JP2014228783A - 光走査装置、画像形成装置、画像投影装置 - Google Patents

Abstract

【課題】梁部の温度変化や経年変化などの発生にかかわらず梁部変形検出手段により得られた値を基に、可動部を制御することが可能な光走査装置を提供する。
【解決手段】本開示の一態様にかかる光走査装置は、光偏向器（２４）を構成する梁部に支持された可動部の反射面の向きを変える光走査装置であって、梁部の変形量を検出する梁部変形検出手段と、反射面で反射された反射光の軌跡を検出する光軌跡検出手段（２６）と、光軌跡検出手段（２６）により得られた反射光の軌跡が所望の設定範囲である場合に梁部変形検出手段により得られた値を記憶する記憶手段（２１）と、梁部変形検出手段により得られた値が記憶手段（２１）に記憶された値となるように可動部を制御する制御手段（２０）と、を有することを特徴とする。
【選択図】図９

Description

本開示は、光走査を行う技術に関する。

近年、光を偏向・走査する手段として、半導体製造技術を応用したシリコンやガラスを微細加工するマイクロマシニング技術により、半導体基板上に、反射面を設けた可動部や可動部を支持する梁部を一体形成した小型の光偏向器（光偏向素子）が開発されている。

例えば、図１に示すように、梁部１０に支持された可動部１１の反射面により光の向きを変える光偏向器２４がある。図１は、光偏向器２４の構成例を示す図である。図１は、可動部１１を回転させた状態を示している。

なお、可動部１１を共振駆動させることで、小さなエネルギーで、大きな振幅角を得られるようにする構成の光偏向器２４もある。

可動部１１を共振駆動した場合は、図２に示すように、１周期間中に直線に近い線形的な波形を示す時間ｓはわずかである。図２は、可動部１１の反射面の振幅角（回転角）と時間との関係を示す図である。この図２に示すわずかな時間ｓだけを使用すると描画に使える時間が短くなってしまう。

そこで、図３に示すように、蛇行した梁部１０で可動部１１を支持し、梁部１０の変位を図４に示すように累積させることで、梁部１０のバネ定数を小さくし、可動部１１の反射面の振幅波形が図５に示すような鋸状の振幅波形となるように梁部１０を駆動させることも提案されている。これにより、１周期間中に直線に近い線形的な波形を示す時間を多くすることができる。図３は、光偏向器２４の構成例を示し、図４は、図３に示す梁部１０が異なる方向に撓んだ状態を示す。図５は、可動部１１の反射面の振幅角（回転角）と時間との関係を示す図である。

図３に示す光偏向器２４の構成の場合は、可動部１１の反射面の振幅波形が図５に示すような鋸状の振幅波形となっているか可動部１１の向きをモニタリングする。そして、可動部１１の反射面の振幅波形に、図６に示すようなジッターが発生している場合は、可動部１１の反射面の振幅波形が図５に示すような鋸状の振幅波形となるように、可動部１１を制御する。図６は、可動部１１の反射面の振幅角（回転角）と時間との関係を示す図であり、振幅波形にジッターが発生した状態を示す。

可動部１１の向きをモニタリングする手段としては、梁部１０などの駆動によって変形が生じる箇所に、梁部１０の変形量を検出するためのＰＺＴ膜、ピエゾ抵抗素子、歪ゲージ素子などを配置し、梁部１０の変形量を基に、可動部１１の向きをモニタリングすることが提案されている。例えば、図７、図８に示す構成が挙げられる。図７、図８は、梁部１０に梁部変形検出部１２を設けた構成例を示している。梁部変形検出部１２は、梁部１０の変形量を検出するものであり、上述したＰＺＴ膜、ピエゾ抵抗素子、歪ゲージ素子などで構成する。図７は、可動部１０の反射面の振幅により大きな応力の発生する梁部１０の付け根に梁部変形検出部１２を設けた構成例を示している。図７に示す４つの梁部変形検出部１２は、それぞれで梁部１０の変形量を検出する。このため、４つの梁部変形検出部１２でそれぞれ検出した梁部１０の変形量を演算し、梁部変形検出部１２により得られた値とする。図８は、駆動用のＰＺＴパターン９に並行して梁部１０の変形量を検出する梁部変形検出部１２である検出用ＰＺＴパターンを配置した構成例を示している。図８においては、梁部変形検出部１２として、ＰＺＴ膜を用いた構成例を示したが、ピエゾ抵抗素子、歪ゲージ素子などを用いて構成することも可能である。図８に示す梁部変形検出部１２は、図８に示すＡ、Ｂのそれぞれで梁部１０の変形量を検出する。このため、Ａ、Ｂのそれぞれで検出した梁部１０の変形量を演算し、梁部変形検出部１２により得られた値とする。

梁部１０にＰＺＴ膜を配置した場合は、圧電効果を利用し、ＰＺＴ膜の変形に応じて電位が発生する。この電位を検出することで、梁部１０の変形量を検出することができる。そして、梁部１０の変形量から可動部１１の向きをモニタリングし、可動部１１の反射面の振幅波形が図５に示すような鋸状の振幅波形となるように可動部１１を制御する。

ピエゾ抵抗素子や歪ゲージ素子などの検出素子は、検出素子を取り付けた箇所が伸びると、その伸びに応じて、検出素子が伸び、検出素子の断面積が小さくなり、抵抗が大きくなる。逆に、検出素子が縮むと抵抗が小さくなる。このため、梁部１０に検出素子を配置し、抵抗変化をモニタリングすることで、梁部１０の変形量を検出することができる。そして、梁部１０の変形量から可動部１１の向きをモニタリングし、可動部１１の反射面の振幅波形が図５に示すような鋸状の振幅波形となるように可動部１１を制御する。

しかし、梁部変形検出部１２を構成するＰＺＴ膜は、温度によって圧電定数が変化する。このため、梁部１０の変形量が同じであっても、温度変化によって電位が違ってしまうことになる。また、梁部変形検出部１２を構成する歪ゲージ素子も温度によって抵抗係数が変化する。このため、梁部１０の変形量が同じであっても、温度変化によって異なった抵抗値を示すことになる。その結果、梁部変形検出部１２により得られた値は、梁部１０の変形量が同じであっても、梁部１０の温度変化によって異なってしまうことになる。

上記の問題を解決するには、梁部変形検出部１２の近傍に温度センサを配置し、温度センサにより検出された温度を基に、梁部変形検出部１２により得られた値を温度に応じて補正することも考えられる。しかし、梁部変形検出部１２の位置の温度を温度センサで直接検出できるわけではないので、梁部変形検出部１２の位置の温度を温度センサで精度良く検出することができない。また、梁部変形検出部１２により得られた値は、梁部１０の経年変化などによっても変化する。このため、温度センサにより検出された温度を基に梁部変形検出部１２により得られた値を温度に応じて補正しても、梁部１０の経年変化などによる誤差が含まれたままになってしまう。

