JP2015096313A - ガラスフィルム積層体および液晶パネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ガラスフィルムのハンドリング性の向上を図りつつ、光点不良および破損の発生を防止することを可能にしたガラスフィルム積層体および液晶パネルの製造方法を提供する。【解決手段】支持体１１たる支持ガラス１２にガラスフィルム１０を積層して作製されるガラスフィルム積層体１であって、ガラスフィルム１０の支持ガラス１２との接触面１０ａ側とは反対側の面である有効面１０ｂ側のみにおいて、ガラスフィルム１０の外周縁に面取り部１５を備える。【選択図】図５

Description

本発明は、ガラスフィルム積層体および液晶パネルの製造方法の技術に関する。

省スペース化の観点から、従来普及していたＣＲＴ型ディスプレイに替わり、近年は液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイが普及している。
そして、これらのフラットパネルディスプレイにおいては、更なる薄型化へのニーズが存在している。

近年、フラットパネルディスプレイ等のデバイスに使用される基板やカバーガラスには、更なる薄化と高い可撓性を実現することへのニーズが高まっている。
ガラス基板に可撓性を付与するには、ガラス基板を薄化するのが有効であり、下記特許文献１には、厚み２００μｍ以下のガラスフィルムが提案されている。

フラットパネルディスプレイや太陽電池等の電子デバイスに使用されるガラス基板には、加工処理や洗浄処理等、様々な製造関連処理がなされる。
ところが、これら電子デバイスに使用されるガラス基板を薄化すると、ガラスは脆性材料であるため、多少の応力変化により破損に至り、上述した各種電子デバイス製造関連処理を行う際に、取扱いが大変困難であるという問題がある。
加えて、厚み２００μｍ以下のガラスフィルムは可撓性に富むため、処理を行う際に位置決めを行い難く、パターニング時にずれ等が生じるという問題もある。

また、薄化したガラスフィルムの取り扱い性を向上させるために、下記特許文献１では、支持ガラス上にガラスフィルムを積層させたガラスフィルム積層体が提案されている。
これによれば、単体では強度や剛性のないガラスフィルムを用いても、支持ガラスの剛性が高いため、処理の際にガラスフィルム積層体全体として位置決めが容易となる。
また、処理終了後は、ガラスフィルムを破損することなく速やかに支持ガラスから剥離することが可能となっている。
ガラスフィルム積層体の厚みを従来のガラス基板の厚みと同一とすれば、従来のガラス基板用の電子デバイス製造ラインを共用して、電子デバイスを製造することも可能になる。

特開２０１１−１８３７９２号公報

特許文献１に示されたガラスフィルム積層体を、液晶パネル用基板として用いる場合には、ガラスフィルム上に塗布したポリイミド配向膜に対するラビング工程が存在している。そして、ラビング工程においては、ポリイミド配向膜をラビングローラで一定方向に擦るときに、ラビングローラがガラスフィルムのエッジ部と接触することで摩耗し、千切れたラビング布の繊維がガラスフィルムの有効面上に散らばって、液晶パネルに光点不良の不具合を引き起こすという問題がある。
そこで、ガラスフィルムのラビング時におけるラビングローラの摩耗を抑制して、光点不良の発生を防止することが望まれていた。

また、特許文献１に示されたガラスフィルム積層体では、ガラスフィルムと支持ガラスに分離するときに、ガラスフィルムのエッジ部に微細な凹凸があると、該凹凸を起点として亀裂が生じ、破損に至るという問題がある。上記微細な凹凸としては、ガラスフィルムをスクライブ線に沿って割断するときに、その割断部におけるスクライブ線の形成部に生じるものがある。
そこで、ガラスフィルムの剥離時における破損の発生を抑制して、ガラスフィルムの歩留まりを向上させることが望まれていた。

本発明は、斯かる現状の課題を鑑みてなされたものであり、ガラスフィルムのハンドリング性の向上を図りつつ、光点不良および破損の発生を防止することを可能にしたガラスフィルム積層体および液晶パネルの製造方法を提供することを目的としている。

本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。

請求項１に係る発明は、支持体にガラスフィルムを積層して作製されるガラスフィルム積層体であって、前記ガラスフィルムの前記支持体との接触面側とは反対側の面である有効面側のみにおいて、前記ガラスフィルムの外周縁に面取り部を備える、ことを特徴とする。

請求項２に係る発明は、前記面取り部における面取りの量は、前記ガラスフィルムの厚みの５０％以下である、ことを特徴とする。

請求項３に係る発明は、前記ガラスフィルムは、スクライブ線が形成されるとともに、前記スクライブ線に沿って割断されており、前記スクライブ線が形成された側の面を、前記有効面として選択する、ことを特徴とする。

請求項４に係る発明は、前記支持体は、支持ガラスである、ことを特徴とする。

請求項５に係る発明は、前記支持ガラスに前記ガラスフィルムが直接積層され、前記ガラスフィルムと前記支持ガラスとが互いに接触する夫々の接触面の表面粗さＲａが、いずれも２．０ｎｍ以下である、ことを特徴とする。

