JP2018039688A - マイクロ流路デバイス用ガラス基板 - Google Patents
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Abstract
Description
さらに、ガラス基板の最大厚みと最小厚みの差が10μm以下、5μm以下、2μm以下、特に1μm以下であることが好ましい。この差が大きすぎると、基板同士を接合しにくくなる。
Claims (6)
- ガラス組成として、質量%で、SiO2 50〜85%、Al2O3 0〜20%、B2O3 0〜17%、MgO 0〜10%、CaO 0〜15%、SrO 0〜15%、BaO 0〜10%、R2O(RはLi、Na及びKから選択される少なくとも1種) 0.1〜10%を含有することを特徴とするマイクロ流路デバイス用ガラス基板。
- 軟化点が900℃以下であることを特徴とする請求項1に記載のマイクロ流路デバイス用ガラス基板。
- 熱膨脹係数(30〜380℃)が80×10−7/℃以下であることを特徴とする請求項1または2に記載のマイクロ流路デバイス用ガラス基板。
- 歪点が500℃以上であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のマイクロ流路デバイス用ガラス基板。
- 液相粘度が104.0dPa・s以上であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のマイクロ流路デバイス用ガラス基板。
- 表面粗さRaが100Å以下であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のマイクロ流路デバイス用ガラス基板。
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