このようなことから、梁部１０の温度変化や経年変化などの発生にかかわらず梁部変形検出部１２により得られた値を基に、可動部１１の向きをモニタリングし、可動部１１を制御することが可能な仕組みが必要視されている。

なお、特許文献１（特開２０１２−１１８１２５号公報）には、可動部の裏面に光線を投射し、その反射光を受光する位置によって可動部の向きを検出する方法が提案されている。特許文献１の方法は、本来の光走査を妨げることなく、可動部の向きを正確にモニタリングすることができる。

しかし、特許文献１の方法を行うためには、別の発光部、受光部が必要となる。このため、装置が大型化し、コストが増加してしまうことになる。また、適応できる構成が限られてしまうことになる。例えば、可動部の裏面は平面に限られるので、可動部にリブをつけて、可動部の歪を抑制することが難しくなる。また、光偏向器２４全体を囲うパッケージングを行えないか、仮に行えたとしても、パッケージングを行った光偏向器２４が非常に大きくなってしまうなどの実装上の問題が発生することになる。

可動部１１の駆動が共振駆動で、単に、可動部１１の振幅をモニタリングし、梁部変形検出部１２により得られた値を補正するだけならば、例えば、特許文献２（特開２０１１−１１２９７５号公報）に提案されている方法を用いることができる。しかし、共振駆動だけではなく、可動部１１の振れ角を等速度で変化させたい場合、可動部１１の反射面で反射した反射光の光スポットを線形的に等速で動かしたい場合、可動部１１を低速で移動させたい場合などは、所望のタイミングで光スポットが移動しているかを検出する必要がある。

また、特許文献１、２では、梁部１０の温度変化や経年変化などの発生にかかわらず梁部変形検出部１２により得られた値を基に、可動部１１を制御することについては何ら考慮されていない。

本開示の目的は、梁部の温度変化や経年変化などの発生にかかわらず梁部変形検出手段により得られた値を基に、可動部を制御することが可能な光走査装置を提供することにある。

本開示の一態様にかかる光走査装置は、
光偏向器を構成する梁部に支持された可動部の反射面の向きを変える光走査装置であって、
前記梁部の変形量を検出する梁部変形検出手段と、
前記反射面で反射された反射光の軌跡を検出する光軌跡検出手段と、
前記光軌跡検出手段により得られた反射光の軌跡が所望の設定範囲である場合に前記梁部変形検出手段により得られた値を記憶する記憶手段と、
前記梁部変形検出手段により得られた値が前記記憶手段に記憶された値となるように前記可動部を制御する制御手段と、
を有することを特徴とする。

本開示の一態様によれば、梁部の温度変化や経年変化などの発生にかかわらず梁部変形検出手段により得られた値を基に、可動部を制御することができる。

光偏向器の構成例を示す図である。 可動部の反射面の振幅角（回転角）と時間との関係を示す図である。 光偏向器の構成例を示す図である。 図３に示す梁部が異なる方向に撓んだ状態を示す図である。 可動部の反射面の振幅角（回転角）と時間との関係を示す図である。 振幅波形にジッターが発生した状態を示す図である。 梁部に梁部変形検出部を設けた構成例を示す図である。 梁部に梁部変形検出部を設けた構成例を示す図である。 本実施形態の光走査装置の構成例を示す図である。 光軌跡検出部を光偏向器の光の反射領域に挿入退避できるように構成する例を示す図である。 光軌跡検出部を光偏向器の光の反射領域に挿入退避できるように構成する例を示す図である。 光軌跡検出部を光偏向器の光の反射領域に挿入退避できるように構成する例を示す図である。 光軌跡検出部を光偏向器の光の反射領域に挿入退避できるように構成する例を示す図である。 所望の（時間的）軌跡を示す図である。 図１４に示す所望の（時間的）軌跡に近づいた反射光の軌跡を示す図である。 梁部変形検出部により得られた理想的な信号波形を示す図である。 ジッターが発生した反射光の軌跡を示す図である。 ジッターが発生した信号波形を示す図である。 光走査の開始前に行う事前準備の処理動作例を示す図である。 光走査の動作中の処理動作例を示す図である。 光偏向器の構成例を示す図である。 電圧信号を示す図である。 光走査装置の構成例を示す図である。 光軌跡検出部の配置位置と、反射光の投影範囲と、の関係を示す図である。 光軌跡検出部の配置位置と、反射光の投影範囲と、の関係を示す図である。 正しい投影位置と、実際の投影位置と、の関係を示す図である。 光検出部の配置位置を示す図である。 可動部の反射面の振幅角（回転角）と時間との関係を示す図である。 可動部の反射面の振幅角（回転角）と時間との関係を示す図である。 光偏向器の構成例を示す図である。 画像形成装置の構成例を示す図である。 画像投影装置の構成例を示す図である。 画像投影装置の構成例を示す図である。

（本開示の一態様にかかる光走査装置の実施形態の概要）
まず、図７〜図９を参照しながら、本開示の一態様にかかる光走査装置の実施形態の概要について説明する。図７、図８は、光走査装置を構成する光偏向器２４の構成例を示す。図９は、光走査装置の構成例を示す。

本開示の一態様にかかる光走査装置は、図７、図８に示す光偏向器２４を構成する梁部１０に支持された可動部１１の反射面の向きを変える光走査装置である。

本開示の一態様にかかる光走査装置は、梁部変形検出手段、光軌跡検出手段、記憶手段、制御手段を有して構成する。

梁部変形検出手段は、梁部１０の変形量を検出する。梁部変形検出手段は、図７、図８に示す梁部変形検出部１２が機能する。

光軌跡検出手段は、光偏向器２４の可動部１１の反射面で反射された反射光の軌跡を検出する。光軌跡検出手段は、図９に示す光軌跡検出部２６が機能する。

記憶手段は、光軌跡検出手段により得られた反射光の軌跡が所望の設定範囲である場合に梁部変形検出手段により得られた値を記憶する。記憶手段は、図９に示す記憶部２１が機能する。

制御手段は、梁部変形検出手段により得られた値が記憶手段に記憶された値となるように可動部１１を制御する。制御手段は、図９に示す制御部２０が機能する。

本開示の一態様にかかる光走査装置は、光軌跡検出手段により得られた反射光の軌跡が所望の設定範囲である場合に梁部変形検出手段により得られた値を記憶手段に記憶する。光軌跡検出手段により得られた反射光の軌跡が所望の設定範囲である場合に梁部変形検出手段により得られた値は、梁部１０の温度変化や経年変化などが発生した状態を踏まえて梁部変形検出手段により得られた値である。このため、その値を記憶手段に記憶し、梁部変形検出手段により得られた値が記憶手段に記憶された値となるように可動部１１を制御する。これにより、梁部１０の温度変化や経年変化などの発生にかかわらず梁部変形検出手段により得られた値を基に、可動部１１を制御することができる。以下、添付図面を参照しながら、本開示の一態様にかかる光走査装置の実施形態について詳細に説明する。

