斜し該円形平坦部を囲繞する傾斜部とを有する積層部が形成された積層円形板状物の加工方法であって、
積層円形板状物を保持する保持面を有する回転可能なチャックテーブルの該保持面において積層円形板状物の該円形板状物側を保持して該積層部を露出させる保持ステップと、
該保持ステップを実施した後、該円形平坦部と該傾斜部との境界位置を検出する検出ステップと、
該検出ステップで検出した該境界位置に基づいて、該積層部に回転する切削ブレードを切り込ませつつ積層円形板状物を保持した該保持テーブルを回転させることで、該傾斜部を除去する切削ステップと、
を備え、
前記検出ステップでは、撮像手段を用いて、前記積層部の前記傾斜部が写らないように該保持テーブルの回転軸に対して光軸が傾斜した角度から該積層部を撮像し、撮像画像に基づいて前記境界位置を検出する
加工方法。
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JP2014077871A JP6362908B2 (ja) | 2014-04-04 | 2014-04-04 | 積層円形板状物の加工方法 |
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JP2015199141A JP2015199141A (ja) | 2015-11-12 |
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2014
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