JP2014107391A - 半導体装置とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ドリフト層と、ドリフト層の表面に接するとともにその一部が半導体基板の表面に露出するボディ層と、ボディ層の表面の一部に設けられ、半導体基板の表面に露出し、ボディ層によってドリフト層と分離されているエミッタ層と、ドリフト層の裏面に接するバッファ層と、バッファ層の裏面に接するとともに半導体基板の裏面に露出するコレクタ層と、エミッタ層とドリフト層を分離している範囲のボディ層に絶縁膜を介して対向しているゲート電極とを備えた半導体装置の製造方法を提供する。この製造方法は、第1層と、第1層の裏面に積層され、第1層よりも多結晶シリコン濃度が高い第2層とを含む半導体ウェハを準備する工程と、第2層にイオンを注入して拡散させてバッファ層を形成する工程とを含む。
【選択図】 図1
Description
100:半導体基板
101:コレクタ層
102:ドリフト層
103:バッファ層
104:ボディ層
105:エミッタ層
106:ボディ層
120:トレンチゲート
121:トレンチ
122:ゲート絶縁膜
123:ゲート電極
141:表面電極
142:裏面電極
500:半導体ウェハ
501:p層
502:n層
503:n層
553:ポリシリコン層
Claims (3)
- 第1導電型のドリフト層と、
ドリフト層の表面に接するとともにその一部が半導体基板の表面に露出する第2導電型のボディ層と、
ボディ層の表面の一部に設けられ、半導体基板の表面に露出し、ボディ層によってドリフト層と分離されている第1導電型のエミッタ層と、
ドリフト層の裏面に接する第1導電型のバッファ層と、
バッファ層の裏面に接するとともに半導体基板の裏面に露出する第1導電型のコレクタ層と、
エミッタ層とドリフト層を分離している範囲のボディ層に絶縁膜を介して対向しているゲート電極とを備えた半導体装置の製造方法であって、
第1層と、第1層の裏面に積層され、第1層よりも多結晶シリコン濃度が高い第2層とを含む半導体ウェハを準備する工程と、
第2層にイオンを注入して拡散させてバッファ層を形成する工程と、を含む、半導体装置の製造方法。 - 第1導電型のドリフト層と、
ドリフト層の表面に接するとともにその一部が半導体基板の表面に露出する第2導電型のボディ層と、
ボディ層の表面の一部に設けられ、半導体基板の表面に露出し、ボディ層によってドリフト層と分離されている第1導電型のエミッタ層と、
ドリフト層の裏面に接する第1導電型のバッファ層と、
バッファ層の裏面に接するとともに半導体基板の裏面に露出する第1導電型のコレクタ層と、
エミッタ層とドリフト層を分離している範囲のボディ層に絶縁膜を介して対向しているゲート電極とを備えた半導体装置の製造方法であって、
ドリフト層と、ボディ層と、エミッタ層とを有し、ゲート電極が形成されている第1層と、第1層の裏面に希ガスのイオン注入によって形成され、第1層よりも多結晶シリコン濃度が高い第2層とを含む半導体ウェハを準備する工程と、
第2層に第1導電型の不純物イオンを注入して拡散させてバッファ層を形成する工程とを含む、半導体装置の製造方法。 - 第1導電型のドリフト層と、
ドリフト層の表面に接するとともにその一部が半導体基板の表面に露出する第2導電型のボディ層と、
ボディ層の表面の一部に設けられ、半導体基板の表面に露出し、ボディ層によってドリフト層と分離されている第1導電型のエミッタ層と、
ドリフト層の裏面に接する第1導電型のバッファ層と、
バッファ層の裏面に接するとともに半導体基板の裏面に露出する第1導電型のコレクタ層と、
エミッタ層とドリフト層を分離している範囲のボディ層に絶縁膜を介して対向しているゲート電極とを備え、
半導体基板は、第1層と、第1層の裏面に積層され、第1層よりも多結晶シリコン濃度が高い第2層とを含み、
バッファ層は、少なくとも第2層の一部に形成されており、
バッファ層の第1導電型の不純物濃度のピークは、第1層と第2層との界面に位置する、半導体装置。
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