（第１の実施形態）
＜光走査装置の構成例＞
まず、図９を参照しながら、本実施形態の光走査装置の構成例について説明する。図９は、本実施形態の光走査装置の構成例を示す図である。

本実施形態の光走査装置は、図９に示すように、制御部２０、記憶部２１、ＬＤ２２、ＬＤドライバ２３、光偏向器２４、光偏向器ドライバ２５、光軌跡検出部２６、モータ２７、モータドライバ２８を有して構成する。

制御部２０は、光走査装置全体を制御する。制御部２０は、ＬＤドライバ２３、光偏向器ドライバ２５、モータドライバ２８を制御する。記憶部２１は、各種情報を記憶する。例えば、ＬＤドライバ２３を駆動する際の駆動条件、光偏向器ドライバ２５を駆動する際の駆動条件、モータドライバ２８を駆動する際の駆動条件を記憶する。

ＬＤ２２は、光を照射する。ＬＤドライバ２３は、ＬＤ２２を駆動制御する。

光偏向器２４は、ＬＤ２２から照射された光を偏向・走査する。光偏向器ドライバ２５は、光偏向器２４を駆動制御する。

光軌跡検出部２６は、光偏向器２４から偏向された光の軌跡を検出する。モータ２７は、光軌跡検出部２６を駆動制御する。モータドライバ２８は、モータ２７を駆動制御する。

本実施形態の光偏向器２４は、例えば、図７、８に示すように、光偏向器２４を構成する梁部１０に、梁部変形検出部１２を配置している。梁部変形検出部は、梁部１０の変形量を検出する。梁部変形検出部は、例えば、ＰＺＴ膜、ピエゾ抵抗素子、歪ゲージ素子などで構成する。梁部１０の変形量を検出することで、梁部１０の変形量を基に、光偏向器２４を構成する可動部１１の向きを把握することができる。

しかし、梁部１０は、温度変化の影響を受けやすく、また、経年変化も発生する。このため、梁部１０の温度変化や梁部１０の経年変化に応じて、梁部変形検出部１２により得られた値を補正する必要がある。

本実施形態では、梁部変形検出部１２により得られた値を補正する補正手段として、光軌跡検出部２６により得られた値を基に、梁部変形検出部１２により得られた値を補正する。光軌跡検出部２６は、フォトダイオードアレイなどで構成し、光偏向器２４を構成する可動部１１の反射面で反射した反射光の軌跡を検出する。フォトダイオードアレイは、フォトダイオードを狭ピッチに配置して構成する。フォトダイオードアレイなどの光軌跡検出部２６は、温度の影響を受けにくいが、反射光を受光しないと、反射光の軌跡を検出することができない。そのため、光走査装置に光軌跡検出部２６を組み込む場合に、光軌跡検出部２６として機能するタイミング、光軌跡検出部２６を配置する場所に制限がある。

本実施形態では、例えば、光走査の動作開始前、あるいは、実際の光走査の動作の合間などにおいて、光軌跡検出部２６を光偏向器２４の光の反射領域に挿入し、光偏向器２４を構成する可動部１１の反射面で反射した反射光の軌跡を光軌跡検出部２６で検出する。そして、光軌跡検出部２６により得られた反射光の軌跡が所望の（時間的）軌跡となるように、光偏向器２４の可動部１１の駆動条件を変更する。そして、光軌跡検出部２６により得られた反射光の軌跡が所望の（時間的）軌跡となったときに梁部変形検出部１２により得られた値（信号波形）を、実際に光走査を行う際に梁部変形検出部１２により得られる目標値（目標信号波形）として記憶部２１に記憶する。

光軌跡検出部２６により得られた反射光の軌跡が所望の（時間的）軌跡となったときに梁部変形検出部１２により得られた値（信号波形）は、梁部１０の温度変化や経年変化などが発生した状態を踏まえて梁部変形検出部１２により得られた値である。このため、光軌跡検出部２６により得られた反射光の軌跡が所望の（時間的）軌跡となったときに梁部変形検出部１２により得られた値（信号波形）を、実際に光走査を行う際に梁部変形検出部１２により得られる目標値（目標信号波形）として記憶部２１に記憶する。これにより、梁部１０の温度変化や梁部の経年変化に応じて、梁部変形検出部１２により得られた値を補正して記憶部２１に記憶して管理することができる。

光軌跡検出部２６を光偏向器２４の光の反射領域に挿入退避できるように構成する方法としては、例えば、図１０、図１１に示す構成例が挙げられる。図１０、図１１の構成例は、ピニオン３０の回転で、ラック３１に固定した光軌跡検出部２６を移動させ、光軌跡検出部２６を光偏向器２４の光の反射領域に挿入退避できるようにしている。図１０は、光軌跡検出部２６を光偏向器２４の光の反射領域に挿入した状態を示し、図１１は、光軌跡検出部２６を光偏向器２４の光の反射領域から退避した状態を示している。

他の構成例としては、図１２、１３に示す構成例が挙げられる。図１２、図１３の構成例は、光軌跡検出部２６を回動可能に支持しておき、ストッパー（図示せず）で光軌跡検出部２６を所定位置に停止させ、光軌跡検出部２６を光偏向器２４の光の反射領域に挿入退避できるようにしている。図１２は、光軌跡検出部２６を光偏向器２４の光の反射領域に挿入した状態を示し、図１３は、光軌跡検出部２６を光偏向器２４の光の反射領域から退避した状態を示している。

なお、逆に、光軌跡検出部２６を固定し、可動部１１の反射面を中心に光偏向器２４の向きを変えられるように構成し、本来の反射位置への反射と、光軌跡検出部２６への反射と、で光偏向器２４からの反射光の光路を変えるようにしてもよい。

梁部変形検出部１２により得られた値（信号波形）を記憶部２１に記憶した後は、光軌跡検出部２６を退避させる。そして、実際の光走査の動作を実行する。光走査の動作中は、梁部変形検出部１２により得られた値（信号波形）が、記憶部２１に記憶した目標値（目標信号波形）となるように可動部１１の駆動条件を変更する。

