JP2014038929A - インラインシステム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被加工物を処理する第一の処理手段4と第一の処理手段4によって処理された被加工物を搬出する搬出領域3aとを備えた第一の装置2と、被加工物を搬入する搬入領域7aと搬入された被加工物を処理する第二の処理手段8とを備えた第二の装置6と、搬出領域3aから搬入領域7aに被加工物を移送する移送手段13とを備えたインラインシステム1において、搬出領域3aを撮像し搬出領域3aの位置を検出するとともに搬入領域7aを撮像し搬入領域7aの位置を検出する位置検出手段14を備え、位置検出手段14により検出された搬出領域3a及び搬入領域7aの位置とに基づいて、搬出領域3aから搬入領域7aまで被加工物を移送する。
【選択図】図1
Description
研削装置2及びレーザー加工装置6における被加工物の加工を始める前に、研削装置2の保持テーブル3を搬出領域3aに位置させておき、位置検出手段14を構成するカメラ133によって、搬出領域3aを撮像する。そして、カバーテーブル30上のマーク300を検出し、検出時におけるカメラ133の座標とマーク300と保持テーブル3との位置関係とから求めた保持テーブル3の座標を記憶部135に記憶する。例えば、図2に示すように、搬出領域3aに位置する保持テーブル3のマーク300を検出した時の保持テーブル3の中心の座標(X1、Y1)を、図3に示すように、記憶部135に記憶しておく。このようにして搬出領域3aの位置を検出し、記憶部135に座標情報を記憶しておく(搬出領域検出工程)。
研削装置2において、被加工物、例えば図4に示すウェーハWの裏面W2を研削する場合は、図4に示すように、分割予定ラインLによって区画されてデバイスDが形成された表面W1に保護部材Tを貼着し、図5に示すように表裏を反転させ、裏面W2が上方に露出した状態とする。そして、図1に示した保持テーブル3を搬出領域3aに位置させ、保護部材T側を保持する。
研削終了後は、保持テーブル3を搬出領域3aに移動させる。そして、移送手段13を構成する保持部132を、記憶部135にあらかじめ記憶させた座標(X1、Y1)に移動させて降下させ、研削後のウェーハWを吸着する。搬出領域3aに位置する保持テーブル3の座標(X1、Y1)が記憶部135に記憶されているため、保持部132の位置がずれることがなく、ウェーハWを確実に吸着することができる。
このようにしてウェーハWが保持テーブル7に移送されて保持されると、保持テーブル7が撮像部82の下方に移動する。そして、撮像部82によって赤外線による撮像が行われ、ウェーハWの表面側に形成されている分割予定ラインLが検出され、その分割予定ラインLと加工ヘッド80とのY軸方向の位置合わせが行われる。
2:研削装置(第一の装置)
3:保持テーブル 3a:搬出領域 3b:研削領域
30:カバーテーブル 300:マーク
4:第一の処理手段
40:回転軸 41:ハウジング 42:モータ 43:ホイールマウント
44:研削ホイール 45:研削砥石
5:研削送り手段
50:ボールネジ 51:ガイドレール 52:モータ 53:昇降板 54:ホルダ
6:レーザー加工装置(第二の装置)
7:保持テーブル 7a:搬入領域 7b:加工領域
70:カバーテーブル 700:マーク
8:第二の処理手段
80:加工ヘッド 81:基台 82:撮像部
9:加工送り手段
90:ボールネジ 91:ガイドレール 92:モータ 93:スライド板
10:Y方向調整手段
100:ボールネジ 101:ガイドレール 102:パルスモータ 103:移動基台
104:円筒基台 105:カバーテーブル
11:Y方向送り手段
110:ボールネジ 111:ガイドレール 112:パルスモータ 113:移動基台
12:Z方向送り手段
120:ボールネジ 121:ガイドレール 122:パルスモータ 123:移動基台
13:移送手段
130:軸部 131:アーム部 132:保持部 133:カメラ 134:制御部
135:記憶部
14:位置検出手段
Claims (1)
- 被加工物を処理する第一の処理手段と、該第一の処理手段によって処理された被加工物を搬出する搬出領域とを備えた第一の装置と、
被加工物を搬入する搬入領域と、搬入された被加工物を処理する第二の処理手段とを備えた第二の装置と、
該第一の装置の搬出領域から該第二の装置の搬入領域に被加工物を移送する移送手段とを備えたインラインシステムであって、
該第一の装置の該搬出領域を撮像し該搬出領域の位置を検出するとともに、該第二の装置の該搬入領域を撮像し該搬入領域の位置を検出する位置検出手段を備え、
該位置検出手段により検出された該搬出領域の位置と該搬入領域の位置とに基づいて、該搬出領域から該搬入領域まで被加工物を移送するインラインシステム。
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