JP2015090387A - 光学結像部材、光学結像部材用ガラス積層体及びそれらの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】コストアップを招来させることなく、高解像度の結像を得ることが可能な光学結像部材、これを作製するためのガラス積層体及びそれらの製造方法を得る。【解決手段】ガラスフィルムと反射膜とが交互に積層された光学結像部材用ガラス積層体を貼り合わせて光学結像部材を作製する。光学結像部材用ガラス積層体を構成するガラスフィルムは、溶融ガラスを板引き成形して作製される。また光学結像部材用ガラス積層体は、少なくとも1枚のガラスフィルムが、他のガラスフィルムと板引き方向が直交する状態で積層されてなる。【選択図】図1
Description
本発明は、光学結像部材、光学結像用ガラス積層体及びそれらの製造方法に関し、例えば、液晶ディスプレイ、有機ELディスプレイ等のフラットパネルディスプレイから発生される光を中空に結像するためのガラス積層体、光学結像部材及び光学結像部材の製造方法に関する。
周知の通り、省スペース化の観点から、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ELディスプレイ等のフラットパネルディスプレイが普及している。
また、フラットパネルディスプレイから発生される光を中空に結像する技術開発が進んでいる。特許文献1には、隣接する反射面が互いに向かい合うように、複数本の両面反射帯を一定間隔で配置してなる光学結像部材が提案されている。しかし、特許文献1に記載の光学結像部材には、散乱光が通過した後は、必ずしも一点に収束しないという問題がある。
上記問題を解決するために、一方の表面が反射面である透明板を数百〜数千枚積層した後、各反射面に対して垂直な切断面が形成されるように切断して、一対の積層体を作製した上で、一方の積層体の反射膜面と、他方の積層体の反射膜面とが互いに直交するように積層体同士を向かい合わせに配置し、密着させた光学結像部材が検討されている。この光学結像部材では、透明板の厚みが反射面の間隔に相当する。
上記の光学結像部材の場合、高解像度の結像を得るためには、厚みの薄い透明板を採用するとともに、すべての反射面の面間隔が均一となるように透明板が平行な状態で積層されていることが重要である。
ところが透明板に偏肉(板厚公差)があると、その偏肉が積層枚数分だけ累積されることになり、反射面の面間隔の均一性に大きな影響を与えるおそれがある。
本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、コストアップを招来させることなく、高解像度の結像を得ることが可能な光学結像部材、これを作製するためのガラス積層体及びそれらの製造方法を得ることである。
本発明者は、鋭意努力の結果、透明板としてガラスフィルムを使用し、ガラスフィルム間に反射膜を介在させて、これを積層一体化させたガラス積層体を光学結像部材に適用することにより、反射面の間隔を狭小化しやすくできること、及びガラスフィルムを板引き法で成形すると、板引き方向と直交する方向に偏肉(肉厚分布)が生じ、板引き方向に沿って筋状の厚肉部が生じ易いが、ガラスフィルムの積層方向を変更することにより、この偏肉の累積による反射面の面間隔への悪影響を軽減できることを見出し、本発明として提案するものである。
本発明の光学結像部材用ガラス積層体は、ガラスフィルムと反射膜とが交互に積層された光学結像部材用ガラス積層体であって、ガラスフィルムは、溶融ガラスを板引き成形して作製されたものであり、ガラス積層体は、少なくとも1枚のガラスフィルムが、他のガラスフィルムと板引き方向が直交する状態で積層されてなることを特徴とする。ここで「ガラスフィルムと反射膜とが交互に積層された」とは、ガラスフィルムと反射膜とが接する状態で交互積層されている場合に限定されるものではなく、両者の間に1層以上の他の材料を介在させた状態で交互に積層している場合も含む。
この構成によれば、薄肉で大量生産可能なガラスフィルムを透明板として使用することから、部材コストの上昇を抑えながら、積層体の反射面間隔を狭小化することが可能になる。さらに積層体を構成するガラスフィルムが、板引き方向が同一とならないように積層されていることから、偏肉の影響を軽減し、反射面の面間隔を均一にすることが可能になる。よってこのガラス積層体を使用すれば、高解像度の結像が形成可能な光学結像部材を得ることができる。
上記光学結像部材用ガラス積層体において、ガラス積層体を構成する各ガラスフィルムが短冊状であることが好ましい。
上記光学結像部材用ガラス積層体において、ガラスフィルムは、厚さが3000μm以下であることが好ましい。
本発明の光学結像部材は、上記した一対の光学結像部材用ガラス積層体が、一方のガラス積層体の反射膜面と他方のガラス積層体の反射膜面とが互いに直交するように、配置されてなることを特徴とする。ここで「反射膜面」とは反射膜が形成された面を意味する。
この構成によれば、薄肉で大量生産可能なガラスフィルムを透明板として使用することから、部材コストの上昇を抑えながら、積層体の反射面間隔を狭小化することが可能になる。さらに積層体を構成するガラスフィルムが、板引き方向が同一とならないように積層されていることから、偏肉の影響を軽減し、反射面の面間隔を均一にすることが可能になる。よって高解像度の結像を得ることができる。
本発明の光学結像部材用ガラス積層体の製造方法は、反射膜とガラスフィルムとが交互に積層されるように反射膜付きガラスフィルムを積層する光学結像部材用ガラス積層体の製造方法であって、
ガラスフィルムが溶融ガラスを板引き成形して作製されたものであるとともに、少なくとも1枚のガラスフィルムが、他のガラスフィルムと板引き方向が直交するように反射膜付きガラスフィルムを積層することを特徴とする。
ガラスフィルムが溶融ガラスを板引き成形して作製されたものであるとともに、少なくとも1枚のガラスフィルムが、他のガラスフィルムと板引き方向が直交するように反射膜付きガラスフィルムを積層することを特徴とする。
この方法によれば、部材コストの上昇を抑えながら、反射面間隔を狭小化した積層体を形成することができる。しかも偏肉の影響を軽減し、反射面の面間隔を均一にすることが可能になる。