例えば、所望の（時間的）軌跡が図１４に示すような波形である場合、実際の光走査の動作を始める前に、光軌跡検出部２６を光偏向器２４の光の反射領域に挿入し、光偏向器２４を構成する可動部１１の反射面で反射した反射光の軌跡を光軌跡検出部２６で検出する。図１４は、所望の（時間的）軌跡を示す図である。そして、光軌跡検出部２６により得られた反射光の軌跡が図１４に示すような所望の（時間的）軌跡となるように、光偏向器２４の可動部１１の駆動条件を変更する。なお、光軌跡検出部２６により得られた反射光の軌跡が図１７に示すような軌跡の波形の場合は、波形にジッターが発生している。このため、光軌跡検出部２６により得られた反射光の軌跡が図１４に示すような所望の（時間的）軌跡となるように可動部１１の駆動条件を変更する。図１７は、ジッターが発生した反射光の軌跡を示す図である。そして、光軌跡検出部２６により得られた反射光の軌跡が図１５に示すような軌跡の波形になった場合は、図１４に示すような所望の（時間的）軌跡となったと判定する。図１５は、図１４に示す所望の（時間的）軌跡に近づいた反射光の軌跡を示す図である。そして、光軌跡検出部２６により得られた反射光の軌跡が図１５に示すような軌跡の波形になったときに梁部変形検出部１２により得られた値（信号波形）を処理（場合によっては、増幅や演算を施す）する。そして、梁部変形検出部１２により得られた値（信号波形）を、実際に光走査を行う際に梁部変形検出部１２により得られる目標値（目標信号波形）として記憶部２１に記憶する。そして、実際の光走査の動作中は、梁部変形検出部１２により得られた値（信号波形）が、記憶部２１に記憶した目標値（目標信号波形）と同じになっているかモニタリングする。そして、梁部変形検出部１２により得られた値（信号波形）が、記憶部２１に記憶した目標値（目標信号波形）となるように可動部１１の駆動条件を変更する。

なお、記憶部２１に記憶した目標値（目標信号波形）が図１６に示すような波形であった場合、光走査をしているうちに、梁部変形検出部１２により得られた値（信号波形）が、図１８に示す波形になってきたとする。図１６は、梁部変形検出部により得られた理想的な信号波形を示す図である。図１８は、ジッターが発生した信号波形を示す図である。この場合、走査している光の軌跡もおかしくなってきていると判断できる。制御部２０は、可動部１１の駆動条件を少しずつ変更しながら、梁部変形検出部１２により得られた値（信号波形）を確認する。そして、梁部変形検出部１２により得られた値（信号波形）が記憶部２１に記憶した図１６に示すような波形となるように、可動部１１の駆動条件を変更する。もし、可動部１１の駆動条件を変更しても、梁部変形検出部１２により得られた値（信号波形）が記憶部２１に記憶した図１６に示すような波形となる改善の見込みがない場合は、光走査装置の故障を通知する。通知の方法は特に限定せず、ブザー音やアラーム表示など任意の方法で通知する。また、記憶部２１にメールアドレス等を記憶し、そのメールアドレスの宛先に故障を通知するようにしても良い。

光走査の開始前に行う事前準備の処理動作例を図１９に示す。また、光走査の動作中の処理動作例を図２０に示す。

まず、図１９を参照しながら、事前準備の処理動作例について説明する。

まず、光軌跡検出部２６を光偏向器２４の光の反射領域内に挿入する（ステップS1）。

次に、ＬＤ２２を点灯させ、光偏向器２４の可動部１１を振幅させる（ステップS2）。これにより、光軌跡検出部２６は、光偏向器２４の可動部１１の反射面で反射された反射光の軌跡を検出する（ステップS3）。

制御部２０は、光軌跡検出部２６により得られた反射光の軌跡が設定範囲にあるか否かを判定する（ステップS4）。設定範囲は、光軌跡検出部２６により得られた反射光の軌跡が所望の（時間的）軌跡となる範囲であり、予め設定されている。

制御部２０は、反射光の軌跡が設定範囲にない場合は（ステップS4/No）、光偏向器２４の可動部１１の駆動条件を変更する（ステップS5）。そして、光軌跡検出部２６は、駆動条件の変更後に光偏向器２４の可動部１１の反射面で反射された反射光の軌跡を検出する（ステップS3）。制御部２０は、反射光の軌跡が設定範囲にあると判定するまでステップS3〜S5の処理を繰り返し行う。なお、上記処理を所定回数繰り返し行っても、反射光の軌跡が設定範囲にあると判定できない場合は、エラー通知を行うようにしても良い。

制御部２０は、反射光の軌跡が設定範囲にある場合は（ステップS4/Yes）、光軌跡検出部２６により得られた反射光の軌跡が所望の（時間的）軌跡であると判定する。この場合、制御部２０は、光軌跡検出部２６により得られた反射光の軌跡が所望の（時間的）軌跡の波形になったときに梁部変形検出部１２により得られた値（信号波形）を処理（場合によっては、増幅や演算を施す）する（ステップS6）。制御部２０は、光軌跡検出部２６により得られた反射光の軌跡が所望の（時間的）軌跡の波形になったときに梁部変形検出部１２により得られた値（信号波形）を、実際に光走査を行う際に梁部変形検出部１２により得られる目標値（目標信号波形）として記憶部２１に記憶する（ステップS7）。これにより、理想的な駆動を行っている際に梁部変形検出部１２により得られる最適な信号波形が記憶部２１に記憶されることになる。次に、光軌跡検出部２６を光偏向器２４の光の反射領域外に退避する（ステップS8）。

次に、図２０を参照しながら、光走査の動作中の処理動作例について説明する。

まず、制御部２０は、梁部変形検出部１２により得られた値（信号波形）を処理（場合によっては、増幅や演算を施す）する（ステップS11）。

次に、制御部２０は、上記処理した梁部変形検出部１２により得られた値（信号波形）と、図１９の処理で事前に記憶部２１に記憶した目標値（目標信号波形）と、を比較する（ステップS12）。

制御部２０は、梁部変形検出部１２により得られた値（信号波形）と、図１９の処理で事前に記憶部２１に記憶した目標値（目標信号波形）と、を比較した比較結果が許容値内にあるか否かを判定する（ステップS13）。許容値は、予め設定しておく。制御部２０は、比較結果が許容値内にある場合は（ステップS13/Yes）、ステップS11〜ステップS13の処理を繰り返し行うことになる。また、比較結果が許容値内にない場合は（ステップS13/No）、光偏向器２４の可動部１１の駆動条件を変更する（ステップS14）。駆動条件の変更方法は特に限定せず、任意の方法で変更してもよい。例えば、所定の量で段階的に駆動条件を変更しても良く、比較結果に応じた量で駆動条件を変更するようにしても良い。

