JP2014207450A - 同時両面研磨により半導体ウエハを研磨する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研磨装置の下方研磨パッド4と上方研磨パッド3との間の間隙において同時両面研磨によって半導体ウエハを研磨する方法に関し、目直し器具を用いて一方または両方の研磨パッドを目直しするステップと、目直しの後に間隙において半導体ウエハを研磨するステップとを含み、目直し時において、目直しされる研磨パッドの反対側にある研磨パッドから目直し器具への距離は、この研磨パッドの内縁において、この研磨パッドの外縁における対応する距離とは異なる。
【選択図】図1
Description
本発明は、研磨剤を供給しながら研磨装置の下方研磨パッドと上方研磨パッドとの間の間隙において同時両面研磨によって半導体ウエハを研磨する方法に関し、下方研磨パッドは下方研磨板を覆い、上方研磨パッドは上方研磨板を覆い、研磨板および研磨パッドは内縁と外縁とを有する。方法は、一方または両方の研磨パッドを目直し器具を用いて目直しするステップと、目直しの後に間隙において半導体ウエハを研磨するステップとを含む。
一方または両方の研磨パッドの目直しに続き、キャリアにある半導体ウエハに対して、研磨パッドの間の間隙において同時両面研磨が施され、一方の研磨が行われている間に複数の半導体ウエハが同時に研磨される。再び本発明に係る目直しが一方の研磨パッドまたは両方の研磨パッドに対して行われる前に、複数の研磨が行われる。間隙の形状が所望のくさび型を保持している間は、後続の目直しは行われない。不均一な研磨による摩耗によって、複数の研磨された半導体ウエハに関して期待される研磨が満たされない場合、間隙の好ましい形状を回復させる必要がある。この場合において、さらなる目直しサイクルが行われる。研磨パッドは、前もって交換する必要があり得る。
Claims (4)
- 研磨剤を供給しながら研磨装置の下方研磨パッドと上方研磨パッドとの間の間隙において同時両面研磨によって半導体ウエハを研磨する方法であって、前記下方研磨パッドは下方研磨板を覆い、前記上方研磨パッドは上方研磨板を覆い、前記研磨板および前記研磨パッドは内縁と外縁とを有し、方法は、
目直し器具を用いて、1つの研磨パッド、または第1の研磨パッドおよび後続の他の研磨パッドを目直しするステップを備え、目直しされる前記研磨パッドで覆われる前記研磨板は回転し、前記目直し器具は、目直しされる前記研磨パッドの前記内縁から前記外縁に延在するように前記間隙内に取り付けられ、方法はさらに、
前記目直しの後に前記間隙において半導体ウエハを研磨するステップを備え、前記前記目直し時において、目直しされる前記研磨パッドの反対側に置かれる前記研磨パッドから前記目直し器具への距離は、この研磨パッドの前記内縁において、この研磨パッドの前記外縁における対応する距離とは異なる、方法。 - 前記目直しが再び行われる前に1つ以上の研磨方法が行われる、請求項1に記載の方法。
- 前記研磨パッドの前記内縁における前記間隙の前記幅が前記研磨パッドの前記外縁よりも大きい態様は、前記目直し時に前記間隙に与えられる、請求項1または2に記載の方法。
- 前記目直し器具は1つ以上のリングを含み、リングは、前記研磨装置の内側駆動ギヤと外側駆動ギヤとの間に位置し、前記リングの中間部を中心に前記内側駆動ギヤ、前記外側駆動ギヤ、または前記内側および外側駆動ギヤによって回転する、請求項1から3のいずれか1項に記載の方法。
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