請求項６に係る発明は、支持体上にガラスフィルムを積層してガラスフィルム積層体を作製する第１の工程と、前記ガラスフィルムの表面に液晶配向膜を形成する第２の工程と、前記液晶配向膜の表面をラビングローラで一定方向に擦るラビング工程を含み、前記ガラスフィルム積層体における前記ガラスフィルムの表面に液晶素子を形成して、支持体付液晶パネルを作製する第３の工程と、前記支持体付液晶パネルから前記支持体を剥離して液晶パネルを作製する第４の工程と、を有する液晶パネルの製造方法であって、前記第２の工程より前に、前記ガラスフィルムの前記支持体との接触面側とは反対側の面である有効面側のみにおいて、前記ガラスフィルムの外周縁に面取り部を形成する、ことを特徴とする。

請求項７に係る発明は、前記面取り部における面取りの量は、前記ガラスフィルムの厚みの５０％以下である、ことを特徴とする。

請求項８に係る発明は、前記ガラスフィルムは、スクライブ線が形成され、該スクライブ線に沿って割断されたものであり、前記スクライブ線が形成された側の面を、前記有効面として選択する、ことを特徴とする。

本発明の効果として、以下に示すような効果を奏する。

請求項１に係る発明によれば、ガラスフィルムを液晶パネル用基板に使用する場合において、ラビングローラの摩耗を抑制することができる。
これにより、ガラスフィルム積層体を用いて液晶パネルを作製する場合において、光点不良の発生を抑制することができる。

請求項２に係る発明によれば、ガラスフィルムと支持体を分離するときに、ガラスフィルムが破損するのを防止できる。

請求項３に係る発明によれば、ガラスフィルムの下面に薬液等が浸透するのを防止できる。
これにより、薬液によってガラスフィルムと支持体が局所的に固着することを防止して、ひいては、剥離時におけるガラスフィルムの破損を防止することができる。

請求項４に係る発明によれば、ガラスフィルムと支持ガラスとの熱膨張係数を合わせやすく、製造関連処理の際に熱処理を行ったとしても、熱反りや割れ等が生じにくいガラスフィルム積層体とすることが可能となる。

請求項５に係る発明によれば、ガラスフィルムと支持ガラスとが滑らかな表面同士で接触するため密着性が良く、接着剤を使用しなくてもガラスフィルムと支持ガラスとを強固に安定して積層させることが可能となる。

請求項６に係る発明によれば、ガラスフィルムを液晶パネル用基板に使用する場合において、ラビングローラの摩耗を抑制することができる。
これにより、ガラスフィルムを用いた液晶パネルにおいて、光点不良が発生するのを抑制することができる。

請求項７に係る発明によれば、ガラスフィルムと支持ガラスを分離するときに、ガラスフィルムが破損するのを防止できる。

請求項８に係る発明によれば、ガラスフィルムの下面に薬液等が浸透するのを防止できる。
これにより、薬液によってガラスフィルムと支持ガラスが局所的に固着することを防止して、ひいては、剥離時におけるガラスフィルムの破損を防止することができる。

ガラスフィルム積層体の作製状況を示す斜視模式図。 ガラスフィルムの作製方法（オーバーフローダウンドロー法）を示す側面視断面模式図。 ガラスフィルムと支持ガラスの接合メカニズムを説明するための模式図、（ａ）水酸基同士の水素結合の状況を示す図、（ｂ）水分子を介在する水素結合の状況を示す図。 ガラスフィルム積層体の別実施形態を示す模式図。 本発明の一実施形態に係るガラスフィルム積層体を示す側面視模式図、（ａ）面取り部がＣ面取りの場合、（ｂ）面取り部がＲ面取りの場合、（ｃ）面取り量が５０％以下の場合。 ガラスフィルム積層体を示す側面視模式図、（ａ）スクライブ側の面を接触面とした場合、（ｂ）接触面側に面取り部を設けた場合、（ｃ）面取り量が５０％を超えている場合。 本発明の一実施形態に係る液晶パネルの製造方法を示す側面視模式図。 支持ガラス付液晶パネルを示す側面視模式図。 面取り部の形成状況の差異による不具合の発生数を比較した実験結果を示す図。

以下、本発明に係るガラスフィルム積層体の好適な実施形態について、図面を参照しつつ説明する。

本発明の一実施形態に係るガラスフィルム積層体１は、図１に示すように、ガラスフィルム１０と支持体１１とを積層することにより作製される。

ガラスフィルム１０は、ケイ酸塩ガラスが用いられ、好ましくはシリカガラス、ホウケイ酸ガラスが用いられ、最も好ましくは無アルカリガラスが用いられる。
ガラスフィルム１０にアルカリ成分が含有されていると、表面において陽イオンの脱落が発生し、いわゆるソーダ吹きの現象が生じ、構造的に粗となる。この場合、ガラスフィルム１０を湾曲させて使用していると、経年劣化により粗となった部分から破損する可能性がある。
尚、ここでいう無アルカリガラスとは、アルカリ成分（アルカリ金属酸化物）が実質的に含まれていないガラスのことであって、具体的には、アルカリ成分が３０００ｐｐｍ以下のガラスのことである。
本発明で用いる無アルカリガラスのアルカリ成分の含有量は、好ましくは１０００ｐｐｍ以下であり、より好ましくは５００ｐｐｍ以下であり、最も好ましくは３００ｐｐｍ以下である。