制御部２０は、光走査の動作を終了しない場合は（ステップS15/No）、ステップS11に移行し、駆動条件を変更した後に梁部変形検出部１２により得られた値（信号波形）を処理（場合によっては、増幅や演算を施す）する（ステップS11）。そして、ステップS12、S13の処理を行うことになる。また、光走査の動作を終了する場合は（ステップS15/Yes）、処理を終了する（End）。

可動部１１の駆動条件を変更する方法としては、例えば、以下の方法が挙げられる。例えば、図２１に示す光偏向器２４の構成において、梁部１０ａ、１０ｂの蛇行した各梁部にそれぞれ設けられた複数の圧電部材１５の１つ置きに印加する電圧信号ａ、ｂの相対的位相、駆動周波数、電圧値を変化させて、梁部１０ａ、１０ｂを駆動し、可動部１１の駆動条件を変更する。図２１は、光偏向器２４の構成例を示す図である。図２１に示す梁部１０ａ、１０ｂの蛇行した各梁部（回転軸Ｘ−Ｘに垂直な方向の各梁部）にそれぞれ設けられた複数の圧電部材１５を１つ置きにＡ、Ｂとする。ここで、Ａの圧電部材１５には、図２２の波形ａに示す電圧信号ａを印加し、Ｂの圧電部材１５には、図２２の波形ｂに示す電圧信号ｂを印加するようにする。図２２は、電圧信号を示す図である。この場合、図２２の（ａ）、（ｂ）に示すように、圧電部材１５のＡに印加する電圧信号ａとＢに印加する電圧信号ｂとの位相を相対的にずらしながら梁部１０ａ、１０ｂを駆動し、可動部１１の駆動条件を変更する。図２２（ａ）、（ｂ）に示すｍ、ｎは、電圧信号ａ、ｂの相対的位相のずれ量を示す。また、電圧信号ａ、ｂの駆動周波数、電圧値を変化させて、梁部１０ａ、１０ｂを駆動し、可動部１１の駆動条件を変更する。図２１に示す光偏向器２４の構成の場合は、梁部変形検出部１２は、図２１に示すＡ、Ｂのそれぞれで梁部１０ａ、１０ｂの変形量を検出する。このため、Ａ、Ｂのそれぞれで検出した梁部１０ａ、１０ｂの変形量を演算し、梁部変形検出部１２により得られた値とする。図２１において１６は、枠である。

＜本実施形態の光走査装置の作用・効果＞
このように、本実施形態の光走査装置は、光偏向器２４を構成する梁部１０に支持された可動部１１の反射面で反射された反射光の軌跡を検出する光軌跡検出部２６と、梁部１０の変形量を検出する梁部変形検出部１２と、を有して構成する。そして、光軌跡検出部２６により得られた反射光の軌跡が所望の設定範囲である場合に梁部変形検出部１２により得られた値を記憶部２１に記憶する。光軌跡検出部２６により得られた反射光の軌跡が所望の設定範囲である場合に梁部変形検出部１２により得られた値は、梁部１０の温度変化や経年変化などが発生した状態を踏まえて梁部変形検出部１２により得られた値である。このため、その値を記憶部２１に記憶し、梁部変形検出部１２により得られた値が記憶部２１に記憶された値となるように可動部１１を制御する。これにより、梁部１０の温度変化や経年変化などの発生にかかわらず梁部変形検出部１２により得られた値を基に、可動部１１を制御することができる。

なお、本実施形態の光走査装置は、可動部１１の振幅全体を検出している。このため、例えば、特許文献２（特開２０１１−１１２９７５号公報）と同じように、可動部１１の振幅をモニタリングし、梁部変形検出部１２により得られた値を補正することも可能である。この場合、可動部１１の駆動条件を調整しても、梁部変形検出部１２により得られた値（信号波形）が記憶部２１に記憶した目標値（目標信号波形）から外れる場合は、故障警告を行うようにしても良い。

（第２の実施形態）
次に、第２の実施形態について説明する。

第１の実施形態は、光軌跡検出部２６をフォトダイオードアレイで構成している。

本実施形態は、光軌跡検出部２６をＰＳＤ（Position Sensitive Detector）で構成する。

フォトダイオードアレイは、複数のフォトダイオードで構成しているため、光をそれぞれのフォトダイオードで間欠的にしか検出することができない。その結果、光偏向器２４を構成する可動部１１の反射面で反射した反射光の軌跡を間欠的にしか検出することができない。

本実施形態では、光軌跡検出部２６をＰＳＤで構成し、光偏向器２４を構成する可動部１１の反射面で反射した反射光の軌跡を連続的に検出するようにしている。これにより、光軌跡検出部２６により得られた反射光の軌跡にわずかなジッターが発生している場合でも、そのジッターを発見することができる。

ＰＳＤは、スポット状の光の位置を検出できる。ＰＳＤは、受光量に応じた電圧を発生する材料を一様に塗布した一定の面積を有するセンサに光のスポットが当たると、受光量に応じた電圧を発生する。光スポットの位置から離れた点の電位は、膜材質の抵抗によりそれぞれ低下するので、センサの両端に発生する電圧の比から、光スポットのセンサ位置を求めることができる。アナログ電圧の演算からセンサ位置を求めるので、分解能は理論的には無限小である。例えば、図９〜図１３に示す光軌跡検出部２６をＰＳＤで構成する場合は、光の走査方向とＰＳＤのセンサ面の長手方向とが一致するように構成する。

光軌跡検出部２６をＰＳＤで構成することで、光偏向器２４を構成する可動部１１の反射面で反射した反射光の軌跡を連続的に検出することができる。その結果、光軌跡検出部２６により得られた反射光の軌跡にわずかなジッターが発生している場合でも、そのジッターを発見することができる。

（第３の実施形態）
次に、第３の実施形態について説明する。

第１の実施形態では、光軌跡検出部２６を光偏向器２４の光の反射領域に挿入退避できるように構成している。しかし、光偏向器２４の反射光が移動する反射領域に、光軌跡検出部２６を挿入退避するためだけの機構を配置することはなるべく避けた方が好ましい。

本実施形態では、図２３に示すように、光偏向器２４の可動部１１の反射面で反射された反射光により実際に投影する投影範囲外に光軌跡検出部２６を配置している。図２３は、光走査装置の構成例を示す図である。そして、可動部１１の反射面で反射された反射光が光軌跡検出部２６に当たるように可動部１１を制御している。これにより、第１の実施形態のように光軌跡検出部２６を光偏向器２４の光の反射領域に挿入退避できるように構成しなくとも、光偏向器２４の反射面で反射した反射光の軌跡を光軌跡検出部２６で検出することができる。

本実施形態では、主走査方向は、可動部１１を共振駆動により駆動させ、副走査方向は、可動部１１の反射面の振幅波形が図５に示すような鋸状の振幅波形となるように可動部１１を駆動させ、２次元的に画像を投影する場合を例に説明する。

