JP7453507B2 - 搬送システム - Google Patents
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Description
まず、搬送システム1及びその周辺の構成について、図1を参照しつつ説明する。本実施形態における搬送システム1は、例えば、EFEM(Equipment Front End Module)と呼ばれるシステムである。EFEMは、後述するフレームウェハ100に所定の処理を施す処理装置2と、フレームウェハ100が収容される容器Fとの間でフレームウェハ100の受渡しを行うように構成されたシステムである。
バッファストッカ23の詳細構成について、図3の斜視図、図4の右側面図及び図5(a)の正面図を参照しつつ説明する。図3に示すように、バッファストッカ23は、筐体12内に固定的に配置されたベース部材41と、ベース部材41に支持され、複数のフレームウェハ100を保持する保持部42と、保持部42を反転させるモータ43(本発明の反転部)と、を有する。
次に、以上の構成を有するバッファストッカ23によるフレームウェハ100の反転動作について、図5(a)、(b)、図6(a)、(b)及び図7を参照しつつ説明する。図5(a)~図7は、バッファストッカ23の正面図であり、バッファストッカ23の動作を示す説明図である。なお、説明の簡単化及び図面の煩雑化回避のため、図5(a)~図7においてはフレームウェハ100を1つのみ図示している。
11a 載置部
21 搬送ロボット
23 バッファストッカ
42 保持部
43 モータ(反転部)
51 取付部
52 可動部
63 スロット部(固定スロット部)
66 スロット部(固定スロット部)
69 スロット部(固定スロット部)
71 エアシリンダ(移動駆動部)
73 スロット部(把持部)
74 エアシリンダ(移動駆動部)
76 スロット部(把持部)
77 エアシリンダ(移動駆動部)
79 スロット部(把持部)
100 フレームウェハ
101 ウェハ
102 フレーム
F 容器
Claims (3)
- ウェハと、前記ウェハを保持するフレームと、を有するフレームウェハを搬送する搬送システムであって、
複数の前記フレームウェハを収容可能な容器が載置される載置部と、
前記載置部に載置された前記容器に前記複数のフレームウェハを出し入れする搬送ロボットと、
前記複数のフレームウェハを一時的に保管するバッファストッカと、を備え、
前記バッファストッカは、
複数の前記フレームを把持することによって前記複数のフレームウェハを保持する保持部と、
前記保持部を反転させる反転部と、を有することを特徴とする搬送システム。 - 前記バッファストッカは、前記保持部を回転可能に支持する支持部を有し、
前記保持部は、
前記支持部に回転可能に取り付けられた取付部と、
前記取付部に対して移動可能な可動部と、
前記複数のフレームウェハを前記保持部に出し入れ可能な解放位置と、前記複数のフレームを把持可能な把持位置との間で前記可動部を移動させる移動駆動部と、を有することを特徴とする請求項1に記載の搬送システム。 - 前記反転部は、
各フレームウェハの一方の面が上を向いている状態と、前記一方の面が下を向いている状態との間で前記保持部の状態を切り換えるように前記保持部を反転可能であり、
前記取付部は、前記複数のフレームが上下方向に並べて載置されることが可能な複数の固定スロット部を有し、
前記移動駆動部は、前記可動部を上下移動させることにより前記可動部を前記解放位置と前記把持位置との間で移動させ、
前記可動部は、
前記把持位置に位置しているときに、前記固定スロット部との間に前記フレームを挟んで把持可能な複数の把持部を有し、
前記複数の把持部は、前記移動駆動部によって一体的に移動可能であることを特徴とする請求項2に記載の搬送システム。
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