JP2017019043A - 端面修正治具および端面修正方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】端面修正治具1は、切削装置のチャックテーブルが取り付けられる支持基台114に載置されるベース10と、切削手段のマウントの端面を研磨する修正砥石21が固定され、ベース10の一方の面11側にベース10に対しY軸方向に進退自在に支持される砥石固定部20と、ベース10を貫通し砥石固定部20の下面に対面して開口する連通路30と、支持基台114に載置されるベース10を、支持基台114に対し所定の位置及び向きに位置付ける位置規定部40と、を備える。端面修正治具1は、ベース10が支持基台114に載置された後に端面修正開始位置に位置付けられた砥石固定部20が、支持基台114が有するチャックテーブル保持用の吸引路115a,115bと連通路30を介して支持基台114に固定される。
【選択図】図4
Description
本発明の実施形態に係る端面修正治具を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態に係る端面修正治具が用いられる切削装置の構成を示す外観斜視図であり、図2は、実施形態に係る端面修正治具の構成を示す斜視図であり、図3は、実施形態に係る端面修正治具の平面図であり、図4は、実施形態に係る端面修正治具の構成を分解して示す斜視図であり、図5は、実施形態に係る端面修正治具のベースを下方からみた斜視図であり、図6は、図4中のVI−VI線に沿う断面図であり、図7は、図4中のVII−VII線に沿う断面図であり、図8は、図2中のVIII−VIII線に沿う断面図であり、図9は、図2中のIX−IX線に沿う断面図である。
10 ベース
11 一方の面
20 砥石固定部
20a 下面
21 修正砥石
30 連通路
40 位置規定部
100 切削装置
110 チャックテーブル
114 支持基台
115 吸引路
115a 第1吸引路
115b 第2吸引路
120 切削手段
121 切削ブレード
122 スピンドル
124 マウント
125 端面
130 X軸移動手段(加工送り手段)
140 Y軸移動手段(割り出し送り手段)
W 被加工物
ST1 治具位置付けステップ
ST2 第1固定ステップ
ST3 砥石固定部位置付けステップ
ST4 第2固定ステップ
ST5 端面修正ステップ
Claims (2)
- 被加工物をX軸方向とY軸方向とに平行な保持面で保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを吸引保持する支持基台と、該Y軸方向と平行な回転軸のスピンドルに装着されたマウントのX軸方向と平行な端面で切削ブレードを支持し該被加工物をX軸方向に切削する切削手段と、該チャックテーブルをX軸方向に加工送りする加工送り手段と、該切削手段をX軸方向と直交するY軸方向に割り出し送りする割り出し送り手段と、を備える切削装置の該マウントの該端面を平面に修正する際に用いる端面修正治具であって、
該支持基台に載置されるベースと、
該端面を研磨する修正砥石が固定され、該ベースの一方の面側に該ベースに対しY軸方向に進退自在に支持される砥石固定部と、
該ベースを貫通し該砥石固定部の下面に対面して開口する連通路と、
該支持基台に載置される該ベースを、該支持基台に対し所定の位置及び向きに位置付ける位置規定部と、を備え、
該ベースが該支持基台に載置された後に端面修正開始位置に位置付けられた該砥石固定部が、該支持基台が有する該チャックテーブル保持用の吸引路と該連通路を介して該支持基台に固定される端面修正治具。 - 請求項1記載の端面修正治具で該切削装置の該マウントの該端面を修正する端面修正方法であって、
該支持基台に該端面修正治具を載置して該位置規定部により該砥石固定部の進退方向をY軸方向と平行にし、該修正砥石を該マウントの該端面に接近する初期位置で該マウントに対面させる治具位置付けステップと、
該治具位置付けステップを実施した後、該支持基台の第1吸引路を介して該ベースを該支持基台に固定する第1固定ステップと、
該第1固定ステップを実施した後、該切削手段をY軸方向に割り出し送りさせ、該マウントを端面修正開始位置に位置付ける事で該修正砥石が該端面で押圧されて該砥石固定部が該初期位置から後退し、該マウントと該修正砥石とが接触する位置に位置付けられる砥石固定部位置付けステップと、
該砥石固定部位置付けステップを実施した後、該支持基台の第2吸引路と該連通路とを介して該砥石固定部を該支持基台に固定する第2固定ステップと、
該第2固定ステップを実施した後、該スピンドルを回転させつつ該修正砥石で該端面を研磨する端面修正ステップと、を備える端面修正方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018187694A (ja) * | 2017-04-28 | 2018-11-29 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
CN109795044A (zh) * | 2017-11-16 | 2019-05-24 | 株式会社迪思科 | 切削装置 |
CN109878188A (zh) * | 2019-04-04 | 2019-06-14 | 深圳市炎瑞自动化科技有限公司 | 一种自动贴合设备的真空腔体组件 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002009019A (ja) * | 2000-06-21 | 2002-01-11 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工テーブル |
JP2009297855A (ja) * | 2008-06-16 | 2009-12-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | フランジの端面修正方法 |
JP2011224666A (ja) * | 2010-04-15 | 2011-11-10 | Disco Corp | 切削装置 |
JP2011255458A (ja) * | 2010-06-09 | 2011-12-22 | Disco Corp | 切削加工装置 |
JP2014093384A (ja) * | 2012-11-02 | 2014-05-19 | Disco Abrasive Syst Ltd | チャックテーブル |
JP2014116432A (ja) * | 2012-12-07 | 2014-06-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置 |
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2015
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002009019A (ja) * | 2000-06-21 | 2002-01-11 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工テーブル |
JP2009297855A (ja) * | 2008-06-16 | 2009-12-24 | Disco Abrasive Syst Ltd | フランジの端面修正方法 |
JP2011224666A (ja) * | 2010-04-15 | 2011-11-10 | Disco Corp | 切削装置 |
JP2011255458A (ja) * | 2010-06-09 | 2011-12-22 | Disco Corp | 切削加工装置 |
JP2014093384A (ja) * | 2012-11-02 | 2014-05-19 | Disco Abrasive Syst Ltd | チャックテーブル |
JP2014116432A (ja) * | 2012-12-07 | 2014-06-26 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018187694A (ja) * | 2017-04-28 | 2018-11-29 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
CN109795044A (zh) * | 2017-11-16 | 2019-05-24 | 株式会社迪思科 | 切削装置 |
US11351651B2 (en) | 2017-11-16 | 2022-06-07 | Disco Corporation | Cutting apparatus |
CN109878188A (zh) * | 2019-04-04 | 2019-06-14 | 深圳市炎瑞自动化科技有限公司 | 一种自动贴合设备的真空腔体组件 |
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