主走査方向の中央部と周辺部とでは光の走査速度が異なってしまうが、光スポットの速度が速い中央部は輝度を高めに、遅い周辺部では輝度を下げるように、ＬＤ２２から照射する光の出力を調整し、光の明るさのむらができないようにする。

図２３に示すように２次元的に光を走査する場合は、主走査方向の必要投影範囲の外側に光軌跡検出部２６を配置する。必要投影範囲とは、光偏向器２４の可動部１１の反射面で反射した反射光を実際に投影する投影範囲を意味する。そして、実際に光の投影を行う前に、図２４に示すように、必要投影範囲よりも大きく主走査方向に可動部１１を振幅させ、可動部１１の反射面で反射した反射光が、光軌跡検出部２６を通過するように可動部１１を制御する。図２４は、光軌跡検出部２６の配置位置と、反射光の投影範囲と、の関係を示す図である。図２４に示すように、副走査方向にも反射光が振れているので、間欠的になるが、一定周期で副走査方向の反射光の移動軌跡を検出することができる。

本実施形態の場合は、光軌跡検出部２６により得られた副走査方向の反射光の移動軌跡が図５に示すような所望の（時間的）軌跡となるように、光偏向器２４の可動部１１の副走査方向の駆動条件を変更する。そして、光軌跡検出部２６により得られた副走査方向の反射光の軌跡が図５に示すような所望の（時間的）軌跡となったときに梁部変形検出部１２により得られた値（信号波形）を、実際に副走査方向の光走査を行う際に梁部変形検出部１２により得られる目標値（目標信号波形）として記憶部２１に記憶する。この場合、梁部変形検出部１２は、副走査方向の振幅に伴う梁部１０の変形量を検出するように梁部１０に設けることになる。

実際に光の投影を行うときは、主走査方向の振幅は、上述した事前の調整時よりも小さくし、図２５に示すように、主走査方向の必要投影範囲に反射光が通過するように必要最低限の振幅にする。図２５は、光軌跡検出部２６の配置位置と、反射光の投影範囲と、の関係を示す図である。これにより、１周期あたりの描画時間の割合を大きくすることができる。また、梁部変形検出部１２により得られた値（信号波形）をモニタリングし、梁部変形検出部１２により得られた値（信号波形）が、記憶部２１に記憶した目標値（目標信号波形）となるように可動部１１の副走査方向の振幅角（回転角）を調整する。

本実施形態では、図２３に示すように、光偏向器２４の反射面で反射された反射光により実際に投影する投影範囲外に光軌跡検出部２６を配置している。これにより、第１の実施形態のように光軌跡検出部２６を光偏向器２４の光の反射領域に挿入退避できるように構成しなくとも、光偏向器２４の反射面で反射した反射光の軌跡を光軌跡検出部２６で検出することができる。

なお、上述した実施形態において可動部１１の主走査方向の振幅角（回転角）を調整することも可能である。

この場合、梁部変形検出部１２は、副走査方向の振幅に伴う梁部１０の変形量も検出するように梁部１０に設けることになる。そして、実際に光の投影を行う事前準備の処理動作において、可動部１１の主走査方向についても駆動電圧を上げるなどして、可動部１１の主走査方向の振幅角（回転角）を少しずつ大きくしていく。光軌跡検出部２６が反射光を受光したときの可動部１１の主走査方向の振幅角は、光軌跡検出部２６の配置から把握することができる。そして、実際に光の投影を行う場合は、この可動部１１の主走査方向の振幅角（回転角）の情報を基に、主走査方向側の梁部変形検出部１２により得られた値をモニタリングする。そして、可動部１１の主走査方向の振幅角（回転角）を一定に保つように、主走査方向の可動部１１の振幅角（回転角）を調整する。これにより、可動部１１の主走査方向の振幅角（回転角）を調整することができる。

（第４の実施形態）
次に、第４の実施形態について説明する。

光偏向器２４の反射面で反射された反射光の実際の投影位置が、例えば、図２６に示すように、本来の正しい投影位置に対してずれているとする。図２６は、正しい投影位置と、実際の投影位置と、の関係を示す図である。反射光の軌跡を光軌跡検出部２６で検出しているので、反射光の実際の投影位置が本来の正しい投影位置に対してずれていても、反射光のずれ量を把握することができる。このため、光軌跡検出部２６で検出した反射光の軌跡を基に、反射光のずれ量を把握し、そのずれ量に応じてＬＤ２２から照射する光の発光タイミングを調整し、実際の投影位置を本来の正しい投影位置に調整することができる。

例えば、図２７に示すように、主走査方向において光軌跡検出部２６を設けた側とは反対側に光検出部４０を配置し、投影画像１コマの中で、主走査方向の振幅を最低１回ずつは光軌跡検出部２６と光検出部４０とで検出できるようにする。図２７は、光検出部の配置位置を示す図である。

反射光が外側に動くときと内側に動くときに、光軌跡検出部２６と光検出部４０との２つの検出部を反射光が横切る。このため、反射光の軌跡は、図２８に示すように、１周期の中で、所定の位置を２回ずつ４回通過することになる。図２８は、可動部１１の反射面の振幅角（回転角）と時間との関係を示す図である。

主走査振幅ｙは、以下の式で表すことができる。
ｙ＝Ａ・ｓｉｎ（ωｔ＋θ）＋ｃ
但し、Ａ：振幅、ω：角速度、ω＝２πｆ（ｆ：周波数）、ｔ：時間、θ：位相、ｃ：中心位置ずれ量を表す。

未知のパラメータが、Ａ、ω、θ、ｃの４つで、方程式が４つ以上得られるので、Ａ、ω、θ、ｃの値が求まる。また、ωを２πで除すことによって、駆動周波数を求めることができる。駆動信号の共振周波数と、実際の反射面の振幅の周波数と、が同じと考えれば、未知のパラメータが減るので、計算は更に容易になる。ｃの値が主走査駆動の投影範囲の中心位置ずれ量となる。もし、主走査振幅の中心位置ずれを検出したら、正しい位置に投影されるように、図２９に示すように、ＬＤ２２から照射する光の発光タイミングを調整し、実際の投影位置を本来の正しい投影位置に調整する。図２９は、可動部１１の反射面の振幅角（回転角）と時間との関係を示す図である。図２９では太線がＬＤ２２を発光させている時間、破線が可動部１１の反射面の振幅を示している。

なお、図２７は、光軌跡検出部２６よりも幅が狭い光検出部４０を設けた例を示している。しかし、両側に光軌跡検出部２６のように幅の長い受光領域を持った光検出部４０を配置することも可能である。この構成により、主走査方向全体の反射光の位置ずれをモニタリングすることができる。また、副走査方向の反射光の軌跡を更に細かく検出し、光軌跡検出部２６での検出精度を向上させることができる。

