JP2006019544A - 基板移載装置および基板搬送システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ウェーハWを収納した又は収納可能なカセット2と、ウェーハWの収容位置を規定する載置部41が面内に区画されたトレイ4と、カセット2とトレイ4との間においてウェーハWを移載する基板搬送ロボット3とを備えさせるとともに、基板搬送ロボット3の基板保持部3Aをベルヌーイチャック機構で構成し、載置部41がウェーハWの受け渡し位置に合致するようにトレイ4を位置合わせするアライメントユニット50を備えさせる。
【選択図】 図1
Description
2 ウェーハ用カセット
3 基板搬送ロボット
4 トレイ
5 トレイ支持部
6 トレイ搬送ロボット
7 トレイ用カセット
10 基板移載装置
31 板状本体
32 エア導入通路
33 エア噴出孔
34 負圧発生室
41 載置部
42 マーカー
50 アライメントユニット
50A 位置合わせ機構部
50B 案内機構部
51 支持テーブル
52 プッシャ
53 駆動部
54 回転軸
55 駆動部
58 センサ
W ウェーハ
Claims (9)
- 被処理基板を収納した又は収納可能なカセットと、前記被処理基板の収容位置を規定する載置部が面内に区画されたトレイと、前記カセットと前記トレイとの間において前記被処理基板を移載する基板搬送ロボットとを備え、
前記基板搬送ロボットの基板保持部がベルヌーイチャック機構でなるとともに、
前記載置部が前記被処理基板の受け渡し位置に合致するように前記トレイを位置合わせするアライメント手段を備えたことを特徴とする基板移載装置。 - 前記トレイには前記載置部が複数形成されている請求項1に記載の基板移載装置。
- 前記アライメント手段は、前記トレイを支持する支持部と、前記トレイ上の所定位置を前記支持部の基準位置に初期位置決めする位置合わせ機構と、前記載置部が前記被処理基板の受け渡し位置に合致するように前記トレイを移動させる案内機構とを備えている請求項1に記載の基板移載装置。
- 前記載置部は、前記トレイ上において同一円周上に等角度間隔で複数形成されており、
前記位置合わせ機構は、前記円周の中心位置を前記支持部の基準位置へ位置決めし、
前記案内機構は、前記載置部が前記被処理基板の受け渡し位置に合致するように前記トレイを回転移動させる請求項3に記載の基板移載装置。 - 被処理基板を収納した又は収納可能なカセットと、前記被処理基板の収容位置を規定する載置部が面内に区画されたトレイと、前記カセットと前記トレイとの間において前記被処理基板を移載する基板搬送ロボットと、前記トレイを支持するトレイ支持部と、前記トレイを搬送するトレイ搬送ロボットとを備え、
前記基板搬送ロボットの基板保持部がベルヌーイチャック機構でなるとともに、
前記トレイ支持部には、前記載置部が前記被処理基板の受け渡し位置に合致するように前記トレイを位置合わせするアライメント手段が設けられていることを特徴とする基板搬送システム。 - 前記アライメント手段は、前記トレイ上の所定位置を前記トレイ支持部の基準位置に初期位置決めする位置合わせ機構と、前記載置部が前記被処理基板の受け渡し位置に合致するように前記トレイを移動させる案内機構とを備えている請求項5に記載の基板搬送システム。
- 前記載置部は、前記トレイ上において同一円周上に等角度間隔で複数形成されており、
前記位置合わせ機構は、前記円周の中心位置を前記トレイ支持部の基準位置へ位置決めし、
前記案内機構は、前記載置部が前記被処理基板の受け渡し位置に合致するように前記トレイを回転させる請求項6に記載の基板搬送システム。 - 前記トレイには前記載置部が複数形成されており、
前記基板搬送ロボットは、前記カセットから前記トレイへ向けて処理前の被処理基板を一枚ずつ搬送し、前記受け渡し位置に位置する載置部へ当該被処理基板を収容する一方、
前記トレイ搬送ロボットは、前記処理前の被処理基板を複数収容したトレイを前記トレイ支持部から次工程へ向けて搬送する請求項5に記載の基板搬送システム。 - 前記トレイには前記載置部が複数形成されており、
前記トレイ搬送ロボットは、処理済の被処理基板を複数枚収容したトレイを前記トレイ支持部へ搬送する一方、
前記基板搬送ロボットは、前記トレイから前記カセットへ前記処理済の被処理基板を一枚ずつ移載する請求項5に記載の基板搬送システム。
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