上記光学結像部材用ガラス積層体の製造方法において、反射膜付きガラスフィルムを積層した後、さらに反射膜面と直交する方向に切断して短冊状ガラスフィルムで構成されるガラス積層体とすることが好ましい。なお以降の説明では、短冊状ガラスフィルムで構成されるガラス積層体を単に短冊状ガラス積層体と称す。
上記光学結像部材用ガラス積層体の製造方法において、厚さが3000μm以下のガラスフィルムを用いてガラス積層体を作製することが好ましい。
上記光学結像部材用ガラス積層体の製造方法において、縦横比が1.3以下のガラスフィルムを用いてガラス積層体を作製することが好ましい。
本発明の光学結像部材用ガラス積層体は、上記した光学結像部材用ガラス積層体の製造方法によって作製されてなることを特徴とする。
本発明の光学結像部材の製造方法は、上記した一対のガラス積層体を、一方のガラス積層体の反射膜面と他方のガラス積層体の反射膜面とが互いに直交するようにガラス積層体同士を配置して、光学結像部材を得る工程と、を備えることを特徴とする。
この方法によれば、高解像度の結像が形成可能な光学結像部材を容易に作製することができる。
また本発明の光学結像部材の製造方法は、上記光学結像部材用ガラス積層体の製造方法によって作製された一対のガラス積層体を、一方のガラス積層体の反射膜面と他方のガラス積層体の反射膜面とが互いに直交するように配置して、光学結像部材を得る工程と、を備えることを特徴とする。
この方法によれば、高解像度の結像が形成可能な光学結像部材を容易に作製することができる。
本発明の光学結像部材は、上記した光学結像部材の製造方法によって作製されてなることを特徴とする。
本発明のガラスフィルムは、光学結合部材用ガラス積層体に使用されるガラスフィルムであって、ガラスフィルムの縦横比が1.3以下であることを特徴とする。
上記ガラスフィルムは、厚さが3000μm以下であることが好ましい。
以下、本発明を詳述する。
本発明のガラス積層体は、その主要な構成材料としてガラスフィルムを含む。ガラスフィルムは、溶融ガラスを板引き成形して作製されたものである。板引き成形の方法に制限はないが、オーバーフローダウンドロー法で成形されてなることが好ましい。この方法で作製されたガラスフィルムは、表面品位に優れており、研磨を必要としない。オーバーフローダウンドロー法で成形されたガラスフィルムが表面品位に優れる理由は、ガラスフィルムの表面となるべき面が樋状耐火物に接触せず、自由表面の状態で成形されるからである。ここで、オーバーフローダウンドロー法は、溶融ガラスを耐熱性の樋状構造物の両側から溢れさせて、溢れた溶融ガラスを樋状構造物の下端で合流させながら、下方に延伸成形してガラスフィルムを製造する方法である。樋状構造物の構造や材質は、ガラスフィルムの寸法や表面精度を所望の状態とし、ガラスフィルムに使用できる品位を実現できるものであれば、特に限定されない。また、下方への延伸成形を行うために、ガラスに対してどのような方法で力を印加するものであってもよい。例えば、充分に大きい幅を有する耐熱性ロールをガラスに接触させた状態で回転させて延伸する方法を採用してもよいし、複数の対になった耐熱性ロールをガラスの端面近傍のみに接触させて延伸する方法を採用してもよい。なお、オーバーフローダウンドロー法以外にも、例えば、スロットダウンドロー法、リドロー法等の成形方法を採用することもできる。
ガラスフィルムの厚みは3000μm以下であることが好ましく、特に2800μm以下、2000μm以下、1800μm以下、1500μm以下、1200μm以下、1000μm以下、800μm以下、700μm以下、500μm以下、300μm以下、200μm以下、100μm以下、90μm以下、80μm以下、70μm以下、60μm以下、50μm以下、40μm以下、30μm以下、20μm以下、特に10μm以下であることが望ましい。ガラスフィルムの厚みが薄い程、反射膜の間隔が狭小化されるため、高解像度の結像を得易くなる。
ガラスフィルムの表面の表面粗さRaは、好ましくは100Å以下、50Å以下、10Å以下、8Å以下、4Å以下、3Å以下、特に2Å以下である。ガラスフィルムの表面の表面粗さRaが大き過ぎると、反射膜の間隔がばらつき易くなり、高解像度の結像を得難くなる。更に、ガラスフィルムを積層する際に、空気を巻き込み易くなったり、オプティカルボンディングし難くなる。
ガラスフィルムの端面の表面粗さRaは、好ましくは100Å以下、50Å以下、10Å以下、8Å以下、4Å以下、3Å以下、特に2Å以下である。ガラスフィルムの端面の表面粗さRaが大き過ぎると、ガラス積層体が破損し易くなる。
ガラスフィルムのうねりは、好ましくは1μm以下、0.08μm以下、0.05μm以下、0.03μm以下、0.02μm以下、特に0.01μm以下である。ガラスフィルムのうねりが大き過ぎると、反射膜の間隔がばらつき易くなり、高解像度の結像を得難くなる。更に、ガラスフィルムを積層する際に、空気を巻き込み易くなったり、オプティカルボンディングし難くなる。
ガラスフィルムの最大厚みと最小厚みの差は、好ましくは10μm以下、5μm以下、2μm以下、特に1μm以下である。この差が大き過ぎると、反射膜の間隔がばらつき易くなり、高解像度の結像を得難くなる。更に、ガラスフィルムを積層する際に、空気を巻き込み易くなったり、オプティカルボンディングし難くなる。
ガラスフィルムは、未研磨の表面を有することが好ましい。ガラスの理論強度は、本来、非常に高いが、理論強度よりも遥かに低い応力でも破壊に至ることが多い。これは、ガラスフィルムの表面にグリフィスフローと呼ばれる小さな欠陥がガラスの成形後の工程、例えば研磨工程等で生じるからである。よって、ガラスフィルムの表面を未研磨とすれば、本来の機械的強度を損ない難くなり、ガラスフィルムが破壊し難くなる。また、研磨工程を省略し得るため、ガラスフィルムの製造コストを低廉化することができる。なお、両表面の有効面全体を未研磨の表面とすれば、ガラスフィルムが更に破壊し難くなる。
ガラスフィルムの幅寸法は、好ましくは500mm以上、600mm以上、800mm以上、1000mm以上、1200mm以上、1500mm以上、特に2000mm以上である。このようにすれば、光学結像部材を大型化し易くなる。一方、ガラスフィルムの幅寸法が大き過ぎると、反射膜が形成された面に直交する方向にガラス積層体を切断し難くなる。よって、ガラスフィルムの幅寸法は、好ましくは3500mm以下、3200mm以下、特に3000mm以下である。