（第５の実施形態）
次に、第５の実施形態について説明する。

梁部１０の温度変化が激しい場合は、実際の光走査を行う事前に記憶部２１に記憶した値を基に可動部１１の振幅を調整しても、可動部１１の振幅を調整するための環境条件が変わってしまうため、可動部１１の振幅を正しく調整することが困難となる。

本実施形態では、光走査装置に温度センサ（図示せず）を設ける。そして、温度センサにより検出した温度情報を基に、温度が著しく変化したと判定した場合は、梁部変形検出部１２により得られた値ではなく、光軌跡検出部２６により得られた反射光の軌跡を基に可動部１１の振幅を調整する。温度が著しく変化したか否かは、例えば、温度センサにより検出した温度の変化量が所定の値以上の場合に、温度が著しく変化したと判定する。温度が著しく変化したと判定した際は、ＬＤ２２の発光タイミングを調整し、必要投影範囲より反射光を大きく振幅させて、光軌跡検出部２６に反射光を入射させるように、可動部１１の振幅角（回転角）の大きさを切り替える。なお、可動部１１の振幅角（回転角）に対して描画に有効な時間の割合が小さくなってしまった場合は、投影画像の輝度を下げるか、ＬＤ２２により発光する光の輝度を上げるかする。ＬＤ２２の発光タイミングを調整しても、光軌跡検出部２６からは精度の高い検出結果を得ることができるので、光軌跡検出部２６により得られた値を基に可動部１１の振幅を調整することで、ジッターの発生を抑制し、投影画像の歪み発生を防ぐことができる。なお、温度センサの設置位置は特に限定せず、任意の位置に設けることが可能である。但し、梁部変形検出部１２の近傍に温度センサを設けることが好ましい。

（第６の実施形態）
次に、第６の実施形態について説明する。

可動部１１の反射面から離れるほど、反射面によって反射された反射光の振幅が大きくなる。このため、可動部１１の反射面から光軌跡検出部２６が離れるほど、光軌跡検出部２６で反射光を検出する領域が大きくなってしまう。光軌跡検出部２６で反射光を検出する領域が大きくなってしまうと、光走査装置を組み込む場合の設計自由度を向上させる観点から好ましくない。

本実施形態では、例えば、図３０に示すように、光軌跡検出部２６を光偏向器２４に取り付けるようにしている。図３０は、光偏向器の構成例を示す図である。図３０に示すように、光軌跡検出部２６を光偏向器２４に取り付けることで、可動部１１の反射面から近い位置で反射光の軌跡を検出することができる。その結果、光軌跡検出部２６で反射光を検出する領域を小さくすることができ、光軌跡検出部２６を小型化することができる。また、光軌跡検出部２６を保持するための新たな部材を必要とせずに、光軌跡検出部２６を光走査装置に搭載することができる。

本実施形態では、例えば、図３０に示すように、可動部１１の反射面の回転振幅を制御できる光偏向器２４をパッケージ部５０に収容し、光が透過可能なガラスなどの窓５１を設けた蓋部５２で光偏向器２４を封止する。この蓋部５２に光軌跡検出部２６を配置する。光軌跡検出部２６の配置位置は、反射面からの反射光の反射方向や、反射面の振幅角によって任意に決定すればよい。反射面が多少傾いている可能性もあるので、光軌跡検出部２６が適正な配置位置に配置するように蓋部５２の位置を調整してから、蓋部５２をパッケージ部５０に固定する。図３０に示す蓋部５２は、枠５３、窓５１、光軌跡検出部２６を有して構成している。

（第７の実施形態）
次に、第７の実施形態について説明する。

本実施形態では、上述した光走査装置を画像形成装置に搭載している。

実際にレーザ光を感光体ドラムなどの像担持体に照射して像担持体上に画像を形成する際は、撮像領域から光軌跡検出部２６を退避させる。レーザ光を像担持体に照射しない時（画像形成前、画像形成の間など）は、反射光を受光できる位置に光軌跡検出部２６を移動し、光偏向器２４の可動部１１の反射面の振幅制御を行う。これにより、光偏向器２４の可動部１１の反射面の振幅制御を正確に行うことができるため、光走査装置を長期的に使用しても、良好な画質を形成することができる。

図３１は、画像形成装置の構成例を示す。図３１において、９０１は光書込装置、９０２は光書込装置９０１の被走査面を提供する感光体ドラム（像担持体）である。光書込装置９０１は、記録信号によって変調された１本又は複数本のレーザ光で感光体ドラム９０２の表面（被走査面）を同ドラムの軸方向に走査する。

感光体ドラム９０２は、矢印９０３方向に回転駆動され、帯電部９０４で帯電された表面に光書込装置９０１により光走査されることによって静電潜像が形成される。

この静電潜像は現像部９０５でトナー像に顕像化され、このトナー像は転写部９０６で記録紙９０８に転写される。

転写されたトナー像は定着部９０７によって記録紙９０８に定着される。感光体ドラム９０２の転写部９０６を通過した表面部分はクリーニング部９０９で残留トナーが除去される。なお、感光体ドラム９０２に代えてベルト状の感光体を用いる構成も可能である。また、トナー像を転写媒体に一旦転写し、この転写媒体からトナー像を記録紙に転写して定着させる構成とすることも可能である。

光書込装置９０１は、光源部９１０、振動ミラー９２１、結像光学系９２２、走査光学系９２３から構成される。光源部９１０は、記録信号によって変調された１本又は複数本のレーザ光を発する。振動ミラー９２１は、上述した実施形態の光走査装置である。結像光学系９２２は、振動ミラー９２１のミラー基板のミラー面に光源部９１０からのレーザ光を結像させるための光学系である。走査光学系９２３は、振動ミラー９２１のミラー面で反射された１本又は複数本のレーザ光を感光体ドラム９０２の表面（被走査面）に結像させるための光学系である。振動ミラー９２１は、駆動のための集積回路９２４とともに回路基板９２５に実装された形で光書込装置９０１に組み込まれる。

上述した構成の光書込装置９０１は、次のような利点を有する。振動ミラー９２１は、各歪みセンサ（図示省略）の出力に基づく変位算出回路における検出精度、ならびに駆動制御回路における制御性に優れる。このため、画像形成装置の高画質化に有利である。

なお、記録紙９０８の搬送機構、感光体ドラム９０２の駆動機構、現像部９０５、転写部９０６などの制御手段、光源部９１０の駆動系などは、従来の画像形成装置と同様でよいため、図中では省略されている（必要であれば、特許第４１５１９５９号参照）。