ガラスフィルム１０の厚みは、好ましくは３００μｍ以下、より好ましくは５〜２００μｍ、最も好ましくは５〜１００μｍである。
これにより、ガラスフィルム１０の厚みをより薄くして、適切な可撓性を付与することができる。
厚みをより薄くしたガラスフィルム１０は、ハンドリング性が困難で、かつ、位置決めミスやパターニング時の撓み等の問題が生じやすいが、後述する支持体１１を使用することで電子デバイス製造関連処理等を容易に行うことができる。
尚、ガラスフィルム１０の厚みが５μｍ未満であると、ガラスフィルム１０の強度が不足がちになり、支持体１１からガラスフィルム１０を剥離し難くなるおそれがある。

支持体１１は、ガラスフィルム１０を支持可能であれば、その材質については特に限定されず、合成樹脂板、天然樹脂板、木板、金属板、ガラス板、セラミック板、結晶化ガラス板等を使用することができる。また、支持体１１の厚みについても特に限定されず、支持体として選択した材質の剛性に応じて、適宜支持体１１の厚みを選択しても良い。ガラスフィルム１０のハンドリングの改善等を目的とする場合は、ＰＥＴフィルム等の樹脂フィルムを使用しても良い。

図１に示すように、支持体１１には、支持ガラス１２を使用することが好ましい。これにより、電子デバイス製造関連処理の際に熱処理を伴ったとしても、膨張率の差による熱反りやガラスフィルム１０の割れ等が生じ難くすることができ、ガラスフィルム積層体１の安定した積層状態を維持することが可能になる。
支持ガラス１２は、ガラスフィルム１０と同様、ケイ酸塩ガラス、シリカガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリガラス等が用いられる。
支持ガラス１２については、ガラスフィルム１０との３０〜３８０℃における熱膨張係数の差が、５×１０^-7／℃以内のガラスを使用することが好ましい。
そして、膨張率の差を抑える観点から、支持ガラス１２とガラスフィルム１０とは、同一の組成を有するガラスを使用することが最も好ましい。
支持ガラス１２の厚みは、４００μｍ以上であることが好ましい。支持ガラス１２の厚みが４００μｍ未満であると、支持ガラス１２を単体で取り扱う場合に、強度の面で問題が生じるおそれがある。支持ガラス１２の厚みは、４００〜７００μｍであることが好ましく、５００〜７００μｍであることが最も好ましい。
これにより、支持ガラス１２でガラスフィルム１０を確実に支持することが可能となるとともに、支持ガラス１２からガラスフィルム１０を剥離する際に生じ得るガラスフィルム１０の破損を効果的に抑制することが可能となる。
尚、液晶配向膜の塗布時に、図示しないセッター上に、ガラスフィルム積層体１を載置する場合は、支持ガラス１２の厚みは４００μｍ未満（例えば３００μｍ等、ガラスフィルム１０と同一の厚み）でも良い。

本実施形態で使用されるガラスフィルム１０及び支持ガラス１２は、ダウンドロー法によって成形されていることが好ましく、オーバーフローダウンドロー法によって成形されていることがより好ましい。
特に、図２に示すオーバーフローダウンドロー法は、成形時にガラス板の両面が、成形部材と接触しない成形法であり、得られたガラス板の両面（透光面）には傷が生じ難く、研磨しなくても高い表面品位を得ることができる。無論、本発明に使用されるガラスフィルム１０及び支持ガラス１２は、フロート法やスロットダウンドロー法、ロールアウト法、アップドロー法、リドロー法等によって成形されたものであってもよい。
図２に示すオーバーフローダウンドロー法において、断面が楔型の成形体２０の下端部２１から流下した直後のガラスリボンＧは、冷却ローラ２２によって幅方向の収縮が規制されながら下方へ引き伸ばされて所定の厚みまで薄くなる。次に、前記所定厚みに達したガラスリボンＧを図示しない徐冷炉（アニーラ）で徐々に冷却し、ガラスリボンＧの熱歪を除き、ガラスリボンＧを所定寸法に切断することにより、ガラスフィルム１０及び支持ガラス１２が夫々成形される。

以下、支持体１１として支持ガラス１２を採用した実施形態について、説明をする。支持ガラス１２の材質に起因した特有の説明箇所以外の部分については、適宜支持ガラス１２を支持体１１と読み替え可能とする。

図１に示すように、ガラスフィルム１０には、接触面１０ａと有効面１０ｂを設定している。
接触面１０ａは、支持ガラス１２と積層するときに、該支持ガラス１２と相対し接触する側の面である。
また、有効面１０ｂは、接触面１０ａとは反対側の面であって、素子の形成等の製造関連処理が施される側の面である。
さらに、ここでの図示は省略しているが、ガラスフィルム１０の周縁部には、面取り部が形成されている。当該面取り部については、後段で詳述する。

また、図１に示すように、支持ガラス１２には、接触面１２ａと搬送面１２ｂを設定している。
接触面１２ａは、ガラスフィルム１０と積層するときに、該ガラスフィルム１０と相対し接触する側の面である。
また、搬送面１２ｂは、接触面１２ａとは反対側の面であって、ガラスフィルム積層体１が搬送ローラ上を搬送されるときに、該搬送ローラに接する側の面である。

図１では、支持ガラス１２上に略同一面積のガラスフィルム１０が積層されているが、支持ガラス１２がガラスフィルム１０から食み出すように積層されていてもよい。
この場合、支持ガラス１２のガラスフィルム１０からの食み出し量は、０．５〜１０ｍｍであることが好ましく、０．５〜１ｍｍであることがより好ましい。
支持ガラス１２の食み出し量を少なくすることで、ガラスフィルム１０の有効面１０ｂの面積をより広く確保することができる。
また、ガラスフィルム積層体１においては、４辺全てにおいて、支持ガラス１２がガラスフィルム１０から食み出していることが好ましい。