ガラスフィルムの形状は、正方形に近いほど好ましい。この理由は、少なくとも1枚のガラスフィルムが、他のガラスフィルムと板引き方向が直交するように反射膜付きガラスフィルムを積層する際に、ガラスフィルムが正方形に近いほど廃棄する部分が少なくなり、歩留まりが良くなるためである。ガラスフィルムの形状は、具体的には縦横比(L/W)が1.3以下、1.27以下、1.25以下、1.2以下、1.15以下、1.10以下、1.05以下、特に1.03以下とすることが好ましい。
ガラスフィルムのクラック発生率は、好ましくは70%以下、50%以下、40%以下、30%以下、特に20%以下である。このようにすれば、ガラス積層体が破損し難くなる。ここで、「クラック発生率」は、湿度30%、温度25℃に保持された恒温恒湿槽内において、荷重1000gに設定したビッカース圧子をガラス表面(光学研磨相当面)に15秒間打ち込み、その15秒後に圧痕の4隅から発生するクラックの数をカウント(1つの圧痕につき最大4とする)し、この操作を20回繰り返し(即ち、圧子を20回打ち込み)、総クラック数を計数した後、総クラック発生数/80にて得られた値を指す。
ガラスフィルムの液相温度は、好ましくは1200℃以下、1150℃以下、1130℃以下、1110℃以下、1090℃以下、特に1070℃以下である。ガラスフィルムの液相粘度は、好ましくは105.0dPa・s以上、105.6dPa・s以上、105.8dPa・s以上、特に106.0dPa・s以上である。このようにすれば、成形時にガラスが失透し難くなる。なお、「液相温度」は、標準篩30メッシュ(500μm)を通過し、50メッシュ(300μm)に残るガラス粉末を白金ボートに入れ、温度勾配炉中に24時間保持して、結晶の析出する温度を測定した値を指す。「液相粘度」は、液相温度におけるガラスの粘度を白金球引き上げ法で測定した値を指す。
ガラスフィルムのヤング率は、好ましくは65GPa以上、67GPa以上、68GPa以上、69GPa以上、70GPa以上、71GPa以上、72GPa以上、特に75GPa以上である。このようにすれば、ガラスフィルムの表面に反射膜を形成した後に、ガラスフィルムが反り難くなり、結果として、反射膜の間隔がばらつき難くなり、高解像度の結像を得易くなる。なお、「ヤング率」は、共振法により測定した値を指す。
ガラスフィルムの密度は、好ましくは2.7g/cm3以下、2.6g/cm3以下、2.5g/cm3以下、特に2.4g/cm3以下である。このようにすれば、光学結像部材の軽量化を図り易くなる。
ガラスフィルムの熱膨張係数は、好ましくは25〜100×10−7/℃、30〜90×10−7/℃、30〜60×10−7/℃、30〜45×10−7/℃、特に30〜40×10−7/℃である。このようにすれば、各種機能膜の熱膨張係数に整合させ易くなる。なお、「熱膨張係数」は、ディラトメーターを用いて、30〜380℃における平均熱膨張係数を測定した値を指し、熱膨張係数の測定用試料として、端面にR加工を施したφ5mm×20mmの円柱状の試料を用いる。
ガラスフィルムの歪点は、好ましくは600℃以上、特に630℃以上である。このようにすれば、耐熱性を高め易くなる。なお、「歪点」は、ASTM C336−71の方法に基づいて測定した値を指す。
ガラスフィルムの厚み500μm換算、波長300nmにおける透過率は、好ましくは30%以上、50%以上、70%以上、80%以上、85%以上、特に89%以上である。また厚み500μm換算、波長350nmにおける透過率は、好ましくは50%以上、70%以上、80%以上、85%以上、89%以上、90%以上、特に91%以上である。また厚み500μm換算、波長550nmにおける透過率は、85%以上、89%以上、90%以上、特に91%以上である。このようにすれば、光学結合部材等に適用した場合、光が反射を繰り返しながら透過する際に、光の損失が低減されて、高解像度の結像を得易くなる。
ガラスフィルムのHazeは、好ましくは10%以下、5%以下、3%以下、1%以下、0.5%以下、特に0.3%以下である。このようにすれば、表面での拡散反射を低減することが可能になり、光学結合部材等に適用した場合、光が反射を繰り返しながら透過する際に、光の損失が低減されて、高解像度の結像を得易くなる。なお、「Haze」は、市販のHazeメーターで測定可能である。
ガラスフィルムは、ガラス組成として、質量%で、SiO2 35〜80%、Al2O3 0〜20%、B2O3 0〜17%、MgO 0〜10%、CaO 0〜15%、SrO 0〜15%、BaO 0〜30%を含有することが好ましい。上記のように、各成分の含有範囲を限定した理由を下記に示す。なお、ガラス組成に関する説明において、%表示は、質量%を指す。
SiO2の含有量は35〜80%が好ましい。SiO2の含有量が多過ぎると、溶融性、成形性が低下し易くなる。よって、SiO2の含有量は、好ましくは75%以下、64%以下、62%以下、特に61%以下である。一方、SiO2の含有量が少な過ぎると、ガラス網目構造を形成し難くなって、ガラス化が困難になったり、クラックの発生率が高くなったり、耐酸性が低下し易くなる。よって、SiO2の含有量は、好ましくは40%以上、50%以上、55%以上、特に57%以上である。
Al2O3の含有量は0〜20%が好ましい。Al2O3の含有量が多過ぎると、ガラスに失透結晶が析出して、液相粘度が低下し易くなる。Al2O3の含有量は、好ましくは18%以下、17.5%以下、特に17%以下である。一方、Al2O3の含有量が少な過ぎると、歪点、ヤング率が低下し易くなる。よって、Al2O3の含有量は、好ましくは3%以上、5%以上、8.5%以上、10%以上、12%以上、13%以上、13.5%以上、14%以上、特に14.5%以上である。
B2O3の含有量は0〜17%が好ましい。B2O3の含有量が多過ぎると、歪点、ヤング率、耐酸性が低下し易くなる。よって、B2O3の含有量は、好ましくは15%以下、13%以下、12%以下、11%以下、特に10.4%以下である。一方、B2O3の含有量が少な過ぎると、高温粘度が高くなって、溶融性が低下したり、クラック発生率が上昇したり、液相温度が高くなったり、密度が高くなり易い。よって、B2O3の含有量は、好ましくは2%以上、3%以上、4%以上、5%以上、7%以上、8.5%以上、8.8%以上、特に9%以上である。