（第８の実施形態）
次に、第８の実施形態について説明する。

本実施形態では、上述した光走査装置を画像投影装置に搭載している。

実際に画像を投影する際は、撮像領域から光軌跡検出部２６を退避させる。画像を投影しない時（画像投影前、画像投影の間など）は、反射光を受光できる位置に光軌跡検出部２６を移動し、光偏向器２４の可動部１１の反射面の振幅制御を行う。これにより、光偏向器２４の可動部１１の反射面の振幅制御を正確に行うことができるため、光走査装置を長期的に使用しても、良好な画質を投影することができる。

図３２は、２軸駆動の光走査装置を画像投影装置に搭載した構成例を示す。

画像投影装置は、図３２に示すように、赤色光源装置１Ｒ、緑色光源装置１Ｇ、青色光源装置１Ｂ、クロスダイクロイックプリズム２Ｑ、光走査装置３Ｑを備え、投射面（スクリーン）４Ｑに投影する。赤色光源装置１Ｒは、赤色のレーザ光を射出する。緑色光源装置１Ｇは、緑色のレーザ光を射出する。青色光源装置１Ｂは、青色のレーザ光を射出する。クロスダイクロイックプリズム２Ｑは、レーザ光を光走査装置３Ｑに導く。光走査装置３Ｑは、クロスダイクロイックプリズム２Ｑから射出されたレーザ光を走査する。投影装置は投射面４Ｑを一体とする構成であってもよい。

赤色光源装置１Ｒは、中心波長が６３０ｎｍである半導体レーザー（ＬＤ）であり、青色光源装置１Ｂは、中心波長が４３０ｎｍである半導体レーザー（ＬＤ）である。緑色光源装置１Ｇは、中心波長が５４０ｎｍである緑色のレーザ光を出射する。

また、光走査装置３Ｑは、２軸周りに回動できる構造であり、入射したレーザ光を投射面（スクリーン）４Ｑに反射させる。

上記構成により、光走査装置３Ｑのミラー部投影面内で２方向に振動運動が可能となっている。また、投射面４Ｑの水平方向及び垂直方向にレーザ光を走査することが可能となる。これにより、投影位置に応じて各色の光源の発光量を調整し、所望の画像を表示することができる。

なお、画像投影装置は、図３３に示すように、赤色光源装置１Ｒ、緑色光源装置１Ｇ、青色光源装置１Ｂが光路合成を行わない構成であってもよい。図３３は、２軸駆動の光走査装置を画像投影装置に搭載した構成例を示す。なお、本実施形態では、カラー画像を投影する例について述べているが、白黒画像を投影する場合にも本実施形態の光走査装置を適用可能することが可能である。

なお、上述する実施形態は、本発明の好適な実施形態であり、上記実施形態のみに本発明の範囲を限定するものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更を施した形態での実施が可能である。

例えば、上記実施形態の光走査装置を構成する各装置における制御動作は、ハードウェア、ソフトウェア、あるいは、両者の複合構成を用いて実行することも可能である。

なお、ソフトウェアを用いて処理を実行する場合には、処理シーケンスを記録したプログラムを、専用のハードウェアに組み込まれているコンピュータ内のメモリにインストールして実行させることが可能である。あるいは、各種処理が実行可能な汎用コンピュータ内のメモリにインストールして実行させることが可能である。

例えば、プログラムは、記録媒体としてのハードディスクやROM（Read Only Memory）に予め記録しておくことが可能である。あるいは、プログラムは、リムーバブル記録媒体に一時的、あるいは、永続的に格納（記録）しておくことが可能である。このようなリムーバブル記録媒体は、いわゆるパッケージソフトウエアとして提供することが可能である。リムーバブル記録媒体は、磁気ディスク、半導体メモリなどの各種記録媒体が挙げられる。

なお、プログラムは、上述したようなリムーバブル記録媒体からコンピュータにインストールすることになる。また、ダウンロードサイトからコンピュータに無線転送することになる。また、ネットワークを介してコンピュータに有線で転送することになる。

また、上記実施形態の光走査装置を構成する各装置は、上記実施形態で説明した処理動作に従って時系列的に処理を実行するだけに限定するものでない。例えば、処理を実行する装置の処理能力、あるいは、必要に応じて並列的にあるいは個別に処理を実行するように構築することも可能である。

１０ 梁部
１１ 可動部
１２ 梁部変形検出部
２０ 制御部
２１ 記憶部
２２ ＬＤ
２３ ＬＤドライバ
２４ 光偏向器
２５ 光偏向器ドライバ
２６ 光軌跡検出部
２７ モータ
２８ モータドライバ

特開２０１２−１１８１２５号公報 特開２０１１−１１２９７５号公報

Claims (9)

1. 光偏向器を構成する梁部に支持された可動部の反射面の向きを変える光走査装置であって、
   前記梁部の変形量を検出する梁部変形検出手段と、
   前記反射面で反射された反射光の軌跡を検出する光軌跡検出手段と、
   前記光軌跡検出手段により得られた反射光の軌跡が所望の設定範囲である場合に前記梁部変形検出手段により得られた値を記憶する記憶手段と、
   前記梁部変形検出手段により得られた値が前記記憶手段に記憶された値となるように前記可動部を制御する制御手段と、
   を有することを特徴とする光走査装置。
2. 前記記憶手段は、
   前記可動部を制御して前記光軌跡検出手段により得られた反射光の軌跡が所望の設定範囲である場合に前記梁部変形検出手段により得られた値を記憶する、ことを特徴とする請求項１記載の光走査装置。
3. 前記光軌跡検出手段は、
   ＰＳＤ（Position Sensitive Detector）で構成する、ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載の光走査装置。
4. 前記光軌跡検出手段は、
   前記反射面で反射された反射光により実際に投影する投影範囲外に配置されており、
   前記反射面で反射された反射光が前記光軌跡検出手段に当たるように前記可動部を制御する、ことを特徴とする請求項１から請求項３の何れか１項に記載の光走査装置。
5. 反射光を検出する光検出手段を有し、
   前記光検出手段と前記光軌跡検出手段とにより得られた反射光の軌跡を基に、前記反射面に光を照射する光源の発光タイミングを調整する、ことを特徴とする請求項４に記載の光走査装置。
6. 温度センサを有し、
   前記制御手段は、
   前記温度センサで得られた温度の変化量が所定の値以上の場合は、前記光軌跡検出手段により得られた反射光の軌跡を基に前記可動部を制御する、ことを特徴とする請求項４または請求項５に記載の光走査装置。
7. 前記光軌跡検出手段は、
   前記光偏向器に設けられている、ことを特徴とする請求項１から請求項６の何れか１項に記載の光走査装置。
8. 請求項１記載の光走査装置を搭載したことを特徴とする画像形成装置。
9. 請求項１記載の光走査装置を搭載したことを特徴とする画像投影装置。

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