JP5473715B2 - ウエーハ搬送機構の調整方法 - Google Patents
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Description
12 仕上げ研削ユニット
25 試験用ウエーハ
50 ターンテーブル
52 チャックテーブル
62 仮置きテーブル
64 撮像手段
70 ウエーハ搬送ロボット
76 ウエーハ搬入手段(ウエーハ搬送機構)
98 支持アーム(作動アーム)
100 吸着パッド
110 罫書き手段
112 環状罫書き線
Claims (1)
- 支持アームの先端に装着された吸着パッドでウエーハを保持して、ウエーハが仮置きされた仮置きテーブルからウエーハを加工する回転可能なチャックテーブルへウエーハを搬送するウエーハ搬送機構の調整方法であって、
搬送予定のウエーハと同様の形状を有する試験用ウエーハを準備する試験用ウエーハ準備工程と、
該試験用ウエーハを該仮置きテーブル上にセットする仮置き工程と、
該ウエーハ搬送機構で該仮置きテーブルから該チャックテーブル上にウエーハを搬送し、該チャックテーブルで該試験用ウエーハを吸引保持するウエーハ搬送工程と、
該チャックテーブルに保持された該試験用ウエーハの上面に点で接触する罫書き手段を接触させた状態で該チャックテーブルを回転させ、該試験用ウエーハの上面に環状罫書き線を形成する環状罫書き線形成工程と、
該環状罫書き線の任意の3点から該環状罫書き線の中心位置座標(X1,Y1)を割り出すことにより、該チャックテーブルの回転中心位置を割り出す回転中心位置割り出し工程と、
該試験用ウエーハの外周縁の任意の3点から該試験用ウエーハの中心位置座標(X2,Y2)を割り出す試験用ウエーハ中心位置割り出し工程と、
該回転中心位置割り出し工程で求めた該チャックテーブルの回転中心位置座標(X1,Y1)と、該試験用ウエーハ中心位置割り出し工程で求めた該試験用ウエーハの中心位置座標(X2,Y2)とのずれ量を求め、所定値以上のずれ量であった場合、該吸着パッドが装着される該支持アームの長さ及び/又は該吸着パッドの移動距離を補正する補正工程と、
を具備したことを特徴とするウエーハ搬送機構の調整方法。
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