MgOは、ヤング率、歪点を高めると共に、高温粘度、クラック発生率を低下させる成分である。しかし、MgOの含有量が多過ぎると、液相温度が上昇して、耐失透性が低下し易くなることに加えて、耐BHF性が低下し易くなる。よって、MgOの含有量は、好ましくは10%以下、5%以下、3%以下、2%以下、1.5%以下、1%以下、特に0.5%以下である。
CaOの含有量は0〜15%が好ましい。CaOの含有量が多過ぎると、密度、熱膨張係数が高くなり易い。よって、CaOの含有量は、好ましくは12%以下、10%以下、9%以下、特に8.5%以下である。一方、CaOの含有量が少な過ぎると、溶融性、ヤング率が低下し易くなる。よって、CaOの含有量は、好ましくは2%以上、3%以上、5%以上、6%以上、7%以上、特に7.5%以上である。
SrOの含有量は0〜15%が好ましい。SrOの含有量が多過ぎると、密度、熱膨張係数が高くなり易い。よって、SrOの含有量は、好ましくは12%以下、10%以下、6%以下、5%以下、特に6.5%以下である。一方、SrOの含有量が少な過ぎると、溶融性、耐薬品性が低下し易くなる。よって、SrOの含有量は、好ましくは0.5%以上、1%以上、2%以上、3%以上、特に3.5%以上である。
BaOの含有量が多過ぎると、密度、熱膨張係数が高くなり易い。よって、BaOの含有量は、好ましくは30%以下、25%以下、20%以下、15%以下、10%以下、5%以下、2%以下、1%以下、特に0.5%以下である。
MgO、CaO、SrO、BaOの各成分を複数導入すると、液相温度が低下して、ガラス中に結晶異物が発生し難くなる。一方、これらの成分の合量が少な過ぎると、融剤としての働きを十分に発揮できず、溶融性が低下し易くなる。よって、これらの成分の合量は、好ましくは5%以上、8%以上、9%以上、11%以上、特に13%以上である。一方、これらの成分の合量が多過ぎると、密度が上昇し、ガラスの軽量化が図り難くなることに加えて、クラック発生率が高くなる傾向がある。よって、これらの成分の合量は、好ましくは30%以下、20%以下、18%以下、特に15%以下である。特に、ガラスフィルムの低密度化を優先したい場合、これらの成分の合量は、好ましくは5%以上、特に8%以上であり、また13%以下、11%以下、特に10%以下である。
ZnOは、溶融性、ヤング率を高める成分である。しかし、ZnOの含有量が多過ぎると、ガラスが失透したり、歪点が低下したり、密度が上昇し易くなる。よって、ZnOの含有量は、好ましくは15%以下、10%以下、5%以下、3%以下、1%以下、特に0.5%以下である。
ZrO2は、ヤング率を高める成分である。しかし、ZrO2の含有量が多過ぎると、液相温度が上昇し、ジルコンの失透異物が発生し易くなる。よって、ZrO2の含有量は、好ましくは3%以下、1%以下、0.5%以下、特に0.1%以下である。
Fe2O3の上限含有量は、好ましくは1000ppm(0.1%)以下、800ppm以下、300ppm以下、200ppm以下、130ppm以下、100ppm以下、80ppm以下、60ppm以下、40ppm以下、30ppm以下、20ppm以下、特に10ppm以下であり、下限含有量は、好ましくは1ppm以上、特に3ppm以上である。Fe2O3の含有量が少ない程、透過率が高くなるため、光学結合部材等に適用した場合、光が反射を繰り返しながら透過する際に、光の損失が低減されて、高解像度の結像を得易くなる。なお、Fe2O3の含有量を低減するためには、高純度の原料を使用することが好ましい。
Y2O3、Nb2O3、La2O3は、歪点、ヤング率等を高める成分である。しかし、これらの成分の含有量が多過ぎると、密度が高くなり易い。よって、Y2O3、Nb2O3、La2O3の含有量は、それぞれ3%以下が好ましい。
清澄剤として、As2O3、Sb2O3、CeO2、SnO2、F、Cl、SO3の群から選択された一種又は二種以上を0〜3%添加してもよい。但し、As2O3、Sb2O3及びF、特にAs2O3及びSb2O3は、環境的観点から、その使用を極力控えることが好ましく、各々の含有量を0.1%未満に制限することが好ましい。好ましい清澄剤は、SnO2、SO3及びClである。SnO2の含有量は、好ましくは0〜1%、0.01〜0.5%、特に0.05〜0.4%である。また、SnO2+SO3+Cl(SnO2、SO3及びClの合量)の含有量は、好ましくは0.001〜1%、0.01〜0.5%、特に0.01〜0.3%である。
上記成分以外にも、他の成分を添加してもよく、他の成分の含有量は10%以下、特に5%以下が好ましい。
本発明のガラス積層体は、その主要な構成材料として反射膜を含む。反射膜は、ガラスフィルムの表面に形成される。
反射膜は、種々の材料が使用可能であるが、その中でも、高解像度の結像を得る観点からAl又はAgが好ましい。
ガラスフィルムの表面に反射膜を形成する方法として、種々の方法があり、例えば、蒸着、スパッタ、めっき等が挙げられる。特に、成膜効率の観点から、スパッタで反射膜を形成することが好ましい。
スパッタ、蒸着により形成した反射膜(特にAlの反射膜)を電解研磨することが好ましい。このようにすれば、反射膜の正反射率が向上して、結像される像の画質を高めることができる。
ガラスフィルムの表面に反射膜を形成する他の方法として、反射膜付き樹脂フィルムを貼り付ける方法を採用することもできる。このようにすれば、反射膜の形成コストを低減することができる。
ガラスフィルムの表面に反射膜を形成する他の方法として、Alペースト、Agペースト等の金属ペーストを塗布、乾燥した後、得られたガラスフィルムを積層、焼成する方法を採用することもできる。この方法においては、金属ペーストにガラスフリットが含まれることが好ましい。このようにすれば、ガラスフィルム同士の固着と反射膜の形成を同時焼成によって行うことができる。
また上記各種の方法で形成した反射膜を保護する目的で、反射膜上にSiO2膜等の保護膜を設けることができる。