また、支持ガラス１２上にガラスフィルム１０を積層する工程は、減圧下で行っても良い。これにより、仮に積層時に気泡が発生したとしても、それ以降の減圧、真空工程にて気泡が増大し、結果として真空工程内でのガラス破損などの不具合を防止することができる。

ガラスフィルム１０の接触面１０ａと、支持ガラス１２の接触面１２ａの表面粗さＲａが２．０ｎｍ以下であることが好ましい。これにより、ガラスフィルムと支持ガラスとが滑らかな表面同士で接触するため密着性が良く、接着剤を使用しなくてもガラスフィルムと支持ガラスとを強固に安定して積層させることが可能となる。
ガラスフィルム１０と支持ガラス１２とを接着剤無しで強固に積層するためには、本発明において使用するガラスフィルム１０及び支持ガラス１２の夫々の接触面１０ａ・１２ａの表面粗さＲａは、夫々１．０ｎｍ以下であることが好ましく、０．５ｎｍ以下であることがより好ましく、０．２ｎｍ以下であることが最も好ましい。
本実施形態では、ガラスフィルム１０と支持ガラス１２の相互に接触する側の面の表面粗さＲａを夫々２．０ｎｍ以下としており、第１の工程では、相互に接触する側の面の表面粗さＲａが夫々２．０ｎｍ以下であるガラスフィルム１０と支持ガラス１２とを積層して、ガラスフィルム１０を支持ガラス１２に対して強固に固定することにより、ガラスフィルム積層体１が作製される。

ガラスフィルム１０と支持ガラス１２の各接触面１０ａ・１２ａの表面粗さＲａが２．０ｎｍ以下となるように平滑化すると、これらの２つの平滑なガラス基板を密着させた場合にガラス基板同士が接着剤なしに剥離可能な程度に固着してガラスフィルム積層体１となる。この現象は次のメカニズムによると推察される。
図３（ａ）に示すように、ガラスフィルム１０の表面（接触面１０ａ）と支持ガラス１２の表面（接触面１２ａ）に形成された水酸基同士の水素結合により引き付けあうと考えられる。あるいは、図３（ｂ）のようにガラスフィルム１０と支持ガラス１２の界面１３に存在する水分子を介在して水素結合が形成されることによりガラスフィルム１０と支持ガラス１２とが互いに固着することもあると考えられている。

尚、本実施形態では、支持ガラス１２上にガラスフィルム１０を直接積層しているが、図４に示す通り、ガラスフィルム１０と支持ガラス１２との間に、樹脂層１４を使用して積層させてもよい。ガラスフィルム１０は最後に剥離されるため、樹脂層１４には、微粘着性のものを使用することが好ましい。樹脂層１４には、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニリデン、ポリプロピレン、ポリビニルアルコール、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリアクリロニトリル、エチレン酢酸ビニル共重合体、エチレン−ビニルアルコール共重合体、エチレン−メタクリル酸共重合体、ナイロン、セロファン、シリコーン樹脂等を使用することができ、樹脂層１４は、材質自身に粘着性を有している場合については基材のみを使用してもよく、基材の両面に別途粘着剤を塗布したものを使用しても良く、基材無しで粘着層のみであっても良い。

一方、ガラスフィルム１０の有効面１０ｂの表面粗さや、支持ガラス１２の搬送面１２ｂの表面粗さは特には限定されない。

即ち、本実施形態に係るガラスフィルム積層体１においては、支持体１１として、支持ガラス１２を使用している。
このような構成により、ガラスフィルム１０と支持ガラス１２との熱膨張係数を合わせやすく、製造関連処理の際に熱処理を行ったとしても、熱反りや割れ等が生じにくいガラスフィルム積層体１とすることが可能となる。

また、本実施形態に係るガラスフィルム積層体１においては、支持ガラス１２にガラスフィルム１０が直接積層され、ガラスフィルム１０と支持ガラス１２とが互いに接触する夫々の接触面１０ａ・１２ａの表面粗さＲａが、いずれも２．０ｎｍ以下である。
このような構成により、ガラスフィルム１０と支持ガラス１２とが滑らかな表面同士で接触するため密着性が良く、接着剤を使用しなくてもガラスフィルム１０と支持ガラス１２とを強固に安定して積層させることが可能となる。

次に、本発明の一実施形態に係るガラスフィルム積層体１における面取り部の形成状況について、図５、図６を用いて説明をする。
図５（ａ）（ｂ）に示す如く、本実施形態に係るガラスフィルム積層体１では、ラビング布の摩耗を防止するために、摩耗の要因となるガラスフィルム１０のエッジ部（周縁部）に面取り部１５を形成している。
面取り部１５は、ガラスフィルム１０に対して、その周縁部を研削等の手法によって面取りをして形成する。面取り部１５の形成方法としては、研磨砥石や研削砥石、研磨テープ等を使用した機械的な面取り方法や、フッ酸等を使用することでの化学的な面取り方法、バーナーやレーザー照射等による熱的な面取り方法を使用することができる。

また面取り部１５は、図５（ａ）に示すようなＣ面取り（面取り角度が４５度）の態様や、図５（ｂ）に示すようなＲ面取りの態様を採用することができる。
尚、面取り部１５は、Ｃ面取りやＲ面取りの態様に限定されず、Ｃ面取りとＲ面取りを組み合わせた態様や、面取り角度を４５度以外とした態様等、種々の態様を採用することができる。

