JP2014093384A - チャックテーブル - Google Patents
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Abstract
【解決手段】厚み方向において第一のテーブル(41)と第二のテーブル(42)とに分割されたチャックテーブル(4)であって、第一のテーブルは、基台部(411)と、保持部(412)と、を備え、第二のテーブルと当接する第一の当接面(B1)と、第一の当接面から保持部に向けて貫通する第一の吸引孔(H1)と、を有し、第二のテーブルは、第一の当接面と当接する第二の当接面(A2)と、チャックテーブルベース(31)と当接する支持面(B2)と、支持面から第二の当接面に向けて貫通する第二の吸引孔(H2)と、第二の当接面に形成された溝(D4)と、溝から支持面に向けて貫通する第三の吸引孔(H3)と、を有する構成とした。
【選択図】図4
Description
3 移動テーブル
4 チャックテーブル
31 チャックテーブルベース
41 第一のテーブル
42 第二のテーブル
411,421 基台部
412 保持部
412a 表面
A1,A3 上面
A2 上面(第二の当接面)
B1 下面(第一の当接面)
B2 下面(支持面)
C 切り欠け
D1,D4,D7,D8 溝
D2a,D5a 円形溝
D2b,D2c,D5b,D5c 環状溝
D3a,D3b,D3c,D3d,D6a,D6b,D6c,D6d 線状溝
H1 吸引孔(第一の吸引孔)
H2 吸引孔(第二の吸引孔)
H3 吸引孔(第三の吸引孔)
H4,H5 吸引孔(供給口)
H6 吸引孔
O1 開口部
P1 第一の位置決め部
P1a,P2a 凹部
P1b,P2b 凸部
P2 第二の位置決め部
S1,S2 側面
Claims (3)
- 加工装置内に配設されたチャックテーブルベースに支持され、被加工物を上面に保持するチャックテーブルであって、
該チャックテーブルは、被加工物の外形に合わせた薄板状に形成され、厚み方向に第一のテーブルと第二のテーブルに分割されており、
該第一のテーブルは、被加工物を保持する保持部と、該保持部を上側に配設した基台部と該保持部と反対側の該基台部下面であり該第二のテーブルと当接する第一の当接面と、該基台部に形成された該第一の当接面から該保持部に貫通する第一の吸引孔と、を備え、
該第二のテーブルは、該第一の当接面と当接する第二の当接面と、該第二の当接面の反対の面であり該チャックテーブルベースの所定の位置に支持される支持面と、該支持面から該第二の当接面へ貫通する第二の吸引孔と、該当接面の該第二の吸引孔が形成された箇所以外の箇所に形成された溝と、該溝から該支持面に貫通する第三の吸引孔と、を備え、
該第一の当接面及び該第二の当接面には、該第一の吸引孔と該第二の吸引孔が連結するように該第一のテーブルと該第二のテーブル同士を位置決めするための第一の位置決め部を備え、
該第二のテーブルの該支持面と該チャックテーブルベースには、該第二のテーブルと該チャックテーブル同士を位置決めするための第二の位置決め部を備え、
該チャックテーブルベースには、該第二のテーブルが該第二の位置決め部により位置決めされて支持されると該第二の吸引孔及び該第三の吸引孔に接続される負圧生成源からの供給口が形成されており、
該第一のテーブル及び該第二のテーブルが各々着脱自在であること、を特徴とするチャックテーブル。 - 該第二のテーブルには、該第二のテーブル上から該第一のテーブルを剥離する際に該第一のテーブルの第一の面を保持するための切り欠けを外周に2以上備えていることを特徴とする請求項1記載のチャックテーブル。
- 該チャックテーブルベースの外径は、該チャックテーブルの外径よりも小さいことを特徴とする請求項1又は2に記載のチャックテーブル。
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2012
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