JP6398599B2 - 光偏向装置、光走査装置、画像投影装置、及びヘッドアップディスプレイ - Google Patents
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図8を用いて、光走査装置400の概略構成を説明する。なお、本実施例における構成は光偏向ミラー100、光偏向装置200の構成を含むため、以下の光走査装置400の構成説明では、実施形態に係る光偏向ミラー100、光偏向装置200の構成と異なる部分のみを説明する。
図9を用いて、本発明の実施例2に係る画像投影装置500の概略構成を説明する。なお、本実施例における画像投影装置500の構成は、光偏向ミラー100、光偏向装置200の構成を含むため、以下の画像投影装置500の構成説明では、実施形態に係る光偏向ミラー100、光偏向装置200の構成と異なる部分のみを説明する。
100 光偏向ミラー
101 支持枠
102 可動枠
103 ミラー
103a 反射面
104 トーションバー
105 駆動梁
106,107 蛇行状梁部
108a,108b,110a,110b 縦梁部
108c,110c 横梁部
109a,109b,111a,111b 圧電部材
109aa,109ba,111aa,111ba 駆動用圧電部材
109as,109bs,111as,111bs 検出用圧電部材
111baL,111bsL 下部電極
111baU,111bsU 上部電極
200 光偏向装置
201 光偏向ミラー制御部(電圧調整部)
202 駆動部
203 検出部
204 記憶部
205 画像信号
206 画像信号演算部
207 光源駆動部
208,401,502 光源
209 ビーム光学系
210 投影面
300,500 画像投影装置(2次元画像投影装置)
400 光走査装置
402 光学系
403,404 走査レンズ
405 光路用反射ミラー
406 被照射物
501 画像生成手段
501L 集光レンズ
503 合成手段
503p 合成プリズム
510 投影対象物
Claims (7)
- 反射面を有するミラーと、
前記ミラーを回転可能に支持して回転軸上で当該ミラーを挟むように設けられ、複数の折返部を有して蛇行して形成された一対の蛇行状梁部と、
前記蛇行状梁部の各梁部の長手方向に沿って、当該各梁部にそれぞれ設けられた複数の駆動用圧電部材と、を備え、
前記複数の駆動用圧電部材に駆動電圧が印加されることにより前記各梁部を変形させ、その変形の累積により前記ミラーを回転駆動させる光偏向ミラーにおいて、
前記各梁部に前記駆動用圧電部材と平行に設けられ、当該各梁部と共に変形する複数の検出用圧電部材と、
前記各梁部の前記駆動用圧電部材に個別に駆動電圧を印加するための複数の駆動用電極群と、
前記各梁部の変形に応じた前記各検出用圧電部材からの検出電圧を個別に検出するための複数の検出用電極群と、を有する光偏向ミラーと、
前記一対の蛇行状梁部のそれぞれにおいて、前記各駆動用電極群を介して前記複数の駆動用圧電部材に対して一つ置きに異なる2種類の電圧波形の駆動電圧を印加するとともに、当該2種類の駆動電圧の振幅を個別に調整する電圧調整部と、を備え、
前記電圧調整部は、
前記各検出用電極群を介して前記各検出用圧電部材からの検出電圧の振幅を検出するとともに、検出した当該検出電圧の振幅に基づいて前記駆動電圧の振幅を個別に調整することを特徴とする光偏向装置。 - 請求項1に記載の光偏向装置であって、
前記電圧調整部は、
前記各検出用電極群を介して検出される前記複数の検出用圧電部材からの検出電圧の振幅の目標値を記憶する記憶部を備え、
前記検出電圧の振幅を前記記憶部に記憶された目標値に一致させるための駆動電圧を、前記各駆動用電極群を介して前記複数の駆動用圧電部材に印加することを特徴とする光偏向装置。 - 請求項1に記載の光偏向装置であって、
前記電圧調整部は、
異なる2つの前記検出用電極群を介して検出される前記複数の検出用圧電部材からの検出電圧の振幅比の目標値を記憶する記憶部を備え、
前記検出電圧の振幅比を前記記憶部に記憶された目標値に一致させるための駆動電圧を、前記各駆動用電極群を介して前記複数の駆動用圧電部材に印加することを特徴とする光偏向装置。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか1の請求項に記載の光偏向装置を備える光走査装置であって、
光を発する光源と、
前記光源から発し、前記光偏向装置で偏向された前記光を所定の方向に照射する照射手段と、を更に備えることを特徴とする光走査装置。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか1の請求項に記載の光偏向装置を備える画像投影装置であって、
光を発する光源を更に備え、
前記光偏向装置は、前記光を偏向して投影することを特徴とする画像投影装置。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか1の請求項に記載の光偏向装置を備える画像投影装置であって、
複数の光を発する複数の光源と、
前記複数の光源から発した前記複数の光を合成する合成手段と、を更に備え、
前記光偏向装置は、合成された前記複数の光を偏向して投影することを特徴とする画像投影装置。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか1の請求項に記載の光偏向装置を備えるヘッドアップディスプレイ。
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