また、ガラスフィルム積層体１における面取り部１５は、ガラスフィルム１０の有効面１０ｂ側にのみ形成する構成としている。

さらに、本実施形態に係るガラスフィルム積層体１では、図５（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すように、ガラスフィルム１０のスクライブ面１６側を有効面１０ｂとして選択し、スクライブ面１６側の周縁部に面取り部１５を形成するのが好ましい。
尚、ここで言う「スクライブ面」とは、割断するための割断線（スクライブ線）が形成され、スクライブ線に沿って割断されたガラスフィルムにおける、前記スクライブ線が形成された側の面のことを意味する。

図６（ａ）には、本発明の一実施形態に係るガラスフィルム積層体として、面取り部１５を、ガラスフィルム１０の有効面１０ｂ側にのみ形成したガラスフィルム積層体１ａを示している。
但し、ガラスフィルム積層体１ａでは、ガラスフィルム１０のスクライブ面１６側を接触面１０ａに選択しており、この点で、図５（ａ）（ｂ）（ｃ）に示すガラスフィルム積層体１と相違している。

ガラスフィルム積層体１ａでは、図６（ａ）に示すように、ガラスフィルム１０におけるスクライブ面１６の端部に形成されているスクライブ跡に、有効面１０ｂに対して加工処理や洗浄処理等を行う際に用いられる薬液等が浸透することにより、ガラスフィルム１０と支持ガラス１２の界面１３に薬液等の浸透部１７が形成されている。このように、ガラスフィルム１０と支持ガラス１２の界面１３に浸透部１７が形成されると、浸透部１７の薬液等によってガラスフィルム１０と支持ガラス１２が固着してしまうため、ガラスフィルム１０の剥離時において、ガラスフィルム１０に破損が生じる可能性がある。
即ち、ガラスフィルム積層体１ａでは、面取り部１５によってラビング布の摩耗を防止することは可能であるが、ガラスフィルム１０の剥離時において、ガラスフィルム１０に破損が生じる可能性がある。このため、ガラスフィルム積層体１ａよりも図５（ａ）に示すガラスフィルム積層体１のほうが、より好ましい態様であると言える。

即ち、本実施形態に係るガラスフィルム積層体１において、ガラスフィルム１０は、スクライブ線が形成されるとともに、スクライブ線に沿って割断されており、スクライブ線が形成された側の面であるスクライブ面１６を、有効面１０ｂとして選択している。
このような構成によれば、ガラスフィルム１０の下面に薬液等が浸透するのを防止できる。これにより、薬液によってガラスフィルム１０と支持体１１が局所的に固着することを防止して、ひいては、剥離時におけるガラスフィルム１０の破損を防止することができる。

また、図６（ｂ）には、面取り部１５を接触面１０ａ側に形成したガラスフィルム積層体１ｂを例示している。
ガラスフィルム積層体１ｂでは、面取り部１５に有効面１０ｂに対して加工処理や洗浄処理等を行う際に用いられる薬液等が浸透することによって、ガラスフィルム１０と支持ガラス１２の界面１３に薬液等の浸透部１７が形成されており、浸透部１７においてガラスフィルム１０と支持ガラス１２が固着してしまうため、ガラスフィルム１０の剥離時において、ガラスフィルム１０に破損が生じる可能性が高くなっている。また、この図６（ｂ）に示す態様では、面取り部１５によってラビング布の摩耗を防止することもできない。
このため、本実施形態に係るガラスフィルム積層体１・１ａには、図６（ｂ）に示すような面取り部１５を接触面１０ａ側に形成する態様のガラスフィルム積層体１ｂや、ガラスフィルム１０の接触面１０ａと有効面１０ｂの両方に面取り部１５・１５を形成する態様等は含まれない。

即ち、本実施形態に係るガラスフィルム積層体１は、支持体１１にガラスフィルム１０を積層して作製されるものであって、ガラスフィルム１０の支持体１１との接触面１０ａ側とは反対側の面である有効面１０ｂ側のみにおいて、ガラスフィルム１０の外周縁に面取り部１５を備えている。

またさらに、本実施形態に係るガラスフィルム積層体１では、面取り部１５の面取り量を、ガラスフィルム１０の厚みの５０％以下とする構成が好ましい。
図５（ｃ）に示す如く、ガラスフィルム積層体１では、面取り部１５の面取り量Ｈを、ガラスフィルム１０の厚みｄの５０％以下としている。

一方、図６（ｃ）に示すガラスフィルム積層体１ｃでは、ガラスフィルム積層体１と同様に、面取り部１５は、ガラスフィルム１０の有効面１０ｂ側にのみ形成する構成としている。
また、ガラスフィルム積層体１ｃでは、ガラスフィルム積層体１と同様に、ガラスフィルム１０のスクライブ面１６側を有効面１０ｂに選択している。
しかしながら、ガラスフィルム積層体１ｃでは、面取り部１５の面取り量Ｈが、ガラスフィルム１０の厚みｄの５０％を超えており、この点で、ガラスフィルム積層体１と相違している。

この場合、ガラスフィルム１０を支持ガラス１２から剥離するときに、面取り部１５に作用する曲げ応力が一部引張方向に作用することとなるため、曲げ応力によって、面取り部１５に存在する微小なチッピング等を起点として破損が生じるおそれがある。