本発明のガラス積層体は、ガラスフィルムと反射膜とが交互に積層されてなる。ガラスフィルムと反射膜とを交互に積層する方法としては、少なくとも一方の表面に反射膜が形成されたガラスフィルムを積層することが好ましい。このようにすれば、ガラス積層体の製造コストを低廉化し易くなる。特に成膜効率の観点から、一方の表面のみに反射膜が形成されたガラスフィルムを、ガラスフィルムと反射膜とが交互に配置されるように積層することが更に好ましい。なおこれ以外にも、両方の表面に反射膜が形成されたガラスフィルムと、反射膜が形成されていないガラスフィルムとを交互に積層する方法や、両方の表面に反射膜が形成されたガラスフィルムと、一方の面に反射膜が形成されたガラスフィルムと、反射膜が形成されていないガラスフィルムとを、ガラスフィルムと反射膜とが交互に配置されるように適宜組み合わせて積層する方法等を採用してもよい。
本発明のガラス積層体は、少なくとも1枚のガラスフィルムが、他のガラスフィルムと板引き方向が直交する状態で積層されてなる。本発明のガラス積層体は、例えば複数枚毎に或いはランダムな枚数毎に、板引き方向が異なるように積層されていてもよいが、理想的には隣り合うガラスフィルム同士のすべてが、板引き方向が互いに直交するように積層されていることが望ましい。またガラス積層体は、板引き方向が同じ一群のガラスフィルムと、これとは板引き方向が異なる別の一群のガラスフィルムとの割合が枚数比で1:3〜3:1、特に1:2〜2:1であることが好ましい。この枚数比が1:1に近いほど、全てのガラスフィルムを互いに平行な状態で積層させることが容易になり、反射面の面間隔の均一性を高めることができる。
少なくとも1枚のガラスフィルムが、他のガラスフィルムと板引き方向が直交する状態となるように積層する方法としては、同一ロットから取り出した反射膜付きガラスフィルムを積層する場合、例えば所定の枚数毎にガラスフィルムの向きを90°回転させて積層すればよい。また板引き方向が互いに異なるロットを併用し、各ロットの反射膜付きガラスフィルムを交互に使用して積層する方法を採用することもできる。
本発明のガラス積層体は、ガラスフィルムの積層数が好ましくは100層以上、200層以上、300層以上、400層以上、500層以上、600層以上、特に700層以上であることが好ましい。ガラスフィルムの層数が多いほど、大型の光学結像部材を作製し易くなる。またガラスフィルム間に配置される反射膜の層数は、実質的にガラスフィルムの積層数と実質的に同じである。なお積層体の両最外層が反射膜となるようにすれば、反射膜の層数はガラスフィルムの層数より1層多くなり、反対に積層体の両最外層がガラスフィルムとなるようにすれば、反射膜の層数はガラスフィルムの層数より1層少なくなる。
本発明のガラス積層体は、反射膜付きガラスフィルム同士、或いは反射膜付きガラスフィルムと反射膜のないガラスフィルムとが接着剤により積層一体化されていることが好ましい。つまりガラス積層体は、積層一体化のための接着層を有していることが好ましい。このようにすれば、反射膜付きガラスフィルム同士、或いは反射膜付きガラスフィルムとガラスフィルムとを強固に積層一体化することができる。また、接着層の厚みは、好ましくは100μm以下、70μm以下、50μm以下、40μm以下、特に30μm以下である。このようにすれば、反射膜の間隔を狭小化し易くなる。なお、接着剤として、種々の材料が使用可能であるが、OCA、セメダイン等の透明接着剤が好ましい。
接着層の屈折率ndは、ガラス積層体中のガラスフィルムの屈折率と整合していることが好ましい。ガラスフィルムと接着層の屈折率nd差は、好ましくは0.2以下、0.15以下、0.12以下、0.1以下、0.08以下、0.05以下、0.02以下、0.01以下、0.008以下、特に0.005以下である。これにより、ガラス積層体の接着層側の表面を研磨しなくても、ガラス積層体と接着層の界面での拡散反射を低減することができる。結果として、光学結像部材の製造コストを大幅に低減することができる。なお、屈折率ndは、精密屈折率計により測定可能である。
接着層を構成する接着剤として、EVA樹脂(エチレン−酢酸ビニル共重合樹脂)が好ましい。接着層は、ガラスフィルムの表面に反射膜を形成した後に接着剤を塗布することによって形成することが好ましい。接着層の厚みは、好ましくは0.5mm以下、0.4mm以下、0.3mm以下、0.2mm以下、0.1mm以下、0.05mm以下、特に0.03mm以下である。これにより、高解像度の結像を得易くなる。
EVA樹脂層等の接着層を形成するに際し、加熱することが好ましく、加熱温度は、好ましくは50℃以上、70℃以上、90℃以上、100℃以上、特に110〜250℃である。これにより、EVA樹脂層の形成時間を短縮することができる。また、加熱時の圧力は、好ましくは700torr以下、70torr以下、10torr以下、1torr以下、0.1torr以下、特に0.01torr以下である。これにより、EVA接着層の界面での発泡を抑制することができる。
ガラス積層体を一体化する方法として、接着層を設けることなくガラス積層体を作製する方法を採用することもできる。例えばガラスフィルム等を重ね合わせた状態で熱処理する方法が考えられる。この方法では、接着層が不要になるため、反射膜の間隔を狭小化し易くなる。なお、隣り合う表面同士が平滑であれば、低温(250℃程度)で積層一体化を行うことができる。
ガラス積層体は短冊状であることが好ましい。短冊状のガラス積層体を作製する方法として、例えばより大きなガラス積層体(ガラス積層体母材)から、反射膜面と直交する方向に切断する方法を採用することが好ましい。この方法によれば、多数の短冊状ガラス積層体を効率良く作製することができる。切断方法は、種々の方法を使用可能であるが、作業性の点でワイヤーを用いて切断する方法を採用することが好ましく、例えば、直径100μm程度のワイヤーに研磨砥粒を混ぜて切断することが好ましい。なお、光学結像部材の作製に必要な一対の短冊状ガラス積層体を同一のガラス積層体母材から採取してもよいが、それぞれ別のガラス積層体母材から作製しても差し支えない。
本発明の光学結像部材は、一対のガラス積層体を備える光学結像部材であって、一対のガラス積層体のそれぞれが、上記のガラス積層体であり、且つ一対のガラス積層体が、一方のガラス積層体の反射膜面と他方のガラス積層体の反射膜面とが互いに直交するように配置されていることを特徴とする。ここで光学結像部材を構成するガラス積層体は、短冊状ガラス積層体であることが好ましい。このような構成を有する光学結像部材は、一方のガラス積層体の外側面が光の入射面となり、他方のガラス積層体の外側面が光の出射面となる。入射面から入射した光は、入射面側のガラス積層体に設けられた反射膜で反射して進行方向を変え、続いて出射面側のガラス積層体内に進入、反射してさらに進行方向を変える。しかも本発明の光学結像部材は、ガラス積層体同士が直交した状態で配置された2面直交レフレクター構造となっていることから、1度目の入射角と2度目の出射角それぞれの反射角度が等しくなる。このため、本発明の光学結合部材を対象軸として、入射面側の像を出射面側の空間に結像させることができる。