このような構成のガラスフィルム積層体１ｃでは、面取り部１５によってラビング布の摩耗を防止することはできるが、ガラスフィルム１０の剥離時において、ガラスフィルム１０に破損が生じる可能性がある。
このため、ガラスフィルム積層体１ｃよりも図５（ｃ）に示すガラスフィルム積層体１のほうが、より好ましい態様であると言える。

ガラスフィルム積層体１では、ガラスフィルム１０を支持ガラス１２から剥離するときに、面取り部１５に作用する曲げ応力が圧縮方向に作用することとなるため、曲げ応力によって、面取り部１５に存在する微小なチッピング等に起因して破損が生じるのを抑制することができる。
尚、面取り部１５の表面粗さが小さければ、ラビング布の摩耗低減効果や、チッピングに起因する破損の防止効果が高まるので、面取り部１５の表面粗さは極力小さくすることが好ましい。

即ち、本実施形態に係るガラスフィルム積層体１において、面取り部１５における面取り量Ｈは、ガラスフィルム１０の厚みｄの５０％以下（即ち、Ｈ≦ｄ／２）である。
このような構成によれば、ガラスフィルム１０と支持体１１を分離するときに、ガラスフィルム１０が破損するのを防止できる。

次に、本発明の一実施形態に係る液晶パネルの製造方法について、図７、図８を用いて説明をする。
本実施形態に係る液晶パネル３の製造方法では、ガラスフィルム積層体１は、図７に示すように、第１の工程において、ガラスフィルム１０と支持体１１とを積層することにより作製される。尚、本実施形態では、ガラスフィルム１０上に液晶パネル３が形成された態様のガラスフィルム積層体１を、支持ガラス付液晶パネル４と呼ぶ。言い換えれば、支持ガラス付液晶パネル４から支持ガラス１２を剥離・除去したものが液晶パネル３（図７参照）である。

ガラスフィルム積層体１には、第２の工程において、ガラスフィルム１０上にポリイミド材料からなる液晶配向膜３１が塗布される。

本実施形態に係る液晶パネル３の製造方法の第３の工程では、図７に示す通り、支持ガラス付液晶パネル４を作製する際に、ガラスフィルム１０の液晶配向膜３１をラビングローラ５で一定方向に擦って、液晶分子を所定の方向に整列させる。
ラビングローラ５は、再生セルロース繊維等で構成され導電処理が施された布材をロール面に備えるロール状の部材であり、ローラ軸回りに回転可能に構成され、所定の方向に回転しながら、液晶配向膜３１を一定方向に擦ることができるように構成されている。
液晶配向膜３１は、ラビングローラ５で一定方向に擦られることで、ポリイミド材料の分子が一定方向に配向される。
このようにラビングローラ５は、再生セルロース繊維等からなるロール面を備えているため、液晶配向膜３１をラビングする際の摩擦力がガラスフィルム１０のエッジ部等で局部的に過大になると、その過大になった部位の繊維が摩耗して千切れるという性質を有する。

本実施形態に係る液晶パネル３の製造方法において、面取り部１５の形成は、第３の工程（すなわちラビング工程）が行われる前までに行われればよく、第１の工程より前であってもよく、第１の工程と第２の工程の間で行われてもよい。言い換えれば、ガラスフィルム１０の状態で面取り部１５を形成した後に、第１の工程を行うことで、支持ガラス１２上に面取り部１５が形成されたガラスフィルム１０を積層してもよい。この場合、ガラスフィルム１０に面取り部１５を容易に作製することができる。また、第１の工程後のガラスフィルム積層体１を作製した後に、支持ガラス１２上に積層されたガラスフィルム１０のみを面取りすることで、面取り部１５を形成しても良い。この場合、面取りの際に発生するガラス粉が、積層時における気泡の原因となることを防止することができる。

このように、ガラスフィルム１０の有効面１０ｂ側に面取り部１５を形成することによって、ラビング工程の際にラビングローラ５とガラスフィルム１０のエッジ部との間で生じる摩擦力が過大になるのを防止することができ、これにより、ラビングローラ５を構成するラビング布が摩耗して千切れるのを抑制することができる。

さらに第３の工程では、図８に示すように、ラビングすることで配向された液晶配向膜３１を、カラーフィルター側ガラス基板６で封止するとともに液晶の注入（図示せず）等を施して、ガラスフィルム１０上に液晶素子３２を形成する。
尚、図８に示す形態では、カラーフィルター側ガラス基板６とガラスフィルム１０とを直接接着しているが、適宜公知のガラスフリットやスペーサ等を使用してカラーフィルター側ガラス基板６とガラスフィルム１０とを接着しても良い。また、図７、図８に示す形態では、カラーフィルター側ガラス基板６にも、支持ガラス１２（支持体１１）を使用している。また、本実施形態で使用するカラーフィルター側ガラス基板６と支持ガラス１２（支持体１１）とを積層したガラスフィルム積層体も、本発明のガラスフィルム積層体１と同様の構成を有している。

液晶素子３２の封止に用いる基板としては、前述のガラスフィルム１０と同様、ケイ酸塩ガラス、シリカガラス、ホウケイ酸ガラス、無アルカリガラス等からなるカラーフィルター側ガラス基板６が用いられる。