光学結像部材を構成する一対のガラス積層体は、接着剤により接着固定されていることが好ましい。つまり、ガラス積層体間に接着層を有することが好ましい。このようにすれば、一対のガラス積層体を強固に接着固定することができる。また、接着層の厚みは、光学的な影響を最小化するために、好ましくは100μm以下、70μm以下、50μm以下、40μm以下、特に30μm以下である。なお、接着剤として、種々の材料が使用可能であるが、OCA等の透明接着剤が好ましい。
入射面或いは出射面となるガラス積層体の外側面には、さらにガラス板が配置されることが好ましく、ガラス板とガラス積層体とが接着層で接着固定されていることが好ましい。具体的には、ガラス板、接着層、ガラス積層体、接着層、ガラス積層体、接着層、ガラス板の順に積層配置されていることが好ましい。このようにすれば、ガラス積層体の外側面を高精度に研磨する必要がなくなり、光学結像部材の製造コストを大幅に低減することができる。特にガラス積層体をガラス積層体母材から切り出して作製した場合には、ガラス積層体の外側面が切断面となることから、製造コストの削減効果は非常に大きくなる。
ガラス積層体の外側面の表面粗さRaは、好ましくは0.01μm以上、0.05μm以上、0.1μm以上、0.2μm以上、0.4μm以上、特に0.7μm以上であり、好ましくは3μm以下、2μm以下、1.5μm以下、1.2μm以下、特に1μm以下である。一対のガラス積層体の表面の表面粗さRaが小さ過ぎる場合、この表面の研磨の必要性が高くなり、結果として、光学結像部材の製造コストが高騰する虞がある。一方、一対のガラス積層体の表面の表面粗さRaが大き過ぎると、接着層に空気が混入し易くなる。
接着層の屈折率ndは、ガラス板の屈折率と整合していることが好ましい。ガラス板と接着層の屈折率nd差は、好ましくは0.2以下、0.15以下、0.12以下、0.1以下、0.08以下、0.05以下、0.02以下、0.01以下、0.008以下、特に0.005以下である。これにより、ガラス板と接着層の界面での拡散反射を低減することができる。
接着層の屈折率ndは、好ましくは1.60以下、1.55以下、1.54以下、1.52以下、1.51以下、特に1.50以下であり、好ましくは1.45以上、1.48以上、特に1.49以上である。これにより、ガラスフィルムやガラス板の屈折率に整合させ易くなり、接着層の界面での拡散反射を抑制することができる。
ガラス板の表面粗さRaは、好ましくは1.0nm以下、0.8nm以下、0.6nm以下、0.5nm以下、0.4nm以下、0.3nm以下、0.2nm以下、特に0.1nm以下が好ましい。このようにすれば、光学結合部材の機械的強度を高めることができる。
ガラス板は、オーバーフローダウンドロー法により成形されていることが好ましい。このようにすれば、ガラス板の表面精度が向上し、ガラス板の研磨工程を省略することが可能になる。
ガラス板は、表面に圧縮応力層を有する強化ガラスからなることが好ましい。この場合、圧縮応力層の圧縮応力値は、好ましくは200MPa以上、400MPa以上、600MPa以上、特に800MPa以上であり、応力深さは、好ましくは10μm以上、20μm以上、30μm以上、特に40μm以上である。このようにすれば、光学結像部材の機械的強度を高めることができる。
ガラス板は、最外層側(ガラス積層体とは反対側)の表面に反射防止層(反射防止膜)を有することが好ましい。これにより、最外層側の表面の反射が抑制されて、高解像度の結像を得易くなる。
本発明のガラスフィルムは、は縦横比(L/W)が1.3以下であることを特徴とする。また厚みが3000μm以下であることが好ましい。なお、本発明のガラスフィルムの好適な縦横比、厚み及びその他の技術的特徴は、既述の通りであり、ここでは詳細な説明を省略する。
本発明のガラス積層体の製造方法を説明する。
まず、反射膜とガラスフィルムとが交互に積層された状態となるように反射膜付きガラスフィルムを積層する。積層するに際しては、少なくとも1枚のガラスフィルムが他のガラスフィルムと板引き方向が直交するように反射膜付きガラスフィルムを配置する。ここで使用するガラスフィルムは、厚さが3000μm以下、縦横比が1.3以下であることが好ましい。反射膜付きガラスを積層する方法の詳細は既述の通りであり、ここでは説明を省略する。同様に使用するガラスフィルムの好適な縦横比、厚み及びその他の技術的特徴は既述の通りであり、ここでは詳細な説明を省略する。
さらに反射膜面と直交する方向に切断して、ガラス積層体を短冊状とすることが好ましい。
このようにして本発明のガラス積層体を得ることができる。
本発明の光学結像部材の製造方法を説明する。
まず、既述の方法で作製した一対のガラス積層体を用意する。
続いて一方のガラス積層体の反射膜面と他方のガラス積層体の反射膜面とが互いに直交するようにガラス積層体同士を配置し、接着固定等を行う。ガラス積層体同士を接合する方法等は記述の通りであり、ここでは説明を省略する。
さらに、ガラス積層体の外側面にガラス板を接着固定してもよい。
このようにして本発明の光学結像部材を得ることができる。
次に、本発明のガラス積層体及び光学結像部材の一例について、図面を参酌しながら説明する。図1は、本発明のガラス積層体1の一例を示す概念斜視図である。ガラス積層体1は、ガラスフィルム10と反射膜11が交互に積層一体化されている。ガラスフィルム10の厚みは3000μm以下である。ここで反射膜付きガラスフィルム同士は、図示しない接着層により積層一体化している。なお、図中において、反射膜11の厚みは、誇張して表示されている。
このガラス積層体は、ガラスフィルム10の片面に反射膜11を形成した反射膜付きガラスフィルムを、ガラスフィルム10と反射膜11が交互に配置されるように積層一体化することにより作製される。また反射膜付きガラスフィルムを積層一体化するに際し、図2に示すように、少なくとも1枚のガラスフィルム10aの板引き方向Aが、他のガラスフィルム10bの板引き方向Bと直交する状態となるように積層する。なお、図2は反射膜を省略して図示している。
図3は、本発明のガラス積層体2の一例を示す概念斜視図であり、図1に記載のガラス積層体1を反射膜が形成された面に直交する方向に切断して、短冊状のガラス積層体2としたものである。切断幅は、光学結像部材の寸法から適宜決定される。このようにすれば、短冊状ガラス積層体2を効率良く作製することができる。
図4は、本発明の光学結像部材3の一例を示す概念斜視図である。光学結像部材3は、図3に記載の短冊状ガラス積層体2が一対使用されており、一対の短冊状ガラス積層体2は、反射膜13が形成された面同士が直交するように、ガラス積層体2の側面(切断面)同士が、図示しない接着層により接着固定されている。接着層の屈折率は、ガラスフィルム12と整合している。光学結像部材3は、ガラスフィルム12により、反射膜13の間隔が狭小化、且つ均一化されている。
図5は、本発明の光学結像部材4の一例を示す概念斜視図である。光学結像部材4は、図3に記載の短冊状ガラス積層体2が一対使用されており、一対のガラス積層体2は、一方のガラス積層体の反射膜面と他方のガラス積層体の反射膜面とが互いに直交するように、ガラス積層体2の側面(切断面)同士が、図示しない接着層により接着固定されている。光学結像部材4は、ガラスフィルム15により、反射膜14の間隔が狭小化、且つ均一化されている。ガラス積層体2の入射面側或いは出射面側の表面には、それぞれガラス板16が配置されており、図示しない接着層により接着固定されている。ここで、接着層の屈折率は、ガラスフィルム15と及びガラス板16の屈折率と整合している。
以下に、本発明で使用するガラスフィルムの好適な例を説明する。但し、以下の例は単なる例示である。本発明で使用するガラスフィルムは、以下の例に何ら限定されない。
表1は、ガラスフィルム(試料No.1〜7)のガラス組成と特性を示している。
まず表1に記載のガラス組成になるように、ガラス原料を調合し、得られたガラス原料をガラス溶融炉に供給して1500〜1600℃で溶融した。次いで、得られた溶融ガラスをオーバーフローダウンドロー法により、表中の厚みを有し、また幅寸法が1500mmになるように成形した。続いて、成形直後のガラスフィルムを徐冷エリアに移動させた。その際に、1012〜1014dPa・sにおける温度での冷却速度が20℃/分になるように、徐冷エリアの温度とフィルム引き出し速度を調整した。
密度は、周知のアルキメデス法により測定した値である。
歪点は、ASTM C336−71の方法に基づいて測定した値である。
ガラス転移温度は、熱膨張曲線からJIS R3103−3の方法に基づいて測定した値である。
軟化点は ASTM C338−93の方法に基づいて測定した値である。
104.0、103.0、102.5dPa・sにおける温度は、白金球引き上げ法で測定した値である。この温度が低い程、溶融性に優れていることになる。
ヤング率は、共振法により測定した値である。
熱膨張係数は、ディラトメーターを用いて、30〜380℃における平均熱膨張係数を測定したものである。熱膨張係数の測定用試料として、端面にR加工を施したφ5mm×20mmの円柱状の試料を用いた。
液相温度は、標準篩30メッシュ(500μm)を通過し、50メッシュ(300μm)に残るガラス粉末を白金ボートに入れ、温度勾配炉中に24時間保持して、結晶の析出する温度を測定したものである。液相粘度は、液相温度におけるガラスの粘度を白金球引き上げ法で測定した値である。
下記の方法により、耐HCl性と耐BHF性を評価した。まず各試料の両表面を光学研磨した後、表面の一部をマスキングした。次に、所定の濃度に調合した薬液中で、所定の温度で所定の時間浸漬した。その後、マスクを外し、マスク部分と浸食部分の段差を表面粗さ計で測定し、その値を浸食量とした。また、各試料の両表面を光学研磨した後、所定の濃度に調合した薬液中で、所定の温度で所定の時間浸漬した。その後、試料の表面を目視で観察し、表面が白濁したり、荒れたり、クラックが入っているものを「×」、変化が全く無いものを「○」として評価した。
ここで、耐BHF性の浸食量は、130BHF溶液(NH4HF:4.6質量%,NH4F:36質量%)を用いて20℃、30分間の処理条件で測定した。外観評価は、63BHF溶液(HF:6質量%,NH4F:30質量%)を用いて、20℃、30分間の処理条件で行った。また耐HCl性の浸食量は、10質量%塩酸水溶液を用いて80℃、24時間の処理条件で測定した。外観評価は、10質量%塩酸水溶液を用いて80℃、3時間の処理条件で行った。
クラック発生率は、湿度30%、温度25℃に保持された恒温恒湿槽内において、荷重1000gに設定したビッカース圧子を試料表面(光学研磨面)に15秒間打ち込み、その15秒後に圧痕の4隅から発生するクラックの数をカウント(1つの圧痕につき最大4とする)する。20回圧子を打ち込み、総クラック発生数/80×100として評価した。
表面の表面粗さRaは、JIS B0601:2001に準拠した方法で測定した値である。
端面の表面粗さRaは、JIS B0601:2001に準拠した方法で測定した値である。
うねりは、触針式の表面形状測定装置を用いて、JIS B0601:2001に記載のWCA(ろ波中心線うねり)を測定した値であり、この測定は、SEMI STD D15−1296「FPDガラス板の表面うねりの測定方法」に準拠した方法で測定し、測定時のカットオフは0.8〜8mm、ガラスフィルムの引き出し方向に対して垂直な方向に300mmの長さで測定した値である。
ガラスフィルムの最大厚みと最小厚みの差は、レーザー式厚み測定装置を用いて、ガラスフィルムの任意の一辺に厚み方向からレーザーを走査することにより、ガラスフィルムの最大厚みと最小厚みを測定した上で、最大厚みの値から最小厚みの値を減じた値である。
屈折率ndは、精密屈折率計(島津製作所社製KPR−2000)を用いて測定した値である。
表1から明らかなように、試料No.1〜7は、厚みが小さく、表面精度が良好である。よって、試料No.1〜7の表面に反射膜を形成した上で、これを積層一体化すれば、コストアップを招来させることなく、ガラス積層体を作製することができる。なお各試料とも、板引き方向と直交する方向に偏肉(肉厚分布)が生じ、板引き方向に沿って筋状の厚肉部が認められた。このためガラスフィルムを積層一体化するに際し、少なくとも1枚のガラスフィルムが、他のガラスフィルムと板引き方向が直交する状態となるように積層すれば、反射面の面間隔を均一にすることが可能になる。そして、得られた一対のガラス積層体を、一方のガラス積層体の反射膜面と他方のガラス積層体の反射膜面とが互いに直交するように配置すれば、高解像に結像し得る光学結像部材を得ることができる。