カラーフィルター側ガラス基板６については、ガラスフィルム１０との３０〜３８０℃における熱膨張係数の差が、５×１０^-7／℃以内のガラスを使用することが好ましい。
これにより、作製された液晶パネル３の周辺環境の温度が変化したとしても、膨張率の差による熱反りやガラスフィルム１０及びカラーフィルター側ガラス基板６の割れ等が生じ難く、破損し難い液晶パネル３とすることが可能となる。
そして、膨張率の差を抑える観点から、カラーフィルター側ガラス基板６とガラスフィルム１０とは、同一の組成を有するガラスを使用することが最も好ましい。

カラーフィルター側ガラス基板６の厚みは、好ましくは３００μｍ以下、より好ましくは５〜２００μｍ、最も好ましくは５〜１００μｍである。これによりカラーフィルター側ガラス基板６の厚みをより薄くして、適切な可撓性を付与することができる。カラーフィルター側ガラス基板６の厚みが５μｍ未満であると、カラーフィルター側ガラス基板６の強度が不足がちになるおそれがある。

図７に示すように、本実施形態に係る液晶パネル３の製造方法では、第４の工程において、支持ガラス付液晶パネル４の支持ガラス１２とガラスフィルム１０を剥離して、液晶素子３２が形成された態様のガラスフィルム１０である液晶パネル３が作製される。

本実施形態に係る液晶パネル３の製造方法の第４の工程は、支持ガラス付液晶パネル４を液晶パネル３（ガラスフィルム１０）と支持ガラス１２に分離する工程である。
例えば、支持ガラス１２から液晶パネル３を剥離するときには、ガラスフィルム１０と支持ガラス１２との界面１３に楔体（図示せず）を挿入しながら、ガラスフィルム１０の端部を支持ガラス１２から離間する方向に引っ張ることで、剥離することができる。また、カラーフィルター側ガラス基板６にも支持ガラス１２が存在する場合については、これと同様の方法で支持ガラス１２とカラーフィルター側ガラス基板６とを剥離することができる。

このように、本実施形態に係る液晶パネル３の製造方法は、支持体１１たる支持ガラス１２上にガラスフィルム１０を積層してガラスフィルム積層体１を作製する第１の工程と、ガラスフィルム１０の表面に液晶配向膜３１を形成する第２の工程と、液晶配向膜３１の表面をラビングローラ５で一定方向に擦るラビング工程を含み、ガラスフィルム積層体１におけるガラスフィルム１０の表面に液晶素子３２を形成して、支持体付液晶パネルたる支持ガラス付液晶パネル４を作製する第３の工程と、支持ガラス付液晶パネル４から支持ガラス１２を剥離して液晶パネル３を作製する第４の工程と、を有するものであって、第２の工程より前に、ガラスフィルム１０の支持ガラス１２の接触面１０ａ側とは反対側の面である有効面１０ｂ側のみにおいて、ガラスフィルム１０の外周縁に面取り部１５を形成する構成としている。

そして、このような構成により、ガラスフィルム１０を液晶パネル用基板に使用する場合において、ラビングローラ５の摩耗を抑制することができる。
これにより、ガラスフィルム積層体１を用いて液晶パネル３を作製する場合において、光点不良の発生を抑制することができる。

次に、本発明の一実施形態に係るガラスフィルム積層体を用いて、液晶パネルを製造した場合における不良の発生状況について、図９を用いて説明をする。
図９は、面取り部の有無、面取り量、面取り部の形成状況、有効面の設定状況、の各条件を変えて、ガラスフィルムから液晶パネルを製造した場合における、各条件での不具合の発生件数をまとめたものである。

尚、以下に示す各実施例および比較例では、ガラスフィルムおよび支持ガラスとして日本電気硝子株式会社製の無アルカリガラス（製品名：ＯＡ−１０Ｇ）を使用している。
また、ガラスフィルムは、サイズ３６８×４６８、厚み０．２ｔのものを使用し、支持ガラスは、サイズ３７０×４７０、厚み０．５ｔのものを使用している。

実施例１〜実施例３に係る各ガラスフィルム積層体は、本発明に係るガラスフィルム積層体に該当するものであり、ガラスフィルムの周縁部に面取り部を形成している。
面取り部は、＃２０００番の円盤砥石により、角度が４５度となるようにＣ面取りをした。

一方、比較例１に係るガラスフィルム積層体は、ガラスフィルムの周縁部に面取り部を形成しておらず、本発明に係るガラスフィルム積層体に該当しないものである。
また、比較例１に係るガラスフィルム積層体では、ガラスフィルムの有効面にスクライブ面を選択している。

実施例１に係るガラスフィルム積層体は、ガラスフィルムの有効面にスクライブ面を選択して、その有効面側の周縁部に面取り部を形成しており、また面取り量を、ガラスフィルムの厚み（２００μｍ）の５０％以下の量である９０μｍとしている。
尚、実施例１に係るガラスフィルム積層体は、前述したガラスフィルム積層体１に対応している。

実施例２に係るガラスフィルム積層体は、ガラスフィルムの有効面にスクライブ面と反対側の面を選択して、その有効面側の周縁部に面取り部を形成しており、また面取り量を、ガラスフィルムの厚みの５０％以下の量である９０μｍとしている。そして、実施例２に係る各ガラスフィルム積層体では、スクライブ面が接触面として選択されている。
尚、実施例２に係るガラスフィルム積層体は、前述したガラスフィルム積層体１ａに対応している。

実施例３に係るガラスフィルム積層体は、ガラスフィルムの有効面にスクライブ面を選択して、その有効面側の周縁部に面取り部を形成しており、また面取り量を、ガラスフィルムの厚みの５０％を超える量である１１０μｍとしている。
尚、実施例３に係るガラスフィルム積層体は、前述したガラスフィルム積層体１ｃに対応している。

そして、実施例１〜実施例３および比較例１に係る各ガラスフィルム積層体について、サンプルをそれぞれ２０個用意し、液晶ディスプレイの製造工程に導入し、ガラスフィルム積層体の界面に薬液の浸透が生じるかどうか、および、ラビング工程におけるラビング布の発塵が生じるかどうかを確認した。
また、それぞれ２０個のサンプルについて、ガラスフィルムを支持ガラスから剥離するときに、ガラスフィルムに破損が生じるかどうかを確認した。

図９に示す実験結果によると、比較例１に係るガラスフィルム積層体では、「ラビングによる発塵」が、２０個のサンプル全てで生じる結果となった。

一方、図９に示す実験結果によると、実施例１に係るガラスフィルム積層体では、２０個のサンプル全てにおいて、「剥離時の破損」、「ラビングによる発塵」、「薬液浸透による破損」のいずれの不具合も生じなかった。

また、実施例２に係るガラスフィルム積層体では、「ラビングによる発塵」は、２０個のサンプル全てで生じなかったが、「剥離時の破損」が２０個のサンプルのうち２個において生じ、「薬液浸透による破損」が２０個のサンプルのうち５個で生じる結果となった。

さらに、実施例３に係るガラスフィルム積層体では、「ラビングによる発塵」および「薬液浸透による破損」は、２０個のサンプル全てで生じなかったが、「剥離時の破損」が２０個のサンプルのうち５個で生じる結果となった。

即ち、本実験結果によれば、実施例１〜実施例３に係る各ガラスフィルム積層体（即ち、各ガラスフィルム積層体１）では、「ラビングによる発塵」を確実に防止できていた。
即ち、ガラスフィルムの有効面側の周縁部に面取り部を設けることで、ラビング工程におけるラビング布の発塵を効果的に抑制することができることが確認できた。

また、本実験結果によれば、実施例１に係るガラスフィルム積層体（即ち、ガラスフィルム積層体１）では、「薬液浸透による破損」と「剥離時の破損」を確実に防止することができていた。
即ち、ガラスフィルムの有効面にスクライブ面を選択するとともに、面取り量をガラスフィルムの厚みの５０％以下とすることで、剥離時における破損を効果的に抑制し、ガラスフィルムの歩留まり向上を実現できることが確認できた。

１ ガラスフィルム積層体
３ 液晶パネル
４ 支持ガラス付液晶パネル
１０ ガラスフィルム
１０ａ 接触面
１０ｂ 有効面
１１ 支持体
１２ 支持ガラス
１２ａ 接触面
１５ 面取り部
１６ スクライブ面

Claims (8)

1. 支持体にガラスフィルムを積層して作製されるガラスフィルム積層体であって、
   前記ガラスフィルムの前記支持体との接触面側とは反対側の面である有効面側のみにおいて、前記ガラスフィルムの外周縁に面取り部を備える、
   ことを特徴とするガラスフィルム積層体。
2. 前記面取り部における面取りの量は、
   前記ガラスフィルムの厚みの５０％以下である、
   ことを特徴とする請求項１に記載のガラスフィルム積層体。
3. 前記ガラスフィルムは、
   スクライブ線が形成されるとともに、前記スクライブ線に沿って割断されており、
   前記スクライブ線が形成された側の面を、
   前記有効面として選択する、
   ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のガラスフィルム積層体。
4. 前記支持体は、支持ガラスである、
   ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のガラスフィルム積層体。
5. 前記支持ガラスに前記ガラスフィルムが直接積層され、
   前記ガラスフィルムと前記支持ガラスとが互いに接触する夫々の接触面の表面粗さＲａが、いずれも２．０ｎｍ以下である、
   ことを特徴とする請求項４に記載のガラスフィルム積層体。
6. 支持体上にガラスフィルムを積層してガラスフィルム積層体を作製する第１の工程と、
   前記ガラスフィルムの表面に液晶配向膜を形成する第２の工程と、
   前記液晶配向膜の表面をラビングローラで一定方向に擦るラビング工程を含み、前記ガラスフィルム積層体における前記ガラスフィルムの表面に液晶素子を形成して、支持体付液晶パネルを作製する第３の工程と、
   前記支持体付液晶パネルから前記支持体を剥離して液晶パネルを作製する第４の工程と、
   を有する液晶パネルの製造方法であって、
   前記第２の工程より前に、
   前記ガラスフィルムの前記支持体との接触面側とは反対側の面である有効面側のみにおいて、前記ガラスフィルムの外周縁に面取り部を形成する、
   ことを特徴とする液晶パネルの製造方法。
7. 前記面取り部における面取りの量は、
   前記ガラスフィルムの厚みの５０％以下である、
   ことを特徴とする請求項６に記載の液晶パネルの製造方法。
8. 前記ガラスフィルムは、
   スクライブ線が形成され、該スクライブ線に沿って割断されたものであり、
   前記スクライブ線が形成された側の面を、
   前記有効面として選択する、
   ことを特徴とする請求項６または請求項７に記載の液晶パネルの製造方法。

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