試料No.1〜6につき、表中の厚み、波長にて透過率を測定した。測定装置として、UV−3100PCを使用し、スリット幅:2.0nm、スキャン速度:中速、サンプリングピッチ:0.5nmの条件で測定した。その結果を表2に示す。
表2から明らかなように、試料No.1〜6は、何れの厚み、波長でも透過率が高かった。
更に、各試料について、Hazeメーター(日本電飾工業社製Haze Meter NDH−5000)によりHazeを測定した。その結果を表2に示す。表2から明らかなように、試料No.1〜6は、何れもHazeが小さいため、表面での拡散反射を抑制することができる。
まず試料No.2のガラス組成を有するガラスフィルムを用意した。ガラスフィルムの厚みは0.25mmであり、屈折率ndは1.50である。次に、ガラスフィルムの一方の表面に対して、Al膜、SiO2膜を順次形成した後、得られた反射膜付きガラスフィルム1600枚を、ガラスフィルムと反射膜が交互に配置されるように、LOCTITE454(ヘンケルジャパン株式会社製)を用いて積層一体化しガラス積層体を得た。なおガラス積層体を作製する際に、同一ロットから取り出した反射膜付きガラスフィルムを、一枚毎に向きを90°回転させて積層した。
続いて、マルチワイヤーソー(砥粒#600)を用いて、ガラス積層体をガラスフィルムの厚み方向(反射膜面と直交する方向)に切断した後、砥粒等を除くために洗浄を行い、一対の短冊状ガラス積層体(400mm×400mm×0.75mm)を得た。短冊状ガラス積層体の切断面の表面粗さを測定したところ、Raは0.7μm、Rqは0.89μm、Rsmは63μmであった。更に、短冊状ガラス積層体の切断面にUV硬化樹脂(ヘンケルジャパン株式会社製Loctite3301)を滴下した後、一方の短冊状ガラス積層体の反射膜面と他方の短冊状ガラス積層体の反射膜面とが互いに直交するように、短冊状ガラス積層体同士を配置し、上方から365nmのUVランプ(30mW/cm2)を100秒照射して、一対の短冊状ガラス積層体を接着固定した。また、試料No.2のガラス組成を有するガラス板を2枚用意した。このガラス板の厚みは0.3mmであり、オーバーフローダウンドロー法により成形したものである。
最後に、一対の短冊状ガラス積層体の外側面(入射面側及び出射面側)にそれぞれガラス板を配置すると共に、上記と同様のUV硬化樹脂により接着固定して、光学結像部材を得た。
1 ガラス積層体
2 短冊状ガラス積層体
3 光学結像部材
4 ガラス板付き光学結像部材
10 ガラスフィルム
10a ガラスフィルム
10b ガラスフィルム
11 反射膜
12 ガラスフィルム
13 反射膜
14 反射膜
15 ガラスフィルム
16 ガラス板
2 短冊状ガラス積層体
3 光学結像部材
4 ガラス板付き光学結像部材
10 ガラスフィルム
10a ガラスフィルム
10b ガラスフィルム
11 反射膜
12 ガラスフィルム
13 反射膜
14 反射膜
15 ガラスフィルム
16 ガラス板
Claims (14)
- ガラスフィルムと反射膜とが交互に積層された光学結像部材用ガラス積層体であって、ガラスフィルムは、溶融ガラスを板引き成形して作製されたものであり、ガラス積層体は、少なくとも1枚のガラスフィルムが、他のガラスフィルムと板引き方向が直交する状態で積層されてなることを特徴とする光学結像部材用ガラス積層体。
- ガラス積層体が短冊状であることを特徴とする請求項1に記載の光学結像部材用ガラス積層体。
- ガラスフィルムは、厚さが3000μm以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載の光学結像部材用ガラス積層体。
- 請求項1〜3の何れかに記載された一対のガラス積層体が、一方のガラス積層体の反射膜面と他方のガラス積層体の反射膜面とが互いに直交するように、配置されてなることを特徴とする光学結像部材。
- 反射膜とガラスフィルムとが交互に積層されるように反射膜付きガラスフィルムを積層する光学結像部材用ガラス積層体の製造方法であって、
ガラスフィルムが溶融ガラスを板引き成形して作製されたものであるとともに、少なくとも1枚のガラスフィルムが、他のガラスフィルムと板引き方向が直交するように反射膜付きガラスフィルムを積層することを特徴とする光学結像部材用ガラス積層体の製造方法。 - 反射膜付きガラスフィルムを積層した後、さらに反射膜面と直交する方向に切断して短冊状のガラス積層体とすることを特徴とする請求項5に記載の光学結像部材用ガラス積層体の製造方法。
- 厚さが3000μm以下のガラスフィルムを用いてガラス積層体を作製することを特徴とする請求項5又は6に記載の光学結像部材用ガラス積層体の製造方法。
- 縦横比が1.3以下のガラスフィルムを用いてガラス積層体を作製することを特徴とする請求項5〜7の何れかに記載の光学結像部材用ガラス積層体の製造方法。
- 請求項5〜8の何れかの方法で作製されてなることを特徴とする光学結像部材用ガラス積層体。
- 請求項1〜3の何れかに記載された一対のガラス積層体を、一方のガラス積層体の反射膜面と他方のガラス積層体の反射膜面とが互いに直交するようにガラス積層体同士を配置して、光学結像部材を得る工程と、を備えることを特徴とする光学結像部材の製造方法。
- 請求項5〜8の何れかの方法で作製された一対のガラス積層体を、一方のガラス積層体の反射膜面と他方のガラス積層体の反射膜面とが互いに直交するように配置して、光学結像部材を得る工程と、を備えることを特徴とする光学結像部材の製造方法。
- 請求項10又は11に記載の方法で作製されてなることを特徴とする光学結像部材。
- 光学結合部材用ガラス積層体に使用されるガラスフィルムであって、ガラスフィルムの縦横比が1.3以下であることを特徴とするガラスフィルム。
- 厚みが3000μm以下であることを特徴とする請求項13に記載のガラスフィルム。
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